JP2009091168A5 - - Google Patents
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Claims (10)
- シリコン基体にフッ化水素酸溶液と硝酸との第１の混合溶液を作用させる工程と、
前記第１の混合溶液を作用させたシリコン基体に、フッ化水素酸溶液と硝酸と水との第２の混合溶液を作用させる工程と、
前記第２の混合溶液を作用させたシリコン基体を、さらにフッ化水素酸と水との第３の混合溶液の蒸気にさらす工程と
を含むことを特徴とする蛍光性シリコンナノ粒子の製造方法。 - シリコン基体にフッ化水素酸溶液と硝酸との第１の混合溶液を作用させる工程と、
前記第１の混合溶液を作用させたシリコン基体に、フッ化水素酸溶液と硝酸と水との第２の混合溶液を作用させる工程と、
前記第２の混合溶液を作用させたシリコン基体を、さらにフッ化水素酸溶液と水との第３の混合溶液に浸す工程と
を含むことを特徴とする蛍光性シリコンナノ粒子の製造方法。 - 前記第１の混合溶液の前記フッ化水素酸溶液と前記硝酸との混合比は、体積比で２：１〜１：２の範囲であることを特徴とする請求項１または２に記載の蛍光性ナノシリコン粒子の製造方法。
- 前記シリコン基体を前記第１の混合溶液に作用させる際、前記第１の混合溶液に前記シリコン基体の一部を浸すことを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載の蛍光性シリコンナノ粒子の製造方法。
- 前記第２の混合溶液のフッ化水素酸溶液と硝酸と水の混合比は、体積比でフッ化水素酸溶液：硝酸＝１：１〜１：５の範囲であり、フッ化水素酸溶液：水＝１：３〜１：５の範囲であることを特徴とする請求項１から４の何れか一項に記載の蛍光性ナノシリコン粒子の製造方法。
- 前記第３の混合溶液のフッ化水素酸溶液は、フッ化水素の含有量が５〜４６％であることを特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載の蛍光性ナノシリコン粒子の製造方法。
- 前記第３の混合溶液を作用させ、蛍光シリコンナノ粒子が生成したシリコン基体をアリル化剤により表面修飾する工程を含むことを特徴とする請求項１から６の何れか一項に記載の蛍光性シリコンナノ粒子の製造方法。
- 前記第３の混合溶液による作用が終了したシリコン基体を液体中に浸し、さらに前記液体による超音波処理を行うことで前記シリコン基体の表面上からシリコンナノ粒子を分離する工程を有することを特徴とする請求項１から７の何れか一項に記載の蛍光性ナノシリコン粒子の製造方法。
- 分離された前記蛍光性シリコンナノ粒子をアリル化剤により表面修飾する工程を含むことを特徴とする請求項８に記載の蛍光性シリコンナノ粒子の製造方法。
- 請求項１から９の何れか一項に記載の蛍光性シリコンナノ粒子の製造方法で製造された蛍光性シリコンナノ粒子。
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