JP2009058377A - 検査装置 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 41
- 235000019557 luminance Nutrition 0.000 claims abstract description 52
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 31
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 27
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 19
- YTCQFLFGFXZUSN-BAQGIRSFSA-N microline Chemical compound OC12OC3(C)COC2(O)C(C(/Cl)=C/C)=CC(=O)C21C3C2 YTCQFLFGFXZUSN-BAQGIRSFSA-N 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 101000958299 Homo sapiens Protein lyl-1 Proteins 0.000 description 2
- 102100038231 Protein lyl-1 Human genes 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007225976A JP2009058377A (ja) | 2007-08-31 | 2007-08-31 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007225976A JP2009058377A (ja) | 2007-08-31 | 2007-08-31 | 検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009058377A true JP2009058377A (ja) | 2009-03-19 |
JP2009058377A5 JP2009058377A5 (enrdf_load_stackoverflow) | 2010-10-07 |
Family
ID=40554242
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007225976A Pending JP2009058377A (ja) | 2007-08-31 | 2007-08-31 | 検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009058377A (enrdf_load_stackoverflow) |
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A521 | Written amendment |
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A621 | Written request for application examination |
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