JP2009058377A - 検査装置 - Google Patents

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101865672A (zh) * 2010-06-08 2010-10-20 王旗 煮糖罐晶粒形态在线监测方法
CN101718530B (zh) * 2009-11-18 2011-05-18 上海理工大学 电磁线绕包质量在线检测系统
CN102589453A (zh) * 2011-12-16 2012-07-18 中国计量学院 轴类工件外径影像测量装置及其测量方法
WO2012111604A1 (ja) * 2011-02-17 2012-08-23 シャープ株式会社 線幅測定装置
WO2016050954A1 (en) * 2014-10-02 2016-04-07 Connaught Electronics Ltd. Motor vehicle camera device with histogram spreading

Citations (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0254104A (ja) * 1988-08-18 1990-02-23 Gunze Ltd 面積測定法
JPH04229287A (ja) * 1990-09-21 1992-08-18 Canon Inc 印字評価方法及び印字評価装置
JPH08292198A (ja) * 1995-02-23 1996-11-05 Olympus Optical Co Ltd 共焦点走査型光学顕微鏡およびこの顕微鏡を使用した測定方法
JPH0989528A (ja) * 1995-09-22 1997-04-04 Nikon Corp 寸法測定装置
JPH09243929A (ja) * 1996-03-04 1997-09-19 Olympus Optical Co Ltd 走査型レーザ顕微鏡
JPH1062134A (ja) * 1996-08-22 1998-03-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 認識検査における照明調整方法
JP2000028319A (ja) * 1998-07-09 2000-01-28 Hitachi Denshi Ltd 顕微鏡用自動調光装置
JP2000358170A (ja) * 1999-06-17 2000-12-26 Olympus Optical Co Ltd 映像信号処理装置及び内視鏡システム
JP2001028714A (ja) * 1999-05-10 2001-01-30 Minolta Co Ltd 固体撮像装置
JP2002152623A (ja) * 2000-11-15 2002-05-24 Nippon Avionics Co Ltd 自動コントラスト補正回路
JP2002174599A (ja) * 2000-12-05 2002-06-21 Nippon Steel Corp 鋼板のエッジ検出装置、検出方法及び記憶媒体
JP2002359755A (ja) * 2001-05-31 2002-12-13 Matsushita Electric Ind Co Ltd 階調補正装置
JP2003254748A (ja) * 2002-03-06 2003-09-10 Fuji Heavy Ind Ltd ステレオ画像特性検査システム
JP2003304455A (ja) * 2002-03-29 2003-10-24 Hynix Semiconductor Inc イメージセンサの画素配列部及びそれを含むイメージセンサ並びにイメージセンサの自動ブラックレベル補償方法
JP2004170400A (ja) * 2002-10-30 2004-06-17 Hitachi Kokusai Electric Inc 寸法測定方法及び装置
JP2005057608A (ja) * 2003-08-06 2005-03-03 Renesas Technology Corp 撮像信号処理方法
JP2005184787A (ja) * 2003-11-26 2005-07-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 画像処理方法及び画像処理装置
JP2005234500A (ja) * 2004-02-23 2005-09-02 Olympus Corp 走査型レーザ顕微鏡の受光装置及びこれを用いた走査型レーザ顕微鏡
JP2006025147A (ja) * 2004-07-07 2006-01-26 Sony Corp 固体撮像素子装置及び信号処理方法
JP2006165937A (ja) * 2004-12-07 2006-06-22 Ricoh Co Ltd 撮像装置
JP2006194593A (ja) * 2005-01-11 2006-07-27 Hitachi Kokusai Electric Inc 線幅測定方法
JP2006222708A (ja) * 2005-02-10 2006-08-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 黒つぶれ補正回路および固体撮像装置
JP2007221446A (ja) * 2006-02-16 2007-08-30 Sony Corp 画像処理装置および画像処理方法、並びにプログラム

Patent Citations (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0254104A (ja) * 1988-08-18 1990-02-23 Gunze Ltd 面積測定法
JPH04229287A (ja) * 1990-09-21 1992-08-18 Canon Inc 印字評価方法及び印字評価装置
JPH08292198A (ja) * 1995-02-23 1996-11-05 Olympus Optical Co Ltd 共焦点走査型光学顕微鏡およびこの顕微鏡を使用した測定方法
JPH0989528A (ja) * 1995-09-22 1997-04-04 Nikon Corp 寸法測定装置
JPH09243929A (ja) * 1996-03-04 1997-09-19 Olympus Optical Co Ltd 走査型レーザ顕微鏡
JPH1062134A (ja) * 1996-08-22 1998-03-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 認識検査における照明調整方法
JP2000028319A (ja) * 1998-07-09 2000-01-28 Hitachi Denshi Ltd 顕微鏡用自動調光装置
JP2001028714A (ja) * 1999-05-10 2001-01-30 Minolta Co Ltd 固体撮像装置
JP2000358170A (ja) * 1999-06-17 2000-12-26 Olympus Optical Co Ltd 映像信号処理装置及び内視鏡システム
JP2002152623A (ja) * 2000-11-15 2002-05-24 Nippon Avionics Co Ltd 自動コントラスト補正回路
JP2002174599A (ja) * 2000-12-05 2002-06-21 Nippon Steel Corp 鋼板のエッジ検出装置、検出方法及び記憶媒体
JP2002359755A (ja) * 2001-05-31 2002-12-13 Matsushita Electric Ind Co Ltd 階調補正装置
JP2003254748A (ja) * 2002-03-06 2003-09-10 Fuji Heavy Ind Ltd ステレオ画像特性検査システム
JP2003304455A (ja) * 2002-03-29 2003-10-24 Hynix Semiconductor Inc イメージセンサの画素配列部及びそれを含むイメージセンサ並びにイメージセンサの自動ブラックレベル補償方法
JP2004170400A (ja) * 2002-10-30 2004-06-17 Hitachi Kokusai Electric Inc 寸法測定方法及び装置
JP2005057608A (ja) * 2003-08-06 2005-03-03 Renesas Technology Corp 撮像信号処理方法
JP2005184787A (ja) * 2003-11-26 2005-07-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 画像処理方法及び画像処理装置
JP2005234500A (ja) * 2004-02-23 2005-09-02 Olympus Corp 走査型レーザ顕微鏡の受光装置及びこれを用いた走査型レーザ顕微鏡
JP2006025147A (ja) * 2004-07-07 2006-01-26 Sony Corp 固体撮像素子装置及び信号処理方法
JP2006165937A (ja) * 2004-12-07 2006-06-22 Ricoh Co Ltd 撮像装置
JP2006194593A (ja) * 2005-01-11 2006-07-27 Hitachi Kokusai Electric Inc 線幅測定方法
JP2006222708A (ja) * 2005-02-10 2006-08-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 黒つぶれ補正回路および固体撮像装置
JP2007221446A (ja) * 2006-02-16 2007-08-30 Sony Corp 画像処理装置および画像処理方法、並びにプログラム

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101718530B (zh) * 2009-11-18 2011-05-18 上海理工大学 电磁线绕包质量在线检测系统
CN101865672A (zh) * 2010-06-08 2010-10-20 王旗 煮糖罐晶粒形态在线监测方法
WO2012111604A1 (ja) * 2011-02-17 2012-08-23 シャープ株式会社 線幅測定装置
CN102589453A (zh) * 2011-12-16 2012-07-18 中国计量学院 轴类工件外径影像测量装置及其测量方法
WO2016050954A1 (en) * 2014-10-02 2016-04-07 Connaught Electronics Ltd. Motor vehicle camera device with histogram spreading
CN107079108A (zh) * 2014-10-02 2017-08-18 康诺特电子有限公司 具有直方图扩展的机动车辆相机装置
US20170243337A1 (en) * 2014-10-02 2017-08-24 Connaught Electronics Ltd. Motor vehicle camera device with histogram spreading
JP2017533505A (ja) * 2014-10-02 2017-11-09 コノート、エレクトロニクス、リミテッドConnaught Electronics Ltd. ヒストグラム拡散を伴う自動車両カメラ装置
KR101822344B1 (ko) * 2014-10-02 2018-01-25 코너트 일렉트로닉스 리미티드 히스토그램 스프레딩을 갖는 자동차 카메라 장치
US10769762B2 (en) 2014-10-02 2020-09-08 Connaught Electronics Ltd. Motor vehicle camera device with histogram spreading

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