JP5851307B2 - 遮光層形成用感光性基材組成物の製造方法 - Google Patents
遮光層形成用感光性基材組成物の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5851307B2 JP5851307B2 JP2012078274A JP2012078274A JP5851307B2 JP 5851307 B2 JP5851307 B2 JP 5851307B2 JP 2012078274 A JP2012078274 A JP 2012078274A JP 2012078274 A JP2012078274 A JP 2012078274A JP 5851307 B2 JP5851307 B2 JP 5851307B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- component
- shielding layer
- light shielding
- photosensitive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Materials For Photolithography (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Description
かかるカラーフィルタの製造方法の一つとして、ブラックマトリクスを隔壁として、カラーフィルタの着色層をインクジェット方式で形成する方法が提案されている(例えば、下記特許文献1)。
またカラーフィルタに限らず各種表示装置において、各画素間の境界上にブラックマトリクスを設けることによって画像のコントラスト向上を図ることもある。
ブラックマトリクス表面にピンホール等を生じさせ、パターンの不均一化等を発生させる。
ピンホール等が発生しない、高品質なブラックマトリクスを製造するためには、感光性樹脂や有機溶剤中の不純物や異物を除去する必要がある。
本発明の遮光層形成用感光性基材組成物の製造方法は、感光性基材成分(A)(以下、(A)成分という。)を有機溶剤成分(S)(以下、(S)成分という。)に溶解させ、得られた基材溶液を、孔径が1μm以下のPTFE膜を用いてろ過した後、該基材溶液に顔料成分(G)(以下、(G)成分という。)を分散させることを特徴とする。
本発明の遮光層形成用感光性基材組成物の製造方法に用いる(A)成分は、特に限定されず、従来公知となっているものを用いることができる。例えば、アルカリ可溶性樹脂(A1)(以下、(A1)成分という。)と、光重合性化合物(A2)(以下、(A2)成分という。)と、光重合開始剤(A3)(以下、(A3)成分という。)とを含むものであり、紫外線等の光を照射することにより、硬化するものが挙げられる。光を照射した部分を硬化させることにより、所望の形状のパターンを得ることができる。
本発明において、(A1)成分は、下記アルカリ可溶性樹脂(A1−1)(以下、(A1−1)成分という。)または下記光硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂(A1−2)(以下、(A1−2)成分という。)が適用できる。
(A1−1)成分としては、アクリル酸、メタクリル酸などのカルボキシ基を有するモノマーから選ばれる1種以上と、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、N−ブチルアクリレート、N−ブチルメタクリレート、イソブチルアクリート、イソブチルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、フェノキシアクリレート、フェノキシメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソボルニルメタクリレート、グリシジルメタクリレート、スチレン、アクリルアミド、アクリロニトリルなどから選ばれる1種以上との共重合体や;
フェノールノボラック型エポキシアクリレート重合体、フェノールノボラック型エポキシメタクリレート重合体、クレゾールノボラック型エポキシアクリレート重合体、クレゾールノボラック型エポキシメタクリレート重合体、ビスフェノールA型エポキシアクリレート重合体、ビスフェノールS型エポキシアクリレート重合体などの樹脂が挙げられる。
これらの樹脂はアクリロイル基またはメタクリロイル基が導入されていることから架橋効率が高められ塗膜の耐光性、耐薬品性が優れている。
前記(A1−1)成分を構成するモノマー成分のうち、アクリル酸、メタクリル酸などのカルボキシ基を有するモノマー成分の含有量が5〜40質量%の範囲であることが好ましい。
(A1−2)成分としては、下記一般式(1)で示される重合体が挙げられる。該一般式(1)で示される化合物は、それ自体が光重合性(光硬化性)を有するので、これを含有する遮光膜形成用感光性樹脂では、紫外線の透過率を高めることにより、一層感度を向上させることをできる。
また、前記Zを誘導するテトラカルボン酸二無水物(2個のカルボン酸無水物基を除く前のテトラカルボン酸二無水物)の具体例としては、例えば無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物等のテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。
本発明における(A1)成分の質量平均分子量(Mw)(ゲルパーミエーションクロマトグラフィーによるポリスチレン換算基準)は、特に限定するものではないが、1000〜1000000が好ましく、3000〜50000がより好ましく、5000〜15000が最も好ましい。この範囲の上限よりも小さいと、レジストとして用いるのに充分なレジスト溶剤への溶解性があり、この範囲の下限よりも大きいとレジストパターン断面形状が良好である。
本発明における(A2)成分としては、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、カルドエポキシジアクリレート、アクリル酸、メタクリル酸等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
(A2)成分は1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
なお本発明において、光重合性を有するアルカリ可溶性の重合体は上記(A1)成分に含まれ、光重合性を有する単量体は(A2)成分に含まれるものとする。
(A2)成分の配合量を上記範囲の下限値以上とすることにより、露光時の硬化不良が生じ難く、十分な耐熱性、耐薬品性を得ることができる。また良好な被膜形成能を得、現像後の膜残りを防止するうえで、上記範囲の上限値以下とすることが好ましい。
本発明における(A3)成分としては、特に限定されず、これまで感光性組成物用の光重合開始剤として提案されているものを使用することができる。(A3)成分としてオキシム系光重合開始剤を含有することが好ましく、下記式(3)で表されるオキシム系光重合開始剤を含有することがより好ましい。式(3)中、Ra基として表されるカルバゾール基と、Rc基に含まれるオキシム酸素とが、C=N結合に対してアンチの立体配座、すなわち下記式(6)のような立体配座となるような異性体(アンチ体)の割合が、90%以上であることがより好ましい。このような異性体の割合が高くなるにつれて、露光後の遮光層形成用感光性樹脂組成物の現像剤に対する溶解性が低下し、形成されたパターンの直進性が向上する。
(S)成分としては、ベンゼン、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセリン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノエチルエーテルプロピオネート、炭酸メチル、炭酸エチル、炭酸プロピル、炭酸ブチルなどが挙げられる。中でも3−メトキシブチルアセテートは遮光層形成用感光性樹脂組成物中の可溶成分に対して優れた溶解性を示すのみならず、顔料などの不溶性成分の分散性を良好にするところから好適である。
(S)成分の使用量は特に限定しないが、基板等に塗布可能な濃度で、塗布膜厚に応じて適宜設定される。本発明における遮光層形成用感光性樹脂組成物の粘度は、5〜100cp、好ましくは10〜50cp、より好ましくは20〜30cpである。また、固形分濃度は、5〜100質量%、好ましくは20〜50質量%の範囲である。
上記熱重合禁止剤としては、従来公知のものであってよく、ヒドロキノン、ヒドロキノンモノエチルエーテル等が挙げられる。
上記消泡剤としては、従来公知のものであってよく、シリコーン系、フッ素系化合物が挙げられる。
上記界面活性剤としては、従来公知のものであってよく、アニオン系、カチオン系、ノニオン系等の化合物が挙げられる。
本発明では(G)成分として、カーボンブラック等の黒色顔料を用いることができる。また、黒、赤、青、緑、黄、紫の色素を併用して、色調等を調整したものも用いることができる。色素は公知のものを適宜用いることができる。
特に、顔料として、カーボンブラックと他の色素を併用して用いた場合、カーボンブラックが全顔料中の15質量%未満であると、上記遮光層形成用感光性樹脂組成物の感度を低下させることなく、遮光率を向上させることができる。
また、遮光層形成用感光性樹脂組成物中においてペリレン系顔料を分散状態にするためには、ペリレン系顔料の平均粒径が10〜1000nmであることが好ましい。
本発明の遮光層形成用感光性樹脂組成物におけるペリレン系顔料の含有量は、(A1)成分100質量部に対して、5〜250質量部が好ましい。より好ましい範囲は10〜200質量部である。ペリレン系顔料の含有量を上記範囲の下限値以上とすることにより、良好な遮光性が得られる。また上記範囲の上限値以下とすることが露光不良や硬化不良を防止するうえで好ましい。
上記の下限値以上とすることにより、上記遮光層形成用感光性樹脂組成物を用いて2μm超の厚膜を形成する際の感度を得ることができるとともに、遮光膜の良好な遮光率を達成することができる。
以下、本発明の遮光層形成用感光性樹脂組成物を用いて遮光層を形成する方法の一実施形態として、ブラックマトリクスを形成する方法の例を説明する。
まず遮光層形成用感光性樹脂組成物を、基板上にロールコーター、リバースコーター、バーコーター等の接触転写型塗布装置やスピンナー(回転式塗布装置)、カーテンフローコータ等の非接触型塗布装置を用いて塗布する。基板は、光透過性を有する基板が用いられ、例えば厚さ0.5〜1.1mmのガラス基板である。
ガラス基板と遮光層形成用感光性樹脂組成物との密着性を向上させるために、予めガラス基板上にシランカップリング剤を塗布しておいてもよい。あるいは遮光層形成用感光性樹脂組成物の調製時にシランカップリング剤を添加しておいてもよい。
上記塗布後、乾燥させて溶剤を除去する。乾燥方法は特に限定されず、例えば(1)ホットプレートにて80℃〜120℃、好ましくは90℃〜100℃の温度にて60秒〜120秒間乾燥する方法、(2)室温にて数時間〜数日放置する方法、(3)温風ヒーターや赤外線ヒーター中に数十分〜数時間入れて溶剤を除去する方法、のいずれでもよい。
次いで、ネガ型のマスクを介して、紫外線、エキシマレーザー光等の活性性エネルギー線を照射して部分的に露光する。照射するエネルギー線量は、遮光層形成用感光性樹脂組成物の組成によっても異なるが、例えば30〜2000mJ/cm2程度が好ましい。
露光後の膜を、現像液を用いて現像することによってブラックマトリクスパターンを形成する。現像方法は特に限定されず、例えば浸漬法、スプレー法等を用いることができる。現像液の具体例としては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機系のものや、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、4級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。
これは、遮光性色素としてペリレン系顔料を用いることにより、樹脂組成物が露光光を透過し、かつ可視光を遮光するという特性を実現できるものと考えられる。
また本発明の遮光層形成用感光性樹脂組成物を用いて形成される、膜厚が一定の遮光層は、2枚の基板間に液晶が収容された構成を有する液晶ディスプレイにおいて、2枚の基板間の間隔を一定に保つために、該2枚の基板間に挟まれた状態で設けられるスペーサーを兼ねることができる。このようなスペーサー機能を有する遮光層の膜厚は、特に限定されるものではないが、2μm超であることが好ましい。
さらに、スペーサーが遮光性を有するので、スペーサー部分が常に光透過状態にあることによる「白抜け」を防止することができる。
本発明によれば、ブラックマトリクスを厚膜に形成することができる。したがって、本発明の遮光層形成用感光性樹脂組成物は、特に、予め形成したブラックマトリクスの開口部内にインクジェット方式で着色層を形成してカラーフィルタを形成する方法におけるブラックマトリクスの形成に好適である。該方法におけるブラックマトリクスは、いわゆる隔壁(バンク)としての役割を果たす。
本発明において、インクジェット方式における隔壁(バンク)として用いられるブラックマトリクスの膜厚は、特に限定されるものではないが、2μm超であることが好ましい。
そして、隔壁(バンク)としてのブラックマトリクスを形成した後、該ブラックマトリクスの開口部内にインクジェット方式で着色インクを塗布する工程と、該着色インクを硬化させる工程とを繰り返して着色層を形成し、さらに必要に応じて透明保護膜を形成することによりカラーフィルタを製造することができる。インクジェット方式により着色層を形成する方法は、公知の手法を用いることができる。
またブラックマトリクスが薄い(隔壁が低い)場合に比べて、低粘度の着色インクを使用することができる。
また、従来どおりホトリソグラフ法によってもカラーフィルタを形成することができる。
特開2001−354735号公報に従い、500mL四つ口フラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂235g(エポキシ当量235)とテトラメチルアンモニウムクロライド110mg、2,6−ジ−tertブチル−4−メチルフェノール100mg及びアクリル酸72.0gを仕込み、これに25mL/分の速度で空気を吹き込みながら90〜100℃で加熱溶解した。
次に、溶液が白濁した状態のまま徐々に昇温し、120℃に加熱して完全溶解させた。ここで溶液は次第に透明粘稠になったがそのまま攪拌を継続した。
この間、酸価を測定し、1.0mgKOH/g未満になるまで加熱攪拌を続けた。酸価が目標に達するまで12時間を要した。そして室温まで冷却し、無色透明で固体状の、下記化学式(3)で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートを得た。
酸無水物基の消失を確認した後、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸38.0gを混合し、90℃で6時間反応させ、上記化学式(1)(式中、Xは前記化学式(3)で表される化合物から2個の水酸基を除いた2価の残基であり、Yは、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸からカルボン酸無水物基を除いた2価の残基であり、Zはビフェニルテトラカルボン酸二無水物から2個のカルボン酸無水物基を除いた4価の残基である。式中のY/Zのモル比=50.0/50.0である。)で表される化合物1を得た。酸無水物の消失はIRスペクトルにより確認した。
1H NMR(CDCl3):δ 8.7(s,1H),8.5(s,1H),8.2−7.9(m,5H),7.7−7.4(m,6H),4.9(s,1H),4.4(q,2H),3.3(d,2H),2.4(s,3H),2.2(s,3H),1.8(s,3H),1.4(t,3H),1.2(d,3H)
得られたオキシム系光重合開始剤(B)は、その後、シリカゲルカラムクロマトグラフィー(展開溶媒 水:アセトニトリル=9:1(質量比))にて、アンチ体とシン体とに分離し、式(24)に示すアンチ体のオキシム系光重合開始剤(anti−(B))と、式(25)に示すシン体のオキシム系光重合開始剤(syn−(B))とを得た。これらを表1に示す割合にて混合し、光重合開始剤1〜3を調製した。
次に、表2に示す組成のうち、着色剤成分を除いた基材溶液1〜3を調製し、これを、孔径が0.2μmのPTFE膜(アドバンテック社製)にてろ過した後、それぞれの基材溶液に、(G)成分として前記着色剤を所定量分散させて、表2に示す組成の遮光層形成用感光性基材組成物を調製した。なお、表2における数値の単位は質量部である。
光重合開始剤(A3):実施例1では光重合開始剤1(基材溶液1)を用いた。実施例2では光重合開始剤2(基材溶液2)を用いた。実施例3では光重合開始剤3(基材溶液3)を用いた。
着色剤(G):カーボンブラック25質量%、溶剤:3−メトキシブチルアセテート、御国色素社製
MA(S):3−メトキシブチルアセテート
PM(S):プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
AN(S):シクロヘキサノン
得られたブラックマトリクスのピンホールの有無を目視で確認したところ、ピンホールは認められず、良好なブラックマトリクスを得ることができた。
ろ過膜を、孔径が0.2μmのPE膜(インテグリス社製)としたこと以外、実施例1と同様の方法でブラックマトリクスを得た。目視でピンホールの有無を確認したところ、ピンホールが数十個確認された。
ろ過膜を、孔径が0.1μmのPP膜(キッツマイクロフィルター社製)としたこと以外、実施例1と同様の方法でブラックマトリクスを得た。目視でピンホールの有無を確認したところ、ピンホールが数十個確認された。
Claims (5)
- 感光性基材成分(A)を有機溶剤成分(S)に溶解させ、得られた基材溶液を孔径が1μm以下のPTFE膜にてろ過した後、該基材溶液に顔料成分(G)を分散させ、
前記感光性基材成分(A)が光重合性化合物(A2)を含有することを特徴とする遮光層形成用感光性基材組成物の製造方法。 - 前記感光性基材成分(A)が、アルカリ可溶性樹脂(A1)を含有する請求項1に記載の遮光層形成用感光性基材組成物の製造方法。
- 前記感光性基材成分(A)が、光重合開始剤(A3)を含有する請求項1又は2に記載の遮光層形成用感光性基材組成物の製造方法。
- 前記光重合開始剤(A3)が、オキシム系光重合開始剤を含有する請求項3に記載の遮光層形成用感光性基材組成物の製造方法。
- 前記顔料成分(G)が、黒色顔料を含有する請求項1〜4のいずれか1項に記載の遮光層形成用感光性基材組成物の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012078274A JP5851307B2 (ja) | 2012-03-29 | 2012-03-29 | 遮光層形成用感光性基材組成物の製造方法 |
CN201310092395.8A CN103365079B (zh) | 2012-03-29 | 2013-03-21 | 遮光层形成用感光性基材组合物的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012078274A JP5851307B2 (ja) | 2012-03-29 | 2012-03-29 | 遮光層形成用感光性基材組成物の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013205827A JP2013205827A (ja) | 2013-10-07 |
JP5851307B2 true JP5851307B2 (ja) | 2016-02-03 |
Family
ID=49366737
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012078274A Active JP5851307B2 (ja) | 2012-03-29 | 2012-03-29 | 遮光層形成用感光性基材組成物の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5851307B2 (ja) |
CN (1) | CN103365079B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5735155B2 (ja) * | 2014-04-21 | 2015-06-17 | グリー株式会社 | 制御方法及びその制御方法を実行させるプログラム |
TWI664499B (zh) * | 2016-06-04 | 2019-07-01 | 奇美實業股份有限公司 | 黑色感光性樹脂組成物及其應用 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6110641A (en) * | 1997-12-04 | 2000-08-29 | Shipley Company, L.L.C. | Radiation sensitive composition containing novel dye |
JP2001281440A (ja) * | 2000-04-03 | 2001-10-10 | Nippon Zeon Co Ltd | 遮光膜、その製造方法及びその用途 |
JP4438080B2 (ja) * | 2000-09-29 | 2010-03-24 | 日本ゼオン株式会社 | 絶縁膜形成用感放射線性樹脂組成物及び有機エレクトロルミネッセンス素子用絶縁膜 |
TW594395B (en) * | 2000-09-29 | 2004-06-21 | Nippon Zeon Co | Photoresist composition for insulating film, insulating film for organic electroluminescent element, and process for producing the same |
JP5338352B2 (ja) * | 2009-02-09 | 2013-11-13 | 日油株式会社 | ポジ型感光性樹脂組成物 |
-
2012
- 2012-03-29 JP JP2012078274A patent/JP5851307B2/ja active Active
-
2013
- 2013-03-21 CN CN201310092395.8A patent/CN103365079B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013205827A (ja) | 2013-10-07 |
CN103365079B (zh) | 2018-10-26 |
CN103365079A (zh) | 2013-10-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4794870B2 (ja) | 遮光層形成用感光性樹脂組成物ならびに遮光層およびカラーフィルタ | |
TWI793206B (zh) | 化合物、組合物、硬化物及硬化物之製造方法 | |
JP7002617B2 (ja) | オキシムエステル誘導体化合物、それを含む光重合開始剤及び感光性組成物 | |
CN109661855B (zh) | 有机场致发光元件间隔壁形成用感光性树脂组合物、间隔壁、有机场致发光元件、图像显示装置及照明 | |
JP4510672B2 (ja) | 感光性樹脂組成物およびカラーフィルタ | |
WO2018196619A1 (zh) | 含有可聚合基团的芴肟酯类光引发剂、制备方法及其应用 | |
JP6606055B2 (ja) | 着色感光性樹脂組成物、これを利用して製造されたカラーフィルタ及び画像表示装置 | |
JP2017102431A (ja) | 着色感光性樹脂組成物、これを利用して製造されたカラーフィルターおよび画像表示装置 | |
KR102228630B1 (ko) | 카바졸 멀티 베타 옥심에스테르 유도체 화합물 및 이를 포함하는 광중합 개시제와 포토레지스트 조성물 | |
JP2016191905A (ja) | 感光性樹脂組成物、パターン形成方法、硬化膜、絶縁膜、カラーフィルタ、及び表示装置 | |
JP2013134263A (ja) | ブラックカラムスペーサ用感光性樹脂組成物、ブラックカラムスペーサ、表示装置、及びブラックカラムスペーサの形成方法 | |
JP2009014970A (ja) | 着色感光性組成物 | |
JP6037708B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、パターン形成方法、カラーフィルタ、及び表示装置 | |
JP6591306B2 (ja) | ネガティブ型感光性樹脂組成物、これを用いて形成される光硬化パターンおよび画像表示装置 | |
TWI665518B (zh) | 負型感光性樹脂組合物、使用該組合物的光固化圖案及圖像顯示裝置 | |
JP5851307B2 (ja) | 遮光層形成用感光性基材組成物の製造方法 | |
JP6401529B2 (ja) | 感光性組成物 | |
JP2010262027A (ja) | 着色感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示素子 | |
JP6080543B2 (ja) | ネガ型感光性樹脂組成物 | |
JP5916939B2 (ja) | ブラックカラムスペーサの形成方法 | |
JP6051094B2 (ja) | 遮光層形成用感光性基材組成物の製造方法 | |
KR20180028063A (ko) | 착색 감광성 수지 조성물 및 옥심계 광중합 개시제 | |
JP6725631B2 (ja) | カルバゾールオキシムエステル誘導体化合物、それを含む光重合開始剤及び感光性組成物 | |
KR102466525B1 (ko) | 신규한 비페닐 옥심 에스테르 유도체 화합물 및 이를 포함하는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물 | |
KR101947474B1 (ko) | 착색 감광성 수지 조성물 및 옥심계 광중합 개시제 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141225 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150812 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150818 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150924 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20150925 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151104 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151202 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Ref document number: 5851307 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |