JP2009054903A - トレンチ型絶縁ゲート半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第一のpベース領域10と第二のpベース領域9との間の第一トレンチ21に、第二トレンチ22を追加して、第三のpベース領域12を設け、これらの領域10、12、9の幅をこの順にa、b、cとする時、c>a>bなる関係を有し、第一トレンチ内に埋め込まれる導電層をゲート電極とし、第一のpベース領域10表面と第二トレンチ内に埋め込まれる導電層11とをエミッタ電極7に接続する。
【選択図】 図1
Description
ところで、トレンチIGBTにおいて、エミッタ電極と電気的に接触していないpウェル領域(pベース領域)を新たに設けることによって、エミッタ電極側の蓄積キャリアの濃度が増加し、トレンチIGBTの飽和電圧−ターンオフ損失間のトレードオフ特性が改善されるとの報告がある(たとえば、特許文献1参照。)。また、そのようなエミッタ電極と電気的に接触していないpウェル領域を有するトレンチIGBTについては、多数の特許出願が、本発明者によるものも含めて、なされている(特許文献2、特許文献3、特許文献4、特許文献5など)。
図7では、p型コレクタ層1の上にn型ドリフト層2が設けられ、さらにその上にpウェル領域20が設けられている。pウェル領域20は、トレンチ21によって幅の狭いp型ベース領域9と幅の広いp型ベース領域10に、それぞれ複数個づつに分割されている。n型ソース領域3は、狭い幅のp型ベース領域9の表面において、トレンチ21の側部に設けられている。広い幅のp型ベース領域10には、n型ソース領域3が設けられていない構成にされている。
エミッタ電極7は、n型ソース領域3を有する幅の狭いp型ベース領域9では、n型ソース領域3とp型ベース領域9の両方の表面に共通に接触している。n型ソース領域3のない幅の広いp型ベース領域10では、層間絶縁膜6を介在させることによりエミッタ電極7から絶縁されている。トレンチ21は、ゲート絶縁膜4を介して、低抵抗ポリシリコンなどの導電層からなるゲート電極5で埋められている。
さらに、前述のトレンチIGBTの構成において、チップサイズが大きくなると、ストライプ状平面形状のトレンチ21の前記両端部にゲートランナーを設けただけでは、ゲートランナーから半導体装置として主電流を流す領域である活性領域の中心部までの距離が長くなり、ゲート電極の抵抗が大きくなってしまう。そこで、ゲート抵抗が大きくなることを避けるために、図6のように活性領域内にも、ゲートランナー14が2〜4mm程度の間隔で設けられることがある。なお、図示はしないが、活性領域の外周のゲートランナーのさらに外側のチップの最外周には、ガードリング等からなる耐圧構造部が設けられる。
以上説明した従来のトレンチIGBTでは、トレンチ21、すなわち、その内部に埋設されたゲート電極5を含む表面構造を最適に設定することによって、低い定常損失(すなわち低オン電圧)と低いスイッチング損失(高速スイッチング)の両立が可能である。しかし、近年、パワーデバイス分野では、低定常損失と低スイッチング損失に加えて、さらにスイッチング時に発生する放射ノイズについても低減することを要求されている。
ところで、IGBTのスイッチング時の放射ノイズに関しては、定格電流の1/10程度の低電流ターンオン時の素子特性が放射ノイズに大きな影響を与えるということが報告されている(S.Momota, M.Otsuki, K.Ishii, H.Takubo, and Y.Seki, "Analysis on the Low Cu
rrent Turn−On behavior of IGBT Modules,"
また、特に、30MHz以上の周波数帯における放射ノイズを基準値以下に納めるには、多大な努力を要することが知られている。この周波数帯における放射ノイズを発生させる原因は、高周波成分を含んだ高いdV/dtであるといわれている。そこで、インバータのスイッチング時のdV/dtを目標値以下に納めるために、ゲート抵抗などの値を制御して、ターンオン時の主電流の立ち上がり速度、すなわち、電流の立ち上がり波形における傾き(dIc/dt)を低く抑えるようにしている。
しかし、ゲート抵抗を大きくすると、前述のように、放射ノイズの点では好ましいが、電圧テールの増大を招くため、IGBTのターンオン損失が増大してしまう。従って、トレンチIGBTの特性としては、ゲート抵抗をできるだけ大きくしないで、低いdi/dtおよび目標値以下のdV/dtを実現することが望まれる。
また、IGBTの帰還容量が大きいとスイッチング損失が大きくなるだけでなく、不安定動作の原因ともなる。このように、帰還容量は、素子のスイッチング特性に大きな影響を与えることが知られている。これらIGBTの帰還容量を小さくしつつ、ゲート抵抗を抑えて低いdi/dtを得ることによりターンオン損失を抑えながら、放射ノイズを低減する方法について、既にいくつか知られている。たとえば、幅の広いフローティングメサ領域の電位を制御することで動作の安定化を測る方法(前者の方法とする)や、ゲート電極とゲート酸化膜の間に等価的にシールド層として動作するエミッタ電極に接続された電極を設けるなどの方法(後者の方法とする)である。どちらも容量低減と安定動作に効果がある。しかしながら、前者の方法は発明者らの実験によれば、たとえば、1200V耐圧のIGBTで約0.2Vのオン電圧の上昇を招くなどの好ましくない現象を伴う。一方で後者の方法は、シールド電極の形成方法が非常に複雑で生産性に乏しく、高いゲート耐圧が得られにくいという問題がある。
特許請求の範囲の請求項2記載の発明によれば、前記第三のベース領域の幅が2.4μm以下である特許請求の範囲の請求項1記載のトレンチ型絶縁ゲート半導体装置とする。
図1に示す絶縁ゲート型半導体装置は、前記図7に示す従来の半導体装置と同様に、n型ドリフト層2はp型コレクタ層1の上に設けられ、p型コレクタ層1の表面(裏面)にはコレクタ電極8が形成されている。pウエル領域20は、n型ドリフト層2の表面からボロンなどのイオン注入により形成される。このpウエル領域20は、半導体基板の表面からpウエル領域20を貫通してn型ドリフト層2に達する深さに形成されるトレンチ21、22により、幅の異なる複数のp型ベース領域9、10、12に分割されている。トレンチ21、22は、トレンチ自体の形状に特に違いは無く、内部にゲート酸化膜を介して導電層が埋設された場合の機能が異なる。
これらp型ベース領域9、10、12のうち、第一のp型ベース領域10はn型ソース領域3を有する。n型ソース領域3は、第一のp型ベース領域10の表面層において、第一トレンチ21の側部に設けられている。第一トレンチ21内にゲート酸化膜4を介して埋め込まれる低抵抗ポリシリコンゲート電極5は表面で、図示しないアルミニウムなどの金属膜からなるゲートランナーに接続される。第二のp型ベース領域9および第三のp型ベース領域12には、n型ソース領域3は設けられていない。
次に、第一のp型ベース領域10の幅a、第三のp型ベース領域12の幅bの関係について説明する。図3は、誘導負荷におけるIGBTのターンオン電流波形を、前記図1に示す本発明のIGBTと前記図6、図7に示す従来のIGBTとで比較して示す図である。この図3は、それぞれのIGBTについて、第一のp型ベース領域10の幅a=3.0μm、第三のp型ベース領域12の幅bを1.0μmとし、12Ωと64Ωの2種類のゲート抵抗を用いた場合の、ゲート抵抗Rgによる小電流ターンオンの電流上昇の傾き(di/dt)やピーク電流の制御性を示している。この図3からわかるように、ゲート抵抗Rg=12Ωにおいては、従来のトレンチ型絶縁ゲート構造を有するIGBTも本発明のIGBTも比較的似たようなターンオン電流波形で、ピーク電流は51Aである。しかし、ゲート抵抗Rg=64Ωにおいては、大きな変化が見られる。従来のIGBTではディレイ時間は伸びるものの、電流上昇の傾きdi/dtはあまり変化せずにピーク電流も43Aで電流の減少分は15.9%である。一方で、本発明のIGBTでは、電流上昇の傾き(di/dt)が明らかに低下し、ピーク電流も36Aと、電流減少分は28.0%と、従来IGBTと比較して約1.9倍に制御できることがわかる。
この結果、実施例1にかかるIGBTでは、オン抵抗が増加することなく、また、ゲート耐圧については従来と同様の耐圧を保ちつつ、ターンオン損失と放射ノイズを減少させることができる。
前述の実施例1にかかる図1と実施例2にかかる図2とに示す絶縁ゲート型半導体装置の異なる点は、図2では第二のp型ベース領域9の深さのみをトレンチ22よりも深くしたことである。このように、第二のp型ベース領域9の深さのみをトレンチ22よりも深くすることにより、実施例2で示すIGBTは、実施例1で説明したターンオン特性を失うことなく、さらに高い耐圧が得られる。たとえば、図1のIGBTと図2のIGBTの耐圧を比較した図5に示すように、実施例2にかかる図2のIGBTは実施例1にかかる図1のIGBTよりも耐圧値が約120V高くなっている。前記第二のp型ベース領域9の深さについて、具体的な例としては、図1のIGBTではトレンチ22に対して第二のp型ベース領域9を含む第一p型ベース領域10、第三p型ベース領域12の深さを1.0μm浅くし、図2のIGBTでは、逆にトレンチ22に対して第二のp型ベース領域9のみを1.0μm深く、第一p型ベース領域10、第三p型ベース領域12の深さは従来と同様に1.0μm浅く設定したものを比較した。
2 第一導電型ドリフト層、n型ドリフト層
3 第一導電型ソース領域、n型ソース領域
4 ゲート絶縁膜
5 導電層
6 層間絶縁膜
7 エミッタ電極
8 コレクタ電極
9 第二のp型ベース領域
10 第一のp型ベース領域
11 導電層
12 第三のp型ベース領域
13、14 ゲートランナー
21 第一トレンチ
22 第二トレンチ。
Claims (3)
- 第一導電型ドリフト層と、このドリフト層の一方の表面内に形成される第二導電型のベース領域と、前記ベース領域の表面から形成され前記ドリフト層に達する深さであって内部にゲート酸化膜を介して埋設されたゲート電極を有する複数のトレンチを備えるトレンチ型絶縁ゲート半導体装置において、前記複数のトレンチが、該複数のトレンチ間に挟まれる幅の異なる三種類の第二導電型のベース領域を有し、幅の大きい順に第二ベース領域>第一ベース領域>第三ベース領域なる関係を有し、このうち第二ベース領域を挟むトレンチを第二トレンチ、第一ベース領域を挟むトレンチを第一トレンチ、第三ベース領域を挟むトレンチは第一トレンチと第二トレンチとすると、前記第一ベース領域は表面から第一トレンチの内壁面に沿って選択的に形成される第一導電型のソース領域を備え、エミッタ電極が前記第一ベース領域と前記ソース領域との両表面に共通に接触し、前記第一トレンチに埋設された導電層はゲート電極に接続され、前記第二トレンチに埋設された導電層は前記エミッタ電極と同電位に接続されるトレンチ型絶縁ゲート構造を有することを特徴とするトレンチ型絶縁ゲート半導体装置。
- 前記第三のベース領域の幅が2.4μm以下であることを特徴とする請求項1記載のトレンチ型絶縁ゲート半導体装置。
- 前記第二のベース領域の深さが前記トレンチの深さよりも深く、第一のベース領域の深さはトレンチの深さよりも浅いことを特徴とする請求項1または2に記載のトレンチ型絶縁ゲート半導体装置。
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