JP2009054785A - 圧電素子およびその製造方法、アクチュエータ、液体噴射ヘッド、並びに、強誘電体メモリ - Google Patents
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Abstract
【課題】アクチュエータ、液体噴射ヘッド、並びに、強誘電体メモリに用いられ、信頼性が高く、かつ圧電特性が良好な圧電素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子100は、基体10と、基体10側から順に形成された下部電極層20、PZT,PZTN,PZTNS等を用いた圧電体層30および上部電極層40を有する積層体50と、積層体50の上方に空洞部62を介して形成され、水素などの還元種から、積層体50を保護する機能を有する酸化アルミニウムなどのバリア層70と、を含み、バリア層70は、少なくとも圧電体層30および上部電極層40と、接触していない。
【選択図】図1
【解決手段】圧電素子100は、基体10と、基体10側から順に形成された下部電極層20、PZT,PZTN,PZTNS等を用いた圧電体層30および上部電極層40を有する積層体50と、積層体50の上方に空洞部62を介して形成され、水素などの還元種から、積層体50を保護する機能を有する酸化アルミニウムなどのバリア層70と、を含み、バリア層70は、少なくとも圧電体層30および上部電極層40と、接触していない。
【選択図】図1
Description
本発明は、圧電素子およびその製造方法、アクチュエータ、液体噴射ヘッド、並びに、強誘電体メモリに関する。
一般に圧電素子に用いられるPb、ZrおよびTiを含む酸化物からなるPZT系のような圧電体材料は、水素などの還元種と作用することで、酸素欠陥によるダメージを受けることがある。このような還元種から圧電素子を保護するため、主として無機材料で構成されたバリア層によって圧電素子を覆うこと知られている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、圧電素子をバリア層で覆うと、圧電体材料の変位が拘束され、圧電素子の圧電特性が低下する場合がある。
特開2007−13009号公報
本発明の目的は、信頼性が高く、かつ圧電特性が良好な圧電素子およびその製造方法を提供することにある。
また、本発明の目的は、本発明の圧電素子を含む、アクチュエータ、液体噴射ヘッド、並びに、強誘電体メモリを提供することにある。
本発明に係る圧電素子は、
基体と、
前記基体の上方に、該基体側から順に形成された下部電極層、圧電体層および上部電極層を有する積層体と、
前記積層体の上方に空洞部を介して形成されたバリア層と、を含み、
前記バリア層は、少なくとも前記圧電体層および前記上部電極層と、接触していない。
基体と、
前記基体の上方に、該基体側から順に形成された下部電極層、圧電体層および上部電極層を有する積層体と、
前記積層体の上方に空洞部を介して形成されたバリア層と、を含み、
前記バリア層は、少なくとも前記圧電体層および前記上部電極層と、接触していない。
本発明による圧電素子は、後述するように、信頼性が高く、かつ圧電特性が良好である。
なお、本発明に係る記載では、「上方」という文言を、例えば、「特定のもの(以下「A」という)の「上方」に他の特定のもの(以下「B」という)を形成する」などと用いている。本発明に係る記載では、この例のような場合に、A上に直接Bを形成するような場合と、A上に他のものを介してBを形成するような場合とが含まれるものとして、「上方」という文言を用いている。同様に、「下方」という文言は、A下に直接Bを形成するような場合と、A下に他のものを介してBを形成するような場合とが含まれるものとする。
本発明に係る圧電素子において、
前記バリア層に形成されたコンタクトホール内に、前記上部電極層と接続されたコンタクト部を有することができる。
前記バリア層に形成されたコンタクトホール内に、前記上部電極層と接続されたコンタクト部を有することができる。
本発明に係る圧電素子において、
前記バリア層は、前記積層体の上方に空洞部を介して形成された第1バリア層と、該第1バリア層の上方に形成された第2バリア層と、を有し、
前記第1バリア層は、空洞形成ホールを有し、
前記第2バリア層は、前記空洞形成ホールを塞いでいることができる。
前記バリア層は、前記積層体の上方に空洞部を介して形成された第1バリア層と、該第1バリア層の上方に形成された第2バリア層と、を有し、
前記第1バリア層は、空洞形成ホールを有し、
前記第2バリア層は、前記空洞形成ホールを塞いでいることができる。
本発明に係るアクチュエータは、
前記圧電素子を含み、
前記基体が振動板を有することができる。
前記圧電素子を含み、
前記基体が振動板を有することができる。
本発明に係る液体噴射ヘッドは、
前記アクチュエータと、
前記基体に形成された流路と、
前記基体の下方に形成された、前記流路に連続するノズル穴を有するノズルプレートと、を含むことができる。
前記アクチュエータと、
前記基体に形成された流路と、
前記基体の下方に形成された、前記流路に連続するノズル穴を有するノズルプレートと、を含むことができる。
本発明に係る強誘電体メモリは、
前記圧電素子を含み、前記積層体をキャパシタ部として有することができる。
前記圧電素子を含み、前記積層体をキャパシタ部として有することができる。
本発明に係る第1の圧電素子の製造方法は、
基体の上方に、下部電極層、圧電体層および上部電極層を順次形成する工程と、
前記下部電極層、前記圧電体層および前記上部電極層をパターニングすることにより、積層体を形成する工程と、
少なくとも前記圧電体層および前記上部電極層を被覆する空洞形成層を形成する工程と、
前記空洞形成層を被覆するバリア層を形成する工程と、
前記バリア層にコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホールを通じて、前記空洞形成層を気化して除去することにより、少なくとも前記圧電体層および前記上部電極層と、前記バリア層との間に、空洞部を形成する工程と、を含む。
基体の上方に、下部電極層、圧電体層および上部電極層を順次形成する工程と、
前記下部電極層、前記圧電体層および前記上部電極層をパターニングすることにより、積層体を形成する工程と、
少なくとも前記圧電体層および前記上部電極層を被覆する空洞形成層を形成する工程と、
前記空洞形成層を被覆するバリア層を形成する工程と、
前記バリア層にコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホールを通じて、前記空洞形成層を気化して除去することにより、少なくとも前記圧電体層および前記上部電極層と、前記バリア層との間に、空洞部を形成する工程と、を含む。
本発明に係る第1の圧電素子の製造方法において、
前記空洞部を形成する工程は、前記空洞形成層を酸化することにより、前記空洞形成層を気化して除去することができる。
前記空洞部を形成する工程は、前記空洞形成層を酸化することにより、前記空洞形成層を気化して除去することができる。
本発明に係る第1の圧電素子の製造方法において、
前記空洞部を形成する工程は、前記圧電体層を結晶化するためのアニール処理であることができる。
前記空洞部を形成する工程は、前記圧電体層を結晶化するためのアニール処理であることができる。
本発明に係る第2の圧電素子の製造方法は、
基体の上方に、下部電極層、圧電体層および上部電極層を順次形成する工程と、
前記下部電極層、前記圧電体層および前記上部電極層をパターニングすることにより、積層体を形成する工程と、
少なくとも前記圧電体層および前記上部電極層を被覆する空洞形成層を形成する工程と、
前記空洞形成層を被覆する第1バリア層を形成する工程と、
前記第1バリア層に、複数の空洞形成ホールを形成する工程と、
前記空洞形成ホールを通じて、前記空洞形成層を気化して除去することにより、少なくとも前記圧電体層および前記上部電極層と、前記第1バリア層との間に、空洞部を形成する工程と、
前記第1バリア層の上方に、前記空洞形成ホールを塞ぐように、第2バリア層を形成する工程と、を含む。
基体の上方に、下部電極層、圧電体層および上部電極層を順次形成する工程と、
前記下部電極層、前記圧電体層および前記上部電極層をパターニングすることにより、積層体を形成する工程と、
少なくとも前記圧電体層および前記上部電極層を被覆する空洞形成層を形成する工程と、
前記空洞形成層を被覆する第1バリア層を形成する工程と、
前記第1バリア層に、複数の空洞形成ホールを形成する工程と、
前記空洞形成ホールを通じて、前記空洞形成層を気化して除去することにより、少なくとも前記圧電体層および前記上部電極層と、前記第1バリア層との間に、空洞部を形成する工程と、
前記第1バリア層の上方に、前記空洞形成ホールを塞ぐように、第2バリア層を形成する工程と、を含む。
本発明に係る第2の圧電素子の製造方法において、
前記空洞部を形成する工程は、前記空洞形成層を酸化することにより、前記空洞形成層を気化して除去することができる。
前記空洞部を形成する工程は、前記空洞形成層を酸化することにより、前記空洞形成層を気化して除去することができる。
本発明に係る第2の圧電素子の製造方法において、
前記空洞部を形成する工程は、前記圧電体層を結晶化するためのアニール処理であることができる。
前記空洞部を形成する工程は、前記圧電体層を結晶化するためのアニール処理であることができる。
本発明に係る第1および第2の圧電素子の製造方法において、
前記空洞形成層は、レジストからなることができる。
前記空洞形成層は、レジストからなることができる。
本発明に係る第1および第2の圧電素子の製造方法において、
前記空洞形成層は、ダイヤモンド・ライク・カーボン(Diamond Like Carbon)からなることができる。
前記空洞形成層は、ダイヤモンド・ライク・カーボン(Diamond Like Carbon)からなることができる。
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら説明する。
1.第1の実施形態
1.1.第1の実施形態に係る圧電素子
図1は、第1の実施形態に係る圧電素子100を模式的に示す断面図である。
1.1.第1の実施形態に係る圧電素子
図1は、第1の実施形態に係る圧電素子100を模式的に示す断面図である。
圧電素子100は、図1に示すように、基体10と、基体10の上方に、基体10側から順に形成された下部電極層20、圧電体層30および上部電極層40を有する積層体50と、積層体50の上方に空洞部62を介して形成されたバリア層70と、を含む。第1の実施形態では、バリア層70は、前記積層体50と、接触していない。
基体10の材質は、例えば、導電体、半導体または絶縁体などを用いることができ、特に限定されない。基体10は、単体あるいは他の層が積層された積層体であってもよい。基体10は、後述するように、例えば、振動板を含んで構成されてもよい。
積層体50は、下部電極層20と、圧電体層30と、上部電極層40と、をこの順に積層して構成される。
下部電極層20は、基体10の上に設けられる。下部電極層20は、上部電極層40と対になり、圧電体層30を挟む一方の電極として機能する。下部電極層20の厚みは、例えば、50nm〜300nmとすることができる。下部電極層20の材質は、例えば、イリジウム、白金、チタンなどの各種の金属、それらの導電性酸化物、ストロンチウムとルテニウムの複合酸化物(SrRuO3:SRO)、ランタンとニッケルの複合酸化物(LaNiO3:LNO)などを用いることができる。下部電極層20は、前記例示した材料の単層でもよいし、複数の材料を積層した構造であってもよい。下部電極層20は、図示せぬ外部回路と電気的に接続されている。
圧電体層30は、下部電極層20の上に設けられる。圧電体層30の厚みは、圧電素子100の用途によるが、例えば、50nm〜300nmとすることができる。圧電体層30には、圧電性を有する材料を用いることができる。圧電体層30は、例えば、一般式ABO3で示されるペロブスカイト型酸化物からなることができ、Aは、鉛を含み、Bは、ジルコニウムおよびチタンのうちの少なくとも一方を含むことができる。前記Bは、例えば、さらに、ニオブを含むことができる。具体的には、圧電体層30としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O3:PZT)、ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr,Ti,Nb)O3:PZTN)、シリコンを含むニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr,Ti,Nb)O3:PZTNS)などを用いることができる。
上部電極層40は、圧電体層30の上に設けられる。上部電極層40は、下部電極層20と対になり他方の電極として機能する。上部電極層40の厚みは、例えば、20nm〜200nmとすることができる。上部電極層40の材質は、例えば、イリジウム、金、白金、チタンなどの各種の金属、それらの導電性酸化物、ストロンチウムとルテニウムの複合酸化物(SrRuO3:SRO)、ランタンとニッケルの複合酸化物(LaNiO3:LNO)などを用いることができる。また、上部電極層40は、例示した材料の単層でもよいし、複数の材料を積層した構造であってもよい。
バリア層70は、積層体50に接することなく、積層体50の上方に設けられる。バリア層70の形状は、任意であるが、後述する空洞形成層60の形状を反映した形状となる。バリア層70の内側に空洞部62を介して、積層体50が設けられる。詳細は後述するが、空洞部62は、空洞形成層60が気化して除去されることにより、形成される。バリア層70は、水素などの還元種から、積層体50を保護する機能を有する。バリア層70の厚みは、例えば、特に限定されない。バリア層70の材質は、例えば、酸化アルミニウムなどを用いることができる。
また、圧電素子100は、バリア層70に形成されたコンタクトホール80内に、前記上部電極層40と電気的に接続されたコンタクト部92と、コンタクト部92と電気的に接続された配線90と、を含むことができる。
バリア層70には、コンタクトホール80が形成される。詳細は後述するが、コンタクトホール80を通じて酸素を供給し、空洞形成膜60(図3参照)を酸化して気化することができる。気化された空洞形成層60の材料は、コンタクトホール80を通じて、外部に除去されることができる。
コンタクトホール80には、コンタクト部92が形成される。コンタクト部92の一方の端部には、例えば、積層体50の上部電極層40が電気的に接続され、他方の端部には、配線90が接続される。コンタクト部92および配線90の厚さは、特に限定されない。コンタクト部92および配線90の材質は、導電性を有すれば、特に限定されない。なお、図示はしないが、バリア層70と配線90との間に、絶縁層が形成されてもよい。この場合、コンタクトホール80は、バリア層70と絶縁層とを貫通して形成される。
第1の実施形態に係る圧電素子100は、積層体50と、バリア層70との間に、空間部62が形成される。これにより、積層体50は、バリア層70によって変位を拘束されることないので、圧電素子100は、良好な圧電特性を有する。そのうえ、積層体50は、バリア層70によって保護されているので、水素などの還元種の進入を防ぐことができ、圧電素子100は、高い信頼性を有する。
1.2.第1の実施形態に係る圧電素子の製造方法
次に、第1の実施形態に係る圧電素子100の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図2〜図6は、本実施形態に係る圧電素子の製造工程を概略的に示す断面図である。
次に、第1の実施形態に係る圧電素子100の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図2〜図6は、本実施形態に係る圧電素子の製造工程を概略的に示す断面図である。
図2に示すように、まず、基体10を準備し、基体10の上方に、下部電極層20、圧電体層30、上部電極層40を、この順番で形成する。次に、下部電極層20、圧電体層30、上部電極層40を、パターニングすることにより、積層体50を形成する。
下部電極層20は、例えば、スパッタ法、めっき法、真空蒸着法などにより形成される。
圧電体層30は、例えば、ゾルゲル法、CVD(Chemical Vapor Deposition)法、MOD(Metal Organic Deposition)法、スパッタ法、レーザーアブレーション法などにより形成される。
上部電極層40は、例えば、スパッタ法、めっき法、真空蒸着法などにより形成される。
積層体50を形成するパターニングは、例えば、公知のフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術により行われる。積層体50を形成するパターニングは、下部電極層20、圧電体層30、上部電極層40を、各層ごとパターニングしてもよいし、複数層の形成後に一括してパターニングしてもよい。
図3に示すように、積層体50を被覆するように、空洞形成層60を形成する。空洞形成層60は、後述するバリア層70の形状を付与するために形成する。空洞形成層60の厚さは、後述する空洞部62を形成することができれば、特に限定されない。空洞形成層60は、例えば、酸化によって、気化し、除去される材質で形成されることができる。空洞形成層60の材質は、例えば、公知のレジスト、ダイヤモンド・ライク・カーボン(Diamond Like Carbon:DLC)などを用いることができる。空洞形成層60は、例えば、スピンコーティング法、CVD法などにより成膜された後、公知の方法でパターニングされることにより形成される。
図4に示すように、空洞形成層60を被覆するように、バリア層70を形成する。バリア層70は、積層体50と接触しないように形成される。バリア層70は、例えば、原子層化学的気相成長法(Atomic Layer CVD:ALCVD)などにより形成される。
図5に示すように、バリア層70に、コンタクトホール80を形成する。コンタクトホール80は、空洞形成層60が露出するように形成される。コンタクトホール80は、例えば、上部電極層40の上に形成される。コンタクトホール80は、例えば、公知のフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術により形成される。なお、コンタクトホール80は、空間形成層60を貫通していてもよいし、貫通していなくてもよい。
図6に示すように、積層体50と、バリア層70との間に、空洞部62を形成する。空洞部62は、空間形成層60を酸化して気化し、外部に除去することにより形成される。すなわち、酸素がコンタクトホール80を通じて空間形成層60と反応し、空間形成層60は気化される。そして、気化した空間形成層60の材料は、コンタクトホール80を通じて、外部に除去される。空間形成層60の酸化は、例えば、圧電体層30を結晶化させるために行う酸素雰囲気中での700℃程度のアニール処理によって行なうことができる。また、空間形成層60の酸化は、例えば、酸素によるアッシングなどによって行うことができる。
図1に示すように、積層体50の上方に、配線90を形成する。配線90は、コンタクトホール80に形成されたコンタクト部92によって、積層体50の上部電極層40と電気的に接続されている。配線90およびコンタクト部92は、めっき法などにより形成される。
以上の工程によって、第1の実施形態に係る圧電素子100を製造することができる。
第1の実施形態に係る圧電素子100の製造方法によれば、コンタクトホール80を通じて、空間形成層60を酸化して気化し、外部に除去することにより、空洞部62を形成できる。すなわち、特別にバリア層70にホールなどを設けなくても、空洞部62を形成できる。
1.3.変形例
図7は、第1の実施形態の変形例に係る圧電素子150を模式的に示す断面図である。以下、第1の実施形態の変形例に係る圧電素子150およびその製造方法において、第1の実施形態に係る圧電素子100およびその製造方法と実質的に同一の材料については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図7は、第1の実施形態の変形例に係る圧電素子150を模式的に示す断面図である。以下、第1の実施形態の変形例に係る圧電素子150およびその製造方法において、第1の実施形態に係る圧電素子100およびその製造方法と実質的に同一の材料については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
圧電素子150は、図7に示すように、下部電極層20の幅が圧電体層30の幅より大きく、下部電極層20の一部がバリア層70と接触している。
圧電素子150の製造方法は、空間形成層60(図3参照)が下部電極層20を完全に被覆しないように形成される。すなわち、下部電極層20の一部が、バリア層70と接触するように形成される。
第1の実施形態の変形例に係る圧電素子150は、圧電体層30および上部電極層40が、バリア層70に接触していない。これにより、積層体50の特に変位に関与する圧電体層30および上部電極40は、バリア層70によって変位を拘束されることなく、圧電素子150は、良好な圧電特性を有する。さらに空洞部62を小さくできるので、バリア層70の外力に対する強度を、より高くすることができる。
2.第2の実施形態
2.1.第2の実施形態に係る圧電素子
図8は、第2の実施形態に係る圧電素子200を模式的に示す断面図である。以下、第2の実施形態に係る圧電素子200において、第1の実施形態に係る圧電素子100と実質的に同一の材料については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
2.1.第2の実施形態に係る圧電素子
図8は、第2の実施形態に係る圧電素子200を模式的に示す断面図である。以下、第2の実施形態に係る圧電素子200において、第1の実施形態に係る圧電素子100と実質的に同一の材料については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
圧電素子200は、図8に示すように、バリア層70が、積層体50の上方に空洞部62を介して形成された第1バリア層71と、第1バリア層71の上方に形成された第2バリア層72と、を有する。ここで、第1バリア層71は、複数の空洞形成ホール81を有し、第2バリア層72は、空洞形成ホール81を塞いでいる。
第1バリア層71は、積層体50に接することなく、積層体50の上方に設けられる。第1バリア層71は、複数の空洞形成ホール81を有する。詳細は後述するが、複数の空洞形成ホール81を通じて酸素を供給し、空洞形成層60(図9参照)を酸化して気化することができる。気化された空洞形成層60の材料は、複数の空洞形成ホール81を通じて、外部に除去されることができる。第1バリア層71の材質は、例えば、第1の実施形態のバリア層70と同じものを用いることができる。
第2バリア層72は、第1バリア層71の上方に、空洞形成ホール81を塞ぐように形成される。第2バリア層72で空洞形成ホール81を塞ぐことにより、空洞形成ホール81から積層体50にダメージを与える水素など還元種が、進入することを防止できる。第2バリア層72は、空洞形成ホール81を塞いでいれば、空洞形成ホール81を完全に埋めていてもよいし、完全に埋めていなくてもよい。第2バリア層72の材質は、例えば、第1の実施形態のバリア層70と同じものを用いることができる。また、第2バリア層72の材質は、第1バリア層71と、同じであってもよいし、異なってもよい。
なお、図示はしないが、圧電素子200は、図7に示す圧電素子150のように、下部電極層20幅が圧電体層30の幅より大きく、下部電極層20の一部が第1バリア層71と接触していてもよい。
第2の実施形態に係る圧電素子200は、第1の実施形態に係る圧電素子100の特徴に加え、バリア層70が、バリア層71とバリア層72との2層からなる。これにより、バリア層70の外力に対する強度を、より一層高くすることができる。
2.2.第2の実施形態に係る圧電素子の製造方法
図9〜図13は、第2の実施形態に係る圧電素子の製造工程を概略的に示す断面図である。以下、第2の実施形態に係る圧電素子200の製造方法において、第1の実施形態に係る圧電素子100の製造方法と実質的に同一の材料については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図9〜図13は、第2の実施形態に係る圧電素子の製造工程を概略的に示す断面図である。以下、第2の実施形態に係る圧電素子200の製造方法において、第1の実施形態に係る圧電素子100の製造方法と実質的に同一の材料については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図9に示すように、空洞形成層60を被覆するように、第1バリア層71を形成する。第1バリア層71は、例えば、原子層化学的気相成長法(Atomic Layer CVD:ALCVD)などにより形成される。
図10に示すように、第1バリア層71に、複数の空洞形成ホール81を形成する。空洞形成ホール81は、空洞形成層60が露出されるように形成される。空洞形成ホール81は、例えば、公知のフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術により形成される。なお、空洞形成ホール81は、空間形成層60を貫通していてもよいし、貫通していなくてもよい。
図11に示すように、積層体50と、第1バリア層71との間に、空洞部62を形成する。空洞部62を気化するための酸素は、複数の空洞形成ホール81を通じて、供給される。そして、酸化により気化した空洞形成層60の材料は、複数の空洞形成ホール81を通じて、外部に除去される。空間形成層60の酸化は、例えば、圧電体層30を結晶化させるために行う酸素雰囲気中での700℃程度のアニール処理によって行なうことができる。また、空間形成層60の酸化は、例えば、酸素によるアッシングなどによって行うことができる。
図12に示すように、第1バリア層71の上方に、第2バリア層72を形成する。第2バリア層72は、空洞形成ホール81を塞ぐように形成する。第2バリア層72は、例えば、原子層化学的気相成長法(Atomic Layer CVD:ALCVD)などにより形成される。なお、第2バリア層72の製法は、第1バリア層71と、同じであってもよいし、異なってもよい。
図13に示すように、第1バリア層71および第2バリア層72に、コンタクトホール80を形成する。コンタクトホール80は、例えば、上部電極層40の上方に形成される。コンタクトホール80は、例えば、公知のフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術により形成される。なお、図示はしないが、第1バリア層71の形成後、第1バリア層71にコンタクトホールを形成し、第2バリア層の形成後、第1バリア層71のコンタクトホールと連続するように第2バリア層72のコンタクトホールを形成することによって、コンタクトホール80を形成してもよい。
図8に示すように、積層体50の上方に、配線90を形成する。配線90は、コンタクトホール80に形成されたコンタクト部92を通じて、積層体50の上部電極層40と電気的に接続されている。配線90およびコンタクト部92は、めっき法などにより形成される。
以上の工程によって、第2の実施形態に係る圧電素子200を製造することができる。
第2の実施形態に係る圧電素子200の製造方法によれば、複数の空洞形成ホール81を通じて、空洞形成層60を酸化して気化し、外部に除去することができる。これにより、空洞形成層60の気化および除去がより一層容易に行われ、空洞部62を形成し易くなる。さらに、空洞形成ホール81は、第2バリア層72によって塞がれるため、空洞形成ホール81を通じて、水素などの還元種が積層体50に進入することを防ぐことができる。
3.第3の実施形態
次に、本発明に係る圧電素子がアクチュエータとして機能している第3の実施形態に係る液体噴射ヘッドについて説明する。以下の例では、第1の実施形態に係る圧電素子がアクチュエータとして機能する場合について説明する。
次に、本発明に係る圧電素子がアクチュエータとして機能している第3の実施形態に係る液体噴射ヘッドについて説明する。以下の例では、第1の実施形態に係る圧電素子がアクチュエータとして機能する場合について説明する。
図14は、第3の実施形態に係る液体噴射ヘッド300の要部を概略的に示す断面図である。図15は、第3の実施形態に係る液体噴射ヘッド300の分解斜視図である。なお、図15は、通常使用される状態とは上下を逆に示したものである。
液体噴射ヘッド300は、図14に示すように、ノズルプレート14と、基板11と、アクチュエータ110と、を含む。アクチュエータ110は、基板11の上に形成された振動板13と、振動板13の上に形成された積層体50と、を有する。積層体50は、下部電極層20と、圧電体層30と、上部電極層40と、を含む。また、液体噴射ヘッド300は、積層体50の上方に空洞部62を介して形成されたバリア層70を有する。また、液体噴射ヘッド300は、バリア層70のコンタクトホール80を貫通して形成されたコンタクト部92と、コンタクト部92よって上部電極層40と電気的に接続された配線90と、を含むことができる。なお、図15において、積層体50の各層、空洞部62、バリア層70、コンタクトホール80、コンタクト部92および配線90の図示は、省略されている。
液体噴射ヘッド300は、図15に示すように、さらに、筐体18を有する。筐体18に、ノズルプレート14、基板11、振動板13および積層体50が収納される。筐体18は、例えば、各種樹脂材料、各種金属材料等を用いて形成される。
ノズルプレート14は、例えば、ステンレス製の圧延プレート等で構成されたものである。ノズルプレート14には、液滴を吐出するための多数のノズル穴15が一列に配置されている。ノズルプレート14には、基板11が固定されている。基板11は、ノズルプレート14と振動板13との間の空間を区画して、リザーバ16、供給口17および複数の流路12を形成する。リザーバ16は、液体カートリッジ(図示せず)から供給される液体を一時的に貯留する。供給口17によって、リザーバ16から各流路12へ液体が供給される。
流路12は、図14および図15に示すように、各ノズル穴15に対応して配設されている。ノズル穴15は、流路12と連続している。流路12は、振動板13の振動によってそれぞれ容積可変になっている。この容積変化によって、流路12から液体が吐出される。
振動板13の所定位置には、図15に示すように、振動板13の厚さ方向に貫通した貫通孔19が形成されている。貫通孔19によって、液体カートリッジからリザーバ16へ液体が供給される。
積層体50は、圧電素子駆動回路(図示せず)に電気的に接続され、圧電素子駆動回路の信号に基づいて作動(振動、変形)することができる。振動板13は、積層体50の振動(たわみ)によって振動し、流路12の内部圧力を瞬間的に高めることができる。
アクチュエータ110の製造方法および液体噴射ヘッド300の製造方法において、積層体50、空洞部62、バリア層70、コンタクトホール80、コンタクト部92および配線90のそれぞれは、上述した実施形態に係る積層体50、空洞部62、バリア層70、コンタクトホール80、コンタクト部92および配線90の製造方法を用いて形成される。また、液体噴射ヘッド300の製造方法は、基板11上に振動板13を形成する工程と、基板11に流路12を形成する工程と、基板11の下にノズルプレート14を形成する工程と、を含む。振動板13、流路12およびノズルプレート14は、公知の方法により形成される。
第1の実施形態に係る圧電素子100は、上述のように、信頼性が高く、かつ圧電特性が良好である。これにより、信頼性が高く、特性の良好なアクチュエータ110および液体噴射ヘッド300を提供することができる。
4.第4の実施形態
次に、本発明に係る圧電素子を含む第4の実施形態に係る強誘電体メモリについて説明する。以下の例では、第1の実施形態に係る圧電素子を含む場合について説明する。
次に、本発明に係る圧電素子を含む第4の実施形態に係る強誘電体メモリについて説明する。以下の例では、第1の実施形態に係る圧電素子を含む場合について説明する。
第4の実施形態に係る強誘電体メモリ400は、上述した第1の実施形態に係る圧電素子100の製造工程により製造することができる。図16は、第4の実施形態に係る強誘電体メモリ400の一例を模式的に示す断面図である。
強誘電体メモリ400は、積層体50と、基体10とを含む。積層体50は、基体10上に形成されている下部電極層20と、下部電極層20上に形成されている圧電体層30と、圧電体層30上に形成されている上部電極層40と、を含む。また、強誘電体メモリ400は、積層体50の上方に空洞部62を介して形成されたバリア層70と、を含む。
基体10は、基板1と、トランジスタ6と、コンタクト部98および99と、第1の絶縁層7と、素子分離領域8とを含む。トランジスタ6は、基板1上に形成されたソース2およびドレイン5、ゲート絶縁膜3、ゲート4を含んで構成される。なお、トランジスタ6は、公知の手法で形成することができる。
第1の絶縁層7には、コンタクトホール88、86が形成され、かかるコンタクトホール88および86には、電気伝導性を有するコンタクト部98および99が形成されている。コンタクト部98、99のそれぞれは、基板1の面に垂直方向に延出して形成され、第1の絶縁層7を貫通している。コンタクト部98の一方の端部は、トランジスタ6のソース2に電気的に接続され、他方の端部は、積層体50の下部電極層20に電気的に接続されている。コンタクト部99の一方の端部は、トランジスタ6のドレイン5に電気的に接続され、他方の端部は、後述するコンタクト部96に電気的に接続されている。
さらに強誘電体メモリ400は、第1の絶縁層7上に形成された第2の絶縁層9と、コンタクト部92、96と、配線(またはパッド)90、94とを含む。第2の絶縁層9には、コンタクトホール80、84が形成されている。コンタクトホール80は、積層体50上のバリア層70を貫通して形成されている。コンタクトホール80、84には、電気伝導性を有するコンタクト部92、96が形成されている。コンタクト部80の一方の端部は、積層体50の上部電極層40に電気的に接続され、他方の端部は、配線90に接続されている。コンタクト部99、96によって、トランジスタ6と配線94の電気的接続が図られている。
なお、本実施の形態では、いわゆるスタック構造を有する1T1C型強誘電体メモリの製造工程について説明したが、上述した製造方法は、この他に、プレーナ構造の1T1C型、2T2C型や単純マトリクス型(クロスポイント型)などの各種のセル方式を用いた強誘電体メモリの製造工程にも適用することが可能である。
第1の実施形態に係る圧電素子100は、上述のように、信頼性が高く、かつ特性が良好である。これにより、信頼性が高く、特性の良好な強誘電体メモリ400を提供することができる。
上記のように、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは、当業者には容易に理解できよう。従って、このような変形例は、全て本発明の範囲に含まれるものとする。
1 基板、2 ソース、3 ゲート絶縁膜、4 ゲート、5 ドレイン、6 トランジスタ、7 第1の絶縁層、8 素子分離領域、9 第2の絶縁層、10 基体、11 基板、12 流路、13 振動板、14 ノズルプレート、15 ノズル穴、16 リザーバ、17 供給口、18 筐体、19 貫通孔、20 下部電極層、30 圧電体層、40 上部電極層、50 積層体、60 空洞形成層、62 空洞部、70 バリア層、71 第1バリア層、72 第2バリア層、80、84、86、88 コンタクトホール、81 空洞形成ホール、90、94 配線、92、96、98、99 コンタクト部、100 、150、200 圧電素子、110 アクチュエータ、300 液体噴射ヘッド、400 強誘電体メモリ
Claims (14)
- 基体と、
前記基体の上方に、該基体側から順に形成された下部電極層、圧電体層および上部電極層を有する積層体と、
前記積層体の上方に空洞部を介して形成されたバリア層と、を含み、
前記バリア層は、少なくとも前記圧電体層および前記上部電極層と、接触していない、圧電素子。 - 請求項1において、
前記バリア層に形成されたコンタクトホール内に、前記上部電極層と接続されたコンタクト部を有する、圧電素子。 - 請求項1または2において、
前記バリア層は、前記積層体の上方に空洞部を介して形成された第1バリア層と、該第1バリア層の上方に形成された第2バリア層と、を有し、
前記第1バリア層は、空洞形成ホールを有し、
前記第2バリア層は、前記空洞形成ホールを塞いでいる、圧電素子。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の圧電素子を含み、
前記基体が振動板を有する、アクチュエータ。 - 請求項4に記載のアクチュエータと、
前記基体に形成された流路と、
前記基体の下方に形成された、前記流路に連続するノズル穴を有するノズルプレートと、を含む、液体噴射ヘッド。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の圧電素子を含み、
前記積層体をキャパシタ部として有する、強誘電体メモリ。 - 基体の上方に、下部電極層、圧電体層および上部電極層を順次形成する工程と、
前記下部電極層、前記圧電体層および前記上部電極層をパターニングすることにより、積層体を形成する工程と、
少なくとも前記圧電体層および前記上部電極層を被覆する空洞形成層を形成する工程と、
前記空洞形成層を被覆するバリア層を形成する工程と、
前記バリア層にコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホールを通じて、前記空洞形成層を気化して除去することにより、少なくとも前記圧電体層および前記上部電極層と、前記バリア層との間に、空洞部を形成する工程と、を含む、圧電素子の製造方法。 - 請求項7において、
前記空洞部を形成する工程は、前記空洞形成層を酸化することにより、前記空洞形成層を気化して除去する、圧電素子の製造方法。 - 請求項8において、
前記空洞部を形成する工程は、前記圧電体層を結晶化するためのアニール処理である、圧電素子の製造方法。 - 基体の上方に、下部電極層、圧電体層および上部電極層を順次形成する工程と、
前記下部電極層、前記圧電体層および前記上部電極層をパターニングすることにより、積層体を形成する工程と、
少なくとも前記圧電体層および前記上部電極層を被覆する空洞形成層を形成する工程と、
前記空洞形成層を被覆する第1バリア層を形成する工程と、
前記第1バリア層に、複数の空洞形成ホールを形成する工程と、
前記空洞形成ホールを通じて、前記空洞形成層を気化して除去することにより、少なくとも前記圧電体層および前記上部電極層と、前記第1バリア層との間に、空洞部を形成する工程と、
前記第1バリア層の上方に、前記空洞形成ホールを塞ぐように、第2バリア層を形成する工程と、を含む、圧電素子の製造方法。 - 請求項10において、
前記空洞部を形成する工程は、前記空洞形成層を酸化することにより、前記空洞形成層を気化して除去する、圧電素子の製造方法。 - 請求項11において、
前記空洞部を形成する工程は、前記圧電体層を結晶化するためのアニール処理である、圧電素子の製造方法。 - 請求項7ないし12のいずれかにおいて、
前記空洞形成層は、レジストからなる、圧電素子の製造方法。 - 請求項7ないし12のいずれかにおいて、
前記空洞形成層は、ダイヤモンド・ライク・カーボン(Diamond Like Carbon)からなる、圧電素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007219932A JP2009054785A (ja) | 2007-08-27 | 2007-08-27 | 圧電素子およびその製造方法、アクチュエータ、液体噴射ヘッド、並びに、強誘電体メモリ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007219932A JP2009054785A (ja) | 2007-08-27 | 2007-08-27 | 圧電素子およびその製造方法、アクチュエータ、液体噴射ヘッド、並びに、強誘電体メモリ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009054785A true JP2009054785A (ja) | 2009-03-12 |
Family
ID=40505608
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007219932A Withdrawn JP2009054785A (ja) | 2007-08-27 | 2007-08-27 | 圧電素子およびその製造方法、アクチュエータ、液体噴射ヘッド、並びに、強誘電体メモリ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009054785A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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- 2007-08-27 JP JP2007219932A patent/JP2009054785A/ja not_active Withdrawn
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---|---|---|---|
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