JP2009099690A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1導電型の半導体基板が、メイン領域とセンス領域とを備え、メイン領域において、FWD素子がIGBT素子と一体的に形成された半導体装置であって、FWD素子は、半導体基板の第1主面側表層に選択的に形成されたIGBT素子を構成する第2導電型のベース領域と、半導体基板と、半導体基板の第2主面側表層において、IGBT素子を構成する第2導電型のコレクタ領域の形成領域を除く領域に形成された第1導電型のカソード領域とを備えている。そして、センス領域には、半導体基板の第1主面側表層に選択的に形成された第2導電型のアノード領域と半導体基板とを備え、FWD素子に流れる電流に比例した電流が流れるFWD専用センス素子が形成されている。
【選択図】図2
Description
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体装置の概略構成を示す平面図である。図2は、図1のII−II線に沿う断面図である。本実施形態に示される半導体装置は、例えばEHV用インバータモジュールに使われるパワースイッチング素子として用いられる。
次に、本発明の第2実施形態を、図5に基づいて説明する。図5は、第2実施形態に係る半導体装置の概略構成を示す断面図であり、第1実施形態に示した図2に対応している。
次に、本発明の第3実施形態を、図7に基づいて説明する。図7は、第3実施形態に係る半導体装置の概略構成を示す断面図であり、第1実施形態に示した図2に対応している。
10・・・半導体基板
11・・・ベース領域
12・・・ゲート電極
14・・・コレクタ層(コレクタ領域)
15・・・カソード層(カソード領域)
20・・・アノード領域
22・・・カソード層(カソード領域)
30・・・メイン領域
31・・・IGBT素子
32・・・FWD素子(転流ダイオード素子)
50・・・センス領域
51・・・IGBT専用センス素子
52・・・FWD専用センス素子(ダイオード専用センス素子)
Claims (8)
- 第1主面及び第2主面を有する第1導電型の半導体基板が、メイン領域と該メイン領域よりも前記主面の大きさが小さいセンス領域とを備え、前記メイン領域において、ゲート電極に入力される駆動信号によって駆動されるIGBT素子に転流ダイオード素子が内蔵された半導体装置であって、
前記転流ダイオード素子は、前記半導体基板の第1主面側表層に選択的に形成された前記IGBT素子を構成する第2導電型のベース領域と、前記半導体基板と、前記半導体基板の第2主面側表層において、前記IGBT素子を構成する第2導電型のコレクタ領域の形成領域を除く領域に形成された第1導電型のカソード領域とを備え、
前記センス領域には、前記半導体基板の第1主面側表層に選択的に形成された第2導電型のアノード領域と、前記半導体基板とを備え、前記転流ダイオード素子に流れる電流に比例した電流が流れるダイオード専用センス素子が形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記ダイオード専用センス素子は、前記センス領域において、前記半導体基板の第2主面側表層に選択的に形成された第1導電型のカソード領域を備え、
前記カソード領域は、前記半導体基板の厚さ方向に垂直な方向において、前記ベース領域とは間をあけて形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記ダイオード専用センス素子のカソード領域は、前記アノード領域の直下に形成されていることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記転流ダイオード素子のカソード領域が、前記ダイオード専用センス素子のカソード領域とされていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記ゲート電極は、前記第1主面より前記ベース領域を貫通し、底面が前記半導体基板に達するトレンチに、絶縁膜を介して導電材料が配置されてなり、
前記ダイオード専用センス素子は、前記第1主面より前記アノード領域を貫通し、底面が前記半導体基板に達するトレンチ内に絶縁膜を介して導電材料が配置され、接地されたダミーゲート電極をさらに備えることを特徴とする請求項2〜4いずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記センス領域には、前記半導体基板の第1主面側表層に選択的に形成された第2導電型のベース領域と、前記第1主面より前記ベース領域を貫通し、底面が前記半導体基板に達するトレンチに絶縁膜を介して導電材料が配置されたゲート電極と、前記トレンチの側面部位に隣接し、前記ベース領域内の第1主面側表層に選択的に形成された第1導電型のエミッタ領域と、前記半導体基板の第2主面側に選択的に形成された第2導電型のコレクタ領域とを備え、前記IGBT素子に流れる電流に比例した電流が流れるIGBT専用センス素子が形成されていることを特徴とする請求項2〜5いずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記ダイオード専用センス素子のカソード領域は、前記半導体基板の厚さ方向に垂直な方向において、前記IGBT専用センス素子のベース領域とは間をあけて形成されていることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。
- 前記センス領域には、前記半導体基板の第1主面側表層に選択的に形成された第2導電型のベース領域と、該ベース領域の中央部において前記第1主面より前記ベース領域を貫通し、底面が前記半導体基板に達するトレンチに絶縁膜を介して導電材料が配置されたゲート電極と、前記トレンチの側面部位に隣接し、前記ベース領域内の第1主面側表層に選択的に形成された第1導電型のエミッタ領域と、前記半導体基板の第2主面側に選択的に形成された第2導電型のコレクタ領域とを備え、前記IGBT素子に流れる電流に比例した電流が流れるIGBT専用センス素子が形成され、
前記ベース領域における前記中央部よりも外周側の周辺部が、前記ダイオード専用センス素子のアノード領域とされ、前記ダイオード専用センス素子のカソード領域は、前記半導体基板の厚さ方向に垂直な方向において、前記ベース領域とは間をあけて形成されていることを特徴とする請求項2又は請求項4に記載の半導体装置。
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