JP2009069284A5 - - Google Patents
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Claims (5)
- （Ａ）アルカリ可溶性ノボラック樹脂、（Ｂ）感光剤、及び（Ｃ）水酸基の一部又は全部が有機酸でエステル化されている多価アルコールのエステルを含有するポジ型ホトレジスト組成物であって、
前記（Ｃ）成分が、グリセリンモノアセテート、グリセリンジアセテート、及びグリセリントリアセテートから選ばれる少なくとも１種であり、該（Ｃ）成分の配合量が前記（Ａ）成分に対して１〜３０質量％であるポジ型ホトレジスト組成物。 - 前記（Ｂ）成分が、全フェノール性水酸基の水素原子の一部が１，２−ナフトキノンジアジドスルホニル基で置換されているアルカリ可溶性ノボラック樹脂である請求項１記載のポジ型ホトレジスト組成物。
- （Ｄ）全フェノール性水酸基の水素原子の一部が１，２−ナフトキノンジアジドスルホニル基で置換されているアルカリ可溶性ノボラック樹脂、及び（Ｃ）水酸基の一部又は全部が有機酸でエステル化されている多価アルコールのエステルを含有するポジ型ホトレジスト組成物であって、
前記（Ｃ）成分が、グリセリンモノアセテート、グリセリンジアセテート、及びグリセリントリアセテートから選ばれる少なくとも１種であり、該（Ｃ）成分の配合量が前記（Ｄ）成分に対して１〜３０質量％であるポジ型ホトレジスト組成物。 - 前記（Ｃ）成分が、グリセリントリアセテートである請求項１又は３記載のポジ型ホトレジスト組成物。
- 請求項１又は３記載のポジ型ホトレジスト組成物を用いて形成した感光性膜が基板上に形成されていることを特徴とする感光性膜付基板。
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