JP2009112886A

JP2009112886A - 自公転ディスクブラシ装置

Info

Publication number: JP2009112886A
Application number: JP2007285428A
Authority: JP
Inventors: Masaaki Naruoka; 正昭成岡; Kenichi Kitagawa; 賢一北川; Hisafumi Yoneda; 尚史米田
Original assignee: SPC Electronics Corp
Current assignee: SPC Electronics Corp
Priority date: 2007-11-01
Filing date: 2007-11-01
Publication date: 2009-05-28

Abstract

【課題】特定の箇所に洗浄ムラが発生することがなく、異物の一部が被洗浄物に再付着せず、且つ、高回転の高トルクモーターを必要としない自公転ディスクブラシ装置を提供することにある。
【解決手段】公転アーム１０と自転ガイドリング２０と１つ以上の回転ブラシ３０とを有し、１つ以上の回転ブラシ３０は公転アーム１０にセットされ、自転ガイドリング２０の内側部と回転ブラシ３０の円周部とが接触する接触部４０を有するように設置され、公転アーム１０が回転することにより回転ブラシ３０が自公転する。
【選択図】図１

Description

本発明は、がラス基板の洗浄工程におけるディスクブラシ装置に係り、詳しくは、洗浄ブラシの自公転が可能な自公転ディスクブラシ装置に関する。

図４は、従来の回転ブラシによる洗浄を示す模式図である。図４において、複数個の回転ブラシ３０は、直線状に、且つ複数の列に配列されている。隣接する列の回転ブラシ３０は、互いに斜めに対向して配置されているが、直交状に対向させて配置されてもよい。矢印は、複数個の被洗浄物６０の搬送方向を示している。複数個の被洗浄物６０が搬送されてそれぞれ回転ブラシ３０の位置に来ると、ブラシの回転により洗浄が行われる。図示されていないが、洗浄に必要な洗浄液は、周知の方法で供給されている。

ところが、この複数個の回転ブラシ３０は、各々が固定して配置されているため、同一の配置位置で回転しながら、複数個の被洗浄物６０をそれぞれ洗浄している。このため、回転ブラシ３０の洗浄能力のバラツキが、洗浄バラツキとなり、特定の箇所に洗浄ムラが発生するという問題があった。また回転ブラシ３０の回転より、被洗浄物６０から離れた異物の一部が、洗浄液と共に被洗浄物６０上に滞留し、再付着するという問題があった。さらに洗浄効果を高める目的で回転ブラシ３０の回転数を上げるためには、高回転の高トルクモーターを必要とする問題があった。

特許文献１には、キャリアプレートのウェーハ接着面を洗浄するブラシ洗浄装置において、太陽ギアと噛合する遊星ギアと、遊星ギアの各々が太陽ギアの回りを公転しながら自転するように、遊星ギアの各々を太陽ギアに対して公転方向に駆動する駆動手段と、噛合状態の太陽ギアと遊星ギアとをキャリアプレートのウェーハ接着面に沿って揺動する揺動手段と、太陽ギアと噛合状態にある遊星ギアをキャリアプレートのウェーハ接着面に対して接離方向に昇降する昇降手段とを具備する旨の記載がある。
特開平１０−２７０３９１号公報

本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、特定の箇所に洗浄ムラが発生することがなく、異物の一部が被洗浄物に再付着せず、且つ、高回転の高トルクモーターを必要としない自公転ディスクブラシ装置を提供することにある。

本発明の自公転ディスクブラシ装置は、公転アームと自転ガイドリングと１つ以上の回転ブラシとを有し、１つ以上の回転ブラシは公転アームにセットされ、自転ガイドリングの内側部と回転ブラシの円周部とが接触する接触部を有するように設置され、公転アームが回転することにより回転ブラシが自公転することを特徴とする。

本発明の自公転ディスクブラシ装置は、自転ガイドリングの内側部と回転ブラシの円周部とが摩擦係数の大きい材質及び又は摩擦係数の大きい形状から成ることを特徴とする。

本発明の自公転ディスクブラシ装置は、自転ガイドリングの内側部と回転ブラシの円周部とがギア形状を有することを特徴とする。

本発明の自公転ディスクブラシ装置は、自転ガイドリングと回転ブラシとは、自転ガイドリングの内側部と回転ブラシの円周部とが接触した状態で、千鳥配置に配列されて成ることを特徴とする。

本発明によれば、特定の箇所に洗浄ムラが発生することがなく、異物の一部が被洗浄物に再付着せず、且つ、高回転の高トルクモーターを必要としない自公転ディスクブラシ装置を提供することが可能となるため、これを装備することにより、洗浄効果が高く、ブラシ寿命が長く、且つ、トルクモーターの消費電力が軽減されるディスクブラシ洗浄装置を提供することが可能となる。

本発明の実施の形態について、図を用いて説明する。図１は、本発明による自公転ディスクブラシ装置を示す構成図である。自公転ディスクブラシ装置１００は、公転アーム１０と自転ガイドリング２０と回転ブラシ３０とを有している。図１において、２つの回転ブラシ３０が公転アーム１０にセットされ、自転ガイドリング２０の内側部と回転ブラシ３０の円周部とが接触する接触部４０を有するように設置されている。回転ブラシ３０は、公転アーム１０の形状により１つ以上の任意の個数をセットすることが可能である。
公転アーム１０が回転することにより、回転ブラシ３０は自転ガイドリング２０内で自公転することことが可能となる。

図２は、本発明による自公転ディスクブラシ装置の回転ブラシの配置を示す回転ブラシ配置図である。図２において、６個の回転ブラシ３０が公転アーム１０（図示されず）に各々対向するようセットされ、且つ、自転ガイドリング２０の内側部と接触部４０で接触するよう配置されている。矢印５０は、公転アーム１０が時計回りに回転していることを示している。この回転により、６個の回転ブラシ３０は、時計方向とは反対方向の回転力を得て、自転ガイドリング２０内で自公転する。

この場合、回転ブラシ３０の自転回転数は、公転アーム１０による公転回転数に対して、回転ブラシ３０の円周と自転ガイドリング２０の内周との比による値だけ増倍される。このため、公転アーム１０を駆動するトルクモーターは、高速回転を必要としないため、トルクモーターの消費電力を軽減することができる。また、２０の内側部と回転ブラシ３０の円周部とは、摩擦係数の大きい材質及び又は摩擦係数の大きい形状から成り、図２における接触部４０は、摩擦係数の大きい形状であるギアが噛み合って接触しており、一点差線は互いの歯高の中心線を示している。

図３は、本発明による自公転ディスクブラシ装置を装備したディスクブラシ洗浄装置の自転ガイドリング配置図である。図３において、自転ガイドリング２０は、回転ブラシ３０の円周部が自転ガイドリング２０の内側部に接触した状態で、千鳥配置に配列されている。矢印は、被洗浄物（図示されず）の搬送方向を示している。このように、千鳥配置される自転ガイドリング２０の個数を調整することにより、大形ガラス基板の洗浄に対応することが可能となる。また回転ブラシ３０が自公転することにより、洗浄ムラ及び異物の被洗浄物への再付着が防止されるため洗浄効率を向上させることができる。また、公転することにより回転ブラシ３０の洗浄能力のバラツキが緩和され、ブラシの寿命が延びることになる。

以上説明したように本発明は、特定の箇所に洗浄ムラが発生することがなく、異物の一部が被洗浄物に再付着せず、且つ、高回転の高トルクモーターを必要としない自公転ディスクブラシ装置を提供することが可能となる。このため、これを装備することにより、洗浄効率が向上し、ブラシ寿命が長く、且つ、トルクモーターの消費電力が軽減された大形ガラス基板用のディスクブラシ洗浄装置を提供することが可能となる。

本発明による自公転ディスクブラシ装置を示す構成図。本発明による自公転ディスクブラシ装置の回転ブラシ配置図。本発明によるディスクブラシ洗浄装置の自転ガイドリング配置図。従来の回転ブラシによる洗浄を示す模式図。

符号の説明

１０公転アーム
２０自転ガイドリング
３０回転ブラシ
４０接触部
５０公転アームの回転方向
６０被洗浄物
１００自公転ディスクブラシ装置

Claims

公転アームと自転ガイドリングと１つ以上の回転ブラシとを有し、
前記１つ以上の回転ブラシは前記公転アームにセットされ、
前記自転ガイドリングの内側部と前記回転ブラシの円周部とが接触する接触部を有するように設置され、
前記公転アームが回転することにより前記回転ブラシが自公転することを特徴とする自公転ディスクブラシ装置。
前記自転ガイドリングの内側部と前記回転ブラシの円周部とが摩擦係数の大きい材質及び又は摩擦係数の大きい形状から成ることを特徴とする請求項１に記載の自公転ディスクブラシ装置。
前記自転ガイドリングの内側部と前記回転ブラシの円周部とがギア形状を有することを特徴とする請求項１に記載の自公転ディスクブラシ装置。
前記自転ガイドリングと前記回転ブラシとは、前記自転ガイドリングの内側部と前記回転ブラシの円周部とが接触した状態で、千鳥配置に配列されて成ることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の自公転ディスクブラシ装置。