JP2009103541A - 可燃性ガス検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検出空間212を有するケース体20と、検出対象ガスのうち酸性ガスを吸着する無機化合物を主体とする無機化合物フィルタ60と、無機化合物フィルタ60を通過した検出対象ガスのうち雑ガスおよび酸性ガスを吸着する活性炭を主体とする活性炭フィルタ30と、所定の時間間隔でパルス通電を行ってオンとオフを繰り返す間欠駆動がなされて、検出対象ガスのうち可燃性ガスに感応して検出信号を出力する薄膜ガスセンサ10と、を備える可燃性ガス検出装置1とした。
【選択図】図1
Description
Si基板11はシリコン(Si)により形成され、貫通孔を有するように形成される。
熱絶縁支持層12はこの貫通孔の開口部に張られてダイアフラム様に形成されており、Si基板11の上に設けられる。この熱絶縁支持層12は、熱絶縁層として形成され、ヒータ層13で発生する熱をSi基板11側へ熱伝導しないようにして熱容量を小さくする機能を有する。また、ヒータ層13との密着性を向上させるとともに電気的絶縁を確保する。
電気絶縁層14は、電気的に絶縁を確保するスパッタSiO2絶縁層からなり、熱絶縁支持層12およびヒータ層13を覆うように設けられる。ヒータ層13と感知電極層151との間に電気的な絶縁を確保し、また、電気絶縁層14はガス感応層152との密着性を向上させる。
ガス感応層152は、SbをドープしたSnO2層からなり、一対の感知電極層151,151を渡されるように電気絶縁層14の上に形成される。
図示しないが、駆動・処理部は、駆動部と処理部とを一体に構成したものであり、ヒータ層13を電気により駆動するように接続され、また、感知電極層151を介してガス感応層152のセンサ抵抗値の変化を検出するように接続される。駆動・処理部によりガス検出駆動が行われる。薄膜ガスセンサ10が駆動・処理部を内臓したり、別途外付けするようにしても良い。
薄膜ガスセンサ10の構成はこのようなものである。
SnO2などのn型金属酸化物半導体であるガス感応層152は、空気中にある場合、ガス感応層152の表面に酸素などを活性化吸着する。酸素は電子受容性が強くて負電荷吸着するため、ガス感応層152の表面に吸着酸素(O2−)が吸着保持されるがこの際にガス感応層152内から電子が取り込まれてガス感応層152内の電子密度が減少する。したがって、ガス感応層152は導電率が低下して高抵抗化する。
そして、ガス感応層152が300〜500℃程度に加熱されてCH4,H2,COなどの可燃性ガスの燃焼反応が起こる場合、ガス感応層152の表面の吸着酸素(O2−)が消費され、吸着酸素が捕獲していた電子がガス感応層152内にもどされることにより吸着酸素にトラップされていた電子が自由電子としてガス感応層152に戻されてガス感応層152内の電子密度が増加する。したがって、ガス感応層152は導電率が増大して低抵抗化する。
CH4+4O2−(ad)⇒CO2+2H2O+8e ・・・(1)
2H2+O2−(ad)⇒H2O+2e ・・・(2)
CO+O2−(ad)⇒CO2+2e ・・・(3)
そこでガス検出層15は、SnO2層であるガス感応層152の表面全体を、触媒担持Al2O3焼結材で構成されたガス選択燃焼層153が覆う構造としている。
このガス選択燃焼層153は、検出対象ガスよりも酸化活性の強いガスを燃焼させるため、ガス検出層15におけるある特定のガスのみの感度を向上させる機能を有している。さらにそのガス検出層15の大きさや膜厚、Si基板11のダイヤフラム径との比なども工夫されている。これにより、ある特定のガス選択性がさらに高められ、消費電力の低減化が可能となっている。
このようなHigh−Low−Off方式は、CO感度および選択性が高くなる方式として知られている。
以上説明したように各種の低消費対策が施されている。
またガス感応層(SnO2層)152においてもSnSO4 の一部残留により活性点の被覆、変質などが起こり、ガス感応層(SnO2層)152内における自由電子の数が変化したり、CH4の検知特性が低下する。上記ガス選択燃焼層153、ガス感応層(SnO2層)152の変化によりガス種に対する選択性、SnO2の抵抗値、CH4の検知特性などが変動し、誤検出、特性劣化などを引き起こす。
また、流入口211の下流に設けられた活性炭フィルタ30は、雑ガスのうちシリコーンのような有害ガスやSO2という酸性ガスを吸着除去している。家庭用途の可燃性ガス検出装置100の使用環境ではSO2濃度は0.04ppm〜1.0ppm程度の低濃度であることが知られており、一般的な活性炭フィルタ30にて吸着除去させていた。
さらにまた、特許文献2(特開2003−254928号公報,発明の名称:ガスセンサ保護用フィルタおよびガスセンサ)には、長期に亘り、SO2ガスが共存する大気中でも誤検出が防止され、特性劣化の無い経時安定性の良い間欠駆動型ガスセンサが開示されている。
しかしながら活性炭フィルタ30のSO2の吸着力は充分ではなく、SO2の一部は活性炭フィルタ30を通過して拡散して薄膜ガスセンサ10まで到達することが本発明者の研究により知見された。このため、薄膜ガスセンサ10のガス選択燃焼層153、更にはガス感応層(SnO2層)152の活性点にSO2が物理吸着・化学吸着してしまい、誤検出の原因となるおそれがあった。
検出対象ガスが導入される流入口、および、この流入口下流側にあって流入口と連通する検出空間を有するケース体と、
検出空間内に配置され、上流側にある流入口を通過した検出対象ガスのうち、酸性ガスを吸着する無機化合物、ならびに、雑ガスおよび酸性ガスを吸着する活性炭、をともに含むフィルタと、
検出空間内であってフィルタの下流側に配置され、所定の時間間隔でパルス通電を行ってオンとオフを繰り返す間欠駆動がなされて、フィルタにより酸性ガスおよび雑ガスが吸着された残りの検出対象ガスのうち可燃性ガスに感応して検出信号を出力する薄膜ガスセンサと、
を備えることを特徴とする。
請求項1に記載の可燃性ガス検出装置において、
前記フィルタは、
検出空間内であって流入口の下流に配置され、流入口を通過した検出対象ガスのうち酸性ガスを吸着する無機化合物を主体とする無機化合物フィルタと、
検出空間内であって無機化合物フィルタの下流に配置され、無機化合物フィルタを通過した検出対象ガスのうち雑ガスおよび酸性ガスを吸着する活性炭を主体とする活性炭フィルタと、
を備えることを特徴とする。
請求項1に記載の可燃性ガス検出装置において、
前記フィルタは、
検出空間内であって流入口の下流に配置され、流入口を通過した検出対象ガスのうち雑ガスおよび酸性ガスを吸着する活性炭を主体とする活性炭フィルタと、
検出空間内であって活性炭フィルタの下流に配置され、活性炭フィルタを通過した検出対象ガスのうち酸性ガスを吸着する無機化合物を主体とする無機化合物フィルタと、
を備えることを特徴とする。
請求項1に記載の可燃性ガス検出装置において、
前記フィルタは、
検出空間内であって流入口の下流に配置され、流入口を通過した検出対象ガスのうち酸性ガスを吸着する無機化合物を主体とする上側の無機化合物フィルタと、
検出空間内であって上側の無機化合物フィルタの下流に配置され、上側の無機化合物フィルタを通過した検出対象ガスのうち雑ガスおよび酸性ガスを吸着する活性炭を主体とする活性炭フィルタと、
検出空間内であって活性炭フィルタの下流に配置され、活性炭フィルタを通過した検出対象ガスのうち酸性ガスを吸着する無機化合物を主体とする下側の無機化合物フィルタと、
を備えることを特徴とする。
請求項1に記載の可燃性ガス検出装置において、
前記フィルタは、
検出空間内であって流入口の下流に配置され、流入口を通過した検出対象ガスのうち雑ガスおよび酸性ガスを吸着する活性炭を主体とする上側の活性炭フィルタと、
検出空間内であって上側の活性炭フィルタの下流に配置され、上側の活性炭フィルタを通過した検出対象ガスのうち酸性ガスを吸着する無機化合物を主体とする無機化合物フィルタと、
検出空間内であって無機化合物フィルタの下流に配置され、無機化合物フィルタを通過した検出対象ガスのうち雑ガスおよび酸性ガスを吸着する活性炭を主体とする下側の活性炭フィルタと、
を備えることを特徴とする。
請求項2〜請求項5の何れか一項に記載の可燃性ガス検出装置において、
前記無機化合物フィルタは、その厚みを1mm〜3mmとすることを特徴とする。
請求項1に記載の可燃性ガス検出装置において、
前記フィルタは、
雑ガスおよび酸性ガスを吸着する粒状の活性炭と、酸性ガスを吸着する粒状の無機化合物と、を混合したフィルタであることを特徴とする。
請求項1〜請求項7の何れか一項に記載の可燃性ガス検出装置において、
前記無機化合物は、固体塩基性無機化合物であることを特徴とする。
請求項8に記載の可燃性ガス検出装置において、
前記固体塩基性無機化合物は、CaO,MgO,ZnOの何れかによる酸化物であることを特徴とする。
請求項1〜請求項7の何れか一項に記載の可燃性ガス検出装置において、
前記無機化合物は、炭酸塩であることを特徴とする。
請求項10に記載の可燃性ガス検出装置において、
前記炭酸塩は、K2CO3,Na2CO3,CaCO3,BaCO3,SrCO3のいずれかによる塩であることを特徴とする。
先に説明した従来技術の可燃性ガス検出装置100と比較すると、無機化合物フィルタ60が追加され、活性炭フィルタ30と無機化合物フィルタ60とで本発明の具体例であるフィルタを構成している点が相違する。
薄膜ガスセンサ10は、先に図6を用いて説明した薄膜ガスセンサ10の構造と同じであり重複する説明を省略する。
キャップ21は、円筒体の一方の開口部に、網状の板である流入口211が天井部として取り付けられた部材である。
ステム22は、段付き円板である。ステム22の上段部にキャップ21の他方の開口部が嵌め込まれて固着され、検出空間212が内部に形成されたケース体20となる。検出空間212内には活性炭フィルタ30および無機化合物フィルタ60を配置する空間の仕切となる通過口213が設けられている。この通過口213も網状の板により形成されており、キャップ21内で固着されている。流入口211や通過口213は、例えばステンレス製のネットなどを用いても良い。
塩基性物質であるCao,MgO,ZnOの酸化物は酸性ガスであるSO2と容易に反応し、それぞれ以下の反応式で硫酸塩を生成する(上記物質に吸着される)。
MgO+SO2+1/2O2⇒MgSO4
ZnO+SO2+1/2O2⇒ZnSO4
SO2の吸着をK2CO3の例で説明する。K2CO3はSO2と以下の反応によりK2SO4を生成しSO2を固定化する(反応からK2CO3はSO2の吸着剤ではなく吸収剤といったほうが正確である)。
CaCO3+SO2+1/2O2⇒CaSO4+CO2
BaCO3+SO2+1/2O2⇒BaSO4+CO2
SrCO3+SO2+1/2O2⇒SrSO4+CO2
また円板状であってハニカム状担体などの圧損の少ない担体に、固体塩基性無機化合物粉末にシリカゾルのような無機バインダーを混合したペーストをコーティングして形成したフィルタとしても良い。
まず、板状のシリコンウェハー(図示せず)の表裏両面に膜厚0.3μmの熱酸化膜を形成する。そして一方の熱酸化膜には、更に膜厚0.15μmのSiNと膜厚1μmのSiO2膜を順次プラズマDVD法にてそれぞれ形成する。熱絶縁支持層12はこれら熱酸化膜、SiNおよびSiO2膜を三層にわたり積層したものである。この熱絶縁支持層12が、図6からも明らかなように、ダイアフラム構造の支持層となる。
この一対の感知電極層151の形成方法であるが、まず、レジストで全面を覆った後に、微細加工で接合層および感知電極層151を形成する二カ所の部分のみレジストを除去する。これにより、二カ所の開口部以外をレジストで被覆したパターンを形成する。続いて接合層および感知電極層の成膜は、RFマグネトロンスパッタリング装置を用い、通常のスパッタリング法によって行う。成膜条件は接合層(Ta)、感知電極層(Pt)、ともに同じで、成膜温度は100℃、成膜パワー100W、成膜厚力1Paである。膜厚は接合層となるTaが0.05μm、感知電極層となるPtが0.2μmとなる。このように所定厚みとなるようにスパッタで成膜した後、レジストを除去と同時に不要部分(レジスト上)に付着したTaやPtを除去するレジストリフトオフ方で行う。最終的に、膜厚が0.05μmの接合層、およびこの接合層の上に膜厚が0.2μmの感知電極層151が形成される。これらは一対形成される。
このガス感応層152の形成方法であるが、まず、レジストで全面を覆った後に、微細加工でガス感応層152を成膜する部分のみレジストを除去する。これにより、開口部以外をレジストで被覆したパターンを形成する。この開口部のサイズは、例えば100μm□となる。
所定厚みとなるようにSnO2薄膜をスパッタで成膜した後、レジストを除去と同時に不要部分(レジスト上)に付着したSnO2薄膜を除去するレジストリフトオフ方で行う。0.5μm厚みのSnO2薄膜を成膜後、レジストをリフトオフする。このようにして形成されたガス感応層152の大きさは、100μm□程度、厚さは0.5μmとなる。
薄膜ガスセンサ10の製造方法はこのようなものである。
さらに、上記の80メッシュ〜30メッシュ間に整粒されたK2CO3粉末+シリカゾル混合物を活性炭フィルタ30の上部に敷き詰めて無機化合物フィルタ60を形成する。そして、無機化合物フィルタ60の上側に100メッシュのSUSネットたる流入口211を配置して開口部に固定する。
可燃性ガス検出装置1では、ヒータ層13および感知電極層151は、駆動・処理部と電気的に通信可能に接続される。
無機化合物フィルタ60は、下流にある活性炭フィルタ30と比較すると、より多くのSO2を吸着することができ、活性炭フィルタ30のみでは防ぎきれなかったSO2の薄膜ガスセンサ10ヘの到達を防ぐことが可能となる。このように活性炭と比較してSO2との反応性が高い固体塩基性無機化合物や炭酸塩という無機化合物を併用することでより高い効率でSO2を除去することが可能となる。
従って、無機化合物フィルタ60を通過するSO2の量は、間欠駆動方式でのセンサ加熱時間によりSO2を除去できる程度までの極微量としなければならない。
先に図1を用いて説明した可燃性ガス検出装置1と比較すると、薄膜ガスセンサ10(図6参照)、ケース体20、ワイヤ40、リード端子50は同じであるが、活性炭フィルタ30が流入口側に配置され、無機化合物フィルタ60が活性炭フィルタ30の下流に配置されて本発明の一具体例のフィルタを構成している点が相違する。薄膜ガスセンサ10(図6参照)、ケース体20、ワイヤ40、リード端子50については構成・機能が先に説明した図1の可燃性ガス検出装置1と同じ構成・機能を有するものであり、同じ番号を付すとともに重複する説明を省略する。また、活性炭フィルタ30および無機化合物フィルタ60自体も構成・機能は先に説明した図1の可燃性ガス検出装置1と同じ構成・機能を有するものであり、これら構成・機能について重複する説明を省略する。
先に図1を用いて説明した可燃性ガス検出装置1と比較すると、薄膜ガスセンサ10(図6参照)、ケース体20、ワイヤ40、リード端子50は同じであるが、上側の無機化合物フィルタ60が流入口側に配置され、この上側の無機化合物フィルタ60の下流に中間の活性炭フィルタ30が配置され、この中間の活性炭フィルタ30の下流に下側の無機化合物フィルタ60が順次配置されて本発明の一具体例のフィルタを構成している点が相違する。薄膜ガスセンサ10(図6参照)、ケース体20、ワイヤ40、リード端子50については構成・機能が先に説明した図1の可燃性ガス検出装置1と同じ構成・機能を有するものであり、同じ番号を付すとともに重複する説明を省略する。また、活性炭フィルタ30および無機化合物フィルタ60自体も構成・機能は先に説明した図1の可燃性ガス検出装置1と同じ構成・機能を有するものであり、これら構成・機能について重複する説明を省略する。
先に図1を用いて説明した可燃性ガス検出装置1と比較すると、薄膜ガスセンサ10(図6参照)、ケース体20、ワイヤ40、リード端子50は同じであるが、上側の活性炭フィルタ30が流入口側に配置され、中間の無機化合物フィルタ60が上側の活性炭フィルタ30の下流に配置され、下側の活性炭フィルタ30が中間の無機化合物フィルタ60の下流側に順次配置されて本発明の一具体例のフィルタを構成している点が相違する。薄膜ガスセンサ10(図6参照)、ケース体20、ワイヤ40、リード端子50については構成・機能が先に説明した図1の可燃性ガス検出装置1と同じ構成・機能を有するものであり、同じ番号を付すとともに重複する説明を省略する。また、活性炭フィルタ30および無機化合物フィルタ60自体も構成・機能は先に説明した図1の可燃性ガス検出装置1と同じ構成・機能を有するものであり、これら構成・機能について重複する説明を省略する。
先に図1を用いて説明した可燃性ガス検出装置1と比較すると、薄膜ガスセンサ10(図6参照)、ケース体20、ワイヤ40、リード端子50は同じであるが、活性炭フィルタ30や無機化合物フィルタ60を取り去って、混合フィルタ70を採用して本発明の一具体例のフィルタを構成している点が相違する。薄膜ガスセンサ10(図6参照)、ケース体20、ワイヤ40、リード端子50については構成・機能が先に説明した図1の可燃性ガス検出装置1と同じ構成・機能を有するものであり、同じ番号を付すとともに重複する説明を省略する。
このような可燃性ガス検出装置5を動作させると混合フィルタ70が雑ガスおよび酸性ガスを吸着することになるため、特に粒状の活性炭と粒状の塩基化合物とにより酸性ガスが確実に吸着され、高い応答性を実現した可燃性ガス検出装置5とする。このような可燃性ガス検出装置5としても良い。
この実施例1は、図1を用いて説明した本形態の薄膜ガスセンサ1についての実施例である。
K2CO3粉末+シリカゾル混合物による無機化合物フィルタ60と、活性炭フィルタ30と、の二層からなるフィルタにおいて活性炭フィルタ30は3mm厚に固定して、K2CO3粉末+シリカゾル混合物層による無機化合物フィルタ60の厚みを素子A:0mm、素子B:1mm、素子C:2mm、素子D:3mmとして可燃性ガス検出装置を試作した。なお、素子Aは図9で示す従来技術の可燃性ガス検出装置100に相当する。ここで、無機化合物フィルタ60と、活性炭フィルタ30と、の二層のトータル厚みが>7mmではガス拡散速度が遅く、応答速度が基準を満たさないため除外した。
素子A〜DについてSO2濃度10ppm/空気、周囲温度50℃、相対湿度50%bの試験条件で、耐SO2試験を行った。
SO2ガスが薄膜ガスセンサ10の特性を低下させる真の原因は明確ではないが、CO,H2選択性が消失することからSO2が薄膜ガスセンサ10のガス選択燃焼層153の酸化触媒のPdに吸着し触媒活性を低下させているものと推定される。Rairの低下に関してはPdの触媒活性の低下に加えSnO2の活性点に化学吸着することでSnO2の表面電気伝導性が良くなったものと推定される。
図9で示す可燃性ガス検出装置100のように活性炭フィルタ30のみの場合、上記より明らかなように、CO,H2選択性の低下、Rairが低下し、センサ特性が劣化し誤検出の原因となる。
このように本実施例による可燃性ガス検出装置1は、K2CO3粉末+シリカゾル混合物による無機化合物フィルタ60と活性炭フィルタ30とを組み合わせることで、SO2による特性劣化、誤検出を防止できるものとなっている。また、上記各形態の可燃性ガス検出装置2,3,4,5も同様な効果を奏しうるものとなる。
10:薄膜ガスセンサ
11:Si基板
12:絶縁支持層
13:ヒータ層
14:電気絶縁層
15:ガス検出層
151:感知電極層
152:感知層(SnO2層)
153:ガス選択燃焼層(Pd担持Al2O3焼結材)
20:ケース体
21:キャップ
211:流入口
212:検出空間
213:通過口
22:ステム
30:活性炭フィルタ
40:ワイヤ
50:リード端子
60:無機化合物フィルタ
70:混合フィルタ
Claims (11)
- 検出対象ガスが導入される流入口、および、この流入口下流側にあって流入口と連通する検出空間を有するケース体と、
検出空間内に配置され、上流側にある流入口を通過した検出対象ガスのうち、酸性ガスを吸着する無機化合物、ならびに、雑ガスおよび酸性ガスを吸着する活性炭、をともに含むフィルタと、
検出空間内であってフィルタの下流側に配置され、所定の時間間隔でパルス通電を行ってオンとオフを繰り返す間欠駆動がなされて、フィルタにより酸性ガスおよび雑ガスが吸着された残りの検出対象ガスのうち可燃性ガスに感応して検出信号を出力する薄膜ガスセンサと、
を備えることを特徴とする可燃性ガス検出装置。 - 請求項1に記載の可燃性ガス検出装置において、
前記フィルタは、
検出空間内であって流入口の下流に配置され、流入口を通過した検出対象ガスのうち酸性ガスを吸着する無機化合物を主体とする無機化合物フィルタと、
検出空間内であって無機化合物フィルタの下流に配置され、無機化合物フィルタを通過した検出対象ガスのうち雑ガスおよび酸性ガスを吸着する活性炭を主体とする活性炭フィルタと、
を備えることを特徴とする可燃性ガス検出装置。 - 請求項1に記載の可燃性ガス検出装置において、
前記フィルタは、
検出空間内であって流入口の下流に配置され、流入口を通過した検出対象ガスのうち雑ガスおよび酸性ガスを吸着する活性炭を主体とする活性炭フィルタと、
検出空間内であって活性炭フィルタの下流に配置され、活性炭フィルタを通過した検出対象ガスのうち酸性ガスを吸着する無機化合物を主体とする無機化合物フィルタと、
を備えることを特徴とする可燃性ガス検出装置。 - 請求項1に記載の可燃性ガス検出装置において、
前記フィルタは、
検出空間内であって流入口の下流に配置され、流入口を通過した検出対象ガスのうち酸性ガスを吸着する無機化合物を主体とする上側の無機化合物フィルタと、
検出空間内であって上側の無機化合物フィルタの下流に配置され、上側の無機化合物フィルタを通過した検出対象ガスのうち雑ガスおよび酸性ガスを吸着する活性炭を主体とする活性炭フィルタと、
検出空間内であって活性炭フィルタの下流に配置され、活性炭フィルタを通過した検出対象ガスのうち酸性ガスを吸着する無機化合物を主体とする下側の無機化合物フィルタと、
を備えることを特徴とする可燃性ガス検出装置。 - 請求項1に記載の可燃性ガス検出装置において、
前記フィルタは、
検出空間内であって流入口の下流に配置され、流入口を通過した検出対象ガスのうち雑ガスおよび酸性ガスを吸着する活性炭を主体とする上側の活性炭フィルタと、
検出空間内であって上側の活性炭フィルタの下流に配置され、上側の活性炭フィルタを通過した検出対象ガスのうち酸性ガスを吸着する無機化合物を主体とする無機化合物フィルタと、
検出空間内であって無機化合物フィルタの下流に配置され、無機化合物フィルタを通過した検出対象ガスのうち雑ガスおよび酸性ガスを吸着する活性炭を主体とする下側の活性炭フィルタと、
を備えることを特徴とする可燃性ガス検出装置。 - 請求項2〜請求項5の何れか一項に記載の可燃性ガス検出装置において、
前記無機化合物フィルタは、その厚みを1mm〜3mmとすることを特徴とする可燃性ガス検出装置。 - 請求項1に記載の可燃性ガス検出装置において、
前記フィルタは、
雑ガスおよび酸性ガスを吸着する粒状の活性炭と、酸性ガスを吸着する粒状の無機化合物と、を混合したフィルタであることを特徴とする可燃性ガス検出装置。 - 請求項1〜請求項7の何れか一項に記載の可燃性ガス検出装置において、
前記無機化合物は、固体塩基性無機化合物であることを特徴とする可燃性ガス検出装置。 - 請求項8に記載の可燃性ガス検出装置において、
前記固体塩基性無機化合物は、CaO,MgO,ZnOの何れかによる酸化物であることを特徴とする可燃性ガス検出装置。 - 請求項1〜請求項7の何れか一項に記載の可燃性ガス検出装置において、
前記無機化合物は、炭酸塩であることを特徴とする可燃性ガス検出装置。 - 請求項10に記載の可燃性ガス検出装置において、
前記炭酸塩は、K2CO3,Na2CO3,CaCO3,BaCO3,SrCO3のいずれかによる塩であることを特徴とする可燃性ガス検出装置。
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