JP2016051712A - 投影露光装置 - Google Patents
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Abstract
Description
36 アライメントマーク撮像部(形状誤差計測部)
38 画像処理部(形状誤差計測部)
40 ステージ
42 ステージ駆動部(走査部)
50 制御部(操作部、露光制御部)
W 基板
P2〜P8 変形マスクパターン
SA ショット領域
SM サンプル用アライメントマーク
AM アライメントマーク
ARM グローバルアライメント領域
R レチクル(フォトマスク)
Claims (7)
- 2次元配列された複数のショット領域と前記複数のショット領域の配列に沿って設けられる複数のアライメントマークとを形成した基板を、フォトマスクに形成されたマスクパターンの投影エリアに対し間欠的に相対移動させる走査部と、
ステップ&リピート方式に従い、マスクパターンを前記複数のショット領域に転写する露光制御部と、
前記複数のアライメントマークの位置から、設計上のショット領域を基準としたときの所定のショット領域の2次元的な形状誤差を計測する形状誤差計測部とを備え、
前記フォトマスクが、設計上のショット領域に対してそれぞれ形状誤差の異なる複数のショット領域に対応した複数のマスクパターンを有し、
前記露光制御部が、前記複数のマスクパターンの中から、計測された形状誤差に対応するマスクパターンを選択し、そのマスクパターンを転写することを特徴とする投影露光装置。 - 前記複数のアライメントマークが、所定数のショット領域から構成されるグローバルアライメント領域を規定するサンプル用アライメントマークを含み、
前記露光制御部が、サンプル用アライメントマークの位置に基づいてグローバルアライメントの形状誤差を計測し、その形状誤差に応じたマスクパターンを選択することを特徴とする請求項1に記載の投影露光装置。 - 前記基板に規定された複数のグローバルアライメント領域に応じて、サンプル用アライメントマークが設けられており、
前記露光制御部が、各グローバルアライメント領域について形状誤差を計測することを特徴とする請求項2に記載の投影露光装置。 - 前記露光制御部が、サンプル用アライメントマークの位置に基づいてグローバルアライメント内のショット領域配列誤差を算出する一方、グローバルアライメント領域内のショット領域を規定するアライメントマークの位置に基づいて、ショット領域の形状誤差を計測することを特徴とする請求項2乃至3のいずれかに記載の投影露光装置。
- ショット領域の形状誤差が、少なくともショット領域の直交度のずれを含むことを特徴とする請求項4に記載の投影露光装置。
- ショット領域の形状誤差が、少なくともショット領域の回転ずれを含むことを特徴とする請求項5に記載の投影露光装置。
- 2次元配列された複数のショット領域と前記複数のショット領域の配列に沿って設けられる複数のアライメントマークとを形成した基板に対し、前記複数のアライメントマークの位置から、設計上のショット領域を基準としたときの変形ショット領域の形状誤差を計測し、
フォトマスクに形成されたマスクパターンの投影エリアに対し間欠的に相対移動させ、
ステップ&リピート方式に従い、マスクパターンを前記複数のショット領域に転写する 投影露光方法であって、
前記フォトマスクが、それぞれ形状誤差の異なる複数の変形ショット領域に対応した複数のマスクパターンを有し、
前記複数のマスクパターンの中から、計測された形状誤差に対応するマスクパターンを選択し、そのマスクパターンを転写することを特徴とする投影露光方法。
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