JP2009094293A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】通電効率を低下させることなく、ヒートサイクルに起因する接合層の剥離・亀裂の発生を抑制できる半導体装置を提供すること。
【解決手段】半導体素子27と配線基板25とを電気的に接続した接合層26を有する半導体装置において、配線基板25は、半導体素子27を収納可能な凹形状部25aを有し、半導体素子27は、凹形状部25aの内底上に、接合層26を介して積層され、接合層26は、所定温度以上、最高使用温度以下で塑性変形可能な導電性材料で形成される。
【選択図】図1
【解決手段】半導体素子27と配線基板25とを電気的に接続した接合層26を有する半導体装置において、配線基板25は、半導体素子27を収納可能な凹形状部25aを有し、半導体素子27は、凹形状部25aの内底上に、接合層26を介して積層され、接合層26は、所定温度以上、最高使用温度以下で塑性変形可能な導電性材料で形成される。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体素子と配線基板とを電気的に接続した接合層を有する半導体装置に関する。
図2は、従来の半導体装置の構成の一例を示した断面図である。この半導体装置は、パワー半導体モジュールであり、放熱板1上に、半田層3a、絶縁基板2、半田層3b、パワー半導体素子4、半田層3c、配線基板(第2電極)5を積層した構造を有する。
このように、半導体素子4と配線基板5とを電気的に接続した接合層3cを有する半導体装置では、半導体素子4に電流が流れ、熱が発生するので、半導体素子4と配線基板5との熱膨張差に起因する熱応力が、接合層3cに作用する。ヒートサイクルにより、熱応力が繰り返し発生すると、接合層3cに剥離・亀裂が発生し、放熱が妨げられ、半導体素子4が熱破壊に至る恐れがある。
そこで、従来から、このような接合層3cの剥離・亀裂の発生を抑制できる半導体装置として、図2に示すように、配線基板5の半導体素子4と接する側の面5aの一部に設けられ、且つ接合層3cを内部に充填するための凹形状部5bと、面5aの残部に設けられ、凹形状部5bを取り囲み、且つ半導体素子4に固定される緩衝部6とを有する半導体装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
上記従来の構成の半導体装置は、接合層3cの周囲を緩衝部6で拘束することにより、接合層3cの端部の塑性変形を抑制することができ、ヒートサイクルに起因する接合層3cの剥離・亀裂の発生を抑制することができ、接合層3cの耐久性を向上することができる。
特開2004−71746号公報
しかしながら、上記従来の構成の半導体装置では、接合層3cの周囲を緩衝部6で拘束するため、緩衝部6の設置面積の分だけ、接合層3cの設置面積が小さくなり、接合層3cと半導体素子4との通電領域が小さくなる。このため、通電効率が低下する。
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであって、通電効率を低下させることなく、ヒートサイクルに起因する接合層の剥離・亀裂の発生を抑制できる半導体装置を提供することを目的とする。
前記目的を達成するため、第1の発明は、半導体素子と配線基板とを電気的に接続した接合層を有する半導体装置において、
前記配線基板は、前記半導体素子を収納可能な凹形状部を有し、
前記半導体素子は、前記凹形状部の内底上に、前記接合層を介して積層され、
前記接合層は、所定温度以上、最高使用温度以下で塑性変形可能な導電性材料で形成される。
前記配線基板は、前記半導体素子を収納可能な凹形状部を有し、
前記半導体素子は、前記凹形状部の内底上に、前記接合層を介して積層され、
前記接合層は、所定温度以上、最高使用温度以下で塑性変形可能な導電性材料で形成される。
また、第2の発明は、第1の発明の半導体装置であって、前記導電性材料は、前記最高使用温度より固相線温度若しくは融点の低い金属、又は熱可塑性の導電性プラスチックである。
本発明によれば、接合層を所定温度以上、最高使用温度以下で塑性変形可能な導電性材料で形成することにより、接合層の温度が所定値以上に上昇すると、接合層の塑性変形により、半導体素子と配線基板との熱膨張差に起因する熱応力を緩和することができる。また、本発明によれば、上記従来の構成の緩衝部を用いないので、接合層と半導体素子との通電領域を維持することができ、通電効率を維持することができる。これらのため、通電効率を低下させることなく、ヒートサイクルによる接合層の剥離・亀裂を抑制することができる。
以下、図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態の説明を行う。
図1は、本発明の半導体装置の構成の一実施例を示した図で、(a)は平面図、(b)は(a)のA−Aに沿った断面図である。本実施例の半導体装置は、所謂パワーモジュールであり、図1に示すように、冷却器21上に、半田層22、放熱板23、絶縁基板24、配線基板25、接合層26、半導体素子27を積層して構成されている。
半導体素子27は、IGBT、パワーMOSFET等のパワー半導体素子である。半導体素子27は、IGBTの場合、図1に示すように、下面27aにコレクタ電極31を備え、上面27bにエミッタ電極32、及びゲート電極33を備える。
コレクタ電極31は、半導体素子27の下面27aの全面にアルミニウムや金等の導電性材料を積層して形成され、接合層26、配線基板25を介して、半導体装置の外部端子(図示せず)へ電気的に接続されている。
エミッタ電極32及びゲート電極33は、半導体素子の上面27bの互いに隔離された領域に、アルミニウム等の導電性材料を積層して形成され、それぞれボンディングワイヤ34a、34bを介して、半導体装置の外部端子(図示せず)へ電気的に接続されている。
半導体素子27は、ゲート電極33の電圧を制御することで、コレクタ電極31からエミッタ電極32へ流れる電流のオン、オフを制御することができる。このとき、半導体素子27には大電流が流れるので、半導体素子27自身が発熱する。そこで、半導体素子27で発生した熱を冷却するための冷却器21が設置されている。
冷却器21は、軽量かつ高熱伝導のアルミニウムで形成され、内部に水冷用の水冷溝21aを有する。水冷溝21aに冷却水を流すことで、半導体素子27の過熱を防止し、半導体素子27の熱破壊を防止することができる。この冷却器21上には、半田層22を介して、放熱板23を被覆した絶縁基板24が接合されている。
放熱板23は、銅、アルミニウム等の高熱伝導の金属板で形成され、絶縁基板24の下面24aに融着により直接取り付けられている。絶縁基板24に金属板を被覆することにより、半田付け性を改善することができ、緻密な半田層22を形成することができる。
絶縁基板24は、窒化アルミニウム、窒化珪素等の高熱伝導のセラミックスで形成される。絶縁基板24上には、配線基板25が形成されている。
配線基板25は、銅、アルミニウム等の高熱伝導の金属で形成され、絶縁基板24の上面24bに融着により直接取り付けられている。尚、配線基板25は、所定形状に加工されたものであって良い。配線基板25の加工は、例えば、配線基板25の上面に所定形状のマスクパターンを被せ、露出部をエッチングして行われる。
また、配線基板25は、その特徴的な構成として、半導体素子27を収納可能な凹形状部25aを備える。この凹形状部25aは、配線基板25に、凹形状部25aと略同一形状の開口部を有するマスクを被せ、エッチングして形成される。
凹形状部25aの開口寸法は、半導体素子27の熱膨張を妨げないよう、半導体素子27の外形寸法より若干大きく設定されて良い。
また、凹形状部25aの深さ方向寸法は、凹形状部25a内に後述の接合層26を充填できるよう、十分大きく設定される。このように設定することにより、溶融した接合層26の流出を防止することができる。この凹形状部25aの内底上には、接合層26を介して、半導体素子27が接合されている。
接合層26は、その特徴的な構成として、所定温度以上、最高使用温度以下で塑性変形可能な導電性材料で形成される。ここで、最高使用温度とは、半導体装置を実際に使用した場合の接合層26の最高温度を意味する。最高使用温度は、車載用半導体装置の場合、車内の設置場所にもよるが、太陽光の照射熱、他の車載部品の発熱等により、70℃以上に達することがある。
接合層26を形成する導電性材料には、最高使用温度より固相線温度又は融点の低い金属を用いることができる。このような金属としては、例えば、In−33Bi−16Sn合金(融点60℃)、Bi−25Pb−25Sn合金(融点93℃)、In−48Sn合金(融点117℃)、Sn−48In合金(固相線温度117℃、液相線温度131℃)、Bi−42Sn合金(融点139℃)、Sn−20Bi合金(固相線温度144℃、液相線温度208℃)、In(融点157℃)等が挙げられる。尚、合金の化学組成は、全て重量%で表示している(以下、同じ)。
例えば、最高使用温度が120℃の場合、接合層26を形成する導電性材料には、120℃で全部溶融するIn−48Sn合金、又は120℃で一部溶融するSn−48In合金を用いることができる。
接合層26の少なくとも一部が溶融すると、接合層26は粘性流動でき、塑性変形できる。このため、接合層26に熱応力が作用しても、接合層26の塑性変形により、熱応力が緩和されるので、ヒートサイクルによる接合層26の剥離・亀裂を抑制することができる。
また、接合層26の一部又は全部が溶融していない場合であっても、使用温度が固相線温度又は融点付近まで上昇すると、接合層26を形成する金属の降伏点が下がるので、接合層26は塑性変形し易くなる。このため、接合層26に降伏点より大きな熱応力が作用しようとすると、接合層26の塑性変形により、熱応力を緩和することができるので、ヒートサイクルによる接合層26の剥離・亀裂を抑制することができる。
また、本実施例の半導体装置は、上記従来の構成の緩衝部を用いないので、接合層26と半導体素子27との通電領域を維持することができ、通電効率を維持することができる。
尚、本実施例の半導体装置では、接合層26が溶融した場合であっても、半導体素子27の密度(例えば、Siの場合、約2.3g/cm3)は接合層26の密度(Sn−48Inの場合、約7g/cm3)より十分軽いため、半導体素子27が接合層26上に浮いた状態になる。つまり、溶融した接合層26へ半導体素子27が沈み込むことはなく、半導体素子27上のコレクタ電極31、エミッタ電極32、及びゲート電極33が電気的に短絡することはない。また、この状態であっても、半導体素子27の移動可能な範囲は、凹形状部25a内に限定されるので、半導体素子27が配線基板25から離脱することはない。
また、接合層26を形成する導電性材料には、最高使用温度より固相線温度又は融点の低い金属の代わりに、最高使用温度より軟化点の低い導電性プラスチックを用いても良い。この導電性プラスチックは、例えば、カーボンナノチューブ等の炭素系粒子、白金等の金属粒子等の導電性フィラーと、既知の熱可塑性樹脂と、既知の感圧接着剤とから構成される。この場合、接合層26は、凹形状部25aの内底上に、導電性フィラー、熱可塑性樹脂、及び感圧接着剤を溶剤に分散した分散液をディスペンサーで塗布、乾燥して形成される。
熱可塑性の導電性プラスチックは、温度が軟化点より高くなると、塑性変形し易くなる。このため、接合層26の温度が所定値以上に上昇すると、接合層26の塑性変形により、半導体素子27と配線基板25との熱膨張差に起因する熱応力を緩和することができ、ヒートサイクルによる接合層26の剥離・亀裂を抑制することができる。
このように、本実施例の半導体装置は、上記従来の緩衝部を用いることなく、接合層を接合層の温度が所定値以上に上昇すると、接合層の塑性変形により、半導体素子27と配線基板25との熱膨張差に起因する熱応力を緩和することができる。また、本発明によれば、上記従来の構成の緩衝部を用いないので、接合層26と半導体素子27との通電領域を維持することができ、通電効率を維持することができる。これらのため、通電効率を低下させることなく、ヒートサイクルによる接合層の剥離・亀裂を抑制することができる。
以上、本発明の好ましい実施例について詳説したが、本発明は、上述した実施例に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施例に種々の変形及び置換を加えることができる。
例えば、本実施例では、放熱板23と冷却器21とを半田層22で金属接合したが、半田の代わりに、樹脂系接着剤で接合してもよい。この場合、絶縁基板24に放熱板23を被覆することなく、絶縁基板24と冷却器21とを直接接合してもよい。
また、本実施例では、配線基板25上に1個の半導体素子27を配置したが、複数個の半導体素子27を配置して良い。
25 配線基板
25a 凹形状部
26 接合層
27 半導体素子
25a 凹形状部
26 接合層
27 半導体素子
Claims (2)
- 半導体素子と配線基板とを電気的に接続した接合層を有する半導体装置において、
前記配線基板は、前記半導体素子を収納可能な凹形状部を有し、
前記半導体素子は、前記凹形状部の内底上に、前記接合層を介して積層され、
前記接合層は、所定温度以上、最高使用温度以下で塑性変形可能な導電性材料で形成される半導体装置。 - 前記導電性材料は、前記最高使用温度より固相線温度若しくは融点の低い金属、又は前記最高使用温度より軟化点の低い導電性プラスチックである半導体装置。
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