JP2009053184A - 非接触センサ用回転ユニット及び非接触センサ用回転装置 - Google Patents

非接触センサ用回転ユニット及び非接触センサ用回転装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2009053184A
JP2009053184A JP2008184984A JP2008184984A JP2009053184A JP 2009053184 A JP2009053184 A JP 2009053184A JP 2008184984 A JP2008184984 A JP 2008184984A JP 2008184984 A JP2008184984 A JP 2008184984A JP 2009053184 A JP2009053184 A JP 2009053184A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
contact sensor
rotation
degrees
unit
rotating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2008184984A
Other languages
English (en)
Inventor
Satoshi Suzuki
敏 鈴木
Katsuhiro Sato
克広 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hexagon Metrology KK
Original Assignee
Hexagon Metrology KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hexagon Metrology KK filed Critical Hexagon Metrology KK
Priority to JP2008184984A priority Critical patent/JP2009053184A/ja
Publication of JP2009053184A publication Critical patent/JP2009053184A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
    • G01B11/005Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
    • G01B11/007Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines feeler heads therefor

Abstract

【課題】非接触センサの走査範囲の方向を容易に変更することができる非接触センサ用回転ユニット及び非接触センサ用回転装置を提供すること。
【解決手段】一方向に走査可能な非接触センサ2と、非接触センサ2を支持する支持手段3との間に配設され、非接触センサ2の走査方向に対して90度回転可能となっている非接触センサ用回転ユニット1であり、この非接触センサ用回転ユニット1の少なくとも0度と90度の回転状態を維持するための位置決め手段である突起13a、第1列状突起14a、及び、第2列状突起14bが非接触センサ用回転ユニット1に設けられている。
【選択図】図2

Description

本発明は、一方向に走査可能な非接触センサを利用した3次元測定器等に用いる非接触センサ用回転ユニット及び非接触センサ用回転装置に関する。
図5に示すように、3次元測定器100は、一方向に走査可能な非接触センサ101と、この非接触センサ101を移動可能に支持するための支持手段102を有している。支持手段102は、3軸構成の支持部材102a、102b、102cと、支持部材102cの先端部に設けられている回転2軸ジョイント102dとから構成されている。
図6に示すように、非接触センサ101は、回転2軸ジョイント102dの先端部にジョイント部101aを介して固定されている。支持部材102a、102b、102cはそれぞれXYZの3軸に沿って移動可能に構成されており、また、回転2軸ジョイント102dはA軸とB軸の2軸の回転軸を有する(図6及び図7参照)。そして、支持部材102a、102b、102cと回転2軸ジョイント102dとが協働することにより、被測定物に対し非接触センサ101の位置を自由に支持することができる。
非接触センサ101は、出射したレーザ光を一方向に走査させ、レーザ光の戻り光の受光位置の変位を検出し、被測定物の表面形状を取得するセンサである。即ち、一方向にレーザ光を走査することにより完了する1回の走査範囲は直線状となる。そして、この直線状のレーザ光の走査範囲を少しずつ平行にずらすように非接触センサ101を徐々に移動させ、被測定物の表面形状の3次元マップを取得してゆく。
非接触センサ101は、図6に示すように、回転2軸ジョイント102dを駆動し、B軸を中心として回転させることが可能である。回転2軸ジョイント102dの回転前の状態では、レーザ光の走査範囲はR1となっている。そして、回転2軸ジョイント102dを、そのB軸を中心として回転させると、非接触センサ101が回転してレーザ光の走査範囲はR2になる。
しかし、図7に示すように、回転2軸ジョイント102dを駆動し、A軸を中心として90度回転させた状態では、レーザ光の走査範囲R3の方向を走査範囲R4の方向へ変更することは不可能である。回転2軸ジョイント102dのB軸を中心に回転しても、非接触センサ101は回転2軸ジョイント102dの周囲において円弧を描くように回転するだけだからである。
このように非接触センサ101の走査範囲の方向を適宜変更することができない場合、正確な3次元測定を実行できない場合がある。例えば、被測定物の測定面が鏡面である場合には、図8(A)に示すように非接触センサ101が配置されている場合には、戻り光が反射してしまうため正確な測定ができない。この場合、図8(B)に示すように非接触センサ101を90度回転させて走査範囲の方向を変更する必要がある。従来の回転2軸ジョイント102dに装着した状態の非接触センサ101では、このような走査範囲の方向を変更は不可能である。
また、図9に示すように、非接触センサ101による走査は、原則として被測定物の断面方向に対して走査することが望ましい。この場合においても、非接触センサ101の走査範囲の方向を変更する必要がある。
本発明は、非接触センサの走査範囲の方向を容易に変更することができる非接触センサ用回転ユニット及び非接触センサ用回転装置を提供することを目的とする。
本発明に係る非接触センサ用回転ユニットは、一方向に走査可能な非接触センサと前記非接触センサを支持する支持手段との間に配設され、前記非接触センサの前記走査方向に対して90度回転可能となっていることを特徴とする。
さらに、本発明に係る非接触センサ用回転ユニットは、前記非接触センサ用回転ユニットの少なくとも0度と90度の回転状態を維持するための位置決め手段を有していることが好ましい。
さらに、本発明に係る非接触センサ用回転ユニットは、前記非接触センサ側の第1部材と、前記支持手段側の第2部材とを有し、前記非接触センサ用回転ユニットの少なくとも0度と90度の回転状態において、前記位置決め手段により前記第1部材は前記第2部材により3点支持されることが好ましい。
さらに、本発明に係る非接触センサ用回転ユニットは、前記第2部材には、前記第1部材に対して前記第2部材を90度回転させるためのレバーが突出して設けられており、前記ロッドは前記非接触センサと別置されている回転補助治具と係合可能となっていることが好ましい。
さらに、本発明に係る非接触センサ用回転ユニットは、前記非接触センサ用回転ユニットを90度回転させるための駆動手段を有していることが好ましい。
本発明に係る非接触センサ用回転装置は、一方向に走査可能な非接触センサと前記非接触センサを支持する支持手段との間に配設され、前記非接触センサの前記走査方向に対して90度回転可能となっている非接触センサ用回転ユニットと、前記非接触センサ用回転ユニットを90度回転させるための回転駆動装置とを有することを特徴とする。
さらに、本発明に係る非接触センサ用回転装置は、前記回転駆動装置が、前記非接触センサへの給電を行うための給電端子を有していることが好ましい。
請求項1記載の本発明によれば、非接触センサ用回転ユニットが、一方向に走査可能な非接触センサと前記非接触センサを支持する支持手段との間に配設され、前記非接触センサの前記走査方向に対して90度回転可能となっているため、非接触センサの走査範囲の方向を90度変更することができ、被測定物の測定面の状況に応じた正確な測定をおこなうことができる。
請求項2記載の本発明によれば、前記非接触センサ用回転ユニットが、前記非接触センサ用回転ユニットの少なくとも0度と90度の回転状態を維持するための位置決め手段を有しているため、非接触センサユニットの0度と90度の回転状態が正確に規制され、非接触センサユニットの回転による測定誤差の発生を防止することができる。
請求項3記載の本発明によれば、前記非接触センサ用回転ユニットが、前記非接触センサ側の第1部材と、前記支持手段側の第2部材とを有し、前記非接触センサ用回転ユニットの少なくとも0度と90度の回転状態において、前記位置決め手段により前記第1部材は前記第2部材により3点支持されるため、第1部材と第2部材との間のガタつきを防止することができる。
請求項4記載の本発明によれば、前記非接触センサ用回転ユニットにおいて、当該ユニットの第1部材に対して第2部材を90度回転させるためのレバーが突出して設けられており、ロッドは非接触センサと別置されている回転補助治具と係合可能となっているため、非接触センサ用回転ユニットに回転駆動手段を設ける必要がない。
請求項5記載の本発明によれば、前記非接触センサ用回転ユニットが、前記非接触センサ用回転ユニットを90度回転させるための駆動手段を有しているため、例えば、非接触センサの支持手段の位置制御を行うプログラムに、当該非接触用回転ユニットの回転状態をプログラミングすることにより、完全に自動化された3次元測定器を実現することができる。
請求項6記載の本発明によれば、非接触センサ用回転ユニットと、非接触センサ用回転ユニットを90度回転させるための回転駆動装置とを有しているために、回転駆動装置によって非接触センサ用回転ユニットを90度回転することができる。
請求項7記載の本発明によれば、回転駆動装置が非接触センサへの給電を行うための給電端子を有しているため、非接触センサへの給電を回転駆動装置によって行うことができる。
以下、図1ないし図3を参照しつつ本発明の第1実施形態について詳細に説明する。本実施形態の非接触センサ用回転ユニット1は、一方向に走査可能な非接触センサ2と当該非接触センサ2を支持する支持手段3との間に配設され、非接触センサ2の走査方向に対して90度回転可能となっていることを特徴とする。
図1及び図2に示すように、3次元測定器において、支持手段3は、3軸構成の支持部材3a、3b、3cと、支持部材3cの先端部に設けられている回転2軸ジョイント3dとから構成されている。図示するように支持部材3a、3b、3cはそれぞれXYZの3軸に沿って移動可能に構成されており、また、回転2軸ジョイント3dはA軸とB軸の2軸の回転軸を有する。そして、支持部材3a、3b、3cと回転2軸ジョイント3dとが協働することにより、被測定物に対し非接触センサ2を自由な位置において支持することができる。
非接触センサ2は、非接触センサ用回転ユニット1と係合するためのジョイント部2aを有している。この非接触センサ2は、出射したレーザ光を一方向に走査させ、レーザ光の戻り光の受光位置の変位を検出し、被測定物の表面形状を取得するセンサである。即ち、一方向にレーザ光を走査することにより完了する1回の走査範囲は直線状となる。そして、この直線状のレーザ光の走査範囲を少しずつ平行にずらすように非接触センサ2を徐々に移動させ、被測定物の表面形状の3次元マップを取得してゆく。
非接触センサ用回転ユニット1は、回転2軸ジョイント3dの先端部と非接触センサ2のジョイント部2aとの間に配設されている。この非接触センサ用回転ユニット1は、図3(A)に示すように、外カバー11、波ワッシャ12、第1ジョイント13、カム板14、ディレイ板15、レバー部材16、内カバー17、第2ジョイント18の各部材から構成されている。第1ジョイント13は、回転2軸ジョイント3dの先端部と係合可能となっており、また、第2ジョイント18は、非接触センサ2のジョイント部2aと係合可能となっている。外カバー11、第1ジョイント13、及び内カバー17の各部材は互いに固定され第1部材を構成し、また、カム板14、ディレイ板15、レバー部材16、及び第2ジョイント18の各部材は固定され第2部材を構成している。そして、非接触センサ用回転ユニット1の回転は、第1部材に対して第2部材が90度回転することにより実行される。
第1ジョイント13は120度の角度で離間して形成されている3個の半球状の突起13aを有しており、また、カム板14は、図3(B)に示すように、それぞれ2列の突起から形成されると共に120度の角度で離間して形成されている3つの第1列状突起14aと、第1列状突起14aに対して90度ずれた位置にそれぞれ形成されている3つの第2列状突起14bとを有している。これら突起13a、第1列状突起14a、及び、第2列状突起14bは、非接触センサ用回転ユニット1の少なくとも0度と90度の回転状態を維持するための位置決め手段を構成している。
第1ジョイント13は波ワッシャ12によって付勢されているため、各突起13aは、第1列状突起14a及び第2列状突起14bの方向へ付勢されている。図3(B)に示されている状態では、各突起13aは各第1列状突起14aによって係止されており、第1ジョイント13はカム板14に対して第1位置(0度の位置)において係止されることになる。また、各突起13aが各第2列状突起14bによって係止されている位置が第2位置(90度の位置)となる。第1位置又は第2位置において、各突起13aは第1列状突起14a又は第2列状突起14bの何れかに係止され、その際、波ワッシャ12の付勢力により第1ジョイント13はカム板14に対してしっかりと3点支持されることになる。
レバー部材16は一対のレバー16aを有し、図2に示すように、このレバー16aは非接触センサ用回転ユニット1の側方から突出している。このレバー16aは、非接触センサ2と別置されている回転補助治具4のU字型の一対の腕部4aの係合溝4bのそれぞれと係合可能となっている。
以下、各突起13aが各第1列状突起14aによって第1位置に係止されている状態の非接触センサ用回転ユニット1を回転させ、各突起13aが各第2列状突起14bによって第2位置に係止されている状態へ変更する作業について説明する。
最初に、支持手段3の支持部材3a、3b、3c及び回転2軸ジョイント3dを操作し、非接触センサ用回転ユニット1のレバー部材16のレバー16aのそれぞれが、回転補助治具4のU字型の一対の腕部4aの係合溝4bのそれぞれと係合する位置へ非接触センサ用回転ユニット1を移動する。
レバー16aと係合溝4bとを係合させた後、回転2軸ジョイント3dを操作し、そのB軸を中心にして90度回転させる。この90度の回転は図3(B)において反時計回り方向の回転であり、非接触センサ用回転ユニット1の各突起13aが各第1列状突起14aから離脱し、各突起13aが各第2列状突起14bに係止される。即ち、回転2軸ジョイント3dのB軸の回転力により、第1ジョイント13のカム板14に対する位置は、第1位置から第2位置へと変位することになる。そして、第2位置においても波ワッシャ12の付勢力により第1ジョイント13はカム板14に対してしっかりと3点支持される。
第1ジョイント13のカム板14に対する位置が第1位置から第2位置へと変位することにより、非接触センサ2が90度回転し、この非接触センサ2の回転によって、当該センサの走査範囲の方向が90度回転することができる。
なお、各突起13aが各第2列状突起14bによって第2位置に係止されている状態の非接触センサ用回転ユニット1を回転させ、各突起13aが各第2列状突起14aによって第1位置に係止されている状態へ変更する作業も、上記のようにレバー16aを係合溝4bに係合し、回転2軸ジョイント3dを操作することにより実行できる。なお、この90度の回転は図3(B)において時計回り方向への回転となる。
本実施形態の非接触センサ用回転ユニット1は、第1位置及び第2位置のいずれの位置においても波ワッシャ12の付勢力により第1ジョイント13はカム板14に対してしっかりと3点支持されている。従って、レバー16aを手動で操作して、非接触センサ用回転ユニット1を回転することも可能である。
本実施形態の非接触センサ用回転ユニット1は、機械式の非接触センサ用回転ユニットの一例にすぎない。例えば、第1部材と第2部材の係合手段は、0度と90度の回転位置を規制できるのであれば、その構成は問わない。また、第1部材と第2部材間の付勢を行えるのであれば、波ワッシャのような部品である必要はない。また、第1部材と第2部材の係合手段は、係合状態において3点支持構造が理想的であるものの、3点支持構造以外の構造を採ることも可能である。
次に、図4を参照しつつ本発明の第2実施形態について詳細に説明する。本実施形態の非接触センサ用回転ユニット5は、超音波振動子51を備えている自動回転ユニットである。この非接触センサ用回転ユニット5は、超音波振動子51、振動可動ロッド52、一対のストッパ53、第1ジョイント54、第2ジョイント55、電気回路基板56、第1軸受け57、第2軸受け58を有している。そして、超音波振動子51及び振動可動ロッド52の両部材が非接触センサ用回転ユニット5を90度回転させるための駆動手段を構成している。なお、第1ジョイント54は、上記第1実施形態において説明した回転2軸ジョイント3dの先端部と係合可能となっており、また、第2ジョイント55は、非接触センサ2のジョイント部2aと係合可能となっている。
超音波振動子51は第1ジョイント54と機械的に連結されており、一方、振動可動ロッド52は第2ジョイント55と機械的に連結されている。この振動可動ロッド52は円弧状の形態を有し、第2ジョイント55の円周に沿うように配設され、また、90度の間隔を隔てて一対のストッパ53を有している。超音波振動子51は、電気回路基板56から供給される振動電気信号によって駆動されることにより、振動可動ロッド52を回転させることができる。この回転範囲は一対のストッパ53により規制されているため、第1ジョイント54と第2ジョイント55の相対角度は0度又は90度の何れかに決定される。また、当該振動電気信号が停止されると、超音波振動子51によって振動可動ロッド52がロックされるため、超音波振動子51の停止時において、第1ジョイント54と第2ジョイント55とはしっかりと固定され、両部材の間のガタつきが防止される。
本実施形態の作用効果は、上記第1実施形態における作用効果と略同様であるが、本実施形態の非接触センサ用回転ユニット5は自動回転ユニットであるため回転補助治具4のような部材を必要としない。また、非接触センサ2の支持手段3の位置制御を行うプログラムに、当該非接触用回転ユニット5の回転状態をプログラミングすることにより、完全に自動化された3次元測定器を実現することができる。
本実施形態の非接触センサ用回転ユニット5は自動回転ユニットの一例にすぎない。例えば、通常の電動モータと歯車等の組み合わせによっても、0度と90度の回転位置を規制できるものであれば当該自動回転ユニットを構成することが可能である。
次に、図10を参照しつつ本発明の第3実施形態について詳細に説明する。本実施形態の非接触センサ用回転装置は、第1実施形態における非接触回転ユニット1と、非接触センサ用回転ユニット1を90度回転させるための回転駆動装置6とを有することを特徴とする。
上記第1実施形態において、非接触回転ユニット1は、当該ユニット1の側方から突出しているレバー16aを回転補助治具4の係合溝4bに係合し、回転2軸ジョイント3dのB軸を中心にして90度回転させることにより、非接触センサ2の走査範囲の方向が90度回転するようになっていた。これに対して、本実施形態においては、回転2軸ジョイント3dを回転することなく、回転駆動装置6により非接触センサ2の走査範囲の方向を90度回転させることができる。
回転駆動装置6は、図10に示すように、本体61と、本体61の上面において回転する回転テーブル62と、回転テーブル62に設けられている1組のアーム63と、本体61に設けられている係止アーム65とを有している。回転テーブル62は、本体61内部に備えられているモータ(図示せず)により90度回転する。
それぞれのアーム63の先端部には、係止溝64が形成されており、この係止溝64の形状は、非接触回転ユニット1の側方から突出しているレバー16aの形状に対応するようになっている。また、本体61に設けられている係止アーム65の先端部には、非接触回転ユニット1の円筒胴部19を受け入れるための受け入れU字型溝66が形成されている。
U字型溝66の下方には、非接触センサ2への給電を行うための給電端子(図示せず)が設けられている。この給電端子は、U字型溝66内に非接触回転ユニット1の円筒胴部19が受け入れられた際に、非接触センサ2に設けられている1組の端子19a(図11参照)と電気的に接触することができる。給電端子による非接触センサ2への給電は、当該センサ2を電流により暖気することにより、温度に起因する測定誤差を回避するために行われる。
本実施形態において非接触センサ用回転ユニット1を90度回転させる場合には、3次元測定器の支持手段3を制御するプログラムによって、非接触回転ユニット1の側方から突出しているレバー16aに係止され、且つ、非接触回転ユニット1の円筒胴部19が回転駆動装置6のU字型溝66内へ受け入れられるように非接触センサ2を移動する。そして、回転駆動装置6の回転テーブル62を90度回転させることにより、非接触センサ用回転ユニット1を90度回転させる。また、この状態においては、回転駆動装置6に設けられている給電端子により非接触センサ2への給電が可能となる。
上述した3次元測定器の支持手段3を制御するプログラムに回転駆動装置6の回転テーブル62の回転の実行及び停止と給電端子による給電の実行及び停止についてのプログラミングを加えることにより、3次元測定器による測定を自動化することができる。
本発明の第1実施形態に係る非接触センサ用回転ユニット1を取り付けた3次元測定器を示す斜視図である。 図1に示す非接触センサ用回転ユニット1の取り付け状態を示す部分拡大斜視図である。 図3(A)は図1に示す非接触センサ用回転ユニット1の分解斜視図であり、図3(B)はカム板14の正面図である。 本発明の第2実施形態にかかる非接触センサ用回転ユニット5の内部構造を示す説明斜視図である。 従来の3次元測定器100を示す斜視図である。 図5に示す非接触センサ101の取り付け状態および回転状態を示す部分拡大斜視図である。 図5に示す非接触センサ101の取り付け状態および回転状態を示す部分拡大斜視図であり、回転2軸ジョイント102dのA軸を90度回転させた状態を示している。 図8(A)は図5に示す非接触センサ101の走査範囲が垂直方向に段部を有する被測定物の測定面に対して水平方向に延在している状態を示す説明図であり、一方、図8(B)は垂直方向に延在している状態を示す説明図である。 図5に示す非接触センサ101の走査範囲が被測定物の断面方向に延在している状態を示す説明図である。 本発明の第3実施形態にかかる非接触センサ用回転装置を示す斜視図である。 図10に示す非接触センサ用回転装置における給電を行うための非接触センサ2に設けられている端子19aを示す斜視図である。
符号の説明
1、5 非接触センサ用回転ユニット
2、101 非接触センサ
2a、101a ジョイント部
3、102 支持手段
3a、3b、3c、102a、102b、102c 支持部材
3d、102d 回転2軸ジョイント
4 回転補助治具
4a 腕部
4b 係合溝
6 回転駆動装置
61 本体
62 回転テーブル
63 アーム
64 係止溝
65 係止アーム
66 U字型溝
11 外カバー
12 波ワッシャ
13、54 第1ジョイント
13a 突起
14 カム板
14a 第1列状突起
14b 第2列状突起
15 ディレイ板
16 レバー部材
16a レバー
17 内カバー
18、55 第2ジョイント
19 円筒胴部
19a 端子
51 超音波振動子
52 振動可動ロッド
53 ストッパ
56 電気回路基板
57 第1軸受け
58 第2軸受け
100 三次元測定器

Claims (7)

  1. 一方向に走査可能な非接触センサと前記非接触センサを支持する支持手段との間に配設され、前記非接触センサの前記走査方向に対して90度回転可能となっている非接触センサ用回転ユニット。
  2. 前記非接触センサ用回転ユニットは、前記非接触センサ用回転ユニットの少なくとも0度と90度の回転状態を維持するための位置決め手段を有している請求項1記載の非接触センサ用回転ユニット。
  3. 前記非接触センサ用回転ユニットは、前記非接触センサ側の第1部材と、前記支持手段側の第2部材とを有し、前記非接触センサ用回転ユニットの少なくとも0度と90度の回転状態において、前記位置決め手段により前記第1部材は前記第2部材により3点支持されることを特徴とする請求項2記載の非接触センサ用回転ユニット。
  4. 前記第2部材には、前記第1部材に対して前記第2部材を90度回転させるためのレバーが突出して設けられており、前記ロッドは前記非接触センサと別置されている回転補助治具と係合可能となっている請求項3記載の非接触センサ用回転ユニット。
  5. 前記非接触センサ用回転ユニットは、前記非接触センサ用回転ユニットを90度回転させるための駆動手段を有している請求項2記載の非接触センサ用回転ユニット。
  6. 一方向に走査可能な非接触センサと前記非接触センサを支持する支持手段との間に配設され、前記非接触センサの前記走査方向に対して90度回転可能となっている非接触センサ用回転ユニットと、
    前記非接触センサ用回転ユニットを90度回転させるための回転駆動装置とを有することを特徴とする非接触センサ用回転装置。
  7. 前記回転駆動装置は、前記非接触センサへの給電を行うための給電端子を有していることを特徴とする請求項6記載の非接触センサ用回転装置。
JP2008184984A 2007-07-30 2008-07-16 非接触センサ用回転ユニット及び非接触センサ用回転装置 Withdrawn JP2009053184A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008184984A JP2009053184A (ja) 2007-07-30 2008-07-16 非接触センサ用回転ユニット及び非接触センサ用回転装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007196958 2007-07-30
JP2008184984A JP2009053184A (ja) 2007-07-30 2008-07-16 非接触センサ用回転ユニット及び非接触センサ用回転装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2009053184A true JP2009053184A (ja) 2009-03-12

Family

ID=39869674

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008184984A Withdrawn JP2009053184A (ja) 2007-07-30 2008-07-16 非接触センサ用回転ユニット及び非接触センサ用回転装置

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2009053184A (ja)
WO (1) WO2009016185A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017514119A (ja) * 2014-04-08 2017-06-01 ニコン・メトロロジー・エヌヴェ 計測用測定プローブユニット

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006031580A1 (de) 2006-07-03 2008-01-17 Faro Technologies, Inc., Lake Mary Verfahren und Vorrichtung zum dreidimensionalen Erfassen eines Raumbereichs
US9551575B2 (en) 2009-03-25 2017-01-24 Faro Technologies, Inc. Laser scanner having a multi-color light source and real-time color receiver
DE102009015920B4 (de) 2009-03-25 2014-11-20 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
US9529083B2 (en) 2009-11-20 2016-12-27 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional scanner with enhanced spectroscopic energy detector
US9113023B2 (en) 2009-11-20 2015-08-18 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional scanner with spectroscopic energy detector
US8630314B2 (en) 2010-01-11 2014-01-14 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for synchronizing measurements taken by multiple metrology devices
CN102782442A (zh) 2010-01-20 2012-11-14 法罗技术股份有限公司 具有被照亮的探针端的坐标测量机及操作方法
US8677643B2 (en) 2010-01-20 2014-03-25 Faro Technologies, Inc. Coordinate measurement machines with removable accessories
US8615893B2 (en) 2010-01-20 2013-12-31 Faro Technologies, Inc. Portable articulated arm coordinate measuring machine having integrated software controls
US8875409B2 (en) 2010-01-20 2014-11-04 Faro Technologies, Inc. Coordinate measurement machines with removable accessories
US9607239B2 (en) 2010-01-20 2017-03-28 Faro Technologies, Inc. Articulated arm coordinate measurement machine having a 2D camera and method of obtaining 3D representations
CN102713499B (zh) 2010-01-20 2014-07-09 法罗技术股份有限公司 用于坐标测量设备的配重
US9163922B2 (en) 2010-01-20 2015-10-20 Faro Technologies, Inc. Coordinate measurement machine with distance meter and camera to determine dimensions within camera images
US9628775B2 (en) 2010-01-20 2017-04-18 Faro Technologies, Inc. Articulated arm coordinate measurement machine having a 2D camera and method of obtaining 3D representations
US8898919B2 (en) 2010-01-20 2014-12-02 Faro Technologies, Inc. Coordinate measurement machine with distance meter used to establish frame of reference
US8832954B2 (en) 2010-01-20 2014-09-16 Faro Technologies, Inc. Coordinate measurement machines with removable accessories
JP5615382B2 (ja) 2010-01-20 2014-10-29 ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド マルチバスアーム技術を用いた可搬型の関節アーム座標測定機
DE102010020925B4 (de) 2010-05-10 2014-02-27 Faro Technologies, Inc. Verfahren zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
WO2012033892A1 (en) 2010-09-08 2012-03-15 Faro Technologies, Inc. A laser scanner or laser tracker having a projector
WO2012057008A1 (en) 2010-10-27 2012-05-03 Nikon Corporation Profile measuring apparatus, method for manufacturing structure, and structure manufacturing system
US9168654B2 (en) 2010-11-16 2015-10-27 Faro Technologies, Inc. Coordinate measuring machines with dual layer arm
DE102012100609A1 (de) 2012-01-25 2013-07-25 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
DE102012103934B3 (de) * 2012-05-04 2013-08-29 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Optischer Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät
US8997362B2 (en) 2012-07-17 2015-04-07 Faro Technologies, Inc. Portable articulated arm coordinate measuring machine with optical communications bus
US9513107B2 (en) 2012-10-05 2016-12-06 Faro Technologies, Inc. Registration calculation between three-dimensional (3D) scans based on two-dimensional (2D) scan data from a 3D scanner
DE102012109481A1 (de) 2012-10-05 2014-04-10 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
DE102015122844A1 (de) 2015-12-27 2017-06-29 Faro Technologies, Inc. 3D-Messvorrichtung mit Batteriepack
EP4015986A1 (en) * 2020-12-18 2022-06-22 TESA Sàrl Contactless sensor unit for a coordinate measuring machine

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE50115721D1 (de) * 2000-09-28 2011-01-05 Zeiss Ind Messtechnik Gmbh Koordinatenmessgerät
DE10260670B4 (de) * 2002-12-23 2007-04-05 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Vorrichtung zum optischen Abtasten von Werkstücken

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017514119A (ja) * 2014-04-08 2017-06-01 ニコン・メトロロジー・エヌヴェ 計測用測定プローブユニット

Also Published As

Publication number Publication date
WO2009016185A1 (en) 2009-02-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2009053184A (ja) 非接触センサ用回転ユニット及び非接触センサ用回転装置
JP5267722B2 (ja) レーザレーダ装置
JP4005921B2 (ja) 産業ロボットの較正装置、方法及びその較正に関するコンピュータプログラム製品
JP4491687B2 (ja) 座標変換関数の補正方法
JP5706158B2 (ja) 表面センサオフセット
JP5442457B2 (ja) 位置の突き止め
US9897437B2 (en) Profile measuring apparatus, structure manufacturing system, method for measuring profile, method for manufacturing structure, and non-transitory computer readable medium
US9645217B2 (en) System and method for error correction for CNC machines
JP4970211B2 (ja) 3次元形状測定器
JP2004257927A (ja) 3次元形状測定システムおよび3次元形状測定方法
JP2017519204A (ja) 物体の幾何学的な計測装置および方法
JP2011237425A (ja) 測定システム
JP6020593B2 (ja) 形状測定装置、構造物製造システム、ステージシステム、形状測定方法、構造物製造方法、プログラムを記録した記録媒体
JP2008269316A (ja) 数値制御工作機械及び数値制御装置
JP2010284728A (ja) 搬送ロボット及び自動教示方法
JP2017194451A (ja) 工作機械の誤差同定方法及び誤差同定システム
JP2019168419A (ja) 三次元測定装置
JP2006030200A (ja) 配向自在な探触子
JP5064344B2 (ja) ロボットシステム
JP5278808B2 (ja) 三次元形状測定装置
JP2010190640A (ja) 傾斜測定器
JP2010247238A (ja) パラレルリンクステージおよび光学素子測定装置
JP2010117223A (ja) ロボットに取付けられたカメラを用いた三次元位置計測装置
JP4290116B2 (ja) 三次元形状計測機のセンサ原点のキャリブレーション方法
JP5982194B2 (ja) 起点座標補正方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20090904

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20090904

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20091028

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20091028

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20100907

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20100908

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100930

A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20111004