JP2015109345A - 露光方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】デバイス領域の歪みに対応した分割露光を行うのに有利な技術を提供する。
【解決手段】基板上の露光領域を複数の領域に分割し、該分割された各領域を個別に露光する分割露光による露光方法であって、第1のウエハの前記分割露光を、個別に露光する前記第1のウエハの各領域にマークを形成するためのパターンを有するレチクルを用いて行う第1工程と、前記第1のウエハの現像処理を行い、前記第1のウエハの前記各領域の各辺に形成された前記マークに基づいて前記露光領域の歪みを検出する第2工程と、第2のウエハの前記分割露光を、前記第1工程で用いたレチクルと同じサイズのレチクルを用いて行う第3工程と、前記第2のウエハの現像処理を行う第4工程と、を有し、前記第3工程では、個別に露光する前記第2のウエハの各領域の位置を、前記第2工程で検出した前記露光領域の前記歪みに基づいて、前記第4工程の現像処理により形成されるべきレジストパターンの歪みが低減されるように調節することを特徴とする露光方法。
【選択図】図3
【解決手段】基板上の露光領域を複数の領域に分割し、該分割された各領域を個別に露光する分割露光による露光方法であって、第1のウエハの前記分割露光を、個別に露光する前記第1のウエハの各領域にマークを形成するためのパターンを有するレチクルを用いて行う第1工程と、前記第1のウエハの現像処理を行い、前記第1のウエハの前記各領域の各辺に形成された前記マークに基づいて前記露光領域の歪みを検出する第2工程と、第2のウエハの前記分割露光を、前記第1工程で用いたレチクルと同じサイズのレチクルを用いて行う第3工程と、前記第2のウエハの現像処理を行う第4工程と、を有し、前記第3工程では、個別に露光する前記第2のウエハの各領域の位置を、前記第2工程で検出した前記露光領域の前記歪みに基づいて、前記第4工程の現像処理により形成されるべきレジストパターンの歪みが低減されるように調節することを特徴とする露光方法。
【選択図】図3
Description
本発明は、露光方法に関する。
露光装置の最大ショット領域のサイズよりも大きいサイズのデバイス(又はチップ)を基板上に形成する方法の一つとして、分割露光による露光方法がある。分割露光では、デバイスを形成すべき領域を複数の領域に分割し、該分割された各領域(「分割領域」と称する)を個別に露光する。レチクル(フォトマスク)を用いて分割露光を行った後に現像処理を行うことにより、各分割領域には例えばレジストパターンが形成される。
ウエハ等の上のデバイス領域(デバイスが形成される領域)には、投影光学系のディストーション、露光装置の構成部品の変形、レチクルホルダが保持するレチクルの変形等に起因して、歪みが生じうる。このデバイス領域の歪みは、各分割領域に形成されるレジストパターンの変形や位置ずれをもたらし、その結果、各分割領域の境界部において配線部等の断線または短絡が生じうる。よって、デバイス領域の歪みに対応した分割露光を行う必要がある。
本発明の目的は、デバイス領域の歪みに対応した分割露光を行うのに有利な技術を提供することにある。
本発明の一つの側面は露光方法にかかり、前記露光方法は、基板上の露光領域を複数の領域に分割し、該分割された各領域を個別に露光する分割露光による露光方法であって、第1のウエハの前記分割露光を、個別に露光する前記第1のウエハの各領域にマークを形成するためのパターンを有するレチクルを用いて行う第1工程と、前記第1のウエハの現像処理を行い、前記第1のウエハの前記各領域の各辺に形成された前記マークに基づいて前記露光領域の歪みを検出する第2工程と、第2のウエハの前記分割露光を、前記第1工程で用いたレチクルと同じサイズのレチクルを用いて行う第3工程と、前記第2のウエハの現像処理を行う第4工程と、を有し、前記第3工程では、個別に露光する前記第2のウエハの各領域の位置を、前記第2工程で検出した前記露光領域の前記歪みに基づいて、前記第4工程の現像処理により形成されるべきレジストパターンの歪みが低減されるように調節することを特徴とする。
本発明によれば、デバイス領域の歪みに対応した分割露光を行うのに有利である。
(1. 露光装置の構成と露光方法の例について)
本発明の各実施形態を説明するに先立って、図10〜11を参照しながら、露光装置100の構成例、露光方法の例、その他、露光装置100のショット領域の倍率ずれ等について述べる。
本発明の各実施形態を説明するに先立って、図10〜11を参照しながら、露光装置100の構成例、露光方法の例、その他、露光装置100のショット領域の倍率ずれ等について述べる。
図10は、露光装置100の構成例を説明するための模式図である。露光装置100は、照明系1、レチクルステージ2、投影光学系3、基板ステージ4、位置計測部5、構造体6、支持台7、および制御部8を備えている。
照明系1は、光源から射出された露光光によって、レチクルステージ2のレチクルホルダ(不図示)に保持されたレチクルRを照明する。レチクルRは、フォトマスクとも称され、デバイスないし回路を形成するためのパターン(マスクパターン)を有する。投影光学系3は、所定の投影倍率を有しており、レチクルRのパターンに対応した像を、基板ステージ4に保持されたウエハW(又は、単に「基板」)に投影する。基板ステージ4は、光軸方向(図中のZ方向)と交差する方向(図中のX−Y方向)に移動可能である。
位置計測部5は、例えばレーザー干渉計(不図示)を含んでおり、基板ステージ4の位置を計測する。具体的には、例えば、レーザー干渉計は、レーザー光を基板ステージ4が備える反射板(不図示)に向けて照射し、反射板で反射されたレーザー光によって基板ステージ4の基準位置からの変位を検出する。位置計測部5は、レーザー干渉計によって検出された変位に基づいて、基板ステージ4の現在の位置を検出する。
構造体6は、投影光学系3、基板ステージ4および位置計測部5を支持しており、また、支持台7は、構造体6を支持している。制御部8は、露光装置100の全体の動作を制御し、例えば、位置計測部5の計測結果に基づいて基板ステージ4の位置を制御する。
分割露光は、ウエハW上のデバイスが形成される領域(デバイス領域)を複数の領域に分割し、露光装置100が該分割された各領域を個別に露光することによって為される。該分割された各領域(分割領域)は、露光装置100のショット領域に対応している。各分割領域の露光は、基板ステージ4をX方向またはY方向に移動させながらレチクルRのパターンに対応した像を各分割領域に順に投影することによって為される。
これにより、ウエハW上のデバイス領域に潜像が形成される(具体的には、ウエハWに塗布された感光性部材のうちの露光光が照射された部分で化学変化が生じる)。その後、ウエハWの現像処理によって上述の潜像が顕像化され、このようにして、露光装置100の最大ショット領域のサイズよりも大きいサイズのデバイスを構成するためのレジストパターンが、ウエハW上に形成される。
次に、図11を参照しながら、ショット領域の倍率ずれについて述べる。図11(a)は、ウエハW上に投影される像が目標からずれている様子を説明するための模式図である。図中の破線で記した部分は、レチクルRのパターンにしたがってウエハW上に投影されるべき像(目標の像)を示しており、また、実線で示した部分は、レチクルRのパターンにしたがってウエハW上に実際に投影された像(実際の像)を示している。
図11(a)に示されるように、破線で示した目標の像と、実線で示した実際の像とは、それらの投影位置は同じであるが、寸法が異なっている。即ち、図11(a)は、目標の像の寸法に対する実際の像の寸法の倍率ずれを示している。本明細書では、この倍率ずれを、「ショットMag」と記し、X方向における該倍率ずれを「ショットMagX」と記し、Y方向における該倍率ずれを「ショットMagY」と記す。
例えば、X方向およびY方向における目標の像の寸法を20mm×30mmとし、実際の像の寸法を、(20mm+30nm)×(30mm+30nm)とする。即ち、X方向およびY方向における寸法のずれ量を共に30nmとする。この場合、
ショットMagX=30nm/20mm=1.5ppm、
ショットMagY=30nm/30mm=1.0ppm、
となる。
ショットMagX=30nm/20mm=1.5ppm、
ショットMagY=30nm/30mm=1.0ppm、
となる。
このような倍率ずれは、例えば、投影光学系3のディストーション、露光装置100そのものの重さによる歪み、さらには、露光装置100内の各構成部品やレチクルRが露光によって生じた熱で変形すること等によって生じうる。ここで、例えば逐次移動式(ステッパ型)の露光装置の場合は、投影光学系3の投影倍率を変更することによって、X方向およびY方向の双方について像の寸法が変わり、実際の像を目標の像に近付けることができる。また、例えば走査型(スキャン型)の露光装置の場合は、投影光学系3の投影倍率や、レチクルステージ2と基板ステージ4との相対的な走査速度を変更することによって、像のX方向またはY方向の寸法を個別に調節し、実際の像を目標の像に近付けることができる。
図11(b)は、ウエハW上に投影される像が目標からずれている他の様子を説明するための模式図を示している。ここでは、説明を容易にするため、目標の像および実際の像を中央に示す他、それに隣接する各像(上下左右の各像)を合わせて示している。図11(b)に示されるように、破線で示した目標の像と、実線で示した実際の像とは、それらの寸法は同じであるが、投影位置が異なっている。即ち、図11(b)は、目標の像の配列間隔(ピッチ)に対する実際の像の配列間隔の倍率ずれを示している。本明細書では、この倍率ずれを、「ウエハScale」と記し、X方向における該倍率ずれを「ウエハScaleX」と記し、Y方向における該倍率ずれを「ウエハScaleY」と記す。
例えば、X方向における目標の像の配列間隔を20mmとし、Y方向における目標の像の配列間隔を30mmとし、また、X方向における実際の像の配列間隔を20mm+30nmとし、Y方向における実際の像の配列間隔を30mm+30nmとする。即ち、X方向およびY方向への配列間隔のずれ量を共に30nmとする。この場合、
ウエハScaleX=30nm/20mm=1.5ppm、
ウエハScaleY=30nm/30mm=1.0ppm、
となる。
ウエハScaleX=30nm/20mm=1.5ppm、
ウエハScaleY=30nm/30mm=1.0ppm、
となる。
このような倍率ずれは、例えば、不均一な温度分布によって露光装置100内の各構成部品が変形すること等によって生じうる。ここで、例えば、基板ステージ4をX方向またはY方向に移動させることによって、X方向またはY方向について像の投影位置が変わり、実際の像を目標の像に近付けることができる。
以下では、X方向の倍率ずれXと、Y方向の倍率ずれYとを、
倍率ずれX=ショットMagX+ウエハScaleX、
倍率ずれY=ショットMagY+ウエハScaleY、
と定義して各実施形態を説明する。
倍率ずれX=ショットMagX+ウエハScaleX、
倍率ずれY=ショットMagY+ウエハScaleY、
と定義して各実施形態を説明する。
(2. 本発明の好適な実施形態の例)
(2−1. 第1実施形態)
図1〜4を参照しながら第1実施形態を説明する。図1は、ウエハW上のデバイス領域S(又はチップ領域)を示す模式図である。デバイス領域Sは、前述の露光装置100の最大ショット領域のサイズよりも大きいサイズのデバイス(又はチップ)を形成するための露光領域であり、デバイス領域S全体の露光処理は分割露光によって為される。即ち、デバイス領域Sを複数の領域に分割し、該分割された各領域(分割領域)について順に露光を行う。
(2−1. 第1実施形態)
図1〜4を参照しながら第1実施形態を説明する。図1は、ウエハW上のデバイス領域S(又はチップ領域)を示す模式図である。デバイス領域Sは、前述の露光装置100の最大ショット領域のサイズよりも大きいサイズのデバイス(又はチップ)を形成するための露光領域であり、デバイス領域S全体の露光処理は分割露光によって為される。即ち、デバイス領域Sを複数の領域に分割し、該分割された各領域(分割領域)について順に露光を行う。
図2は、所定のパターンaを有するレチクルR1を示す模式図である。露光を行う際には、レチクルR1のうちのパターンaの外側は、例えばマスキングブレードによって遮光され、レチクルR1の露光画角が規定される。パターンaは、その外周の4辺に、主尺マーク(白丸で図示)と、副尺マーク(黒丸で図示)とを有する。具体的には、互いに対向する2辺のうちの一方の辺の上に2つの主尺マークを有しており、他方の辺の上に2つの副尺マークを有している。
デバイス領域Sの各分割領域の露光は、隣接する分割領域の間で、これら主尺マークと副尺マークとが重なり合うように、順に為されればよい。即ち、主尺マークと副尺マークとが重なり合うように分割露光が為されれば、隣接する分割領域の間ではX方向ないしY方向でのパターンずれが生じないため、現像後にウエハW上に形成されるレジストパタ−ンは、各分割領域の境界部において整合する。
図3(a)は、デバイス領域Sの潜像を(又は、デバイス領域Sに投影される全ての像を同時に)示した模式図である。図3(a)では、デバイス領域Sは、4列×4行の計16個の領域に分割されている。なお、ここでは説明の容易にするため、全ての分割領域に同じレチクルR1(パターンaを有するレチクルR1)を用いて露光した場合を考える。しかし、各分割領域に用いられるレチクルが、互いに同じサイズであり、それらのパターンが上述の主尺マークおよび副尺マークをそれぞれ含んでいればよく、各分割領域に用いられるレチクルは、互いに異なるパターンを有するものでもよい。
また、ここでは、説明を容易にするため、投影光学系3の投影倍率を1倍とする。即ち、図3(a)に示された潜像は、4列×4行を形成する計16個のパターンaが等倍で投影された各像に対応する。なお、各像のX方向における配列間隔(ピッチ)をPxとし、Y方向における配列間隔をPyとする。
図3(a)に示されるように、各分割領域の境界において潜像が整合している場合には、主尺マークと副尺マークとが重なり合う。即ち、ウエハ上に投影される主尺マークと副尺マークとは、X方向およびY方向のいずれにおいてもずれない。
一方、図3(b)に例示されるように、各分割領域の境界において潜像の不整合がある場合には、主尺マークと副尺マークとは重なり合わない(ずれる)。この場合は、各マークのずれ量を測定し、ずれの補正量(単に「補正量」と称する)を測定結果に基づいて算出し、該補正量を用いて該ずれの補正を行う。
ここで、図4(a)に示されるように、2つの辺の一方の上の2つの主尺マークを、Mxp1およびMxp2と示し、他方の上の2つの主尺マークを、Myp1およびMyp2とそれぞれ示す。また、他の2つの辺の一方の上の2つの副尺マークを、Mxq1およびMxq2と示し、他方の上の2つの主尺マークを、Myq1およびMyq2とそれぞれ示す。互いに対向する2辺の一方には主尺マーク(例えばMxp1)が配され、他方には副尺マーク(例えばMxq1)が配される。
まず、倍率ずれX(X方向について必要な補正量)を計測ないし算出する。このことは、主尺マークMxp1及びMxp2並びに副尺マークMxq1及びMxq2を用いて測定することができる。
以下、4行×4列のデバイス領域Sの例を例示する図4(b)を参照しながら説明する。このデバイス領域Sには、主尺マークMxp1と副尺マークMxq1とが重なり合うべき部分が12個存在する。これら12個の部分を、それぞれ、Mx1(1)〜Mx1(12)と示す。例えば、部分Mx1(1)は、第1行・第1列の分割領域の副尺マークMxq1と、第1行・第2列の分割領域の主尺マークMxp1とが重なり合うべき部分である。ここで、部分Mx1(1)での主尺マークMxp1と副尺マークMxq1とのX方向のずれ量を、dMx1x(1)とする。同様に、部分Mx1(2)〜Mx1(12)での該ずれ量を、dMx1x(2)〜dMx1x(12)とする。
同様にして、主尺マークMxp2と副尺マークMxq2とが重なり合うべき12個の部分を、Mx2(1)〜Mx2(12)と示す。また、これら各部分Mx2(1)等における主尺マークMxp2と副尺マークMxq2とのX方向のずれ量を、dMx2x(1)等とする。
前述の倍率ずれXは、各部分Mx1(1)等における主尺マークMxp1と副尺マークMxq1とのずれ量dMx1x(1)等の平均により求められる。即ち、倍率ずれXは、i=1〜12の整数として、
式(1):
と、算出される。このようにして算出された倍率ずれX(X方向について必要な補正量)に基づいて、例えば、ウエハScaleXを調整すればよい。倍率ずれYについても同様である。
式(1):
と、算出される。このようにして算出された倍率ずれX(X方向について必要な補正量)に基づいて、例えば、ウエハScaleXを調整すればよい。倍率ずれYについても同様である。
なお、この算出方法は一例であり、他の方法によって倍率ずれXを算出してもよい。例えば、部分Mx1(1)〜Mx1(12)及びMx2(1)〜Mx2(12)のうちの一部について上記算出を行ってもよいし、部分Mx1(1)〜Mx1(12)及びMx2(1)〜Mx2(12)の一方を用いて上記算出を行ってもよい。
また、ここでは、ずれの補正を高精度に行うため、主尺マーク等は各分割領域の各辺の上に形成される場合を例示したが、倍率ずれXないしYを測定できればよく、必ずしも、辺の上に形成される必要はない。
以下では、図5を参照しながら補正方法の一例を述べる。例えば、ウエハW1を準備して、レチクルR1を用いてウエハW1に分割露光を行い、さらに現像処理を行う。ここでは、図5(a)に例示されるように、ウエハW1のデバイス領域Sの各分割領域に投影された像が、X方向では縮小しており、Y方向では歪んでいなかった場合を考える。図5(a)の例では、ウエハW1のデバイス領域Sにおいて、各分割領域に形成された潜像の間でX方向にずれ(ずれ量dx)が生じている。そこで、例えば基板ステージ4をX方向に移動させて、ずれ量dxを低減するようにウエハScaleXを調整する。そして、この調整が反映された分割露光を、レチクルR1を用いて他のウエハW2に行い、該ウエハW2の現像処理を行う。これによって、図5(b)に示されるように、ずれ量dxが低減(又は解消)されたレジストパターンがウエハW2に形成される。
なお、図5(b)の例では、ウエハW2のデバイス領域Sは、左右辺からそれぞれ1.5dxずつ(計3dx)寸法が小さくなっているが、その大きさは、数十nm程度である。よって、本補正によってデバイスのサイズが変わることによる後工程(パッケージング等)への影響は小さい。
上述の例では、Y方向には歪みがなかった場合を例示して補正方法の一例を述べた。しかし、Y方向にも歪みがある場合には、ウエハScaleYを調節すればよい。また、必要に応じて、投影光学系3の投影倍率を変えてショットMagXおよびショットMagYを調整してもよい。例えば、ウエハW1を用いて上述のずれ量の測定を行い、該測定結果に基づいて倍率ずれX及びYを算出する。次に、算出した倍率ずれX及びYのうちの一方についての補正を、ショットMagX(又はショットMagY)の調整によって行い、その後、他方についての補正をウエハScaleY(又はウエハScaleX)の調整によって行ってもよい。以上の方法によると、グローバルアライメントに依らずに各分割領域の境界の整合をとることも可能である。
以上、本実施形態では、第1のウエハW1に対して分割露光および現像処理を行い、ウエハW1に形成されたマークのずれ量に基づいてデバイス領域の歪みを計測し、該歪みに対応した分割露光を第2のウエハW2に行った。このことは、例えば、製品用のデバイスを分割露光によって製造する場合には、テストロットで分割露光および現像処理を行った後に前述のずれ量を測定し、該測定結果を製品ロットの分割露光に反映させればよい。以上、本実施形態によると、デバイス領域の歪みに対応した分割露光を行うのに有利である。
(2−2. 第2実施形態)
第2実施形態では、ウエハW2の分割露光を他のレチクルR2を用いて行う。具体的には、ウエハW1については、前述のレチクルR1を用いて分割露光を行い、その後、現像処理を行う。そして、ウエハW1上に形成されたマークのずれ量を計測し、この計測結果に基づいて、例えば、レチクルR1と同じサイズの他のレチクルR2を用いてウエハW2の分割露光を行う。
第2実施形態では、ウエハW2の分割露光を他のレチクルR2を用いて行う。具体的には、ウエハW1については、前述のレチクルR1を用いて分割露光を行い、その後、現像処理を行う。そして、ウエハW1上に形成されたマークのずれ量を計測し、この計測結果に基づいて、例えば、レチクルR1と同じサイズの他のレチクルR2を用いてウエハW2の分割露光を行う。
レチクルR2は、ウエハW1の分割露光に用いるレチクルR1と同じサイズであればよい。レチクルホルダに保持された各レチクルの変形は、異なるレチクルであっても同じサイズのレチクルであれば、略等しくなる。よって、レチクルR2のパターンは、レチクルR1と同じサイズであれば、例えば、レチクルR1のパターンaとは異なり、主尺マーク等を含まないものであってもよい。
レチクルR2のパターンが主尺マーク等を含まない場合には、ウエハW2上には主尺マーク等を有しない潜像が形成される。例えば、イメージセンサを分割露光により形成する場合には、撮像領域に対応するデバイス領域Sの内側には主尺マーク等が形成されない。よって、各分割領域の境界には、主尺マーク等の代わりに画素を形成することができる。又は、各分割領域の境界において、一部の画素を、主尺マーク等を形成するために他の画素よりも小さくする必要がない。
また、前述の第1実施形態では、レチクルR1のパターンaは、各辺の上に2つの主尺マーク又は副尺マークを有する場合を例示したが、この数量に限られるものではない。具体的には、レチクルR1は、ウエハW1を用いてデバイス領域の歪みを計測することを目的として用いられるものであり、図6に例示されるように、主尺マーク等の数量は3つ以上でもよい。レチクルR1のパターンaの主尺マーク等の数量を多くすることにより、デバイス領域の歪みをより高精度に計測することができる。また、ウエハW2の分割露光では、主尺マーク等を含まないパターンのレチクルR2を用いるため、レチクルR1における主尺マーク等の数量は、ウエハW2の分割露光に影響をおよぼすものではない。
以上、本実施形態によっても、第1実施形態と同様の効果が得られる。
(2−3. 第3実施形態)
第3実施形態では、投影光学系3のディストーションを測定し、その測定結果に基づいて、ウエハW2の分割露光を行う。例えば、まず、露光装置100を起動した後、ディストーションの測定を行う。
第3実施形態では、投影光学系3のディストーションを測定し、その測定結果に基づいて、ウエハW2の分割露光を行う。例えば、まず、露光装置100を起動した後、ディストーションの測定を行う。
ディストーションの測定に用いるレチクルR1’は、例えば、図7に示されるように、辺の上だけでなく、コーナー部および内側の領域にディストーションマーク(白丸で図示、以下、単に「マーク」とも称する。)を含むパターンa’を有する。ここでは、パターンa’は、6行×6列の計36個のマークを含んでいる。これら36個のマークのうち、Y方向と並行な辺(左右辺)の上の計12個のマークを、ML(1)〜ML(6)、MR(1)〜MR(6)と示す。マークML(1)〜ML(6)は、ショット領域の左側のマークであり、マークMR(1)〜MR(6)は、ショット領域の右側のマークである。マークML(1)〜ML(6)のX方向へのディストーション量をdMLx(1)〜dMLx(6)とし、マークMR(1)〜MR(6)のX方向へのディストーション量をdMRx(1)〜dMRx(6)とする。
対向するマークML(1)〜ML(6)とMR(1)〜MR(6)との距離をQxとしたときに、前述の配列間隔Px(図3)と距離Qxとは理想的には等しい。前述のとおり、ショットMagXは、目標の像の寸法に対する実際の像の寸法のX方向における倍率ずれである。ショットMagXは、
式(2):
と、求められる。また、ショットMagXは、Excel(登録商標)のソルバー機能を用いて、ショットMagXの補正残差(絶対値)の最大値が小さくなるようにして算出してもよい。なお、ショットMagXの補正残差(絶対値)の最大値は、i=1〜6の整数として、
式(3):
である。ショットMagYについても同様である。
式(2):
と、求められる。また、ショットMagXは、Excel(登録商標)のソルバー機能を用いて、ショットMagXの補正残差(絶対値)の最大値が小さくなるようにして算出してもよい。なお、ショットMagXの補正残差(絶対値)の最大値は、i=1〜6の整数として、
式(3):
である。ショットMagYについても同様である。
ここでは、説明を容易にするため、左右辺の上の計12個のマークを用いてディストーションの計測を行う方法を例示したが、本発明は、この方法に限られるものではない。例えば、パターンa’の内側の領域の任意のマークを用いて近似的な計測を行ってもよいし、補間してもよい。
その後は、第1実施形態と同様にして、例えばウエハScaleXないしYを調整して、ウエハW2の分割露光を行えばよい。以上、本実施形態によっても、第1実施形態等と同様の効果が得られる。
(2−4. 第4実施形態)
前述の第1実施形態等では、X方向(又はY方向)の倍率ずれX(又はY)に着目して説明したが、第4実施形態では、ショット回転について同様の補正を行う。
前述の第1実施形態等では、X方向(又はY方向)の倍率ずれX(又はY)に着目して説明したが、第4実施形態では、ショット回転について同様の補正を行う。
図8(a)は、1つのショット領域が反時計まわりの方向に回転した様子を示している。本明細書では、この回転ずれを「ショットRot」と記し、X軸に対する+Y方向の回転ずれを「ショットRotX」と記し、Y軸に対する−X方向の回転ずれを「ショットRotY」と記す。なお、反時計まわりの方向を正方向とする。
図8(b)は、ショット領域の配列が反時計まわりの方向に回転した様子を示している。本明細書では、この回転ずれを「ウエハRot」と記し、X軸に対する+Y方向の回転ずれを「ウエハRotX」と記し、Y軸に対する−X方向の回転ずれを「ウエハRotY」と記す。なお、反時計まわりの方向を正方向とする。
以下、X座標に対する回転ずれRotXと、Y座標に対する回転ずれRotYとを、
回転ずれRotX=ショットRotX+ウエハRotX、
回転ずれRotY=ショットRotY+ウエハRotY、
と定義して本実施形態を説明する。
回転ずれRotX=ショットRotX+ウエハRotX、
回転ずれRotY=ショットRotY+ウエハRotY、
と定義して本実施形態を説明する。
前述の図4を再び参照すると、回転ずれRotXは、部分Mx1(1)等での主尺マークMxp1と副尺マークMxq1とのY方向のずれ量dMx1y(1)等を用いて近似的に求められる。前述の式(1)を参照すると、
式(4):
と、算出される。その後、第1実施形態等と同様に、算出された回転ずれRotX(X座標に対する回転ずれについて必要な補正量)に基づいて、例えば、ウエハRotXを調整すればよい。
式(4):
と、算出される。その後、第1実施形態等と同様に、算出された回転ずれRotX(X座標に対する回転ずれについて必要な補正量)に基づいて、例えば、ウエハRotXを調整すればよい。
以上、本実施形態によると、第1実施形態等と同様にして、ショット回転に対する補正を行うことができる。
(3. その他)
以上では、本発明のいくつかの好適な実施形態を例示したが、本発明はこれらに限られるものではなく、目的等に応じて他の実施形態によっても為され得、例えば、各実施形態の一部を変更してもよいし、各実施形態を組み合わせてもよい。
以上では、本発明のいくつかの好適な実施形態を例示したが、本発明はこれらに限られるものではなく、目的等に応じて他の実施形態によっても為され得、例えば、各実施形態の一部を変更してもよいし、各実施形態を組み合わせてもよい。
例えば、各実施形態の算出方法は、例示した方法に限られるものではなく、他のパラメータを用いてもよいし、該パラメータとの重み付け加算による算出方法を用いてもよい。また、各実施形態の方法は、いくつかの露光装置を組み合わせて行う露光方式(いわゆるミックス・アンド・マッチ)にも適用可能である。例えば、第1の分割露光を逐次移動式の露光装置を用いて行い、第2の分割露光を走査型の露光装置を用いて行う場合にも適用可能である。また、各実施形態では、矩形形状のデバイス領域Sを示したが、必ずしも矩形形状である必要はない。例えば、図9(a)に示すような十字形状の領域の分割露光を行う場合や図9(b)に示すような卍形状の領域の分割露光を行う場合も同様である。
Claims (8)
- 基板上の露光領域を複数の領域に分割し、該分割された各領域を個別に露光する分割露光による露光方法であって、
第1のウエハの前記分割露光を、個別に露光する前記第1のウエハの各領域にマークを形成するためのパターンを有するレチクルを用いて行う第1工程と、
前記第1のウエハの現像処理を行い、前記第1のウエハの前記各領域の各辺に形成された前記マークに基づいて前記露光領域の歪みを検出する第2工程と、
第2のウエハの前記分割露光を、前記第1工程で用いたレチクルと同じサイズのレチクルを用いて行う第3工程と、
前記第2のウエハの現像処理を行う第4工程と、を有し、
前記第3工程では、個別に露光する前記第2のウエハの各領域の位置を、前記第2工程で検出した前記露光領域の前記歪みに基づいて、前記第4工程の現像処理により形成されるべきレジストパターンの歪みが低減されるように調節する
ことを特徴とする露光方法。 - 前記第1工程で用いるレチクルは、前記第1のウエハの前記各領域の各辺に少なくとも2つのマークを形成するためのパターンを有する
ことを特徴とする請求項1に記載の露光方法。 - 前記第1工程で用いるレチクルにより前記各領域に形成されるマークは、互いに対向する2辺の一方に形成される第1のマークと、前記2辺の他方に形成される第2のマークと、を含み、
前記第2工程では、前記第1のマークと前記第2のマークとの距離に基づいて前記露光領域の歪みを検出する
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の露光方法。 - 前記第3工程で用いるレチクルは、前記第1工程で用いたレチクルと同じサイズの他のレチクルであり、該他のレチクルは、前記第2のウエハの前記各領域にマークを形成するためのパターンを有しない
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の露光方法。 - 前記第3工程では、露光装置の前記第2のウエハを保持するステージの位置を変えて前記第2のウエハの前記各領域の位置を調節する
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の露光方法。 - 前記第3工程では、露光装置の投影光学系の投影倍率を変えて前記第2のウエハの前記各領域の位置を調節する
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の露光方法。 - 前記第3工程では、露光装置のショット領域のローテーションの量を調整して前記第2のウエハの前記各領域の位置を調節する
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の露光方法。 - 前記露光領域の歪みは、露光装置の投影光学系のディストーションに起因するものを含む
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の露光方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013251414A JP2015109345A (ja) | 2013-12-04 | 2013-12-04 | 露光方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2013251414A JP2015109345A (ja) | 2013-12-04 | 2013-12-04 | 露光方法 |
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JP2015109345A true JP2015109345A (ja) | 2015-06-11 |
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ID=53439507
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JP2013251414A Pending JP2015109345A (ja) | 2013-12-04 | 2013-12-04 | 露光方法 |
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JP (1) | JP2015109345A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113448177A (zh) * | 2020-03-24 | 2021-09-28 | 株式会社斯库林集团 | 描画装置、数据处理装置、描画方法、以及描画数据生成方法 |
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2013
- 2013-12-04 JP JP2013251414A patent/JP2015109345A/ja active Pending
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