JP2009068986A - 形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】被検物の反射率の小さい部分についても精度良く計測することができるようにする。
【解決手段】ステップS11で、ユーザによって指定された測定部分であると判定された場合には、ステップS12において、形状測定装置は、ステップS9で撮像された画像の輝度から、ユーザにより指定された測定精度を満足するための積算枚数を演算により決定する。ステップS13において、形状測定装置は、決定された枚数分の被検物の撮像を行い、ステップS14において、必要な枚数だけ撮像された画像を積算し、その結果得られる積算画像を求める。本発明は、例えば、被検物の形状を測定する形状測定装置に適用できる。
【選択図】図3
【解決手段】ステップS11で、ユーザによって指定された測定部分であると判定された場合には、ステップS12において、形状測定装置は、ステップS9で撮像された画像の輝度から、ユーザにより指定された測定精度を満足するための積算枚数を演算により決定する。ステップS13において、形状測定装置は、決定された枚数分の被検物の撮像を行い、ステップS14において、必要な枚数だけ撮像された画像を積算し、その結果得られる積算画像を求める。本発明は、例えば、被検物の形状を測定する形状測定装置に適用できる。
【選択図】図3
Description
本発明は、形状測定装置に関し、特に、被検物の反射率の小さい部分の形状を精度良く測定する場合に用いて好適な形状測定装置に関する。
被検物に所定の照明を照射した状態で撮像し、その結果得られる画像を用いて、被検物の形状を測定する形状測定装置が一般に知られている。
このような形状測定装置では、被検物の部分ごとの反射率の違いが問題となる場合がある。すなわち、被検物において反射率の高い部分と低い部分があり、被検物の反射率の高い部分に合わせて照明の光量を設定すると、反射率の低い部分では光量が足りなくなるため計測不可能となり、逆に、被検物の反射率の低い部分に併せて照明の光量を設定すると、反射率の高い部分で画像が飽和し、正確な計測ができないという問題がある。
この問題に対して、特許文献1では、低光量で撮像した画像と、高光量で撮像した画像の両方を取得し、両方の画像の適した部分だけを組み合わせて測定値を求める計測装置が提案されている。
しかしながら、特許文献1で提案されている方式は、条件の異なる複数の画像を用いているので撮像された状況が異なり計測の正確性に影響がでるおそれがあるという問題、および、組み合わせに用いる複数の画像のそれぞれが、画像の一部のみしか使われないという点で無駄が多いという問題がある。
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、被検物の反射率の小さい部分についても精度良く計測することができるようにするものである。
本発明の形状測定装置は、所定の照明を被検物に照射して得られる被検物の画像に基づいて、被検物の形状を測定する形状測定装置において、最初に撮像された1枚の画像に基づいて、所定の測定精度を満足するために必要な画像の積算枚数を決定する決定手段と、決定手段により決定された積算枚数の画像を撮像する撮像手段と、撮像手段により撮像された積算枚数の画像を積算する積算手段とを備えることを特徴とする。
本発明の形状測定装置は、所定の照明を被検物に照射して得られる被検物の画像に基づいて、被検物の形状を測定する形状測定装置において、最初に撮像された画像に基づいて、所定の測定精度を満足するために必要な露出量を決定する決定手段と、決定手段により決定された露出量に基づき決定された露出条件で画像を撮像する撮像手段とを備えることを特徴とする。
本発明によれば、最初に撮像された画像に基づいて所定の測定精度を満足するために必要な画像の積算枚数を決定し、決定された積算枚数の画像を撮像して積算するようにしたので、被検物の反射率の小さい部分について精度良く計測することができる。
図1は、本発明を適用した形状測定装置の概略の構成を示している。
図1に示される形状測定装置1は、1軸ステージ11、スリット光源ユニット12、拡散光源ユニット13、撮像部14Aおよび14B、並びにコントローラ15を含む。1軸ステージ11上には、計測の対象となる被検物20が載置されている。
1軸ステージ11は、コントローラ15の制御によって、図面左右方向の1軸(x軸とする)に移動可能なテーブルである。1軸ステージ11の移動範囲の中心位置上方には、スリット光源ユニット12が固定されて配置されている。スリット光源ユニット12は、レーザ光を発する半導体レーザ16と、そこから発せられたレーザ光をスリット状の光に整形するシリンドリカルレンズ17を有している。シリンドリカルレンズ17から出射された、1軸ステージ11の移動方向に垂直なスリット光は、1軸ステージ11に載置された被検物20に照射される。なお、本実施の形態では、スリット光が不要である場合には、レーザ光を消灯させることとするが、その代わりにスリット光源ユニット12をアーム等で移動可能とし、測定に影響のない位置に退避させるようにしてもよい。
拡散光源ユニット13は、ランプ光源18と拡散板19を有し、被検物20の鉛直方向から所定角だけ傾斜した斜め上方に配置されて、被検物20を拡散光により斜め上方から照射する。
撮像部14Aおよび14Bは、それぞれ、CCD(Charge Coupled Device)やCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)センサなどの撮像素子を有し、コントローラ15の制御にしたがい、被検物20を撮像し、その結果得られる画像(データ)をコントローラ15に供給する。
なお、形状測定装置1において、2つの撮像部14Aと撮像部14Bが設けられているのは、スリット光があたらないために計測が不可能となる領域(オクルージョン領域)をできるだけ少なくするためである。より具体的には、撮像部14Aが1軸ステージ11正面から見て右側(図1の被検物20上のスリット光から右側)を主な撮像範囲として担当し、撮像部14Bが1軸ステージ11正面から見て左側(図1の被検物20上のスリット光から左側)を主な撮像範囲として担当するように配置されている。従って、撮像部を撮像部14Aかまたは撮像部14Bのいずれか1つとすることも可能であり、また、2つの撮像部14Aと撮像部14Bを設ける代わりに、1軸ステージ11をθ回転可能としてもよい。撮像部を3以上設けても勿論良い。
コントローラ15は、形状測定装置1の各部を制御する。例えば、コントローラ15は、1軸ステージ11を所定の位置に移動させたり、スリット光源ユニット12または拡散光源ユニット13の点灯制御を行う。また、コントローラ15は、撮像部14Aおよび14Bに対し撮像の制御信号も供給する。
図2は、形状測定装置1の機能的構成を示すブロック図である。なお、図2において、図1と対応する部分については同一の符号を付してあり、重複する部分についての説明は適宜省略する。
形状測定装置1は、1軸ステージ11、スリット光源ユニット12、拡散光源ユニット13、撮像部14Aおよび14B、コントローラ15、操作部21、並びに表示部22により構成されている。また、コントローラ15は、ステージ制御部31、光源制御部32、カメラ制御部33、UI(User Interface)制御部34、演算部35、画像積算部36、および記憶部37を有する。なお、コントローラ15内の各部は、必要に応じて各種のデータを互いに授受することが可能となされている。
操作部21は、文字や数値を入力するキーボード、表示部22に表示される画面の所定の位置を指示するためのマウス、1軸ステージ11を移動させるジョイスティックなどからなり、ユーザの操作を受け付けるとともに、その操作に対応する操作信号をUI制御部34に供給する。表示部22は、例えば、CRT(Cathode Ray Tube)ディスプレイやLCD(Liquid Crystal Display)などであり、撮像部14Aおよび14Bで撮像された画像を表示したり、ユーザの操作に対応して所定の文字や図形を表示したりする。なお、ユーザは、表示部22に表示された被検物20の画像(撮像部14Aまたは14Bで撮像された画像)の所定部分を指定することにより、被検物20の形状測定の対象部である測定部分を指定することができる。
ステージ制御部31は、1軸ステージ11を所定の位置に移動させる。光源制御部32は、スリット光源ユニット12および拡散光源ユニット13を制御する。カメラ制御部33は、撮像部14Aおよび撮像部14Bによる撮像を制御する。UI制御部34は、操作部21から供給される操作信号に基づき、表示部22に所定の画像を表示させたり、ステージ制御部31、光源制御部32、カメラ制御部33等に所定の制御を要求する。例えば、操作部21において1軸ステージ11を移動させる操作がユーザにより行われた場合、UI制御部34は、ステージ制御部31は、所定量の移動をステージ制御部31に要求する。ステージ制御部31は、UI制御部34の要求に応じて、1軸ステージ11を所定量だけ移動させる。
演算部35は、撮像部14Aまたは14Bで撮像された画像を用いて被検物20の形状を計測する場合に、要求される精度を満足するための演算を行う。より具体的には、演算部35は、撮像部14Aで撮像された1枚の画像が、被検物20の反射率が低いために、要求される精度の測定を満足できない場合、要求される精度を満足するために何枚の画像を撮像すればよいかを計算する。ここで、要求される被検物の測定精度は、どれだけの分解能で測定結果を算出するかを表す、例えば、10μmなどの数値(分解能)で表され、操作部21でユーザにより入力される。
画像積算部36には、ユーザによって測定指示された測定部分を含む画像であって、要求される測定精度を満足するために複数枚撮像された画像が供給される。画像積算部36は、その複数枚の画像を積算し、記憶部37に記憶させる。記憶部37は、画像積算部36から供給される画像を記憶する。また、記憶部37は、形状測定装置1を制御するためのプログラムや所定のデータも適宜記憶する。
次に、図3のフローチャートを参照して、形状測定装置1による形状測定のための画像を取得する画像取得処理について説明する。なお、この処理前には、スリット光源ユニット12のレーザ光と拡散光源ユニット13の拡散光は、初期状態として消灯されているものとする。
初めに、ステップS1において、光源制御部32は、拡散光源ユニット13を制御し、拡散光源を点灯させる。
ユーザは、操作部21を操作して、被検物20が撮像部14Aおよび14Bの撮像範囲内の所望の位置となるように1軸ステージ11を移動させた後、撮像を指示する。ステップS2において、UI制御部34は、操作部21から撮像を表す操作信号を受け付け、カメラ制御部33に撮像を指令する。撮像部14Aおよび14Bは、カメラ制御部33の制御に従い、1軸ステージ11上の被検物20を撮像する。
ステップS3において、UI制御部34は、被検物20が含まれる撮像された画像を表示部22に表示させるとともに、「測定部分を指定してください」等のメッセージを表示部22に表示させる。ユーザは、操作部21を操作して、表示部22に表示された被検物20の画像の所定の領域を測定部分として指示すると、ステップS4において、UI制御部34は、操作部21からの操作信号を取得し、画像中のユーザによって指定された領域と、現在の1軸ステージ11の位置から、被検物20の測定部分を特定する。被検物20の測定部分を特定するための1軸ステージ11の位置(x座標値)および画像中の領域は、記憶部37に一時記憶される。
ステップS5において、UI制御部34は、形状測定に必要な測定精度の入力を受け付ける。すなわち、UI制御部34は、例えば、表示部22に「測定精度を入力してください」等のメッセージを表示させ、それに応じてユーザが入力した値(例えば、10μmなど)を操作部21から取得する。
ステップS6において、光源制御部32は、拡散光源ユニット13を制御し、拡散光源を消灯させ、ステップS7において、スリット光源ユニット12を制御し、レーザ光を点灯させる。これにより、1軸ステージ11上にスリット光が照射される。
ステップS8において、ステージ制御部31は、1軸ステージ11を開始位置に移動させる。例えば、1軸ステージ11の駆動範囲の全範囲をスキャンすることとすると、駆動範囲の一方の端である位置が開始位置、他方の端が終了位置である。なお、1軸ステージ11の全駆動範囲に対して被検物20の置かれている範囲が極端に短い場合などには、形状測定における1軸ステージ11の駆動範囲を予め指定(ティーチング)するようにしてもよい。
ステップS9において、撮像部14Aおよび14Bは、スリット光が照射されている被検物20を撮像する。撮像された画像は、カメラ制御部33を介して演算部35に供給される。
図4は、撮像部14Aおよび14Bにより撮像された画像の例を示している。図4Aは、右側の撮像部14Aが撮像した画像であり、図4Bは、左側の撮像部14Bが撮像した画像である。
図4中の実線は、被検物20または1軸ステージ11に反射されたスリット光を表し、そのうちの点線の丸で囲まれている部分が1軸ステージ11に相当する。
なお、図4中の矩形状の点線は、上述したステップS3において表示部22に表示された「測定部分を指定してください」のメッセージに対応してユーザが指示した測定部分を図示したものである。従って、図4中の点線は、説明のために図示したものであって、ステップS9で撮像された画像には含まれない。
ステップS10において、演算部35は、カメラ制御部33を介して撮像部14Aおよび14Bから供給された画像から、被検物20の形状データを取得する。なお、形状データは、公知の光切断法といわれる手法で取得すれば良い。
ステップS11において、演算部35は、ユーザによって指定された測定部分をスリット光が走査しているか否かを判定する。この判定は、現在の1軸ステージ11の位置と、撮像部14Aおよび14Bから供給された画像とに基づいて行われる。
ステップS11で、ユーザによって指定された測定部分をスリット光が走査していないと判定された場合、処理はステップS15に進む。一方、ユーザによって指定された測定部分をスリット光が走査していると判定された場合、処理はステップS12に進み、演算部35は、撮像された画像の輝度に応じて積算枚数を演算により決定する。
ここで、撮像された画像の輝度と、ユーザにより指定された測定精度を満足するために必要な画像の積算枚数との関係について説明する。
形状測定においては、図4に示したような画像中のスリット光のラインの変形をみるので、測定精度は、撮像された画像の画素をどれだけ分解して表すことができるか、すなわち画素の分解能によって決定する。例えば、ある画素どうしの輝度差が100(レベル)あれば、1/100の精度で画素を分解することができるが、輝度差が20であれば1/20の精度に止まる。このように輝度差と分解能はほぼ比例する関係にある。従って、必要な分解能が設定されると、必要な輝度差(SN比)を求めることができる。
そこで、上述したステップS5の処理においてユーザにより指定された測定精度(分解能)から必要なSN比が1/100に設定されたとする。一般に、信号成分をN倍したときに、ノイズ成分はランダムに発生するので√N倍になるという関係があるので、例えば、ステップS9で撮像された、測定部分を含む画像のSN比が1/10である場合、1/100のSN比に持ち上げるためには、換言すれば、ダイナミックレンジを10倍上げるためには、100(102)倍の枚数を積算する必要があることがわかる。このようにして、必要な測定精度と、撮像された画像の輝度比(SN比)がわかれば、積算枚数を決定することができる。
ステップS12による積算枚数の決定後、ステップS13において、撮像部14Aおよび14Bは、演算部35により決定された枚数分の被検物20の撮像を行う。なお、ステップS9で撮像された画像も利用することができるので、ステップS13では、演算部35により決定された枚数より1枚少ない枚数の撮像が行われる。撮像された画像は、画像積算部36に供給される。
ステップS14において、画像積算部36は、ユーザにより指定された測定精度を満足するために必要な枚数だけ撮像された画像を積算し、その結果得られる画像(積算画像)を記憶部37に記憶させる。
ステップS15において、ステージ制御部31は、現在のステージ位置が終了位置であるかを判定する。ステップS15で、現在のステージ位置が終了位置ではないと判定された場合、処理はステップS16に進み、ステージ制御部31は、1軸ステージ11を所定量移動させる。
ステップS16の処理後は、ステップS9に戻り、ステップS9乃至S15の処理が繰り返し実行される。その結果、開始位置から終了位置までの各ステージ位置で被検物20が撮像され、ユーザが指定した測定部分を含む画像に対しては、ユーザにより指定された測定精度を満足するために必要な枚数の画像が取得される。そして、ステップS15で、現在のステージ位置が終了位置であると判定された場合、処理は終了する。
図5は、形状測定装置1による第2の形態の画像取得処理のフローチャートである。
図5のステップS21乃至32は、上述した図3のステップS1乃至S12の処理とそれぞれ同様であるので、その説明は省略する。
ステップS32で、撮像された画像の輝度に基づいて、ユーザにより指定された測定精度を満足するために必要な枚数が決定されると、ステップS33において、演算部35は、現在のステージ位置と積算枚数を対応付けて記憶部37に記憶させる。
ステップS34において、ステージ制御部31は、現在のステージ位置が終了位置であるかを判定する。ステップS34で、現在のステージ位置が終了位置ではないと判定された場合、ステップS35で、ステージ制御部31が1軸ステージ11を所定量移動させた後、ステップS29乃至S34の処理が繰り返される。これにより、ユーザが測定部分として指定した部分を含むすべての画像についての、画像を撮像するためのステージ位置と積算枚数が記憶部37に記憶される。
そして、ステップS34で、現在のステージ位置が終了位置であると判定された場合、処理はステップS36に進み、ステージ制御部31は、記憶部37に記憶されている1以上のステージ位置と積算枚数の組のうち、まだ必要な積算枚数の画像を撮像していないステージ位置に1軸ステージ11を移動させる。
ステップS37において、撮像部14Aおよび14Bは、現在のステージ位置に対応する枚数分の被検物20の撮像を行う。なお、ステップS29で撮像された画像も利用することができるので、記憶部37に記憶されている積算枚数より1枚少ない枚数の撮像を行うことは、図3のステップS13と同様である。
ステップS38において、画像積算部36は、ユーザにより指定された測定精度を満足するために必要な枚数だけ撮像された画像を積算し、その結果得られる画像(積算画像)を記憶部37に記憶させる。
ステップS39において、画像積算部36は、記憶部37にその他の測定位置があるか、すなわち、記憶部37に記憶されている1以上のステージ位置と積算枚数の組のうち、まだ必要な積算枚数の画像を撮像していないステージ位置が存在するかを判定する。
ステップS39で、記憶部37にその他の測定位置があると判定された場合、処理はステップS36に戻る。
一方、ステップS39で、記憶部37にその他の測定位置がないと判定された場合、すなわち、記憶部37に記憶されている1以上のステージ位置と積算枚数の組のすべてについて積算枚数の画像を撮像し、積算画像を求めた場合、処理は終了する。
図3および図5の画像取得処理により、ユーザによって指定された測定部分を含む積算画像が記憶部37に記憶される。この積算画像を用いて、被検物20の形状が測定される。
従って、形状測定装置1によれば、ユーザによって指定された測定部分を含む画像を撮像したときのSN比に応じて、ダイナミックに積算枚数が決定され、決定された積算枚数だけ積算した積算画像は、ユーザにより指定された測定精度を満たすことが可能な高SN比の画像となるので、被検物20のばらつきなどによって反射率に変化があった場合にでも、安定して高精度な測定(形状測定)を行うことができる。
次に、図6を参照して、形状測定装置1による第3の形態の画像取得処理について説明する。図6は、その第3の形態の画像取得処理のフローチャートである。
なお、本画像取得処理においては、測定精度と形状測定範囲が既にプリセットされていることを前提とする。
図6のステップS41及びS42は、上述した図3のステップS1及びS2と同じ処理である。
図6のステップS41及びS42は、上述した図3のステップS1及びS2と同じ処理である。
ステップS43では、演算部35は、ステップS42で取得した画像を基に、被検物20の輝度分布を取得し、その輝度分布を基に、被検物20の位置毎に所定の測定精度を満足するために必要な露出量を決定する。
なお、この露出量は、上述の所望のSN比を得るために必要とされる輝度を有する画像が得られると予測される値である。形状測定用の画像は、この後、レーザ光を用いて取得されるので、レーザ光の強度と拡散光源との強度の差または比を予め取得しておき、その強度の差または比を考慮して、露出量が決定される。
次に、ステップS44乃至S46が行われる。ステップS44は図3のステップS6と、ステップS45は図3のステップS7と、ステップS46は図3のステップS8とそれぞれ同一の処理である。
なお、この露出量は、上述の所望のSN比を得るために必要とされる輝度を有する画像が得られると予測される値である。形状測定用の画像は、この後、レーザ光を用いて取得されるので、レーザ光の強度と拡散光源との強度の差または比を予め取得しておき、その強度の差または比を考慮して、露出量が決定される。
次に、ステップS44乃至S46が行われる。ステップS44は図3のステップS6と、ステップS45は図3のステップS7と、ステップS46は図3のステップS8とそれぞれ同一の処理である。
ステップS47において、撮像部14Aおよび14Bは、被検物20の撮像を開始する。すなわち、カメラ制御部33は、1軸ステージ11の設定位置に応じて撮像部14Aおよび14Bの感度調整や絞り値調整をステップS43で決定した露出量に基づいて行い、その調整された感度および絞り値の下で撮像部14Aおよび14Bが被検物20を撮像する。
なお、場合によっては、カメラ制御部33は、1軸ステージ11の移動速度を遅くするなどの制御を加えて、撮像部14Aおよび14Bの露出時間を多くするなどの制御を行い、露出量が所望の量になるように撮像部14Aおよび14Bを制御することもある。撮像部14Aおよび14Bで撮像された形状測定用の画像は、即座に記憶部37に記憶される。
なお、場合によっては、カメラ制御部33は、1軸ステージ11の移動速度を遅くするなどの制御を加えて、撮像部14Aおよび14Bの露出時間を多くするなどの制御を行い、露出量が所望の量になるように撮像部14Aおよび14Bを制御することもある。撮像部14Aおよび14Bで撮像された形状測定用の画像は、即座に記憶部37に記憶される。
次に、ステップS48では、現在のステージ位置が終了位置であるかどうかが判定される。全ての形状測定用の画像がまだ取得できていない場合には、処理はステップS49に進む。ステップS49は、図3のステップS16と同じ処理である。
そして、ステップS49の処理後は、ステップS47において、再び1軸ステージ11の位置に応じて、既に決められた露出量に基づき、露出量の制御がカメラ制御部33により行われ、撮像部14Aおよび14Bにより撮像された形状測定用の画像が記憶部37に記憶される。
そして、ステップS49の処理後は、ステップS47において、再び1軸ステージ11の位置に応じて、既に決められた露出量に基づき、露出量の制御がカメラ制御部33により行われ、撮像部14Aおよび14Bにより撮像された形状測定用の画像が記憶部37に記憶される。
以上のようなステップS47乃至S49の処理が繰り返され、ステップS48で、現在のステージ位置が終了位置であると判定された場合、処理はステップS50に進み、演算部35は、記憶部37に蓄積された画像を基に、被検物20の形状データを取得する。
なお、先に図3または図4で示した画像取得処理のように、その都度、形状測定用の画像の撮像時に、必要なSN比が得られる条件を設定する以外にも、予め拡散光源で被検物20の全体像を取得した上で、必要なSN比が得られる条件を設定することでも良い。勿論、図6に示した各ステップのうち、ステップS43で積算枚数を決定し、ステップS47で必要な積算枚数分の画像を取得し、更に積算画像を生成して、記憶部37に記憶しておくようにしても良い。
なお、先に図3または図4で示した画像取得処理のように、その都度、形状測定用の画像の撮像時に、必要なSN比が得られる条件を設定する以外にも、予め拡散光源で被検物20の全体像を取得した上で、必要なSN比が得られる条件を設定することでも良い。勿論、図6に示した各ステップのうち、ステップS43で積算枚数を決定し、ステップS47で必要な積算枚数分の画像を取得し、更に積算画像を生成して、記憶部37に記憶しておくようにしても良い。
なお、上述した例では、反射率が小さい場合を想定した例のみを説明したが、反射率が大きな部分の測定では、1枚または少ない枚数の画像で測定することになるので、必要以上に画像を撮像することなく、効率的で高精度な測定を行うことができる。
また、積算される複数の画像は同一位置の同一照明で撮像された画像であり、さらに、積算画像を生成するために、撮像された画像のすべてを使用するので、特許文献1で提案される方式で発生するような、条件の異なる複数の画像を用いているので撮像された状況が異なり計測の正確性に影響がでるおそれがあるという問題、および、組み合わせに用いる複数の画像のそれぞれが、画像の一部のみしか使われないという点で無駄が多いという問題は発生しない。
上述した例では、撮像部14Aと14Bで撮像された2枚の画像をどのように取捨選択するかについては言及しなかったが、撮像部14Aと14Bで撮像された2枚の画像のいずれも使用可能な画像である場合には、撮像部14Aと14Bの両方で積算画像を求めることができる。また、撮像部14Aと14Bで撮像された2枚の画像のうち、より最適な1枚の画像を選択し、その選択された画像を基に撮像部14Aまたは14Bのいずれか一方で積算画像を求めるようにしてもよい。例えば、極端に明るい部分が含まれる画像であれば、正反射が入っているか若しくは表面の打痕である可能性が高いため、その画像が得られた撮像部は使用しないようにすることができる。
なお、画像取得処理では、撮像された画像に基づいてダイナミックに積算枚数を求めるのではなく、予め設定した所定の枚数とすることも可能である。この場合、反射率が小さい測定部分の測定では、高精度な測定を行うことができ、反射率が大きい測定部分の測定では、反射率が小さい場合よりもさらに高精度の測定を行うことができる。
本明細書において、フローチャートに記述されたステップは、記載された順序に沿って時系列的に行われる処理はもちろん、必ずしも時系列的に処理されなくとも、並列的あるいは個別に実行される処理をも含むものである。
本発明の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
1 形状測定装置, 11 1軸ステージ, 12 スリット光源ユニット, 13 拡散光源ユニット, 14A,14B 撮像部, 15 コントローラ, 31 ステージ制御部, 32 光源制御部, 33 カメラ制御部, 34 UI制御部, 35 演算部, 36 画像積算部, 37 記憶部
Claims (4)
- 所定の照明を被検物に照射して得られる前記被検物の画像に基づいて、前記被検物の形状を測定する形状測定装置において、
最初に撮像された1枚の前記画像に基づいて、所定の測定精度を満足するために必要な前記画像の積算枚数を決定する決定手段と、
前記決定手段により決定された積算枚数の前記画像を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された積算枚数の前記画像を積算する積算手段と
を備えることを特徴とする形状測定装置。 - 前記所定の測定精度と、前記被検物の測定部分を指定する指定手段をさらに備える
ことを特徴とする請求項1に記載の形状測定装置。 - 前記撮像手段は、複数の方向から前記被検物を撮像するように複数あり、
前記決定手段は、複数の方向から撮像された複数の前記画像に基づいて、前記画像の積算枚数を決定する
ことを特徴とする請求項1に記載の形状測定装置。 - 所定の照明を被検物に照射して得られる前記被検物の画像に基づいて、前記被検物の形状を測定する形状測定装置において、
最初に撮像された前記画像に基づいて、所定の測定精度を満足するために必要な露出量を決定する決定手段と、
前記決定手段により決定された露出量に基づき決定された露出条件で前記画像を撮像する撮像手段と
を備えることを特徴とする形状測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007237574A JP2009068986A (ja) | 2007-09-13 | 2007-09-13 | 形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011220934A (ja) * | 2010-04-13 | 2011-11-04 | Ckd Corp | 三次元計測装置及び基板検査装置 |
JP2012255777A (ja) * | 2011-06-09 | 2012-12-27 | General Electric Co <Ge> | 物体までの距離を測定するためのシステムおよび方法 |
WO2023105664A1 (ja) * | 2021-12-08 | 2023-06-15 | ヤマハ発動機株式会社 | ワーク計測装置およびワーク計測方法 |
-
2007
- 2007-09-13 JP JP2007237574A patent/JP2009068986A/ja not_active Withdrawn
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