JP2004327922A - 加工位置補正方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基準マークが長方形状や正方形状に配置されていない場合でも加工位置補正を可能とする。
【解決手段】加工位置Xの座標と少なくとも4点A1、A2、A3、A4の基準マーク位置座標とにより、加工位置座標の少なくとも2方向A1A2、A1A3の内分比又は外分比p、qを求め、該内分比又は外分比p、qに基づいて、計測された基準マーク位置座標A1´、A2´、A3´、A4´に対する実加工位置座標X´を決定する。
【選択図】 図8
【解決手段】加工位置Xの座標と少なくとも4点A1、A2、A3、A4の基準マーク位置座標とにより、加工位置座標の少なくとも2方向A1A2、A1A3の内分比又は外分比p、qを求め、該内分比又は外分比p、qに基づいて、計測された基準マーク位置座標A1´、A2´、A3´、A4´に対する実加工位置座標X´を決定する。
【選択図】 図8
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、加工機にセットされた加工対象物(ワークと称する)上に形成された基準マーク位置を計測して、予め決められた加工位置座標の補正を行なう加工位置補正方法に係り、特に、レーザ穴あけ機のようなレーザ加工機でワークの位置合わせを行なう際に用いるのに好適な、基準マークを長方形状や正方形状に配置できない場合であっても、加工位置を正確に決定することが可能な、加工位置補正方法、該加工位置補正方法を用いた加工方法、前記加工位置補正方法又は加工方法を実施するためのコンピュータプログラム、及び、該コンピュータプログラムが記録された、コンピュータ読取り可能な記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】
レーザビームを用いて、プリント配線基板等のワークに穴あけを行なうレーザ穴あけ機等のレーザ加工機においては、図1に示す如く、例えば吸着プレート等のプリント基板保持装置10によりXYステージ12上にセットされたプリント基板8の位置を検出し、且つ、回転や伸縮補正を行なって、各座標の穴位置を補正して穴あけする必要がある。
【0003】
即ち、プリント基板8の切断精度や転写精度が十分高く、熱歪も問題にならない場合は、図2に示す如く、プリント基板保持装置10にプリント基板8をセットする際に、アライナ(図示省略)で、矢印X、Yに示す如く、プリント基板8をプリント基板保持装置10の基準面10X、10Yに押し付け、アライメントを行なえば十分である。
【0004】
しかしながら、前工程である熱処理によってプリント基板8が熱影響を受けることで伸縮が発生する。あるいは露光器の精度によっても回転や歪みが生じる。更に、最近では、プリント基板の更なる高密度化が進み、穴あけ位置精度に高精度が求められるようになり、プリント基板8内の精度が悪い場合には、これだけでは不十分である。
【0005】
そこで、図3に示す如く、プリント基板8の例えば4隅にアライメント用の基準マーク8Sを設けると共に、図1に示した如く、レーザ発振器20により発振され、光学系22及び反射ミラー24を経てきたレーザビームを、プリント基板8の表面に対して走査して、加工ビーム28として照射するためのガルバノスキャナユニット26の近傍に、カメラ30等の画像処理装置を設けて、図4に例示する如く、前記基準マーク8Sを検出し、その位置とステージ位置の関係から回転や伸縮を行なって、加工に先立ち、予め決められた穴位置座標を補正している。
【0006】
図4において、8Hは加工対象穴(以下、単に加工穴とも称する)、32は、必要に応じて設けられる照明装置である。
【0007】
具体的には、基準マーク8Sを1点使用する場合には、加工位置をオフセット補正し、2点使用する場合には、オフセットと回転補正(2点を結ぶ線とステージ軸から回転角を計測)し、4点使用する場合には、オフセット、回転及びスケーリング補正(四角形の各対辺の伸縮の平均を考慮して基板の伸縮を補正)等がある。又、特許文献1には、基準マーク8Sが長方形状に配置されている場合を想定して加工位置を補正することが記載されている。
【0008】
【特許文献1】
特開2002−239877号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記1、2、4点の補正方法は、高精度の位置決めには補正が不十分である。又、特許文献1は、基準マーク8Sが長方形状に配置されている場合を想定しているが、プリント基板8の形状が、図5に例示するような、長方形以外の特殊な形状であったり、あるいは、ワークの歪みの影響を小さくするため、出願人が特願2003−82224で提案したように、図6に示す如く、ワーク上の加工位置を複数のブロック9に分け、各ブロック9毎に基準マーク(ローカル基準マークとも称する)9Sを形成した場合、図7に例示する如く、配線パターン8A等が邪魔になって、基準マーク8S、9Sを長方形状に配置できない場合があり、ユーザのアライメント用の基準マークを設計する自由度を制限し、正方形や長方形でない四辺形の場合に適用できないという問題点を有していた。
【0010】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、基準マークが長方形状又は正方形状に配置できない場合であっても、加工位置を補正できるようにすることを課題とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、加工機にセットされたワーク上に形成された基準マーク位置を計測して、予め決められた加工位置座標の補正を行なう際に、予め決められた加工位置座標と少なくとも4点の基準マーク位置座標とにより、加工位置座標の少なくとも2方向の内分比又は外分比を求め、該内分比又は外分比に基づいて、計測された基準マーク位置座標に対する実加工位置座標を決定するようにして、前記課題を解決したものである。
【0012】
又、前記基準マークを、ワーク上の加工位置を複数のブロックに分けた各ブロック毎に形成するようにして、ワークの歪みの影響を小さくし、ワークに歪みがあっても、正確に各加工位置を求めることができるようにしたものである。
【0013】
本発明は、又、前記の加工位置補正方法による各ブロック毎の基準マーク位置の計測・補正と、対応するブロックの加工を交互に繰返す加工方法を提供するものである。
【0014】
又、ワーク全体に対して、前記の加工位置補正方法による基準マーク位置の計測・補正を行った後、ワーク全体の加工をまとめて行う加工方法を提供するものである。
【0015】
又、加工機とは別の機材を用いて、前記の加工位置補正方法による基準マーク位置の計測・補正を行った後、加工機で基準マーク位置を再度計測して、補正・加工を行う加工方法を提供するものである。
【0016】
本発明は、又、前記の加工位置補正方法又は加工方法を実施するためのコンピュータプログラムを提供するものである。
【0017】
又、前記のコンピュータプログラムが記録された、コンピュータ読取り可能な記録媒体を提供するものである。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【0019】
本発明の第1実施形態は、図6に示したような各ブロック9毎に、図8(A)に示す如く、例えばCADデータ上の加工位置X(x,y)を囲む4点の基準マーク座標A1(x1,y1)、A2(x2,y2)、A3(x3,y3)、A4(x4,y4)に対する加工位置Xの座標(x,y)の2方向(図ではA1A2、A1A3)の内分比p、qを求め、該内分比p、qに基づいて、図8(B)に示す如く、ワーク上の実測基準マーク位置A1´(x1´,y1´)、A2´(x2´,y2´)、A3´(x3´,y3´)、A4´(x4´,y4´)に対する実加工位置X´(x´,y´)を決定するようにしたものである。
【0020】
具体的には、まず、
A1P:A2P=SX:QX=A3R:A4R=p:(1−p) (1)
A1S:A3S=PX:RX=A2Q:A4Q=q:(1−q) (2)
を満足する内分比p、qを、図8(A)に示したCADデータについて求める。これは、ベクトルA1XをA1A2方向のベクトルA1PとA1A3方向のベクトルA1Sの和で表わしたことに相当する。ここで、P、Rは、それぞれ線分A1A2、A3A4をp:1−pに内分する点、S、Qは、それぞれ線分A1A3、A2A4をq:1−qに内分する点である。
【0021】
そして、CADデータ上のベクトルA1Pが、ワーク上では、図8(B)に示した如く、A1´P´に変化し、CADデータ上のベクトルA1Sが、ワーク上ではA1´S´に変化していることを考慮して、実測した基準マーク座標A1´〜A4´から、次式を満足するように穴あけ位置X´を決定する。
【0022】
【0023】
これは、ベクトルA1´X´をベクトルA1´P´とA1´S´の和で表わしたことに相当する。
【0024】
この計算で算出したX´が、プリント基板8の歪みや伸びを考慮した加工穴位置となる。但し、プリント基板8の歪みや伸びは、これら4点のアライメント用基準マークA1〜A4の中では一様であることが条件である。
【0025】
なお、第1実施形態では、内分点に対して内分比を使う場合で説明したが、図9に示す第2実施形態の如く、外分点に対して外分比を使うことも可能である。
【0026】
前記実施形態においては、ワーク上の加工位置を小さなブロック9に分けて、各ブロック9毎に基準マークを形成しているので、ワークに歪みがあっても、正確に各加工位置を求めることができる。なお、本発明は、基板全体が一ブロックとされている場合にも、適用可能である。データの種類もCADデータに限定されず、加工位置を囲む基準マーク数も4点に限定されず、内分比や外分比を求める方向も2方向に限定されない。
【0027】
前記実施形態においては、ガルバノスキャナユニットによりビームを走査し、XYステージによりワークを移動するようにしていたが、ビームやワークを走査/移動する手段の構成処理や組合せはこれに限定されず、例えば特開2000−71089や特開2000−334634に記載されているような、リニアモータXYステージと高速加工機とを組合わせたシステムであってもよい。
【0028】
又、適用対象も、点状の加工を行なうレーザ穴あけ機に限定されず、線状の加工を行なうレーザ切断機、機械式ドリルの穴あけ機、ヒューズ溶断機、マーキング装置、露光装置等のレーザを用いない装置にも同様に適用できる。
【0029】
【発明の効果】
本発明によれば、基準マークが長方形状や正方形状に配置されていない場合であっても、加工位置を補正することが可能となり、ユーザのアライメント用基準マークを設計する自由度が高まる。
【図面の簡単な説明】
【図1】レーザ加工機の基本的な構成を示す概略構成図
【図2】アライナによるアライメントの様子を示す平面図
【図3】全体基準マークの配置例を示す平面図
【図4】基準マーク検出の様子を示す斜視図
【図5】従来法の問題点を説明するための、特殊な形状のプリント基板の例を示す平面図
【図6】出願人が特願2003−82224で提案したブロック毎のローカル基準マークの例を示す平面図
【図7】従来法の問題点を説明するための、プリント基板の一部を示す拡大平面図
【図8】本発明の第1実施形態を説明するための、プリント基板の一部を示す拡大平面図
【図9】本発明の第2実施形態を説明するための、プリント基板の一部を示す拡大平面図
【符号の説明】
8…プリント基板
8H…加工(対象)穴
8S…全体基準マーク
9…ブロック
9S…ローカル基準マーク
12…XYステージ
20…レーザ発振器
26…ガルバノスキャナユニット
28…加工ビーム
30…カメラ
【発明の属する技術分野】
本発明は、加工機にセットされた加工対象物(ワークと称する)上に形成された基準マーク位置を計測して、予め決められた加工位置座標の補正を行なう加工位置補正方法に係り、特に、レーザ穴あけ機のようなレーザ加工機でワークの位置合わせを行なう際に用いるのに好適な、基準マークを長方形状や正方形状に配置できない場合であっても、加工位置を正確に決定することが可能な、加工位置補正方法、該加工位置補正方法を用いた加工方法、前記加工位置補正方法又は加工方法を実施するためのコンピュータプログラム、及び、該コンピュータプログラムが記録された、コンピュータ読取り可能な記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】
レーザビームを用いて、プリント配線基板等のワークに穴あけを行なうレーザ穴あけ機等のレーザ加工機においては、図1に示す如く、例えば吸着プレート等のプリント基板保持装置10によりXYステージ12上にセットされたプリント基板8の位置を検出し、且つ、回転や伸縮補正を行なって、各座標の穴位置を補正して穴あけする必要がある。
【0003】
即ち、プリント基板8の切断精度や転写精度が十分高く、熱歪も問題にならない場合は、図2に示す如く、プリント基板保持装置10にプリント基板8をセットする際に、アライナ(図示省略)で、矢印X、Yに示す如く、プリント基板8をプリント基板保持装置10の基準面10X、10Yに押し付け、アライメントを行なえば十分である。
【0004】
しかしながら、前工程である熱処理によってプリント基板8が熱影響を受けることで伸縮が発生する。あるいは露光器の精度によっても回転や歪みが生じる。更に、最近では、プリント基板の更なる高密度化が進み、穴あけ位置精度に高精度が求められるようになり、プリント基板8内の精度が悪い場合には、これだけでは不十分である。
【0005】
そこで、図3に示す如く、プリント基板8の例えば4隅にアライメント用の基準マーク8Sを設けると共に、図1に示した如く、レーザ発振器20により発振され、光学系22及び反射ミラー24を経てきたレーザビームを、プリント基板8の表面に対して走査して、加工ビーム28として照射するためのガルバノスキャナユニット26の近傍に、カメラ30等の画像処理装置を設けて、図4に例示する如く、前記基準マーク8Sを検出し、その位置とステージ位置の関係から回転や伸縮を行なって、加工に先立ち、予め決められた穴位置座標を補正している。
【0006】
図4において、8Hは加工対象穴(以下、単に加工穴とも称する)、32は、必要に応じて設けられる照明装置である。
【0007】
具体的には、基準マーク8Sを1点使用する場合には、加工位置をオフセット補正し、2点使用する場合には、オフセットと回転補正(2点を結ぶ線とステージ軸から回転角を計測)し、4点使用する場合には、オフセット、回転及びスケーリング補正(四角形の各対辺の伸縮の平均を考慮して基板の伸縮を補正)等がある。又、特許文献1には、基準マーク8Sが長方形状に配置されている場合を想定して加工位置を補正することが記載されている。
【0008】
【特許文献1】
特開2002−239877号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記1、2、4点の補正方法は、高精度の位置決めには補正が不十分である。又、特許文献1は、基準マーク8Sが長方形状に配置されている場合を想定しているが、プリント基板8の形状が、図5に例示するような、長方形以外の特殊な形状であったり、あるいは、ワークの歪みの影響を小さくするため、出願人が特願2003−82224で提案したように、図6に示す如く、ワーク上の加工位置を複数のブロック9に分け、各ブロック9毎に基準マーク(ローカル基準マークとも称する)9Sを形成した場合、図7に例示する如く、配線パターン8A等が邪魔になって、基準マーク8S、9Sを長方形状に配置できない場合があり、ユーザのアライメント用の基準マークを設計する自由度を制限し、正方形や長方形でない四辺形の場合に適用できないという問題点を有していた。
【0010】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、基準マークが長方形状又は正方形状に配置できない場合であっても、加工位置を補正できるようにすることを課題とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、加工機にセットされたワーク上に形成された基準マーク位置を計測して、予め決められた加工位置座標の補正を行なう際に、予め決められた加工位置座標と少なくとも4点の基準マーク位置座標とにより、加工位置座標の少なくとも2方向の内分比又は外分比を求め、該内分比又は外分比に基づいて、計測された基準マーク位置座標に対する実加工位置座標を決定するようにして、前記課題を解決したものである。
【0012】
又、前記基準マークを、ワーク上の加工位置を複数のブロックに分けた各ブロック毎に形成するようにして、ワークの歪みの影響を小さくし、ワークに歪みがあっても、正確に各加工位置を求めることができるようにしたものである。
【0013】
本発明は、又、前記の加工位置補正方法による各ブロック毎の基準マーク位置の計測・補正と、対応するブロックの加工を交互に繰返す加工方法を提供するものである。
【0014】
又、ワーク全体に対して、前記の加工位置補正方法による基準マーク位置の計測・補正を行った後、ワーク全体の加工をまとめて行う加工方法を提供するものである。
【0015】
又、加工機とは別の機材を用いて、前記の加工位置補正方法による基準マーク位置の計測・補正を行った後、加工機で基準マーク位置を再度計測して、補正・加工を行う加工方法を提供するものである。
【0016】
本発明は、又、前記の加工位置補正方法又は加工方法を実施するためのコンピュータプログラムを提供するものである。
【0017】
又、前記のコンピュータプログラムが記録された、コンピュータ読取り可能な記録媒体を提供するものである。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【0019】
本発明の第1実施形態は、図6に示したような各ブロック9毎に、図8(A)に示す如く、例えばCADデータ上の加工位置X(x,y)を囲む4点の基準マーク座標A1(x1,y1)、A2(x2,y2)、A3(x3,y3)、A4(x4,y4)に対する加工位置Xの座標(x,y)の2方向(図ではA1A2、A1A3)の内分比p、qを求め、該内分比p、qに基づいて、図8(B)に示す如く、ワーク上の実測基準マーク位置A1´(x1´,y1´)、A2´(x2´,y2´)、A3´(x3´,y3´)、A4´(x4´,y4´)に対する実加工位置X´(x´,y´)を決定するようにしたものである。
【0020】
具体的には、まず、
A1P:A2P=SX:QX=A3R:A4R=p:(1−p) (1)
A1S:A3S=PX:RX=A2Q:A4Q=q:(1−q) (2)
を満足する内分比p、qを、図8(A)に示したCADデータについて求める。これは、ベクトルA1XをA1A2方向のベクトルA1PとA1A3方向のベクトルA1Sの和で表わしたことに相当する。ここで、P、Rは、それぞれ線分A1A2、A3A4をp:1−pに内分する点、S、Qは、それぞれ線分A1A3、A2A4をq:1−qに内分する点である。
【0021】
そして、CADデータ上のベクトルA1Pが、ワーク上では、図8(B)に示した如く、A1´P´に変化し、CADデータ上のベクトルA1Sが、ワーク上ではA1´S´に変化していることを考慮して、実測した基準マーク座標A1´〜A4´から、次式を満足するように穴あけ位置X´を決定する。
【0022】
【0023】
これは、ベクトルA1´X´をベクトルA1´P´とA1´S´の和で表わしたことに相当する。
【0024】
この計算で算出したX´が、プリント基板8の歪みや伸びを考慮した加工穴位置となる。但し、プリント基板8の歪みや伸びは、これら4点のアライメント用基準マークA1〜A4の中では一様であることが条件である。
【0025】
なお、第1実施形態では、内分点に対して内分比を使う場合で説明したが、図9に示す第2実施形態の如く、外分点に対して外分比を使うことも可能である。
【0026】
前記実施形態においては、ワーク上の加工位置を小さなブロック9に分けて、各ブロック9毎に基準マークを形成しているので、ワークに歪みがあっても、正確に各加工位置を求めることができる。なお、本発明は、基板全体が一ブロックとされている場合にも、適用可能である。データの種類もCADデータに限定されず、加工位置を囲む基準マーク数も4点に限定されず、内分比や外分比を求める方向も2方向に限定されない。
【0027】
前記実施形態においては、ガルバノスキャナユニットによりビームを走査し、XYステージによりワークを移動するようにしていたが、ビームやワークを走査/移動する手段の構成処理や組合せはこれに限定されず、例えば特開2000−71089や特開2000−334634に記載されているような、リニアモータXYステージと高速加工機とを組合わせたシステムであってもよい。
【0028】
又、適用対象も、点状の加工を行なうレーザ穴あけ機に限定されず、線状の加工を行なうレーザ切断機、機械式ドリルの穴あけ機、ヒューズ溶断機、マーキング装置、露光装置等のレーザを用いない装置にも同様に適用できる。
【0029】
【発明の効果】
本発明によれば、基準マークが長方形状や正方形状に配置されていない場合であっても、加工位置を補正することが可能となり、ユーザのアライメント用基準マークを設計する自由度が高まる。
【図面の簡単な説明】
【図1】レーザ加工機の基本的な構成を示す概略構成図
【図2】アライナによるアライメントの様子を示す平面図
【図3】全体基準マークの配置例を示す平面図
【図4】基準マーク検出の様子を示す斜視図
【図5】従来法の問題点を説明するための、特殊な形状のプリント基板の例を示す平面図
【図6】出願人が特願2003−82224で提案したブロック毎のローカル基準マークの例を示す平面図
【図7】従来法の問題点を説明するための、プリント基板の一部を示す拡大平面図
【図8】本発明の第1実施形態を説明するための、プリント基板の一部を示す拡大平面図
【図9】本発明の第2実施形態を説明するための、プリント基板の一部を示す拡大平面図
【符号の説明】
8…プリント基板
8H…加工(対象)穴
8S…全体基準マーク
9…ブロック
9S…ローカル基準マーク
12…XYステージ
20…レーザ発振器
26…ガルバノスキャナユニット
28…加工ビーム
30…カメラ
Claims (7)
- 加工機にセットされたワーク上に形成された基準マーク位置を計測して、予め決められた加工位置座標の補正を行なう際に、
予め決められた加工位置座標と少なくとも4点の基準マーク位置座標とにより、加工位置座標の少なくとも2方向の内分比又は外分比を求め、
該内分比又は外分比に基づいて、計測された基準マーク位置座標に対する実加工位置座標を決定することを特徴とする加工位置補正方法。 - 前記基準マークが、ワーク上の加工位置を複数のブロックに分けた各ブロック毎に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の加工位置補正方法。
- 請求項2に記載の加工位置補正方法による各ブロック毎の基準マーク位置の計測・補正と、対応するブロックの加工を交互に繰り返すことを特徴とする加工方法。
- ワーク全体に対して、請求項1又は2に記載の加工位置補正方法による基準マーク位置の計測・補正を行なった後、ワーク全体の加工をまとめて行なうことを特徴とする加工方法。
- 加工機と別の機材を用いて、請求項1又は2に記載の加工位置補正方法による基準マーク位置の計測・補正を行なった後、
加工機で基準マーク位置を再度計測して、補正・加工を行なうことを特徴とする加工方法。 - 請求項1又は2に記載の加工位置補正方法又は請求項3乃至5のいずれかに記載の加工方法を実施するためのコンピュータプログラム。
- 請求項6に記載のコンピュータプログラムが記録された、コンピュータ読取り可能な記録媒体。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003123981A JP2004327922A (ja) | 2003-04-28 | 2003-04-28 | 加工位置補正方法 |
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JP2003123981A JP2004327922A (ja) | 2003-04-28 | 2003-04-28 | 加工位置補正方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2004327922A true JP2004327922A (ja) | 2004-11-18 |
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ID=33501717
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2003123981A Pending JP2004327922A (ja) | 2003-04-28 | 2003-04-28 | 加工位置補正方法 |
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---|---|
JP (1) | JP2004327922A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CN104932205A (zh) * | 2014-03-20 | 2015-09-23 | 斯克林集团公司 | 数据修正装置、绘图装置、数据修正方法和绘图方法 |
US9321110B2 (en) | 2011-02-16 | 2016-04-26 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Hole drilling process, and drilling tool |
CN106363304A (zh) * | 2016-08-19 | 2017-02-01 | 武汉华工激光工程有限责任公司 | 一种多相机矫正和定位方法及玻璃激光切割的装置 |
CN110191567A (zh) * | 2018-02-22 | 2019-08-30 | 奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司 | 使用物理对准标记和虚拟对准标记进行对准 |
CN110446354A (zh) * | 2019-08-23 | 2019-11-12 | 惠州中京电子科技有限公司 | 一种应用于led的pcb板高精度尺寸成型方法 |
-
2003
- 2003-04-28 JP JP2003123981A patent/JP2004327922A/ja active Pending
Cited By (8)
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