TWI455980B - 正型感光性樹脂組成物 - Google Patents

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TWI455980B TW099101537A TW99101537A TWI455980B TW I455980 B TWI455980 B TW I455980B TW 099101537 A TW099101537 A TW 099101537A TW 99101537 A TW99101537 A TW 99101537A TW I455980 B TWI455980 B TW I455980B
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Yukihiro Kato
Shuichi Takahashi
Toshiya Okamura
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Claims (3)

  1. 一種感光性樹脂組成物，其係由成分(A)、(B)及(C)所組成，其特徵為，成分(A)係由下述構成單位所組成的共聚物：由下述式(1)所示之反丁烯二酸(fumaric acid)二酯單體所衍生的構成單位(a1)；由下述式(2)所示之芳香族乙烯(vinyl)單體所衍生的構成單位(a2)；由下述式(3)所示之α,β-不飽和羧酸單體所衍生的構成單位(a3)；及由下述式(4)所示之(甲基)丙烯酸酯單體所衍生的構成單位(a4)，該共聚物中，構成單位(a1)與構成單位(a2)之合計量在該成分(A)中為40至85質量%，構成單位(a3)與構成單位(a4)之質量比(a4)/(a3)為0.2至7.0， 式中，R1 及R2 係各自為碳數3至8之分支烷基、碳數4至12之環烷基或經取代的分支之環烷基 式中，R3 為氫原子或甲基；R4 為碳數6至12之芳香族烴基 式中之R5 為氫原子、甲基或羧甲基 式中之R6 為氫原子或甲基；R7 為碳數6至12之芳香族烴基、碳數1至12之烷基、碳數1至12之分支烷基、碳數2至12之羥烷基或主環(principle ring)構成碳數為5至12之脂環式烴基成分(B)係將具有羥基的酚性化合物與醌二疊氮化合物予以酯化反應所得，具有醌二疊氮基(quinonediazide group)的感光劑，成分(C)係具有2個以上環氧基的硬化劑，相對於成分(A)100質量份，成分(B)及(C)之構成比率為：(B)為5至50質量份及(C)為1至40質量份。
  2. 一種平面顯示器，其係具有將如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物予以硬化之層。
  3. 一種半導體裝置，其係具有將如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物予以硬化之層。
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