JP2022526757A - 測定又は検査装置及び表面を測定又は検査する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2019年3月21日の独国特許出願第10 2019 203 880.8号の優先権を主張し、その全開示を参照により本願の内容に援用する。
Claims (15)
- 測定又は検査対象の物体(2)と、
該物体(2)の表面(2a)を測定又は検査するレンズ(4)と、
前記物体(2)の前記表面(2a)と前記レンズ(4)との間の中間空間(17)にパージガス流(16)を供給するパージデバイス(15)と
を備えた、測定又は検査装置(1)、特にマスク検査装置であって、
測定又は検査対象の前記物体(2)の前記表面(2a)と同じ材料でできた表面(18a)を有するコンポーネント(18)を特徴とし、前記パージデバイス(15)は、前記中間空間(17)への前記パージガス流(16)の導入前に前記コンポーネント(18)の前記表面(18a)に沿って前記パージガス流(16)を導くよう設計される測定又は検査装置。 - 請求項1に記載の測定又は検査装置において、前記コンポーネント(18)は、前記レンズ(4)に特に着脱可能に固定される測定又は検査装置。
- 請求項1又は2に記載の測定又は検査装置において、前記コンポーネントは、前記レンズ(4)の最終物体側光学素子(8)と前記物体(2)との間に取り付けられた板状の流れガイド素子(18)を形成する測定又は検査装置。
- 請求項3に記載の測定又は検査装置において、特に0.2mm未満のギャップ幅(B)を好ましくは有する環状ギャップ(23)が、前記流れガイド素子(18)と前記最終物体側光学素子(8)との間に形成される測定又は検査装置。
- 請求項3又は4に記載の測定又は検査装置において、前記流れガイド素子(18)は、前記中間空間(17)に前記パージガス流(16)を供給するための特に中央の開口(24)を有する測定又は検査装置。
- 請求項3~5のいずれか1項に記載の測定又は検査装置において、前記最終物体側光学素子(8)を少なくとも部分的に環状に囲む環状空間(22)に前記パージガス流(16)を供給するための少なくとも1つのさらなる入口開口(20)を有する、特に環状のさらなるコンポーネント(19)をさらに備えた測定又は検査装置。
- 請求項6に記載の測定又は検査装置において、前記さらなるコンポーネント(19)は、前記環状空間(22)を向いたその表面(19a)及び/又は前記入口開口(20)の内側(19b)が、測定又は検査対象の前記物体(2)の前記表面(2a)と同じ材料でできている測定又は検査装置。
- 請求項6に記載の測定又は検査装置において、前記環状空間(22)は、前記レンズ(4)の内部(25)に前記パージガス流(16)の一部(16a)を供給するための少なくとも1つのさらなる入口開口(26)を有する測定又は検査装置。
- 請求項3~8のいずれか1項に記載の測定又は検査装置において、前記流れガイド素子(18)と測定又は検査対象の前記物体(2)との間の距離(A)は、2.0mm以下である測定又は検査装置。
- 請求項3~9のいずれか1項に記載の測定又は検査装置において、前記最終物体側光学素子はレンズ素子(8)を形成する測定又は検査装置。
- 請求項1~10のいずれか1項に記載の測定又は検査装置において、前記コンポーネント(18)及び/又は前記さらなるコンポーネント(19)は、測定又は検査対象の前記物体の前記表面(2a)と同じ材料でできたコーティングを有する測定又は検査装置。
- 請求項1~11のいずれか1項に記載の測定又は検査装置において、前記コンポーネント(18)及び/又は前記さらなるコンポーネント(19)は、測定又は検査対象の前記物体の前記表面(2a)と同じ材料でできている測定又は検査装置。
- 請求項1~12のいずれか1項に記載の測定又は検査装置において、測定又は検査対象の前記物体の前記表面(2a)の材料は、金属、特に銅、半導体、特にケイ素、炭化ケイ素、及びGaAsを含む群から選択される測定又は検査装置。
- 物体(2)、特にマスクを測定又は検査する方法であって、
レンズ(4)の物体面(3)に配置された測定又は検査対象の前記物体(2)の表面(2a)を測定又は検査するステップと、
測定又は検査対象の前記物体(2)の前記表面(2a)と前記レンズ(4)との間の中間空間(17)にパージガス流(16)を供給するステップと
を含む方法において、
前記中間空間(17)への前記パージガス流(16)の導入前に該パージガス流(16)をコンポーネント(18)の表面(18a)に沿って導き、該表面(18a)は測定又は検査対象の前記物体(2)の前記表面(2a)と同じ材料でできていることを特徴とする方法。 - 請求項14に記載の方法において、
前記物体の前記表面(2a)の測定又は検査前に前記コンポーネント(18)を前記レンズ(4)に着脱可能に固定するステップ
をさらに含む方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102019203880.8A DE102019203880A1 (de) | 2019-03-21 | 2019-03-21 | Mess- oder Inspektionsvorrichtung und Verfahren zum Vermessen oder zum Inspizieren einer Oberfläche |
DE102019203880.8 | 2019-03-21 | ||
PCT/EP2020/056667 WO2020187690A1 (de) | 2019-03-21 | 2020-03-12 | Mess- oder inspektionsvorrichtung und verfahren zum vermessen oder zum inspizieren einer oberfläche |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022526757A true JP2022526757A (ja) | 2022-05-26 |
Family
ID=69845374
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021556661A Pending JP2022526757A (ja) | 2019-03-21 | 2020-03-12 | 測定又は検査装置及び表面を測定又は検査する方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2022526757A (ja) |
KR (1) | KR20210139394A (ja) |
DE (1) | DE102019203880A1 (ja) |
WO (1) | WO2020187690A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102021205985A1 (de) | 2021-06-11 | 2022-12-15 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optische Anordnung für die EUV-Lithographie und Verfahren zum Regenerieren eines gasbindenden Bauteils |
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Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2019
- 2019-03-21 DE DE102019203880.8A patent/DE102019203880A1/de not_active Ceased
-
2020
- 2020-03-12 KR KR1020217033500A patent/KR20210139394A/ko not_active Application Discontinuation
- 2020-03-12 JP JP2021556661A patent/JP2022526757A/ja active Pending
- 2020-03-12 WO PCT/EP2020/056667 patent/WO2020187690A1/de active Application Filing
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102019203880A1 (de) | 2020-09-24 |
WO2020187690A1 (de) | 2020-09-24 |
KR20210139394A (ko) | 2021-11-22 |
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