JP2010251532A - 露光方法、露光装置、レチクル、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】製品の歩留まりを向上させる露光方法を提供する。
【解決手段】本発明の露光方法は、レチクルのデバイスパターンをウエハに露光する露光方法であって、前記レチクルを第1の角度で配置して該レチクルの第1の平面度を測定する工程と、前記レチクルを第2の角度で配置して該レチクルの第2の平面度を測定する工程と、前記第1の平面度及び前記第2の平面度の測定結果に基づいて露光時における該レチクルの設定角度を決定する工程とを有する。
【選択図】図2
【解決手段】本発明の露光方法は、レチクルのデバイスパターンをウエハに露光する露光方法であって、前記レチクルを第1の角度で配置して該レチクルの第1の平面度を測定する工程と、前記レチクルを第2の角度で配置して該レチクルの第2の平面度を測定する工程と、前記第1の平面度及び前記第2の平面度の測定結果に基づいて露光時における該レチクルの設定角度を決定する工程とを有する。
【選択図】図2
Description
本発明は、レチクルのデバイスパターンをウエハに露光する露光方法に関する。
近年、解像度より細い線幅のパターンを製造する微細化技術として、ダブルパターニング(以下、「DP」という。)技術が注目されている。DPとは、重ね合わせ露光によって解像度より細い線幅のパターンを生成する技術である。このため、DPでは二枚のレチクル間の重ね合わせ精度が重要となる。
例えば、レチクルの重ね合せ誤差として、レチクルの平面度に起因する重ね合わせ誤差がある。レチクルは、レチクルステージに載置されると、レチクルの平面度が変化する場合がある。これは、レチクルとレチクルステージチャックとの間の真空吸着位置において、これらの平面度には所定の差(相性)が生じているためである。この平面度の差が大きいと、レチクルステージチャックの平面度に合わせてレチクルは変形する。特許文献1に開示されているように、レチクルが吸着変形すると、デフォーカスやディストーションが発生するため、製品の歩留まりが低下する。
レチクルの平面度による製品歩留まりの低下に関し、レチクルの検査方法や製造方法において種々の改善がなされている。しかしながら、DPにおける重ね合せ誤差を向上させるには限界があった。
そこで本発明は、製品の歩留まりを向上させる露光方法を提供する。
本発明の一側面としての露光方法は、レチクルのデバイスパターンをウエハに露光する露光方法であって、前記レチクルを第1の角度で配置して該レチクルの第1の平面度を測定する工程と、前記レチクルを第2の角度で配置して該レチクルの第2の平面度を測定する工程と、前記第1の平面度及び前記第2の平面度の測定結果に基づいて露光時における該レチクルの設定角度を決定する工程とを有する。
本発明の他の側面としての露光装置は、レチクルのデバイスパターンをウエハに露光する露光装置であって、前記レチクルを第1の角度又は第2の角度で配置する配置手段と、前記第1の角度における前記レチクルの第1の平面度を測定し、前記第2の角度における該レチクルの第2の平面度を測定する測定手段と、前記第1の平面度及び前記第2の平面度の測定結果に基づいて露光時における前記レチクルの設定角度を決定する制御手段とを有する。
本発明の他の側面としてのレチクルは、ウエハに露光するためのデバイスパターンが形成されたレチクルであって、前記デバイスパターンとは異なるパターンが前記レチクルの中心に対して回転対称の位置に配置され、前記デバイスパターンとは異なる前記パターンは、アライメントマーク、レチクル識別マーク、及び、フォーカスキャリブレーションマークの少なくとも一つである。
本発明の他の側面としてのデバイス製造方法は、前記露光装置を用いて基板を露光する工程と、露光された前記基板を現像する工程とを有する。
本発明の他の目的及び特徴は、以下の実施例において説明される。
本発明によれば、製品の歩留まりを向上させる露光方法を提供することができる。
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
[第1実施形態]
まず、図1乃至図3を参照して、本発明の第1実施形態における露光装置及び露光方法について説明する。図1は、本実施形態における露光装置の概略構成図である。本実施形態は、レチクルのデバイスパターンをウエハに露光する露光装置及び露光方法に関する。なお、図1は所謂ステップアンドスキャンタイプ(スキャナ)の縮小投影露光装置であるが、本実施形態はこれに限定されるものではない。
[第1実施形態]
まず、図1乃至図3を参照して、本発明の第1実施形態における露光装置及び露光方法について説明する。図1は、本実施形態における露光装置の概略構成図である。本実施形態は、レチクルのデバイスパターンをウエハに露光する露光装置及び露光方法に関する。なお、図1は所謂ステップアンドスキャンタイプ(スキャナ)の縮小投影露光装置であるが、本実施形態はこれに限定されるものではない。
照明系1は、ランプ、レーザー、EUV等の露光用光源を含み、レチクル2(原版)の所定の領域を均一に照明する。不図示のレチクル搬送系(配置手段)は、所定の位置を基準として0度(第1の角度)又は180度(第2の角度)のいずれかの角度で、レチクル2をレチクルステージ3上に配置する。レチクル2には、ウエハに露光するためのデバイスパターンが形成されている。またレチクル2には、デバイスパターンとは異なるパターンがレチクル2の中心に対して回転対称の位置に配置されている。本実施形態において、デバイスパターンとは異なるパターンとしては、レチクルアライメントマーク21L、21R、及び、ウエハアライメントマーク23がある。これらのマークの詳細については後述する。
レチクル2が0度又は180度のいずれかの角度で設置されると、左右2か所にあるレチクルアライメント光学系45は、レチクル2及びレチクルステージ3のそれぞれに設けられたレチクルアライメントマークを用いて位置ずれを検出する。レチクルステージ3をXY平面内で移動させ、また、Z軸周りに回転させることにより、レチクル2のXY平面内での位置合わせが完了する。その後、レチクルステージ3に設けられている不図示のレチクル吸着パッドにより、レチクル2の位置が固定される。
面形状測定光学系41、42(測定手段)は、露光を行う前に、レチクル2の面形状を測定する。具体的には、面形状測定光学系41、42は、0度(第1の角度)で配置されたレチクル2の第1の平面度を測定し、180度(第2の角度)で配置されたレチクル2の第2の平面度を測定する。図1には、面形状測定光学系41、42がそれぞれ一つずつ示されているが、実際には面形状測定光学系41、42は、X方向にそれぞれ3か所配置されている。レチクル2をY方向にスキャンしながらレチクル2の面形状を複数点で測定することにより、レチクル2の露光領域の全体形状を把握することができる。縮小投影光学系5は、レチクル2上に形成されたパターンを所定の倍率βでウエハ7の上に結像し、転写する。
一方、ウエハ7(基板)は、不図示のウエハ搬送系により、任意の角度でウエハステージ8に設置可能に構成されている。ウエハステージ8は、X、Y、Z方向の移動及びX、Y、Z各軸周りの回転駆動が可能である。また、ウエハアライメント光学系65は、ウエハ7に配置されたウエハアライメントマークを用いて、前工程のパターンに対する位置合わせ(X、Y方向及びZ軸周りの回転)を行う。フォーカス検出系61、62は、X方向及びY方向のそれぞれにおいて複数点での測定が可能であり、ウエハ7に露光する際のフォーカス方向の位置合わせ(Z方向の位置及びX、Y軸周りの回転)を行う。ウエハアライメント光学系65は、ウエハアライメントマークを検出するように構成されている。干渉計75は、ウエハステージ8の座標を検出するように構成され、同様の干渉計がY方向にも配置されている。
次に、レチクル2上のパターンとウエハ7上のパターンについて詳述する。図2は、レチクル2上における各種パターンの配置図である。集積回路パターン28(デバイスパターン)は、縮小投影光学系5の有効パターニング領域に含まれている。集積回路パターン28の周囲には、遮光帯29が設けられている。遮光帯29は、ウエハ7上の隣接ショットに光が漏れるのを防ぐ。レチクルアライメントマーク21L、21Rは、レチクルステージ3に対するレチクル2の位置合わせを行うために設けられている。前述のように、レチクルステージ3上にも同様なレチクルアライメントマークが設けられており、これらのレチクルアライメントマークを用いて両者の位置合わせが行われる。また、レチクルアライメント光学系45の位置は固定されている。このため、レチクル2には、レチクル2がXY平面内で180度回転して設置された場合に用いられるレチクルアライメントマーク21L(180)、21R(180)が配置されている。レチクルアライメントマーク21L、21L(180)は、互いにレチクル2の中心に対して180度回転対称の位置に設けられている。レチクルアライメントマーク21R、21R(180)も同様である。なお、正方形のレチクルを用いる場合には、レチクルアライメントマークを互いに90度回転対称の位置に設けてもよい。
また、レチクル2には、次の工程でのウエハ7との間の位置合わせのために用いられるウエハアライメントマーク23、23(180)が設けられている。ウエハアライメントマーク23(180)は、ウエハ7が180度回転して設置された場合に用いられる。ウエハアライメントマーク23を回転対称のマークで構成すると、ウエハアライメントマーク23の座標情報(露光レシピ)を変更して位置合わせを行うことができる。この場合、二つのウエハアライメントマークを180度回転対称の位置に配置する必要はなく、一つのウエハアライメントマークを配置すればよい。なお、本実施形態では、X方向及びY方向の二方向を検出するためのウエハアライメントマークが示されているが、一方向のみを検出するマークを、X方向及びY方向のそれぞれを検出するために二つ配置してもよい。180度で配置された場合に用いられるウエハアライメントマークについても同様である。
レチクル2の周囲に四箇所配置されているレチクル吸着パッド領域31は、レチクルアライメントマーク21L、21Rの近傍に配置されている。バーコード24(レチクル識別マーク)は、露光装置内のレチクルストッカ(不図示)からレチクル2を取り出す際に、露光装置に組み込まれたバーコード読取装置(不図示)でレチクル2を識別するために設けられている。バーコード24には、露光装置の露光レシピのファイル情報、及び、露光の際のレチクル2の設定角情報が含まれる。露光装置のレチクル搬送系は、レチクル2をレチクルステージ3に搬送する際にレチクル2を回転させる回転機構を備える。レチクル2を180度回転して露光する場合、この回転機構を用いてレチクル2を180度回転させ、レチクル2をレチクルステージ3上に配置する。
図3は、ウエハ7上に形成されているパターンのレイアウトである。ウエハ7上には、レチクル2の集積回路パターン28(デバイスパターン)の全域を単位とした領域(以下、「ショット71」という。)と、その周囲のスクライブライン77が配置されている。縦横に配置されたスクライブライン77には、図3右側の拡大図に示されるように、ウエハアライメントマーク73、73(180)が配置されている。ウエハアライメントマーク73(180)は、各ショットの中心に関し、ウエハアライメントマーク73に対して180度回転対称の位置に配置されている。このように、ウエハアライメントマーク73(180)は、ウエハ7が180度回転して設置された場合におけるアライメントマークとして用いられる。前述のレチクル2の場合と同様に、ウエハアライメントマークが回転対称に構成されている場合、露光レシピのアライメントマーク座標情報を変えれば、ウエハアライメントマーク73(180)を配置する必要はない。
ウエハアライメントマーク73を検出する場合、ウエハ7上の代表的な数ショット(一例として、図3中の斜線を引いたショット72)の測定値及びそのときの干渉計75の座標情報から、ウエハ7上に形成されている全ショットの配列情報を推定する。そして、レチクル2上の集積回路パターン28(デバイスパターン)は、照明系1により縮小投影光学系5を介して露光される。この露光は、ウエハ7上の全ショットについて実施される。
ノッチ79は、オリフラとも呼ばれ、シリコンウエハの結晶軸方位を示す。通常、ショットの配列方向は、ノッチ79に対して一定の方向になっている。ウエハ搬送系(不図示)は、ノッチ79を検出することによりウエハステージ8に対するウエハ7の配置方向を決定する。
次に、実際の露光シーケンスについて説明する。まず、DPプロセスにおける一枚目のレチクル2の露光について説明する。レチクル2は、不図示のレチクルストッカからレチクル搬送系(配置手段)により搬送され、通常の角度である0度(第1の角度)でレチクルステージ3上に配置される。面形状測定光学系41、42(測定手段)は、レチクル2をY方向にスキャンしながら、レチクル2の面形状を測定して記憶する。すなわち、面形状測定光学系41、42は、0度で配置されたレチクル2の第1の平面度を測定する。
続いて、レチクル搬送系はレチクル2を通常の角度から180度回転させる。そして面形状測定光学系41、42は、レチクル2の面形状を測定して記憶する。すなわち、面形状測定光学系41、42は、180度で配置されたレチクル2の第2の平面度を測定する。このように、第1の角度及び第2の角度は、レチクル2の面内方向(XY平面内での方向)において互いに180度異なっている。制御系901(制御手段)は、第1の平面度及び第2の平面度の測定結果に基づいて露光時におけるレチクル2の設定角度を決定する。すなわち制御系901は、レチクル2をこれら二つの異なる角度で配置した場合における面形状測定光学系41、42の測定結果を比較し、平面度がより良好なほうの角度を採用する。
例えば、具体的な測定結果の決定方法としては、まずレチクル2の集積回路パターン28が形成されている領域の三次元形状を、レチクル2の平面度の測定結果から推定する。そして、露光時に補正できないディストーションのランダム成分を抽出し、その最大値の大小を比較して最大値が小さいほうの角度を決定する。レチクル搬送系は、上記のとおり決定された角度(設定角度)で、レチクル2をレチクルステージ3上に配置する。最適化した露光の設定角度情報は、露光レシピファイルに書き込まれる。このため、次回に同一のレチクルを用いて露光する際には、そのレチクルの面形状を測定することなく、前回と同一の設定角度で露光されるように構成されている。
ウエハ7は、不図示のウエハ搬送系により、レチクル2の設定角度に合わせて、ノッチ79(オリフラ)の方向が所定の方向(0度又は180度)になるように設定され、ウエハステージ8の上に載置される。そして、ウエハアライメント光学系65によりウエハ7のXY方向の位置合わせが行われ、またフォーカス検出系61、62によりウエハ7のZ方向の位置合わせが行われる。その後、レチクル2の集積回路パターン28は、ウエハ7にスキャン露光される。
DPプロセスにおける二枚目のレチクル露光については、一枚目のレチクルのときと同様に、レチクル2を0度及び180度の角度で載置した場合のレチクル2の面形状をそれぞれ測定する。ここでは、一枚目のウエハの露光時における設定角度でのレチクル2の平面度と類似する方向を選択する。具体的には、各測定点において、二枚目のレチクルの露光領域における三次元形状を、一枚目のレチクルの設定角度における三次元形状と比較し、例えば各測定値の差の最大値が小さい方の角度を採用する。このような選択により、二枚のレチクル間の露光領域における重ね合せ誤差を小さくすることができる。二枚目のレチクルについても、最適化した露光の設定角度情報は、露光レシピファイルに書き込まれる。なお、レチクル2を180度回転させて露光する際には、一枚目又は二枚目のレチクルのいずれの場合でも、ウエハは180度回転して載置される。
制御系901は、照明系1、レチクルアライメント光学系45、レチクルステージ3、面形状測定光学系41、42、縮小投影光学系5、フォーカス検出系61、62、ウエハアライメント光学系65、干渉計75に対し、測定制御、動作指示、及び、記憶等を行う。また、露光時におけるレチクル2の設定角度を決定する制御手段としての機能も有する。
本実施形態では、露光装置に組み込まれた面形状測定光学系の測定結果に基づいて、レチクルのレチクルステージに対する設定角度を決定したが、本実施形態はこれに限定されるものではない。例えば、レチクル平面度測定のスタンドアローン機で測定することもできる。平面度測定の結果から、レチクルステージでレチクルを吸着した場合のレチクル平面度をシミュレーションすることで、二枚のレチクルの露光の設定角度を決定することができる。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態について説明する。図4は、本実施形態における露光装置の概略構成図である。図5は、本実施形態におけるレチクル上の各種パターンの配置図である。図6は、本実施形態におけるレチクル上のフォーカス検出マークの構成図である。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態について説明する。図4は、本実施形態における露光装置の概略構成図である。図5は、本実施形態におけるレチクル上の各種パターンの配置図である。図6は、本実施形態におけるレチクル上のフォーカス検出マークの構成図である。
図5に示されるように、本実施形態のレチクル2には、集積回路パターン28(デバイスパターン)の周囲に、デバイスパターンとは異なるパターンとして、複数のフォーカス検出マーク22がレチクル2の中心に対して回転対称の位置に配置されている。図6に示されるように、フォーカス検出マーク22は、縦横方向のラインパターン(ヌキ)であり、ラインパターンの周囲は遮光性のあるクロムから構成されている。
また、図4に示されるステージ基準プレート76上にも、縮小投影光学系5の倍率を考慮して同一寸法のパターンが配置されている。そのパターンの線幅は、レチクル2上のパターンよりやや細く、レチクル2とステージ基準プレート76との間に相対的な位置ずれが生じていても、フォーカス検出ができるように構成されている。
図4において、照明系1は、照明領域を限定して、2箇所のフォーカス検出マーク22を照明する。このとき、フォーカス検出マーク22を透過した光は、ステージ基準プレート76上に配置されたフォーカス検出マーク78、78(180)を透過し、ウエハステージ8に設けられた二つの光量センサ85、86でそれぞれ受光される。
図4において、照明系1は、照明領域を限定して、2箇所のフォーカス検出マーク22を照明する。このとき、フォーカス検出マーク22を透過した光は、ステージ基準プレート76上に配置されたフォーカス検出マーク78、78(180)を透過し、ウエハステージ8に設けられた二つの光量センサ85、86でそれぞれ受光される。
ステージ基準プレート76は、石英基板上にクロムパターンが配置されて構成されている。図7は、ステージ基準プレート76上に配置されているフォーカス検出マーク78、78(180)の構成であり、レチクル2の設定角度である0度(第1の角度)及び180度(第2の角度)にそれぞれ対応している。次に、図7において、フォーカス検出マーク78、78(180)が縦方向に配置されている理由について説明する。レチクル2上の左右2箇所を同時に検出する場合、その照明範囲はY方向に幅の狭いスリット状になる。ステージ基準プレート76上のフォーカス検出マーク78、78(180)を縦方向に配置すれば、左右のフォーカス検出マークの間を遮光性クロムとすることができる。このため、コントラストの高いフォーカス信号を得ることが可能となる。ラインパターンの外側は、全て遮光性を有するクロムで構成されている。
ウエハステージ8の高さ(Z方向)をフォーカス検出系61、62の基準により逐次変化させながら光量を測定すると、図8に示されるようなカーブが得られる。図8は、光量センサ85、86により受光される光量とウエハステージ8の高さとの関係図である。図8に示されるように、光量ピーク時のウエハステージ8の高さZp1、Zp2は、フォーカス検出系61、62の基準からずれている。これは、レチクル2上の平面度の影響を受けていることに起因する。さらに、レチクル2の周囲に配置されているフォーカス検出マーク22を複数箇所で測定することにより、集積回路パターン28の周辺のレチクル2の平面度を測定することが可能である。本実施形態では同時に2箇所の測定を実施しているが、これに限定されるものではなく、例えば1箇所ずつの測定でも構わない。このような測定により、第1実施形態の場合と同様に、レチクル2の設定角度をレチクルステージ3に対して0度及び180度とした状態でレチクル2の平面度を測定することができる。そして、これらの設定角度のうち、ディストーション発生の少ない方の設定角度を選択(決定)して露光することができる。
デバイス(半導体集積回路素子、液晶表示素子等)は、前述のいずれかの実施形態の露光装置を使用して感光剤を塗布した基板(ウエハ、ガラスプレート等)を露光する工程と、その基板を現像する工程と、他の周知の工程と、を経ることにより製造される。
上記各実施形態によれば、製品の歩留まりを向上させる露光方法、露光装置、及び、レチクルを提供することができる。また、高品質なデバイスを製造可能なデバイス製造方法を提供することができる。
以上、本発明の実施形態について具体的に説明した。ただし、本発明は上記実施形態として記載された事項に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱しない範囲内で適宜変更が可能である。
2 レチクル
7 ウエハ
21L、21R レチクルアライメントマーク
22 フォーカス検出マーク
28 集積回路パターン
41、42 面形状測定光学系
7 ウエハ
21L、21R レチクルアライメントマーク
22 フォーカス検出マーク
28 集積回路パターン
41、42 面形状測定光学系
Claims (7)
- レチクルのデバイスパターンをウエハに露光する露光方法であって、
前記レチクルを第1の角度で配置して該レチクルの第1の平面度を測定する工程と、
前記レチクルを第2の角度で配置して該レチクルの第2の平面度を測定する工程と、
前記第1の平面度及び前記第2の平面度の測定結果に基づいて露光時における該レチクルの設定角度を決定する工程と、を有することを特徴とする露光方法。 - 前記第1の角度及び前記第2の角度は、前記レチクルの面内方向において互いに180度異なっていることを特徴とする請求項1に記載の露光方法。
- 前記レチクルの角度に応じて露光レシピを変更する工程を更に有することを特徴とする請求項1又は2に記載の露光方法。
- 前記レチクルの前記設定角度に応じて前記ウエハの角度を変更する工程を更に有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の露光方法。
- レチクルのデバイスパターンをウエハに露光する露光装置であって、
前記レチクルを第1の角度又は第2の角度で配置する配置手段と、
前記第1の角度における前記レチクルの第1の平面度を測定し、前記第2の角度における該レチクルの第2の平面度を測定する測定手段と、
前記第1の平面度及び前記第2の平面度の測定結果に基づいて露光時における前記レチクルの設定角度を決定する制御手段と、を有することを特徴とする露光装置。 - ウエハに露光するためのデバイスパターンが形成されたレチクルであって、
前記デバイスパターンとは異なるパターンが前記レチクルの中心に対して回転対称の位置に配置されており、
前記デバイスパターンとは異なる前記パターンは、レチクルアライメントマーク、ウエハアライメントマーク、及び、フォーカス検出マークの少なくとも一つであることを特徴とするレチクル。 - 請求項5に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
露光された前記基板を現像する工程と、を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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