JP2009074931A - 二次元座標測定機 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定物を載置するテーブル(21)と、測定物上の測定点を検出する検出器(18)と、検出器を軸方向に移動可能に支持するX軸フレーム(14)と、X軸フレームの両端にそれぞれ設けられたY軸移動用のサーボモータと、検出器及びX軸フレームの動作を制御するとともに測定点の位置を算出する演算制御部とを備えた二次元座標測定機において、テーブルの4隅にはそれぞれマーク(M1、M2、M3、M4)が付されており、演算制御部は、設置調整直後のマークと、サーボモータをサーボロックした直後のマークの座標を算出して、X軸フレームのヨーイング角(δ)を算出し、このヨーイング角を用いて測定座標の補正を行う。
【選択図】 図3
Description
まず、図3〜図5を参照して、本発明の第1の実施例に係る二次元座標測定機について説明する。図3は、この二次元座標測定機の平面図である。図4は、前記二次元座標測定機のテーブルに付されたマークを説明する図である。図5は、前記二次元座標測定機の原理を説明する図である。
18 検出部
21 テーブル
38 十字線
M1、M2、M3、M4 マーク
P1、P2、P3、P4 設置調整直後のマークM1、M2、M3、M4の座標
Q1、Q2、Q3、Q4 Y軸移動用サーボモータのサーボロック直後のマークM1、M2、M3、M4の座標
X X軸
Y Y軸
α1 設置調整直後のX軸と座標P1、P2を結ぶ直線のなす角
α2 設置調整直後のX軸と座標P3、P4を結ぶ直線のなす角
α α1とα2の平均
β1 Y軸移動用サーボモータのサーボロック直後のX軸と座標Q1、Q2を結ぶ直線のなす角
β2 Y軸移動用サーボモータのサーボロック直後のX軸と座標Q3、Q4を結ぶ直線のなす角
β β1とβ2の平均
δ ヨーイング角
Claims (3)
- 測定物を載置するテーブルと、前記測定物上の測定点を検出する検出器と、該検出器を軸方向に移動可能に支持するX軸フレームと、該X軸フレームをY軸方向に移動させるため前記X軸フレームの両端にそれぞれ設けられたサーボモータと、前記検出器及び前記X軸フレームの動作を制御するとともに前記測定点の位置を算出する演算制御部とを備えた二次元座標測定機において、
前記テーブルには少なくとも2つのマークが付されており、
前記演算制御部は、前記二次元座標測定機を設置調整直後に前記マークの座標を算出して記憶しておき、前記サーボモータをサーボロックした直後にも前記マークの座標を算出して記憶しておき、測定物の測定点の座標を算出する際には、少なくとも2つのマークの座標の前記設置調整直後と前記サーボロック直後の変化から、X軸フレームの真のX軸方向からのヨーイング角を算出し、該ヨーイング角を用いて測定座標の補正を行うことを特徴とする二次元座標測定機。 - 前記テーブルの4隅には、それぞれマークM1、M2、M3、M4が付されており、
前記演算制御部は、測定物の測定点の座標を算出する際には、前記設置調整直後における2つのマークM1、M2の座標P1、P2を通る直線のX軸となす角α1と、前記設置調整後における別の2つのマークM3、M4の座標P3、P4を通る直線のX軸とからなす角α2と、前記角α1とα2の平均αと、前記サーボロック直後における2つのマークM1、M2の座標Q1、Q2を通る直線のX軸となす角β1と、前記サーボロック直後における別の2つのマークM3、M4の座標Q3、Q4を通る直線のX軸となす角β2と、前記角β1とβ2の平均βと、X軸フレームの真のX軸方向からのヨーイング角β−αを順次算出し、該ヨーイング角β−αを用いて測定座標の補正をすることを特徴とする請求項1に記載の二次元座標測定機。 - 前記各マークは、大小2つの十字線からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の二次元座標測定機。
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