JP2009054769A - 薄板製造装置および薄板製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】良好な生産効率を維持し、装置規模を削減し、コストを低減できる薄板製造装置および薄板製造方法を提供する。
【解決手段】薄板製造装置２０００は、浸漬機構１５００と、脱着機構と、チャンバー１１００とを備えている。浸漬機構１５００は、融液１１０２に下地板Ｓの表面を浸漬し、下地板Ｓの表面に融液１１０２が凝固した薄板Ｐを形成するためのものである。脱着機構は、下地板Ｓを浸漬機構１５００に脱着するためのものである。チャンバー１１００は、浸漬機構１５００および脱着機構が内部に配置されている。チャンバー１１００は、下地板Ｓをチャンバー１１００の外部から内部に搬入するための第１の開口部１２０１と、下地板Ｓをチャンバー１１００の内部から外部へ搬出するための第２の開口部１３０１とを有している。第１および第２の開口部１２０１、１３０１がチャンバー１１００の内部の雰囲気ガスと大気との境界になるように構成されている。
【選択図】図６

Description

本発明は、薄板製造装置および薄板製造方法に関し、特に、下地板上に薄板を形成する薄板製造装置および薄板製造方法に関する。

従来の薄板製造装置および薄板製造方法の一例として、たとえば国際公開第２００４／００３２６２号パンフレット（特許文献１）に開示の薄板製造装置および薄板製造方法が挙げられる。図１２は、特許文献１などの従来の薄板製造装置を示す概略図である。特許文献１に開示の薄板製造装置３０００においては、図１２に示すように、チャンバー３１００内にるつぼ３１０２が配置され、るつぼ３１０１中にシリコン融液３１０２が貯留され、シリコン融液３１０２に下地板Ｓの表層部を浸漬させる浸漬機構３５００が配置されている。チャンバー３１００の内部は不活性ガス雰囲気に保持されている。チャンバー３１００に、搬入用のロードロック室３２００と搬出用のロードロック室３３００とが隣接して設置されている。

上記特許文献１に開示の薄板製造方法を、以下説明する。まず、下地板Ｓが、薄板製造装置３０００の外部から、大気開放された搬入用のロードロック室３２００にゲートバルブ３２０１を通って搬入される。次いで、ゲートバルブ３２０１が閉められる。搬入用のロードロック室３２００の内部は真空引きされ、チャンバー３１００の内部と同等の不活性ガス雰囲気に置換される。その後、ゲートバルブ３２０２を開く。下地板Ｓはゲートバルブ３２０２を通り、チャンバー３１００内に搬入される。その後、ゲートバルブ３２０２が閉められ、ゲートバルブ３２０１が開けられる。これにより、搬入用のロードロック室３２００は大気開放される。その後、新たな下地板Ｓが薄板製造装置３０００の外部から、大気開放された搬入用のロードロック室３２００にゲートバルブ３２０１を通って搬入される。

チャンバー３１００内に搬入された下地板Ｓは、浸漬機構３５００に装着される。次いで、浸漬機構３５００を用いて下地板Ｓは融液３１０２上に搬送される。下地板Ｓの表面を融液３１０２に浸すことで、下地板Ｓの表面上に薄板Ｐが作製される。作製された薄板Ｐは、下地板Ｓ上に載った状態で、浸漬機構３５００から取り外される。

次に、ゲートバルブ３３０１が閉められる。搬出用のロードロック室３３００の内部が真空引きされ、チャンバー３１００の内部と同等の不活性ガスに置換される。その後、ゲートバルブ３３０２を開く。下地板Ｓ上に形成された薄板Ｐは、ゲートバルブ３３０２を通り、搬出用のロードロック室３３００内に搬送される。その後、ゲートバルブ３３０２が閉められ、ゲートバルブ３３０１が開けられる。これにより、搬出用のロードロック室３３００は大気開放される。下地板Ｓ上に形成された薄板Ｐは、ゲートバルブ３３０１を通って薄板製造装置３０００の外部に搬出される。

このように薄板Ｐを複数枚作製すると、るつぼ３１０１内のシリコン融液３１０２が減少する。シリコン融液３１０２の減少が所定量を超えた場合には、融液３１０２の追加原料をるつぼ３１０１内に投入する必要が生じる。追加原料は、チャンバー３１００に隣接した追加原料用のロードロック室３４００内に配置された原料追加機構３４０３に、ゲートバルブ（図示せず）を通って搬入される。その後、追加原料用のロードロック室３４００の内部は真空引きされ、チャンバー３１００と同等の不活性ガス雰囲気に置換される。その後、ゲートバルブ３４０１を開ける。原料追加機構３４０３をるつぼ３１０１上に伸ばし、原料追加機構３４０３を回転することで追加原料をシリコン融液３１０２に追加することができる。その後、原料追加機構３４０３は追加原料用のロードロック室３４００に戻る。その後、ゲートバルブ３４０１が閉められ、追加原料用のロードロック室３４００が大気開放される。必要に応じて追加原料用のロードロック室３４００内を真空引きして、次の追加原料を追加原料用のロードロック室３４００内に設けられた原料追加機構３４０３に投入することが可能である。

薄板の製造において、所定量以上の大気がチャンバー３１００内に混入すると、るつぼ３１０１内の融液３１０２がたとえばシリコン融液である場合には、シリコンと大気中の酸素とが反応して、酸化ケイ素粉が発生する。この場合には、チャンバー３１００内の浸漬機構３５００などの機構へ酸化ケイ素粉が付着すること、および融液３１０２の液面に酸化ケイ素粉が浮遊することによって薄板の製造が阻害される恐れがある。したがって、融液３１０２と大気とが反応してなる酸化粉の発生を防ぐために、搬入用のロードロック室３２００、搬出用のロードロック室３３００および追加原料用のロードロック室３４００をそれぞれ設けて、チャンバー３１００の内部の大気を排出して不活性ガス雰囲気を充填していた。
国際公開第２００４／００３２６２号パンフレット

しかしながら、上記特許文献１では、チャンバー３１００内への大気の混入を防止するためには、薄板製造装置３０００は、搬入用のロードロック室３２００、搬出用のロードロック室３３００および追加原料用のロードロック室３４００を備えていることが必要であった。そのため、上記特許文献１の薄板製造装置３０００はチャンバー３１００、搬入用のロードロック室３２００、搬出用のロードロック室３３００および追加原料用のロードロック室３４００の設置面積を要するので、薄板製造装置３０００全体として装置規模が大きくなるという問題があった。

また、下地板Ｓを薄板製造装置３０００内に搬入する際に、搬入用のロードロック室３２００を通して搬入する必要がある。さらに、薄板Ｐを製造した後に、下地板Ｓおよび薄板Ｐを、搬出用のロードロック室３３００を通して搬出する必要がある。すなわち、下地板Ｓの搬入の度に、搬入用ロードロック室３２００の真空引きと不活性ガスの導入とを行なうことが必要である。また、下地板Ｓおよび薄板Ｐの搬出の度に、搬出用ロードロック室３３００の大気開放が必要である。また、るつぼ３１０１内に融液３１０２の追加原料を投入する際にも真空引き、不活性ガス雰囲気の導入、および大気開放が必要となる。そのため、１枚の薄板の製造に要する時間が長くなり、生産効率が悪いという問題があった。

生産効率を向上するためには、搬入用のロードロック室３２００および搬出用のロードロック室３３００に設けられている真空ポンプの容量を増加することや、真空ポンプの台数を増やすことにより、搬入用のロードロック室３２００、搬出用のロードロック室３３００および追加原料用のロードロック室３４００内の真空引き時間を短縮することができる。しかし、真空ポンプの容量を増加すると、コストが増加するという問題がある。真空ポンプの台数を増やすと、搬入用のロードロック室３２００、搬出用のロードロック室３３００および追加原料用のロードロック室３４００を大きくする必要があるので、薄板製造装置全体として装置規模が大きくなるという問題があった。

したがって、本発明は、良好な生産効率を維持し、装置規模を削減し、コストを低減できる薄板製造装置および薄板製造方法を提供することである。

本発明者は、装置規模を削減するためにロードロック室を設けずにチャンバー内部への大気の混入を防止できる薄板製造装置を鋭意研究した結果、下地板の搬入および搬出等に伴い第１および第２の開口部の少なくともいずれかが開口してチャンバー内部と大気とが通じる場合であっても、薄板製造装置が、第１および第２の開口部がチャンバーの内部の雰囲気ガスと大気との境界になるように構成されることにより、第１および第２の開口部の少なくともいずれかが開口したときにチャンバーの外部から内部へ大気が混入することを防止できるように構成されることを見出した。

すなわち、本発明の薄板製造装置は、浸漬機構と、脱着機構と、チャンバーとを備えている。浸漬機構は、融液に下地板の表面を浸漬し、下地板の表面に融液が凝固した薄板を形成するためのものである。脱着機構は、下地板を浸漬機構に脱着するためのものである。チャンバーは、浸漬機構および脱着機構が内部に配置されている。チャンバーには、下地板をチャンバーの外部から内部に搬入するための第１の開口部と、下地板をチャンバーの内部から外部へ搬出するための第２の開口部とを有している。第１および第２の開口部がチャンバーの内部の雰囲気ガスと大気との境界になるように構成されており、かつ第１および第２の開口部の少なくともいずれかが開口したときにチャンバーの外部から内部へ大気が混入することを防止できるように構成されている。

本発明の薄板製造装置によれば、第１および第２の開口部の各々がチャンバーの内部の雰囲気ガスと大気との境界になるように構成されており、チャンバーに隣接するロードロック室が設けられていない。このため、チャンバーの内部は雰囲気ガスが充填され、チャンバーの外部が大気になるが、本発明では第１および第２の開口部の少なくともいずれかが開口したときにチャンバーの外部から内部へ大気が混入することを防止できるように構成されていることにより、第１および第２の開口部が開口しても、チャンバー内部は雰囲気ガスが充填された状態を維持できる。これにより、チャンバーに隣接するロードロック室を設けなくても、第１の開口部から下地板をチャンバー内に搬入する場合と第２の開口部から下地板を搬出する場合との双方において、チャンバー内に大気が混入することができ、チャンバー内で融液と大気とが反応してなる酸化粉の発生を防止することができる。このため、薄板製造装置にロードロック室を設ける必要がないので、薄板製造装置の規模を削減できる。その結果、ロードロック室およびこれに付随する設備に要するコストおよびスペースを低減できる。また、下地板の搬入および下地板の搬出に伴い、ロードロック室の真空引き、ロードロック室内への不活性ガス雰囲気の導入、およびロードロック室の大気開放に要した時間を短縮することができる。したがって、１枚の薄板を製造するために要する時間を短縮できるので、良好な生産効率を維持できる。

上記薄板製造装置において好ましくは、第１および第２の開口部の少なくともいずれかが開口するときにチャンバーの内部の圧力が外部の圧力よりも高くなるように不活性ガスを供給する供給部をさらに備えている。

これにより、第１および第２の開口部がチャンバーの内部の雰囲気ガスとしての不活性ガスと大気との境界になるように構成され、かつ第１および第２の開口部の少なくともいずれかが開口したときにチャンバーの外部から内部へ大気が混入することを防止できる薄板製造装置を実現できる。

上記薄板製造装置において好ましくは、チャンバーの内部を外部に対して密閉するときに第１および第２の開口部を塞ぐように構成された開閉可能な真空引き用扉と、チャンバーの内部を真空にするための真空ポンプとをさらに備えている。

真空引き用扉の閉にして真空ポンプを動作させると、チャンバーの内部を真空にすることができるので、チャンバーの内部から大気が容易に排出される。さらに、チャンバーの内部を真空にした後で、供給部を動作させて不活性ガスをチャンバー内に供給することにより、チャンバーの内部の雰囲気ガスとしての不活性ガスと大気との境界になるように構成されている薄板製造装置を実現できる。

上記薄板製造装置において好ましくは、チャンバーの外部から内部への大気の流れを抑制できるように不活性ガスを噴出するための不活性ガス噴出口をさらに備えている。これにより、第１および第２の開口部からチャンバー内部に大気が混入することを防止できる。

上記薄板製造装置において好ましくは、チャンバーの内部を外部に対して密閉するときに第１および第２の開口部を塞ぐように構成された開閉可能な真空引き用扉と、真空引き用扉の開動作によりチャンバー内部と大気とが通ずるときに、チャンバーの外部から内部への大気の流れを抑制できるように不活性ガスを噴出するための不活性ガス噴出口とをさらに備えている。

真空引き用扉の開動作により第１および第２の開口部の少なくともいずれかが開口したときに、不活性ガス噴出口から噴出された不活性ガスにより、チャンバーの外部から内部への大気の流れを抑制できる。そのため、第１および第２の開口部を介してチャンバー内部に大気が混入することを抑制できる。

上記薄板製造装置において好ましくは、チャンバーには、融液の材料をチャンバーの外部から内部へ搬入するための第３の開口部が形成され、第３の開口部がチャンバーの内部の雰囲気ガスと大気との境界になるように構成されている。

これにより、ロードロック室を設けずに融液の材料を追加することが可能となる。そのため、装置規模を削減できるとともにコストを低減できる。また、融液の材料の搬入に伴い、ロードロック室の真空引き、ロードロック室内への不活性ガス雰囲気の導入、およびロードロック室の大気開放に要した時間を短縮することができる。したがって、良好な生産効率を維持できる。

上記薄板製造装置において好ましくは、チャンバーには、薄板の落下片をチャンバーの内部から外部に搬出するための第４の開口部が形成され、第４の開口部がチャンバーの内部の雰囲気ガスと大気との境界になるように構成されている。

これにより、ロードロック室を設けずに落下片を回収することが可能となる。そのため、装置規模を削減できるとともにコストを低減できる。また、落下片の搬出に伴い、ロードロック室の真空引き、ロードロック室内への不活性ガス雰囲気の導入、およびロードロック室の大気開放に要する時間を短縮することができるので、良好な生産効率を維持できる。さらに、落下片をチャンバーの外部に必要に応じて搬出できるので、落下片の発生に伴い薄板の製造を中止する必要がないため、長期に渡って薄板製造装置を稼動させることができる。

なお、上記「落下片」とは、下地板を用いて薄板を製造する際に、割れて落下する薄板の欠片などを含む。

上記薄板製造装置において好ましくは、チャンバーの内部の酸素量および窒素量の少なくともいずれか一方を測定するための測定部をさらに備えている。

これにより、チャンバーの内部に大気が混入したことを早期に発見することができる。また、チャンバーの内部に大気が混入した場合には、大気の混入を抑制する手段を採ることによって、長期に渡って薄板製造装置を稼動させることができる。

上記薄板製造装置において好ましくは、測定部で測定された値に基づいて、チャンバー内に不活性ガスを供給する制御部および警報を発令する警報部の少なくともいずれか一方をさらに備えている。

制御部により、チャンバーの内部に大気が混入した場合には、大気がさらに混入することを抑制する手段を採ること、または混入した大気を排出する手段を採ることができる。そのため、長期に渡って薄板製造装置を稼動させることができる。また、警報部により、チャンバーの内部に大気が混入したことを早期にかつ容易に発見することができる。また、警報を発令することによって、作業員に大気の混入があったことを知らせることができる。

上記薄板製造装置において好ましくは、第１および第２の開口部は、チャンバーにおいて第１の開口部から第２の開口部に渡る最短の経路に融液が存在しないように構成されている。

大気がチャンバー内に混入した時には、通常、第１および第２の開口部を結んだときの最短の経路が、混入した大気の経路となる。そのため、その経路上に融液が配置されていなければ、融液に大気が流れることを抑制できる。よって、融液と大気中の酸素とが反応してなる酸化粉の生成を抑制できる。

本発明の薄板製造方法は、上記薄板製造装置を用いて、融液に下地板の表面を浸漬し、下地板の表面に融液が凝固することにより薄板を製造する薄板製造方法であって、以下の工程が実施される。まず、チャンバーの内部から大気が排出されて、チャンバーの内部が大気圧以上の雰囲気にされる。そして、下地板が大気中から第１の開口部を通してチャンバー内に搬入される。そして、浸漬機構を用いて、融液に下地板が浸漬される。そして、脱着機構を用いて、浸漬する工程において薄板が形成された下地板が浸漬機構から取り出される。そして、下地板および薄板がチャンバーから第２の開口部を通して大気中へ搬出される。

本発明の薄板製造方法によれば、チャンバー内を大気圧以上とした状態で薄板を製造するので、ロードロック室を介さず薄板を製造できる。そのため、装置規模を削減することができる。また、ロードロック室およびこれに付随する設備に要するコストを低減できる。さらに、ロードロック室を介さずに下地板の搬入および搬出ができるので、ロードロック室の真空引き、ロードロック室内への不活性ガス雰囲気の導入、およびロードロック室の大気開放に要した時間を短縮することができる。そのため、１枚の薄板を製造するために要する時間を短縮できるので、良好な生産効率を維持できる。

本発明の薄板製造装置および薄板製造方法によれば、第１および第２の開口部がチャンバーの内部の雰囲気ガスと大気との境界になるように構成されており、かつ第１および第２の開口部の少なくともいずれかが開口したときにチャンバーの外部から内部へ大気が混入することを防止できるように構成されている、良好な生産効率を維持でき、装置規模を削減でき、コストを低減できる。

以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照符号を付し、その説明は繰り返さない。

（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における薄板製造装置を上方から見たときの内部の概略図であり、図２は、側方から見たときの内部の概略図である。図１および図２を参照して、本発明の一実施の形態における薄板製造装置の構成を説明する。図１および図２に示すように、本実施の形態における薄板製造装置１０００は、チャンバー１１００と、浸漬機構１５００と、脱着機構１８００（図５参照）と、第１の不活性ガス噴出口１２０２と、第１の真空引き用扉１２０４と、第２の不活性ガス噴出口１３０２と、第２の真空引き用扉１３０４と、供給部１７０１と、真空ポンプ１７０２と、るつぼ１１０１と、原料追加機構１４０３とを主に備えている。

図１および図２に示すように、チャンバー１１００は、第１の開口部１２０１と、第２の開口部１３０１と、第３の開口部１４０１と、第４の開口部１６０１とを有している。第１の開口部１２０１は、下地板Ｓをチャンバー１１００の外部から内部に搬入するためのものである。第２の開口部１３０１は、下地板Ｓをチャンバー１１００の内部から外部へ搬出するためのものである。第３の開口部１４０１は、融液１１０２の材料（薄板Ｐの原料）をチャンバー１１００の外部から内部へ搬入するためのものである。第４の開口部１６０１は、薄板の落下片をチャンバー１１００の内部から外部に搬出するためのものである。薄板製造装置１０００は、第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１および１６０１がチャンバー１１００の内部の雰囲気ガスと大気との境界になるように構成されており、かつ第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１および１６０１の少なくともいずれかが開口したときにチャンバー１１００の外部から内部へ大気が混入することを防止できるように構成されている。

チャンバー１１００の内部は、融液１１０２と反応しない雰囲気であればよく、本実施の形態ではアルゴン（Ａｒ）などの不活性ガスが充填され、かつ大気圧以上の圧力の雰囲気である。

第１および第２の開口部１３０１は、チャンバー１１００において第１の開口部１２０１から第２の開口部１３０１に渡る最短の経路に融液１１０２が存在しないように構成されている。

なお、チャンバー１１００の内部に充填するために使用する不活性ガスの量は、第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１および１６０１の位置、形状および大きさなどによって異なる。不活性ガスの使用量を抑制するために、第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１および１６０１の大きさは、それぞれの用途に応じて小さくすることが好ましい。

チャンバー１１００の内部には、るつぼ１１０１が配置されている。るつぼ１１０１には、融液１１０２が貯留されている。融液１１０２は、実施の形態１ではシリコンとしているが特にこれに限定されない。融液１１０２は、薄板Ｐを構成する材料であればよく、薄板Ｐの用途から、金属材料および半導体材料のうち少なくとも一方を含んでいることが好ましい。融液１１０２は、たとえば、シリコン、ゲルマニウム、ガリウム、ヒ素、インジウム、硼素、アンチモン、亜鉛およびすずなどの半導体材料や、アルミニウム、ニッケルおよび鉄などの金属材料や、樹脂などを使用することができる。

浸漬機構１５００は、チャンバー１１００の内部に配置され、融液１１０２に下地板Ｓの表面を浸漬し、下地板Ｓの表面に融液１１０２が凝固した薄板Ｐを形成するためのものである。

図３は、本発明の実施の形態１における浸漬機構を示す概略図である。図１および図３に示すように、浸漬機構１５００は、水平動作モータ（図示せず）によって動作（走行）する水平動作軸１５１１と、水平動作軸１５１１によって水平動作する水平軸台座１５１０と、水平動作軸１５１１によって水平動作する昇降動作モータ１５２０とを含んでいる。昇降動作モータ１５２０によって昇降動作する懸垂支柱１５２１の途中に、回転機構１５３０が取り付けられている。懸垂支柱１５２１の先端には、回転軸によって回転可能なように、固定台座１５４０が接続されている。回転機構１５３０には、回転機構１５３０によって回転動作を行なう回転支柱１５３１が接続されている。回転支柱１５３１の先端と、固定台座１５４０の他端は、補助支柱１５３２によって接続されている。これによって、回転機構１５３０によって回転支柱１５３１が回転すると、それと同期して下地板Ｓを把握した固定台座１５４０が回転する。また昇降動作モータ１５２０および水平動作モータが動作することで、固定台座１５４０は昇降動作および水平動作を行なうことができる。すなわち、下地板Ｓを把握した固定台座１５４０は、昇降動作モータ、水平動作モータおよび回転機構１５３０を独立に任意の動作をさせることで、自由に水平・昇降・回転動作を行なうことができる。

脱着機構１８００（図５参照）は、チャンバー１１００の内部に配置され、下地板Ｓを浸漬機構１５００に脱着するためのものである。

図１に示すように、供給部１７０１は、第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１および１６０１の少なくともいずれかが開口するときにチャンバー１１００の内部の圧力が外部の圧力よりも高くなるように不活性ガスを供給するためのものである。供給部１７０１は、チャンバー１１００の内部に配置されている。供給部１７０１は、第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１および１６０１までの距離が略均等であることが好ましく、大気に開放される頻度の多い第１および第２の開口部１２０１、１３０１までの距離が略均等であることがより好ましい。供給部１７０１は、たとえばチャンバー１１００の略中央に配置されている。供給部１７０１は、たとえばアルゴンなどの不活性ガスを供給する。なお、供給部１７０１は、融液１１０２との反応性が低いガスであれば、アルゴンに特に限定されず、たとえば他の不活性ガスなどを用いることができる。

第１、第２、第３および第４の真空引き用扉１２０４、１３０４、１４０４および１６０４は、チャンバー１１００の内部を外部に対して密閉するときに第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１および１６０１を塞ぐように構成された開閉可能なものである。第１、第２、第３および第４の真空引き用扉１２０４、１３０４、１４０４および１６０４は、第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１および１６０１の外部に設けられている。第１、第２、第３および第４の真空引き用扉１２０４、１３０４、１４０４および１６０４は、たとえばゲートバルブまたはＯリング等を有する真空封止可能な手動蓋などである。

真空ポンプ１７０２は、チャンバー１１００の内部を真空にするためのものである。第１、第２、第３および第４の真空引き用扉１２０４、１３０４、１４０４および１６０４が第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１および１６０１を塞いでチャンバー１１００を密閉した状態で起動されることにより、チャンバー１１００の内部を真空引きできる。

第１、第２、第３および第４の不活性ガス噴出口１２０２、１３０２、１４０２および１６０２は、チャンバー１１００の外部から内部への大気の流れを抑制できるように不活性ガスを噴出するためのものである。本実施の形態では、第１、第２、第３および第４の不活性ガス噴出口１２０２、１３０２、１４０２および１６０２は、第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１および１６０１を覆うように、かつチャンバー１１００の外部から内部へ大気が流れる方向と異なる方向に不活性ガスを噴出する。特に、第１および第２の開口部１２０１、１３０１は大気に開放される頻度が多いので、薄板製造装置１０００は、第１および第２の不活性ガス噴出口１２０２、１３０２を備えていることが好ましく、第３および第４の不活性ガス噴出口１４０２および１６０２は省略されてもよい。第１、第２、第３および第４の不活性ガス噴出口１２０２、１３０２、１４０２および１６０２は、たとえばチャンバー１１００の外側であって、第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１および１６０１の鉛直方向の上側（図２において上側）に設けられ、第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１および１６０１において鉛直方向の上側から下側に向けて不活性ガスを噴出するように構成されている。なお、第１、第２、第３および第４の不活性ガス噴出口１２０２、１３０２、１４０２および１６０２は、チャンバー１１００の外部から内部への大気の流れを抑制できるように不活性ガスを噴出するように構成されていれば、上述した方向に不活性ガスが噴出する構成に特に限定されない。

第１、第２、第３および第４の不活性ガス噴出口１２０２、１３０２、１４０２および１６０２は、任意の形状を採用することができる。たとえば、第１、第２、第３および第４の不活性ガス噴出口１２０２、１３０２、１４０２および１６０２は、数ｍｍの幅のスリットを有する形状の噴出口を有し、この吹出口から不活性ガスが第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１および１６０１をカーテンのように覆うように構成されている。

第１、第２、第３および第４の不活性ガス噴出口１２０２、１３０２、１４０２および１６０２は、第１、第２、第３および第４の真空引き用扉１２０４、１３０４、１４０４および１６０４の開動作によりチャンバー１１００内部と大気とが通ずるときに、チャンバー１１００の外部から内部への大気の流れを抑制できるように不活性ガスを噴出することが好ましく、チャンバー１１００の外部から内部への大気の流れを遮断できるように不活性ガスを噴出することがより好ましい。

原料追加機構１４０３は、融液１１０２の材料（薄板Ｐの原料）をチャンバー１１００の外部から内部へ搬入するために用いられるものである。原料追加機構１４０３は、第３の開口部１４０１を通って、チャンバー１１００の内部に搬入され、材料をるつぼ１１０１に投入するために用いられる。原料追加機構１４０３は、たとえば柄杓のような形状のものが伸縮回転する機構や、コンベアのような連続供給機構などが適用できる。

坂部１１０６は、薄板Ｐが形成される際に発生する落下片をチャンバー１１００の内部から外部に搬出するためのものである。坂部１１０６は、るつぼ１１０１の側面の上方から第４の開口部１６０１に向けて下降するように傾斜するような形状である。坂部１１０６は、坂部１１０６上に薄板Ｐの落下片が載ると、第４の開口部１６０１に向けてすべり落ちるように構成されている。本実施の形態の坂部１１０６は、図２に示すように、固定傾斜式としているが、振動を加えたり、コンベア等の可動式とすることが好ましい。板部から滑り落とされた落下片は、第４の開口部１６０１を通り、チャンバー１１００の外部に設けられた回収機構１６０３によって回収される。

なお、「落下片」とは、下地板Ｓを用いて薄板Ｐを製造する際に、薄板Ｐを形成するべき部分以外に成長したもの（たとえばバリ）が落下したものと、下地板Ｓにおいて薄板Ｐを形成するべき部分に成長したものが下地板Ｓから剥がれて落下したものとを含んでいる。

チャンバー１１００の内部には、チャンバー１１００の内部の酸素量および窒素量の少なくともいずれか一方を測定するための測定部（図示せず）がさらに設けられている。測定部は、たとえばジルコニア式やガルバニ電池式などの任意の計測手段を用いることができる。

チャンバー１１００の内部には、上記測定部で測定された値に基づいて、チャンバー１１００内に不活性ガスを噴出させる制御部（図示せず）がさらに設けられている。不活性ガスを噴出させる手段は、たとえば供給部１７０１により不活性ガスを供給する。また、制御部は、測定部で測定された値が所定の値を超えると（たとえば酸素濃度が１００ｐｐｍ以上となると）、第１、第２、第３および第４の真空引き用扉１２０４、１３０４、１４０４および１６０４を閉めてチャンバー１１００の内部を密閉し、真空ポンプ１７０２を起動させてチャンバー１１００内部を真空引きし、供給部１７０１を起動させるように構成されていてもよい。

チャンバー１１００の内部には、上記測定部で測定された値に基づいて、警報を発令する警報部（図示せず）がさらに設けられている。警報部は、たとえば所定の値を超えたときに音や光を発生させるものなどを用いることができる。警報部の動作により、作業員にチャンバー１１００の内部に大気が混入したことを知らせることができる。

チャンバー１１００には、内部が大気圧以上の圧力になると、第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１および１６０１の少なくともいずれかを介してチャンバー１１００内と大気とを通ずるようにする（第１、第２、第３および第４の真空引き用扉１２０４、１３０４、１４０４および１６０４を開ける）ように構成された制御部（図示せず）や大気圧以上で動作する逃がし弁（図示せず）がさらに設けられている。

図４は、本発明の実施の形態１における薄板製造方法を示すフローチャートである。続いて、図４を参照して、本実施の形態における薄板製造方法を説明する。本実施の形態における薄板製造方法は、上記薄板製造装置１０００を用いて、融液１１０２に下地板Ｓの表面を浸漬し、下地板Ｓの表面に融液１１０２が凝固することにより薄板Ｐを製造する。

まず、図４に示すように、るつぼ１１０１の内部に薄板Ｐを構成する融液１１０２となるべき材料を配置する（ステップＳ１０）。本実施の形態の材料では、薄板Ｐの材料をたとえば固体のシリコンとしている。

次に、図１に示すように、チャンバー１１００の内部から大気を排出して、チャンバー１１００の内部を大気圧以上の雰囲気にする（ステップＳ２０）。チャンバー１１００の内部を大気圧以上にすると、第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１および１６０１から大気が流入することを防止できる。

具体的には、供給部１７０１を用いてチャンバー１１００の内部に不活性ガスを供給することにより、チャンバー１１００の内部の大気を第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１および１６０１から排出し、内部を融液１１０２と反応しない雰囲気（本実施の形態ではアルゴンなどの不活性ガスの雰囲気）に置換する。

チャンバー１１００内の容積が大きい場合には、大気を排出する時間および大気の排出に使用する不活性ガスの量の削減のため、次の方法を採用できる。たとえば、第１、第２、第３および第４の真空引き用扉１２０４、１３０４、１４０４および１６０４を閉じてチャンバー１１００の内部を外部に対して密閉にして、真空ポンプ１７０２を起動してチャンバー１１００の内部を真空引きする。その後、供給部１７０１によりチャンバー１１００の内部に不活性ガスを供給して、チャンバー１１００の内部を大気圧と同等以上の圧力とする。

チャンバー１１００の内部が大気圧になると、チャンバー１１００の内部を大気に通ずるように、第１、第２、第３および第４の真空引き用扉１２０４、１３０４、１４０４および１６０４を開けて第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１および１６０１を開口させる、もしくは大気圧以上で逃がし弁を動作させる。第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１および１６０１を開口させた後も、供給部１７０１により不活性ガスをチャンバー１１００内に供給し続けることで、チャンバー１１００内の圧力を大気圧以上に容易に維持できる。これによって、第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１および１６０１が開口している場合には、第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１および１６０１からチャンバー１１００の外部へ向かう不活性ガスの流れを維持できるため、チャンバー１１００の外部から内部への大気の混入を抑制できる。

また、チャンバー１１００の内部が大気圧以上になり、チャンバー１１００の内部を大気に通ずるように、第１、第２、第３および第４の真空引き用扉１２０４、１３０４、１４０４および１６０４を開けることにより第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１および１６０１を開口させる場合には、第１、第２、第３および第４の不活性ガス噴出口１２０２、１３０２、１４０２および１６０２により第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１および１６０１を覆うように不活性ガスを噴出させてもよい。このときは、第１、第２、第３および第４の真空引き用扉１２０４、１３０４、１４０４および１６０４を開ける直前に、第１、第２、第３および第４の不活性ガス噴出口１２０２、１３０２、１４０２および１６０２から、不活性ガスを所定の量（たとえば１００Ｌ／分）噴出することが好ましい。

次に、るつぼ１１０１を加熱機構（図示せず）で加熱し、融液１１０２となるべき固体材料を溶融する（ステップＳ３０）。ステップＳ３０は、チャンバー１１００の内部を大気圧以上の雰囲気にするステップＳ２０と同時に実施されてもよい。たとえば、大気圧以上の雰囲気にするために真空ポンプ１７０２で真空引きを行なっている時から、るつぼ１１０１の加熱を開始してもよい。

次に、下地板Ｓを大気中から第１の開口部１２０１を通してチャンバー１１００内に搬入する（ステップＳ４０）。具体的には、たとえば融液１１０２に浸漬しても溶けない材料（融液１１０２の温度で耐熱性を有する材料）の下地板Ｓを準備する。本実施の形態では、下地板Ｓは、たとえばカーボンなどからなっている。その後、第１の開口部１２０１を大気に通じるように、真空引き用扉１２０４を開ける。次いで、下地板Ｓを第１の開口部１２０１を通ってチャンバー１１００の内部に搬入する。この際、第１の不活性ガス噴出口１２０２により第１の開口部１２０１から大気がチャンバー１１００内部に混入しないように不活性ガスを噴出させてもよい。また、下地板Ｓをチャンバー１１００内に搬入する（ステップＳ４０）際には、第２、第３および第４の開口部１３０１、１０４１および１６０１は、第２、第３および第４の真空引き用扉１３０４、１４０４および１６０４が開けられることにより大気と通じていてもよいし、第２、第３および第４の真空引き用扉１３０４、１４０４および１６０４は閉じられていてもよい。

次に、浸漬機構１５００を用いて、融液１１０２に下地板Ｓを浸漬する（ステップＳ５０）。これにより、下地板Ｓの表面に薄板Ｐが付着される。

具体的には、図３に示すように、固定台座１５４０は、中央部に、下地板Ｓと係合する係合溝を有している。下地板Ｓは、裏面に畝状突起を有している。下地板Ｓの畝状突起と固定台座１５４０の係合溝とは係合するように構成されている。下地板Ｓにおける固定台座１５４０と対向する表面と反対の表面は、薄板Ｐを製造する面であり、平坦である。脱着位置１５４１で、固定台座１５４０の係合溝を下地板Ｓの畝状突起に嵌め合わせるように、スライドさせて下地板Ｓを固定台座１５４０に装着する。この際、薄板Ｐを成長させる面側の下地板Ｓの表面は天頂方向を向いている。その位置で、ヒーター（図示せず）を用いて、下地板Ｓの温度調整を行なってもよい。脱着位置１５４１から、固定台座１５４０を水平、昇降または回転させ、下地板Ｓを融液１１０２直上に、下地板Ｓの表面を融液１１０２面に向けた位置に搬送する。その後、固定台座１５４０を水平、昇降または回転させながら、下地板Ｓを融液１１０２に浸し、融液１１０２から取り出す。この動作によって、下地板Ｓの表面に薄板Ｐを成長させることが可能である。その後、固定台座１５４０を水平、昇降または回転させ、薄板Ｐおよび下地板Ｓを脱着位置１５４１に戻す。

なお、浸漬するステップＳ５０では、ガイドレールを使用する浸漬機構１５００を用いて行なわれることに限定されず、たとえば回転体を使用する機構やロボットアームのような構造を使用する機構などを用いることもできる。

図５は、本発明の実施の形態１における下地板を取り出すステップ（Ｓ６０）を説明するための概略図である。次に、図５に示すように、脱着機構１８００を用いて、上記浸漬するステップ（Ｓ５０）において薄板Ｐが形成された下地板Ｓを浸漬機構１５００から取り出す。

具体的には、薄板Ｐと下地板Ｓとが一体となった状態で浸漬機構１５００から取り外す。その後、脱着機構１８００を用いて、次に使用する下地板Ｓを浸漬機構１５００に装着する。薄板Ｐの製造時間を短縮するために、薄板Ｐが付着された下地板Ｓの取り出しと、下地板Ｓの浸漬機構１５００への装着とを同時に行なうことが好ましい。

詳細には、たとえば図５に示すように、浸漬するステップＳ５０で薄板Ｐが表面に付着された下地板Ｓ１を搭載した浸漬機構１５００を脱着位置１５４１（図３参照）に配置する。そして、脱着機構１８００（たとえば把持させる部材）に、装着前下地板バッファ１８０１で待機している下地板Ｓ２を装着する。そして、脱着機構１８００に装着された下地板Ｓ２を、浸漬機構１５００に装着された薄板Ｐが付着された下地板Ｓ１をたとえば固定台座１５４０の係合溝に沿った方向に押し出すことによって、薄板Ｐが付着された下地板Ｓ１を浸漬機構１５００から取り出すとともに、次に浸漬させる下地板Ｓ２を浸漬機構１５００に装着する。

なお、図３に示す脱着位置１５４１とは、浸漬機構１５００に搭載されている下地板Ｓを取り出して、新たな下地板Ｓを浸漬機構１５００に搭載できる位置である。この位置で、下地板Ｓの脱着を行ない、次の浸漬するステップ（Ｓ５０）を実施することで、薄板Ｐの連続製作を行なうことができる。

上記動作（浸漬するステップＳ５０および下地板を取り出すステップＳ６０）の設定は、通常は、パソコン等により、水平方向移動指令と昇降動作移動指令、回転動作指令をそれぞれプログラミングし、それをコントローラに送信しておくことで、プログラム通りの任意軌道を実現する。

次に、下地板Ｓおよび薄板Ｐをチャンバー１１００から第２の開口部１３０１を通して大気中へ搬出する（ステップＳ７０）。

具体的には、第２の開口部１３０１が大気に通じていない場合には、第２の真空引き用扉１３０４を開けて、第２の開口部１３０１を大気と通じさせる。このときは、チャンバー１１００の内部に大気が流入しないように、第２の真空引き用扉１３０４を開ける直前に、第２の不活性ガス噴出口１３０２から、第２の開口部１３０１を覆うように不活性ガスを所定の量（たとえば１００Ｌ／分）噴出することが好ましい。この状態で、第２の開口部１３０１を通して、下地板Ｓおよび薄板Ｐをチャンバー１１００の外部へ搬出する。

ここで、浸漬するステップ（Ｓ５０）を繰り返し行なうことにより、るつぼ１１０１内の融液１１０２が減少する。この場合には、第３の開口部１４０１を介して融液１１０２の材料をつるぼ１１０１に追加する。具体的には、第３の開口部１４０１が第３の真空引き用扉１４０４により塞がれて大気と通じていない場合には、第３の真空引き用扉１４０４を開けて第３の開口部１４０１を開口させて、第３の開口部１４０１を介してチャンバー１１００内部と大気とが通じるようにする。このとき、チャンバー１１００の内部に大気が流入しないように、第３の真空引き用扉１４０４を開ける直前に第３の不活性ガス噴出口１４０２から、第３の開口部１４０１を介してチャンバー１１００の外部から内部への大気の流れを抑制できるように所定量の不活性ガスを噴出することが好ましい。この状態で、原料追加機構１４０３に追加する原料を配置して、第３の開口部１４０１を通って、るつぼ１１０１の内部に投入する。

また、浸漬するステップ（Ｓ５０）などにおいて、薄板Ｐの落下片が発生する。この場合には、坂部１１０６上に載った落下片は、第４の開口部１６０１に向けて移動する。そのため、発生した落下片の量などに応じて、発生した落下片を第４の開口部１６０１を通ってチャンバー１１００の外部の回収機構１６０３に搬出する。

落下片をチャンバー１１００の外部の回収機構１６０３に搬出する方法は、第４の開口部１６０１が第４の真空引き用扉１６０４により塞がれて大気と通じていない場合には、第４の真空引き用扉１６０４を開けて第４の開口部１６０１を開口させ、第４の開口部１６０１を介してチャンバー１１００の内部と大気とが通じるようにする。このとき、チャンバー１１００の内部に大気が流入しないように、第４の真空引き用扉１６０４を開ける直前に第４の不活性ガス噴出口１６０２から、第４の開口部１６０１を介してチャンバー１１００の外部から内部への大気の流れを抑制できるように所定量の不活性ガスを噴出することが好ましい。この状態で、発生した落下片を第４の開口部１６０１を通ってチャンバー１１００の外部の回収機構１６０３に搬出する。

薄板Ｐを製造する上記ステップにおいて、測定部（図示せず）によりチャンバー１１００内の酸素および窒素の少なくともいずれかを測定している。測定部により測定された酸素および窒素の少なくともいずれかの濃度が所定の値を超えたときには、たとえばチャンバー１１００内の供給部１７０１により供給する不活性ガスの流量を一時的に増加させる。また、測定部により測定された値に応じて、供給部１７０１から供給される不活性ガスの流量を自動的に変化させて、チャンバー内の酸素濃度を一定値以下に抑制し続ける制御部（図示せず）を備えていることが好ましい。また、チャンバー１１００の内部の大気の濃度が所定の値を超えたときには、警報が発報されてもよい。この場合には、作業員にチャンバー１１００内への大気の混入を知らせることができるので、大気の濃度の増加を防止できる。

以上説明したように、本実施の形態における薄板製造装置１０００は、第１および第２の開口部１２０１、１３０１がチャンバー１１００の内部の雰囲気ガスと大気との境界になるように構成されており、かつ第１および第２の開口部１２０１、１３０１の少なくともいずれかが開口したときにチャンバー１１００の外部から内部へ大気が混入することを防止できるように構成されている。

本実施の形態の薄板製造装置１０００によれば、第１および第２の開口部１２０１、１３０１の各々がチャンバー１１００の内部の雰囲気ガスと大気との境界になるように構成されており、チャンバー１１００に隣接するロードロック室が設けられていない。このため、チャンバー１１００の内部は雰囲気ガスが充填され、チャンバー１１００の外部が大気になるが、本実施の形態では第１および第２の開口部１２０１、１３０１の少なくともいずれかが開口したときにチャンバー１１００の外部から内部へ大気が混入することを防止できるように構成されていることにより、第１および第２の開口部１２０１、１３０１が開口しても、チャンバー１１００内部は雰囲気ガスが充填された状態を維持できる。これにより、チャンバー１１００内部の雰囲気を融液１１０２と反応しない雰囲気にすれば、チャンバー１１００に隣接するロードロック室を設けなくても、第１の開口部１２０１から下地板Ｓをチャンバー１１００内に搬入する場合と第２の開口部１３０１から下地板Ｓを搬出する場合との双方において、チャンバー１１００内に大気が混入することができ、チャンバー１１００内で融液と大気とが反応してなる酸化粉の発生を防止することができる。したがって、チャンバー１１００内の浸漬機構１５００などの機構へ酸化粉が付着することや、融液１１０２の液面に酸化粉が浮遊することによって薄板Ｐの製造が阻害されることを防止できる。

また、本実施の形態の薄板製造装置１０００はロードロック室を設ける必要がないので、薄板製造装置１０００の装置規模を削減できる。そのため、薄板製造装置１０００は、ロードロック室およびこれに付随する設備に要するコストを低減できる。また、下地板Ｓの搬入および下地板Ｓの搬出に伴い、ロードロック室の内部の真空引き、不活性ガス雰囲気の導入、およびロードロック室の大気開放に要した時間を短縮することができる。したがって、１枚の薄板を製造するために要する時間を短縮できるので、良好な生産効率を維持できる。

また、図１２に示す従来の薄板製造装置３０００では、チャンバー３１００およびロードロック室３２００、３３００、３４００の内部を真空引きするための真空ポンプがそれぞれ必要であった。一方、本実施の形態の薄板製造装置１０００では、良好な生産効率を維持できるので、チャンバー１１００内部を真空にするための真空ポンプのみが必要、または真空ポンプは不要である。すなわち、真空ポンプの容量を大きくする必要がないため、容量を大きくするために要するコストを低減できる。また、生産効率を向上させるために真空ポンプの台数を増やす必要がないので、増大させる真空ポンプのスペースに要する装置規模の削減を図ることができる。したがって、従来の薄板製造装置３０００と比較して、ロードロック室に付随する真空ポンプを削減することができるので、装置の小型化と維持費の低減とを実現できる。

特に、薄板製造装置１０００が第３および第４の開口部１４０１を有する場合には、装置規模の小型化をさらに図ることができる。また、連続して長期間、薄板Ｐを製造できるため、生産効率をさらに向上できる。

ここで、薄板製造装置１０００が第１および第２の開口部１２０１、１３０１の少なくともいずれかが開口するときにチャンバー１１００の内部の圧力が外部の圧力よりも高くなるように不活性ガスを供給する供給部１７０１をさらに備えていると、第１および第２の開口部１２０１、１３０１がチャンバー１１００の内部の雰囲気ガスと大気との境界になるように構成されており、かつ第１および第２の開口部１２０１、１３０１の少なくともいずれかが開口したときにチャンバー１１００の外部から内部へ大気が混入することを防止できるように構成されている薄板製造装置１０００を実現できる。これにより、チャンバー１１００の内部を大気圧以上の雰囲気にすることができ、チャンバー１１００の内部への大気の混入を防止できる。

また、薄板製造装置１０００が第１および第２の開口部１２０１、１３０１の少なくともいずれかが開口するときにチャンバー１１００の内部の圧力が外部の圧力よりも高くなるように不活性ガスを供給する供給部１７０１と、チャンバー１１００の内部を外部に対して密閉するときに第１および第２の開口部１２０１、１３０１を塞ぐように構成された開閉可能な第１および第２の真空引き用扉１２０４、１３０４と、チャンバー１１００の内部を真空にするための真空ポンプ１７０２とを備えていると、第１および第２の開口部１２０１、１３０１がチャンバー１１００の内部の雰囲気ガスと大気との境界になるように構成されており、かつ第１および第２の開口部１２０１、１３０１の少なくともいずれかが開口したときにチャンバー１１００の外部から内部へ大気が混入することを防止できるように構成されている薄板製造装置１０００を実現できる。これにより、時間および不活性ガスの使用量をさらに低減してチャンバー１１００の内部を大気圧以上の雰囲気にすることができる。

（実施の形態２）
図６は、本発明の実施の形態２における薄板製造装置を上方から見たときの内部の概略図である。図６に示すように、本実施の形態における薄板製造装置２０００は、基本的には実施の形態１における薄板製造装置１０００と同様の構成を備えているが、チャンバー１１００の同じ側壁に第１および第２の開口部１２０１、１３０１が形成されている点において異なる。

また、第４の開口部１６０１は、第１および第２の開口部１２０１、１３０１が形成されているチャンバー１１００の側壁に形成されていることが好ましい。

本実施の形態では、図６に示すように、第３の開口部１４０１は、チャンバー１１００において第１および第２の開口部１２０１、１３０１が形成されている側壁と異なる側壁に形成されているが、第１および第２の開口部１２０１、１３０１が形成されている側壁に形成されていることがより好ましい。

図７は、本発明の実施の形態２におけるチャンバー１１００の同じ側壁について説明するための図である。図７におけるチャンバー１１００は、チャンバー１１００を上から見た時の外形を示す。チャンバー１１００を上から見たときの形状が円形など矩形以外の場合には、図７に示すように、チャンバー１１００に内接する矩形を構成する仮想線ｘ１、ｘ２、ｘ３、ｘ４を設定し、その仮想線ｘ１、ｘ２、ｘ３、ｘ４のそれぞれに対向する部分１１００ｘ１、１１００ｘ２、１１００ｘ３、１１００ｘ４を１つの側壁とする。本実施の形態における「同じ側壁」とは、同じ部分１１００ｘ１、１１００ｘ２、１１００ｘ３、１１００ｘ４に開口部が形成されていることを意味する。

本実施の形態における薄板製造方法は、実施の形態１と同様であるので、その説明は繰り返さない。

以上説明したように、本実施の形態における薄板製造装置２０００は、第１および第２の開口部１２０１、１３０１はチャンバー１１００の同じ側壁に第１および第２の開口部１２０１、１３０１が形成されている。

ここで、供給部１７０１によりチャンバー１１００内に供給された不活性ガスは、複数の開口部（本実施の形態では第１、第２、第３および第４の開口部１２０１、１３０１、１４０１、１６０１）から大気へ流れ出る。この不活性ガスの流れによって、大気がチャンバー１１００内に混入することを抑制する。しかしながら、チャンバー１１００が複数の開口部を有している場合、チャンバー１１００内の雰囲気を大気圧以上で維持していても、複数の開口部での圧力バランスが不安定となる場合がある。チャンバー１１００内に供給される不活性ガスの量が少ない場合は、複数の開口部のうちのいずれかの開口部からチャンバー１１００内に大気が混入しやすくなる場合が生じる。つまり、チャンバー１１００内に噴出した不活性ガスは、いずれかの開口部に不活性ガス流れ出ず、他の開口部にのみ流れる。この場合、いずれかの開口部には不活性ガスが流れないため、チャンバー１１００内に大気が吸い込まれることになる。いずれかの開口部から吸い込まれた大気は、基本的には不活性ガスとともに他の開口部から流れ出すこととなり、それぞれの開口部をつなぐ経路に沿って流れる。そのため、それぞれの開口部をつなぐ経路付近の大気の混入量は増加する。その結果、複数の開口部が大気と通じるときには、チャンバー１１００に供給される不活性ガスの量が少ないと、大気がいずれかの開口部から流入し、他の開口部から流出することとなる。

本実施の形態のように、複数の開口部をチャンバー１１００の一面（同じ側壁）に設置した構成の場合、仮にいずれかの開口部から大気が混入しても、融液１１０２近傍にまで大気が入り込まずに、他の開口部から大気が排出されることとなる。このため、複数の開口部をチャンバー１１００の一面に設置した構成とすることによって、不活性ガスの使用量を抑制して、大気がるつぼ１１０１付近まで混入することを抑制できる構成となる。

特に、薄板Ｐの製造において下地板Ｓの搬入および搬出の際に第１および第２の真空引き用扉１２０４、１３０４が開けられる第１および第２の開口部１２０１、１３０１は、大気と通じている頻度が多い。そのため、第１および第２の開口部１２０１、１３０１がチャンバー１１００の同じ側壁に設けられていると、第１および第２の開口部１２０１、１３０１のいずれか一方から大気が混入した場合であっても、大気が融液１１０２近傍を通ることをより抑制できる。そのため、融液１１０２と大気中の酸素とが反応してなる酸化粉の生成をより抑制できる。

［実施例１］
本実施例では、図１２の従来の薄板製造装置を用いて、チャンバーの内部に混入した大気の量と融液の酸化との関係を調べた。

具体的には、図１２に示す薄板製造装置３０００において、るつぼ３１０２の内部に固体のシリコンを配置した。チャンバー３１００内を真空ポンプ（図１における真空ポンプ１７０２に相当）を用いて真空引きした後、チャンバー３１００内部に配置されたアルゴンを供給するための供給部（図１における供給部１７０１に相当）を用いてチャンバー３１００内にアルゴンを導入した。次いで、るつぼ３１０２を１６００℃に加熱して、固体のシリコンを溶融した。次に、供給部を用いてチャンバー３１００の内部にアルゴンを１００Ｌ／分で供給しながら、チャンバー３１００に設けた大気噴出口から微量の大気をチャンバー３１００の内部へ注入した。大気の注入量を徐々に増加させ、チャンバー３１００の内部の現象を観察した。チャンバー３１００の内部の圧力は０．０５ＭＰａ付近で安定するように、排気用のポートを開閉して排気量を調整した。なお、アルゴンを噴出させる供給部および大気噴出口はるつぼ３１０１下面付近に設け、圧力調整のための排気用のポートは薄板製造装置３０００の上面付近に設けた。これによって、チャンバー３１００の内部でアルゴンと大気とが混ざり合いながら、融液３１０２面を通過して排気される状態を作った。また、チャンバー３１００の側壁にガス吸引用のポートを設けて、そのポートから吸引したガスの成分を分析し、チャンバー内の酸素濃度および窒素濃度を測定した。分析には、Ｑ−ＭＡＳＳ（四重極質量分析器）を用いた。

チャンバー３１００内部への大気の噴出量を徐々に上げたところ、チャンバー３１００の内部の酸素濃度が１００ｐｐｍ以上となったときに、急激に融液３１０２面から酸化ケイ素粉が発生し、白煙を上げることが判明した。すなわち、本実施例では、酸素の限界混入量は１００ｐｐｍであった。これに伴い、チャンバー３１００内が曇ったために、放射温度計による温度測定値に異常が出ることや、融液３１０２面に酸化ケイ素粉が浮遊し、薄板の製造を疎外する状態になることが判明した。また、チャンバー３１００内の窒素濃度は、常に酸素濃度の４倍付近となったため、酸素混入量は窒素濃度を計測することで予測できることも確認できた。

［実施例２］
本実施例では、図１２の従来の薄板製造装置を用いて１つの開口部を有するチャンバーを形成し、このチャンバーについてのアルゴンの供給量と大気の混入量との関係を調べるとともに、酸化ケイ素の発生を抑制できるかを調べた。

具体的には、るつぼ３１０１に固体のシリコンを配置し、チャンバー３１００を真空引きした。その後、供給部によりチャンバー３１００の内部にアルゴンを供給し、るつぼ３１０１を１６００℃に加熱することで、固体のシリコンを溶融した。次いで、供給部によりチャンバー３１００内にアルゴンを５００Ｌ／分で供給することにより、チャンバー３１００の内部の雰囲気圧力を大気圧以上に維持し、ゲートバルブ３２０１、３２０２を開いた。その後、チャンバー３１００に供給するアルゴンの流量を減少させながら、チャンバー３１００の内部の酸素濃度を測定した。チャンバー３１００内部の酸素濃度の測定は、チャンバー３１００の側壁にガス吸引ポートを設けて、そのポートから吸引したガスの成分を分析することにより行なった。分析には、Ｑ−ＭＡＳＳ（四重極質量分析器）を用いた。

チャンバー３１００内部の酸素濃度は、ゲートバルブ３２０１、３２０２を開いた瞬間は上昇せず、ゲートバルブ３２０１、３２０２を開いてから数分かけて徐々に上昇し、１０分後には所定の値で安定することがわかった。そのため、供給部により、チャンバー３１００内部に１０分間、それぞれ２００、３００、３５０、４００、４５０Ｌ／分の流量でアルゴンを供給した。それぞれの流量でアルゴンを１０分間供給したとの酸素濃度を上記と同様の方法で測定した。その結果を図８に示す。なお、図８は、実施例２においてチャンバー３１００に１つの開口部を設けた際のアルゴン噴出量と大気混入量との関係を示した図である。図８中、縦軸はチャンバー内の酸素濃度（単位：ｐｐｍ）を示し、横軸は供給したアルゴンの流量（単位：Ｌ／分）を示す。

図８に示すように、供給部のアルゴンの流量が２５０Ｌ／分以上の場合、チャンバー３１００への大気の混入はほとんど見られず、実施例１で確認した酸素の限界混入量である酸素濃度も１００ｐｐｍ以下を維持できることが判明した。一方、アルゴンの流量をさらに下げると、酸素の混入量は急増することがわかった。

また、１つの開口部を有するチャンバーでは、チャンバー内部でアルゴンを所定の流量以上で噴出することで、チャンバーに隣接したロードロック室が設けられていなくても酸化ケイ素の発生を抑制することが可能であり、薄板製造に阻害を与えない環境を維持できることがわかった。

また、仮にチャンバー内の酸素濃度が規定以上となった場合でも、酸素濃度や窒素濃度などをモニタしておくことで異常検知が可能であることが判明した。さらに、仮に酸素濃度が規定以上になった場合には、チャンバー内の不活性ガス流量をたとえば２００Ｌ／分以上に増加するなどの手段を講じることで、より安全に、常に大気混入を規定値以下に維持することが可能であると推定できる。

［実施例３］
本実施例では、図１２の従来の薄板製造装置を用いて１つの開口部を有するチャンバーを形成し、このチャンバーの開口部に、チャンバーの外部から内部への大気の流れを抑制できるようにアルゴンを噴出させるアルゴン噴出口をさらに設置した。このチャンバーについて、内部のアルゴンの供給量と大気の混入量との関係を調べるとともに、酸化ケイ素の発生を抑制できるかを調べた。

具体的には、るつぼ３１０１に固体のシリコンを配置し、チャンバー３１００を真空引きした。その後、チャンバー３１００の内部に供給部によりアルゴンを導入し、るつぼ３１０１を１６００℃に加熱することで、固体のシリコンを溶融した。次いで、供給部によりチャンバー３１００内にアルゴンを３００Ｌ／分で噴出することにより、チャンバー３１００の内部の雰囲気圧力を大気圧以上に維持し、その後ゲートバルブ３２０１、３２０２を開いた。また、ゲートバルブ３２０１、３２０２を開いたことにより形成される開口部を覆うように、開口部の外側上部に設置されたアルゴン噴出口からアルゴンを１００Ｌ／分で噴出した。アルゴン噴出口は開口部の外側において上部から下方に向けてアルゴンが噴出されるように設置した。アルゴン噴出口の形状は、０．１ｍｍ幅のスリットとして、アルゴンガスで開口部を覆うカーテンを形成するようにした。その後、チャンバー３１００に供給するアルゴンの流量を減少させながら、チャンバー３１００の内部の酸素濃度を測定した。チャンバー３１００内部の酸素濃度の測定は、チャンバー３１００の側壁にガス吸引ポートを設けて、そのポートから吸引したガスの成分を分析することにより行なった。分析には、Ｑ−ＭＡＳＳ（四重極質量分析器）を用いた。

チャンバー３１００内部の酸素濃度は、ゲートバルブ３２０１、３２０２を開いた瞬間は上昇せず、ゲートバルブ３２０１、３２０２を開いてから数分かけて徐々に上昇し、１０分後には所定の値で安定することがわかった。そのため、供給部により、チャンバー３１００内部に１０分間、それぞれ１００、１２０、１５０、２００、３００Ｌ／分の流量でアルゴンを供給した。それぞれの流量でアルゴンを１０分間供給したときの酸素濃度を上記と同様の方法で測定した。その結果を図９に示す。なお、図９は、実施例３においてチャンバー３１００に１つの開口部を設け、その開口部にアルゴン噴出口を設置した場合のアルゴン噴出量と大気混入量との関係を示した図である。図９中、縦軸はチャンバー内の酸素濃度（単位：ｐｐｍ）を示し、横軸は供給したアルゴンの流量（単位：Ｌ／分）を示す。

図９に示すように、アルゴンの流量が２００Ｌ／分以上の場合には、大気の混入はほとんど見られなかった。また、アルゴンの流量が１００〜２００Ｌ／分の場合には、徐々に大気が混入したものの、酸素濃度は１００ｐｐｍ以下で維持できることが判明した。また、さらに流量を下げると、酸素混入量は急増することがわかった。

また、図８と図９とを比較すると、開口部にアルゴン噴出口を設置することで、チャンバー内への酸素の混入をさらに抑制することができることがわかった。そのため、開口部にアルゴン噴出口を設けることにより、アルゴンの使用量を抑制しながら、薄板製造に阻害を与えない環境を維持できることがわかった。

［実施例４］
本実施例では、図１２の従来の薄板製造装置を用いて２つの開口部を有するチャンバーを形成し、このチャンバー内のアルゴンの供給量と大気の混入量との関係を調べるとともに、酸化ケイ素の発生を抑制できるかを調べた。

具体的には、るつぼ３１０１に固体のシリコンを配置し、チャンバー３１００を真空引きした。その後、供給部を用いてチャンバー３１００の内部にアルゴンを供給し、るつぼ３１０１を１６００℃に加熱することで、固体のシリコンを溶融した。次いで、供給部によりチャンバー３１００内にアルゴンを３００Ｌ／分で噴出することにより、チャンバー３１００の内部の雰囲気圧力を大気圧以上に維持し、ゲートバルブ３２０１、３２０２、３３０１、３３０２を開いた。このときのチャンバー３１００内部の酸素濃度を実施例１と同様に測定した。その結果、チャンバー３１００がゲートバルブ３２０１、３２０２、３３０１、３３０２を開いたことにより形成される２つの開口部を有する場合、供給部によりチャンバー３１００内に噴出するアルゴンの流量が５００Ｌ／分であっても、チャンバー３１００内の酸素濃度が急増し、酸化ケイ素粉の発生を抑制できなかった。ただし、チャンバー３１００が２つの開口部を有している場合には、供給部によりアルゴンを供給する流量を増加すればチャンバー３１００内に大気の混入を防止できると考えられる。

そこで、本発明者は、チャンバー３１００が２つの開口部を有している場合に、アルゴンの供給量を低減して大気の混入を防止するために、開口部の面積を縮小すること、および開口部の配置に着目して、さらに次の実験を行なった。

まず、実施例２と本実施例では、開口部の面積が倍に増加した影響が考えられるため、二つの開口部の面積を１／２となるように蓋をして、合計開口面積は実施例２と同様だが開口部は２箇所とした。この状態で、チャンバー３１００内に同様に大気を混入し、供給部によりアルゴンを５００Ｌ／分で噴出した。その結果、この場合でも酸素濃度は急増し、酸化ケイ素粉発生を十分に抑制できないことがわかった。ただし、この場合にも、アルゴンを供給する流量を増加すればチャンバー３１００内に大気の混入を防止できると考えられる。

次に、ゲートバルブ３２０１、３２０２を閉め、ロードロック室３４００の上面フランジを開いた。これによって、開口部をチャンバー３１００の左側の面に集め、かつ２箇所とし、合計開放面積は上記と同様とした。この状態で、チャンバー３１００内に同様に大気を混入し、供給部によりアルゴンを２５０、３００、３５０、４００、４５０Ｌ／分の流量でそれぞれ噴出した。その結果を図１０に示す。なお、図１０は、実施例４において、チャンバーの一面に２つの開口部を設け、チャンバー内のアルゴンの供給量と大気の混入量との関係を示した図である。図１０中、縦軸はチャンバー内の酸素濃度（単位：ｐｐｍ）を示し、横軸は供給したアルゴンの流量（単位：Ｌ／分）を示す。

図１０に示すように、供給部のアルゴンの流量が３００Ｌ／分以上の場合、大気混入はほとんど見られず、酸素濃度も１００ｐｐｍ以下で維持できることが判明した。また、供給部の流量が１００Ｌ／分以上の場合であっても、実施例１の酸素限界量である１００ｐｐｍ以下の濃度を維持できた。また、アルゴン流量を２５０Ｌ／ｍｉｎ以下に下げると、酸素混入量は急増することがわかった。

このことから、大気の混入は開口部の合計の面積ではなく、開口数に依存するということが確認できた。また、図１０に示すように、複数の開口部をチャンバーの一面に設置した構成とした場合、一方の開口部から大気が混入しても、融液近傍にまで大気が入り込まずに、他方の開口部から大気が排出されることとなる。このため、複数の開口部をチャンバーの一面に設置した構成とすることによって、アルゴンの使用量を抑制して、大気がるつぼ付近まで混入することを抑制できる構成となることが確認できた。

以上より本実施例によれば、開口部を複数設ける場合は、開口部をるつぼに対し一方向のチャンバー壁に設置する（チャンバーの同じ側壁に形成する）ことで、チャンバー内部への大気の混入量を減少でき、不活性ガスの使用量を抑制できることが判明した。

［実施例５］
本実施例では、図１２の従来の薄板製造装置を用いて２つの開口部を有するチャンバーを形成し、このチャンバーに開口部に、チャンバーの外部から内部への大気の流れを抑制できるようにアルゴンを噴出させるアルゴン噴出口をさらに設置した。このチャンバーについて、内部のアルゴンの供給量と大気の混入量との関係を調べるとともに、酸化ケイ素の発生を抑制できるかを調べた。

具体的には、るつぼ３１０１に固体のシリコンを配置し、チャンバー３１００を真空引きした。その後、チャンバー３１００の内部に供給部によりアルゴンを導入し、るつぼ３１０１を１６００℃に加熱することで、固体のシリコンを溶融した。次いで、供給部によりチャンバー３１００内にアルゴンを３００Ｌ／分で噴出することにより、チャンバー３１００の内部の雰囲気圧力を大気圧以上に維持し、ゲートバルブ３２０１、３２０２を開いた。また、ゲートバルブ３２０１、３２０２、３３０１、３３０２を開いたことにより形成される開口部をそれぞれ覆うように、それぞれの開口部の外側上部に設置されたアルゴン噴出口からアルゴンを５０Ｌ／分で噴出した。アルゴン噴出口は開口部の外側上部から下方に向けてアルゴンが噴出されるように設置した。アルゴン噴出口の形状は、０．１ｍｍ幅のスリットとして、アルゴンガスでカーテンを形成するようにした。その後、チャンバー３１００に供給するアルゴンの流量を減少させながら、チャンバー３１００の内部の酸素濃度を測定した。チャンバー３１００内部の酸素濃度の測定は、チャンバー３１００の側壁にガス吸引ポートを設けて、そのポートから吸引したガスの成分を分析することにより行なった。分析には、Ｑ−ＭＡＳＳ（四重極質量分析器）を用いた。

２つの開口部がチャンバー３１００に対して対向した面に設けられており、かつ開口部のアルゴン噴出口を動作させた場合、チャンバー３１００内部の酸素濃度は、ゲートバルブ３２０１、３２０２を開いた瞬間は上昇せず、ゲートバルブ３２０１、３２０２を開いてから数分かけて徐々に上昇し、１０分後には所定の値で安定することがわかった。そのため、供給部により、チャンバー３１００内部に１０分間、それぞれ２００、４００Ｌ／分の流量でアルゴンを供給した。それぞれの流量でアルゴンを１０分間供給したときの酸素濃度を上記と同様の方法で測定した。その結果を図１１に示す。なお、図１１は、実施例５においてチャンバー３１００に２つの開口部を設け、その開口部にアルゴン噴出口を設置した場合のアルゴン噴出量と大気混入量との関係を示した図である。図１１中、縦軸はチャンバー内の酸素濃度（単位：ｐｐｍ）を示し、横軸は供給したアルゴンの流量（単位：Ｌ／分）を示す。

図１１に示すように、実施例４で対向する面に開口部を有するチャンバー３１００内に供給されるアルゴンの流量が５００Ｌ／分でも酸素濃度は急増したが、本実施例では、チャンバー内に供給されるアルゴンの流量が２００Ｌ／分以上ならば酸化ケイ素粉発生を抑制できることがわかった。このことから、開口部を複数設置した場合、開口部の配置に関わらず、開口部にアルゴン噴出口を設置することによって各開口部の圧力バランスが崩れにくくなり、酸素の混入が大幅に抑制されることが判明した。

今回開示した上記実施の形態および実施例はすべての点で例示であって、制限的なものではない。本発明の技術的範囲は特許請求の範囲によって画定され、また特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。

本発明の薄板製造装置および薄板製造方法を用いることにより、たとえばシリコン薄板の単位時間当たりの製造量を維持しながら、不活性ガスの使用量の削減を実現できるので、低コストで大量に薄板を製造できる。そのため、シリコン薄板を安価に大量に供給することができ、たとえば太陽光発電用シリコン薄板の製造などに広範囲に用いられることが期待される。

本発明の実施の形態１における薄板製造装置を上方から見たときの内部の概略図である。 本発明の実施の形態１における側方から見たときの内部の概略図である。 本発明の実施の形態１における浸漬機構を示す概略図である。 本発明の実施の形態１における薄板製造方法を示すフローチャートである。 本発明の実施の形態１における下地板を取り出すステップを説明するための概略図である。 本発明の実施の形態２における薄板製造装置を上方から見たときの内部の概略図である。 本発明の実施の形態２におけるチャンバーの同じ側壁について説明するための図である。 実施例２においてチャンバー３１００に１つの開口部を設けた際のアルゴン噴出量と大気混入量との関係を示した図である。 実施例３においてチャンバー３１００に１つの開口部を設け、その開口部にアルゴン噴出口を設置した場合のアルゴン噴出量と大気混入量との関係を示した図である。 実施例４において、チャンバーの一面に２つの開口部を設け、チャンバー内のアルゴンの供給量と大気の混入量との関係を示した図である。 実施例５においてチャンバー３１００に２つの開口部を設け、その開口部にアルゴン噴出口を設置した場合のアルゴン噴出量と大気混入量との関係を示した図である。 従来の薄板製造装置を示す概略図である。

符号の説明

１０００，２０００ 薄板製造装置、１１００ チャンバー、１１０１ るつぼ、１１０２ 融液、１１０６ 坂部、１２０１ 第１の開口部、１２０２ 第１の不活性ガス噴出口、１２０４ 第１の真空引き用扉、１３０１ 第２の開口部、１３０２ 第２の不活性ガス噴出口、１３０４ 第２の真空引き用扉、１４０１ 第３の開口部、１４０２ 第３の不活性ガス噴出口、１４０３ 原料追加機構、１４０４ 第３の真空引き用扉、１５００ 浸漬機構、１５１０ 水平軸台座、１５１１ 水平動作軸、１５２０ 昇降動作モータ、１５２１ 懸垂支柱、１５３０ 回転機構、１５３１ 回転支柱、１５３２ 補助支柱、１５４０ 固定台座、１５４１ 脱着位置、１６０１ 第４の開口部、１６０２ 第４の不活性ガス噴出口、１６０３ 回収機構、１６０４ 第４の真空引き用扉、１７０１ 供給部、１７０２ 真空ポンプ、１８００ 脱着機構、１８０１ 装着前下地板バッファ、Ｐ 薄板、Ｓ 下地板。

Claims (11)

1. 融液に下地板の表面を浸漬し、前記下地板の前記表面に前記融液が凝固した薄板を形成するための浸漬機構と、
   前記下地板を前記浸漬機構に脱着するための脱着機構と、
   前記浸漬機構および前記脱着機構が内部に配置されるチャンバーとを備え、
   前記チャンバーは、前記下地板を前記チャンバーの外部から内部に搬入するための第１の開口部と、前記下地板を前記チャンバーの内部から外部へ搬出するための第２の開口部とを有し、
   前記第１および第２の開口部が前記チャンバーの内部の雰囲気ガスと大気との境界になるように構成されており、かつ前記第１および第２の開口部の少なくともいずれかが開口したときに前記チャンバーの外部から内部へ大気が混入することを防止できるように構成されている、薄板製造装置。
2. 前記第１および第２の開口部の少なくともいずれかが開口するときに前記チャンバーの内部の圧力が外部の圧力よりも高くなるように不活性ガスを供給する供給部をさらに備えた、請求項１に記載の薄板製造装置。
3. 前記チャンバーの内部を外部に対して密閉するときに前記第１および第２の開口部を塞ぐように構成された開閉可能な真空引き用扉と、
   前記チャンバーの内部を真空にするための真空ポンプとをさらに備えた、請求項２に記載の薄板製造装置。
4. 前記チャンバーの外部から内部への大気の流れを抑制できるように不活性ガスを噴出するための不活性ガス噴出口をさらに備えた、請求項１〜３のいずれかに記載の薄板製造装置。
5. 前記チャンバーの内部を外部に対して密閉するときに前記第１および第２の開口部を塞ぐように構成された開閉可能な真空引き用扉と、
   前記真空引き用扉の開動作により前記チャンバー内部と大気とが通ずるときに、前記チャンバーの外部から内部への大気の流れを抑制できるように不活性ガスを噴出するための不活性ガス噴出口とをさらに備えた、請求項１〜３のいずれかに記載の薄板製造装置。
6. 前記チャンバーには、前記融液の材料を前記チャンバーの外部から内部へ搬入するための第３の開口部が形成され、
   前記第３の開口部が前記チャンバーの内部の雰囲気ガスと大気との境界になるように構成されている、請求項１〜５のいずれかに記載の薄板製造装置。
7. 前記チャンバーには、前記薄板の落下片を前記チャンバーの内部から外部に搬出するための第４の開口部が形成され、
   前記第４の開口部が前記チャンバーの内部の雰囲気ガスと大気との境界になるように構成されている、請求項１〜６のいずれかに記載の薄板製造装置。
8. 前記チャンバーの内部の酸素量および窒素量の少なくともいずれか一方を測定するための測定部をさらに備えた、請求項１〜７のいずれかに記載の薄板製造装置。
9. 前記測定部で測定された値に基づいて、前記チャンバー内に不活性ガスを供給する制御部および警報を発令する警報部の少なくともいずれか一方をさらに備えた、請求項８に記載の薄板製造装置。
10. 前記第１および第２の開口部は、前記チャンバーにおいて前記第１の開口部から前記第２の開口部に渡る最短の経路に前記融液が存在しないように構成されている、請求項１〜９のいずれかに記載の薄板製造装置。
11. 請求項１〜１０のいずれかに記載の薄板製造装置を用いて、前記融液に前記下地板の表面を浸漬し、前記下地板の表面に前記融液が凝固することにより薄板を製造する薄板製造方法であって、
    前記チャンバーの内部から大気を排出して、前記チャンバーの内部を大気圧以上の雰囲気にする工程と、
    前記下地板を大気中から前記第１の開口部を通して前記チャンバー内に搬入する工程と、
    前記浸漬機構を用いて、前記融液に前記下地板を浸漬する工程と、
    前記脱着機構を用いて、前記浸漬する工程において前記薄板が形成された前記下地板を前記浸漬機構から取り出す工程と、
    前記下地板および前記薄板を前記チャンバーから前記第２の開口部を通して大気中へ搬出する工程とを備えた、薄板製造方法。

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