JP2009111000A - 有機半導体素子の製造方法、及び有機半導体素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電極と該電極の上に成膜される有機半導体層を有する有機半導体素子の製造方法であって、電極は、所定の部材の上にパターン化された下地層を形成する工程と、下地層の上に触媒型無電解めっきによって触媒型無電解めっき層を形成する工程と、の少なくとも2つの工程によって形成され、有機半導体層は、触媒型無電解めっき層の上に成膜する。
【選択図】図1
Description
前記電極は、
所定の部材の上にパターン化された下地層を形成する工程と、
前記下地層の上に触媒型無電解めっきによって触媒型無電解めっき層を形成する工程と、の少なくとも2つの工程によって形成され、
前記有機半導体層は、前記触媒型無電解めっき層の上に成膜することを特徴とする有機半導体素子の製造方法。
前記下地層を形成する工程と、
前記下地層の上に置換めっきによって置換めっき層を形成する工程と、
前記置換めっき層の上に前記触媒型無電解めっき層を形成する工程と、の少なくとも3つの工程によって形成されることを特徴とする前記1に記載の有機半導体素子の製造方法。
前記置換めっき層は、金、
前記触媒型無電解めっき層は、金、
であることを特徴とする前記2または3に記載の有機半導体素子の製造方法。
前記所定の部材の上に前記下地層のめっき触媒を前記電極、または前記電極及び前記配線層の形状に印刷し、
前記形状に印刷されためっき触媒を用いて前記下地層を形成することを特徴とする前記5に記載の有機半導体素子の製造方法。
前記所定の部材の上に金属及び金属酸化物の微粒子またはそのいずれか一方を前記電極、または前記電極及び前記配線層の形状に印刷し、
前記形状に印刷された金属及び金属酸化物の微粒子またはそのいずれか一方の上に前記下地層のめっき触媒を吸着させ、
吸着されためっき触媒を用いて前記下地層を形成することを特徴とする前記5に記載の有機半導体素子の製造方法。
前記めっき触媒、または前記金属及び金属酸化物の微粒子またはそのいずれか一方を前記電極、または前記電極及び前記配線層の形状に印刷することを特徴とする前記6または7に記載の有機半導体素子の製造方法。
前記触媒型無電解めっき層の表面を、チオールまたはシランカップリング材または有機導電体からなる有機材料で覆うことを特徴とする前記1乃至8のいずれか1項に記載の有機半導体素子の製造方法。
実施例1による有機TFT1の製造方法を図1を用いて説明する。
比較例1による有機TFT1のソース電極Sおよびドレイン電極Dの構成は、実施例1の場合における触媒型無電解Auめっき層104を有さないものであり、その他の構成は、実施例1の場合と同様である。
実施例2による有機TFT1の構成を図2に示す。図2は、実施例2による有機TFT1の概略構成を示す断面図である。
実施例3による有機TFT1の構成を図3に示す。図3は、実施例3による有機TFT1の概略構成を示す断面図である。
最初に、実施例1の場合と同様にして、ゲート電極G、ゲート絶縁膜IFを形成した。
実施例4による有機TFT1の構成を図4に示す。図4は、実施例4による有機TFT1の概略構成を示す断面図である。
比較例3による有機TFT1のソース電極Sおよびドレイン電極Dの構成は、実施例4の場合における触媒型無電解Auめっき層104を有さず、また、有機半導体層SFの材料をTIPSペンタセンとするものであり、その他の構成は、実施例4の場合と同様である。
実施例5による有機TFT1の構成を図5に示す。図5は、実施例5による有機TFT1の概略構成を示す断面図である。
比較例4による有機TFT1のソース電極Sおよびドレイン電極Dの構成は、実施例5の場合における触媒型無電解Auめっき層104を有さないものであり、その他の構成は、実施例5の場合と同様である。
101 触媒層(AgPdナノインク)
102 Ni−Pめっき層(下地層)
103 置換Auめっき層
104 触媒型無電解Auめっき層
111 プライマー層
113 チオール
115 塩化パラジウム
117 Agペースト
D ドレイン電極
G ゲート電極
IF ゲート絶縁膜
P 基板
PF パッシベーション膜
S ソース電極
SF 有機半導体膜(有機半導体層)
Claims (12)
- 電極と該電極の上に成膜される有機半導体層を有する有機半導体素子の製造方法であって、
前記電極は、
所定の部材の上にパターン化された下地層を形成する工程と、
前記下地層の上に触媒型無電解めっきによって触媒型無電解めっき層を形成する工程と、の少なくとも2つの工程によって形成され、
前記有機半導体層は、前記触媒型無電解めっき層の上に成膜することを特徴とする有機半導体素子の製造方法。 - 前記電極は、
前記下地層を形成する工程と、
前記下地層の上に置換めっきによって置換めっき層を形成する工程と、
前記置換めっき層の上に前記触媒型無電解めっき層を形成する工程と、の少なくとも3つの工程によって形成されることを特徴とする請求項1に記載の有機半導体素子の製造方法。 - 前記触媒型無電解めっき層は、金、銀、銅、白金のいずれか1つ、またはこれらを含む合金であることを特徴とする請求項2に記載の有機半導体素子の製造方法。
- 前記下地層は、ニッケル−リン合金、
前記置換めっき層は、金、
前記触媒型無電解めっき層は、金、
であることを特徴とする請求項2または3に記載の有機半導体素子の製造方法。 - 前記電極を形成する際に、該電極と同じ層構成を有し該電極に接続される配線層を形成することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の有機半導体素子の製造方法。
- 前記下地層は、めっきによって形成されるものであって、
前記所定の部材の上に前記下地層のめっき触媒を前記電極、または前記電極及び前記配線層の形状に印刷し、
前記形状に印刷されためっき触媒を用いて前記下地層を形成することを特徴とする請求項5に記載の有機半導体素子の製造方法。 - 前記下地層は、めっきによって形成されるものであって、
前記所定の部材の上に金属及び金属酸化物の微粒子またはそのいずれか一方を前記電極、または前記電極及び前記配線層の形状に印刷し、
前記形状に印刷された金属及び金属酸化物の微粒子またはそのいずれか一方の上に前記下地層のめっき触媒を吸着させ、
吸着されためっき触媒を用いて前記下地層を形成することを特徴とする請求項5に記載の有機半導体素子の製造方法。 - 前記下地層の上にプライマー層を成膜した後、
前記めっき触媒、または前記金属及び金属酸化物の微粒子またはそのいずれか一方を前記電極、または前記電極及び前記配線層の形状に印刷することを特徴とする請求項6または7に記載の有機半導体素子の製造方法。 - 前記触媒型無電解めっき層の上に前記有機半導体層を成膜する前に、
前記触媒型無電解めっき層の表面を、チオールまたはシランカップリング材または有機導電体からなる有機材料で覆うことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の有機半導体素子の製造方法。 - 前記有機半導体層は、印刷法によって成膜することを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の有機半導体素子の製造方法。
- 前記有機半導体素子は、有機TFTであることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の有機半導体素子の製造方法。
- 請求項1乃至11のいずれか1項に記載の有機半導体素子の製造方法を用いて製造されることを特徴とする有機半導体素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009111000A true JP2009111000A (ja) | 2009-05-21 |
Family
ID=40779203
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JP2007278716A Pending JP2009111000A (ja) | 2007-10-26 | 2007-10-26 | 有機半導体素子の製造方法、及び有機半導体素子 |
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JP (1) | JP2009111000A (ja) |
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