JP2009049092A - パッケージの封止方法およびパッケージの封止装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 パッケージ封止の信頼性を向上させる。
【解決手段】 電子部品を収納する外囲器の開口部にリッドを載置し、この外囲器とリッドとに介在するろう材に熱を加えて溶融させることで、前記開口部を封止するパッケージの封止方法であって、外囲器6と対向する面の少なくとも外囲器6の開口部周縁と対応する領域にろう材2を設けたリッド1を用意し、このリッド1の外囲器6と対向しない面を加熱ツール3で吸着保持し、次にこの加熱ツール3の温度を上昇させて前記ろう材2を溶融状態にし、次に外囲器6の開口部周縁と前記リッド1に設けた溶融状態のろう材2とを接触させ、次に吸着保持を維持したままろう材2を凝固させる。
【選択図】 図1
【解決手段】 電子部品を収納する外囲器の開口部にリッドを載置し、この外囲器とリッドとに介在するろう材に熱を加えて溶融させることで、前記開口部を封止するパッケージの封止方法であって、外囲器6と対向する面の少なくとも外囲器6の開口部周縁と対応する領域にろう材2を設けたリッド1を用意し、このリッド1の外囲器6と対向しない面を加熱ツール3で吸着保持し、次にこの加熱ツール3の温度を上昇させて前記ろう材2を溶融状態にし、次に外囲器6の開口部周縁と前記リッド1に設けた溶融状態のろう材2とを接触させ、次に吸着保持を維持したままろう材2を凝固させる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、水晶振動子、弾性表面波フィルタ等の電子部品を収納した外囲器の開口部に金属製の蓋板であるリッドを接合するパッケージの封止方法および封止装置に関するものである。
従来から、水晶振動子、弾性表面波フィルタ等の電子部品をパッケージで気密封止した製品が広く知られている。図3は従来からあるパッケージ51の断面図であり、まず外囲器52の開口部周縁に半田等の低融点ろう材53を額縁状又はリング状に設け、この外囲器52の内部には水晶振動子等の電子部品54を収納し、この電子部品54をワイヤ55によって外リード56に電気的に接続したものを準備する。そしてこの外囲器52の開口部には、前記ろう材53を介して金属製蓋体であるリッド57が位置決めされて載置される。
このように内部に電子部品54が収納されたパッケージ51は図4で示すように、リッド57上のほぼ中央に重り58を載置するなどしてリフロー炉で加熱し、ろう材53を溶融させて外囲器52とリッド57を開口部全周にわたって接合することで封止を行ってきた。しかしながら、リフロー炉を用いる方法によるとパッケージ全体を加熱することになり、内部の電子部品54も高温に曝してしまうという問題があった。
そこで特許文献1で開示されている他の方法を図5に基づいて説明する。この方法はパッケージ全体を加熱するのではなくリッド57に加熱ツール59を接触させ、リッド57の熱伝導によりろう材52を溶融させるものである。この方法によればパッケージ全体を加熱するリフロー炉を用いた方法よりも内部の電子部品54が高温に曝されないので、信頼性の高い製品を生産することが可能になる。
ここで、ろう材53の素材としては、前述した半田(例えば90Pb10Sn)の他に80Au20Snあるいは低融点ガラス等が挙げられる。また、これはリフロー炉を用いた方法でも可能であるが、窒素等の不活性ガス環境下で封止を行なうことでパッケージ内に不活性ガスを封入し、パッケージ内部の電子部品54の劣化を抑制することができる。さらに加熱ツール59を用いる方法では真空チャンバ内で封止を行なうことでパッケージ内を真空状態に維持することも可能である。
しかしながら、加熱ツール59を用いて封止を行なう場合、パッケージ51を載置するステージの上面と加熱ツール59下端の作用面との平行度、さらには加熱ツール59の上下動の軌跡とステージ上面との垂直度を正確に調整する必要があり、これらが正確に調整されていたとしても個々のパッケージの形状のバラツキにより、リッド57の上面と加熱ツール59の作用面とが全域にわたって接触しない場合がある。
この状態を図6に示すが、リッド57と加熱ツール59との接触部に間隙が生じている場合、あるいは目視可能な程度の間隙でなくとも接触が不十分な場合は加熱ツール59からリッド57への熱伝導が不十分となり、その部分の下方のろう材が溶融不足となる。そしてこれが封止の信頼性を低下させることとなる。前述したリフロー炉を用いる方法ではろう材全体がほぼ均等に加熱されるが、加熱ツール59を使用した場合には、ステージ側又は加熱ツール側にならい機構(柔軟に傾斜に密着させる機構)を設ける必要が生じる。
ところが、小型化が進むパッケージのリッドは一辺の長さ又は直径が数ミリメートルであるのが一般的であり、この小面積に対応するようなならい機構を設けるのは非常に困難である。また可能であっても装置が非常にコスト高になってしまう。本発明はこのような課題を解決すべく、加熱ツールの熱が均等にリッドに伝導することで信頼性の高い封止を実現するパッケージの封止方法とその装置を提供するものである。
本発明は第1の態様として、電子部品を収納する外囲器の開口部にリッドを載置し、この外囲器とリッドとに介在するろう材に熱を加えて溶融させることで、前記開口部を封止するパッケージの封止方法であって、外囲器と対向する面の少なくとも外囲器の開口部周縁と対応する領域にろう材を設けたリッドを用意し、このリッドの外囲器と対向しない面を加熱ツールで吸着保持し、次にこの加熱ツールの加熱で前記ろう材を溶融状態にし、次に前記外囲器の開口部周縁と前記溶融状態のろう材とを接触させ、次に前記吸着保持を維持したまま前記ろう材を凝固させることを特徴とするパッケージの封止方法を提供するものである。
また本発明は第2の態様として、前記開口部周縁と前記溶融状態のろう材との接触は、前記外囲器と前記リッドとの間隔が、前記開口部周縁の全周が前記溶融状態のろう材と接触した状態であり、且つ前記リッドの一部が前記開口部周縁に直接接触しない状態で維持され、この状態でろう材が凝固するように制御されることを特徴とする第1の態様として記載のパッケージの封止方法を提供するものである。
また本発明は第3の態様として、前記制御は前記外囲器の開口部周縁と前記リッドとの間隔の大きさを制御する位置制御であることを特徴とする第2の態様として記載のパッケージの封止方法を提供するものである。
また本発明は第4の態様として、前記制御は前記外囲器と前記リッドとを挟持する時の押圧力を制御する荷重制御であることを特徴とする第2の態様として記載のパッケージの封止方法を提供するものである。
また本発明は第5の態様として、前記加熱ツールの加熱方法はパルスヒート方式であることを特徴とする第1乃至第4のいずれかの態様として記載のパッケージの封止方法を提供するものである。
また本発明は第6の態様として、電子部品を収納する外囲器の開口部にリッドを載置し、この外囲器とリッドとに介在するろう材に熱を加えて溶融させることで、前記開口部を封止するパッケージの封止装置であって、外囲器を載置するステージと、リッドを作用面に吸着保持しつつ加熱する加熱ツールと、前記加熱ツールを昇温させる電流発生源と、前記ステージと前記加熱ツールとの間隔を拡縮する駆動部と、この駆動部の動作を制御する制御部とを備えたことを特徴とするパッケージの封止装置を提供するものである。
また本発明は第7の態様として、前記制御部は前記外囲器の開口部周縁とリッドとの間隔の大きさの位置制御を行なうことを特徴とする第6の態様として記載のパッケージの封止装置を提供するものである。
また本発明は第8の態様として、前記制御部は前記外囲器と前記リッドとを挟持する時の押圧力の荷重制御を行なうことを特徴とする第6の態様として記載のパッケージの封止装置を提供するものである。
また本発明は第9の態様として、前記加熱ツールを昇温させる電流発生源はパルスヒート電源であることを特徴とする第6乃至第8のいずれかの態様として記載のパッケージの封止装置を提供するものである。
本発明によれば、リッドが外囲器に載置される前の状態で加熱ツールに吸着保持されて加熱を受けるので、リッド全周が加熱されることでこのリッドに設けたろう材全体をむらなく溶融することができる。そして、ろう材全体が溶融した状態で外囲器の開口部周縁に接触するので、一部の溶融不足による気密性の低下を防ぐことができ、封止の信頼性を高めることが可能となる。また、封止装置に実現の困難なならい機構を備える必要がなくなり、安価な封止装置を用いて信頼性の高い封止が達成できる。
次に添付図面を参照して本発明に係るパッケージの封止方法およびその装置の実施形態を詳細に説明する。
図1は本発明に係るパッケージの封止方法を示す模式図である。図1(a)において符号1はリッド、2はろう材である。本実施形態ではリッド1は4角が若干R仕上げとなった平面視矩形のものを使用する。このリッド1は厚さ0.1mmのコバール製の板を打ち抜き成型したものであり、図を見て手前側の面が後に外囲器と対向する面である。そしてこの面の周囲にはろう材2が額縁状に貼着して設けてある。図において斜線で示すろう材2を設けた領域は、接合すべき外囲器の開口部周縁に対応する領域となっている。そしてその素材は80Au20Snであり、融点は約280℃である。また図1(b)には、これを板厚方向から見た図を描いてある。
図1(c)には吸着手段4を備えた加熱ツール3がリッド1の外囲器と対向しない面を吸着している様子が描かれている。吸着手段4は加熱ツールの作用面3Aの中央を貫通し、この作用面3Aの中央が吸着ノズルの先端となるようになっており、この加熱ツール3に吸着されたリッド1は、その全周が加熱ツール3の作用面3Aに密着するように、作用面3Aは平面に仕上げられている。
次に図1(d)には、加熱ツール3が発熱を開始し、リッド1の熱伝導を経てろう材2が溶融した様子が描かれている。そして図1(e)で示すようにステージ5上に載置された外囲器6の開口部周縁と溶融状態のろう材2とが接触するように位置合わせする。このとき、図のように外囲器の厚さが一定でなく、図を見て左右のろう材2の厚さが異なっているが、外囲器の開口部周縁全周が溶融したろう材2と接触し、且つ外囲器の開口部周縁のどの部位においても直接リッド1との接触がないような間隔を保つようにしている。そしてこ吸着保持を維持することでリッド1の位置を維持したまま加熱ツール3への通電を停止し、溶融状態のろう材2が凝固するまで温度を降下させる。
このように外囲器の開口部周縁とリッドとの間隔を保つためには、例えば加熱ツール3を支持して上下方向に移動させる駆動機構に位置制御手段を設けサンプル試験で決定した所定の高さに正確に加熱ツール3が停止し、所定時間その位置を維持するようにする方法がある。また、サンプル試験で加熱ツール3が所定の高さになるときの押圧力、つまり溶融したろう材2がつぶれる際の反発力を求めておき、この所定の押圧力を取得した時点で加熱ツールの上下動を停止し、所定時間維持できるような荷重制御手段を用いる方法もある。そしてこれらの制御方法は、加熱ツール3への適用ではなくステージ5の上下移動として適用しても同様の作用が得られることは自明である。
さらにこのとき、ろう材2を凝固させるための温度降下は、通電を停止した加熱ツール3の放熱作用や、ろう材2自身または他の部位の自然放熱によってもよいが、生産性を高めるために図のように冷却風7を噴出させ冷却時間を短縮してもよい。また本実施形態の場合、加熱ツール3には図示しないパルスヒート電源からの電流を流して加熱ツール3自体が発生するジュール熱によって温度上昇を得ているので、立ち上がりの急激な昇温とその後の温度制御が可能となっているが、冷却風を直接ろう材2にも吹きつけるようにすれば、加熱ツールにシーズヒータを埋め込むようなコンスタントヒートのオンオフでの実施も可能である。
次に図1(f)には、加熱ツール3が発熱を停止してろう材2が凝固したのち、吸着手段4による吸着作用を停止してリッド1から加熱ツール3が離隔した様子が描かれている(加熱ツールは図示せず)。ここで、リッド1と外囲器6の開口部周縁との位置関係は平行ではないが、リッド1の下面全周にわたってろう材2による接合がなされ、封止が達成されている。
図2は本発明に係るパッケージの封止装置を示す側面図である。図2において1は加熱ツール3の作用面3Aに吸着保持されたリッドであり、その吸着は管状の吸着手段4に連設された排気手段8の排気作用によって行なわれる。また、2はリッド1の下面に設けられたろう材、6はステージ5上に載置された外囲器である。加熱ツール3は、その両端が絶縁ブロック9に固定されており給電ケーブル10A、10Bによって電流発生源であるパルスヒート電源11の出力端子に接続されている。さらに加熱ツール3には熱電対12が固着されており、そのリード12Aはパルスヒート電源11の入力端子に接続されている。パルスヒート電源11は熱電対12の出力をフィードバックして加熱ツール3への出力電流を制御する。
また絶縁ブロック9はシャフト13の下端に固定されており、そのシャフト13の上部は駆動部14によって昇降するように支持されている。そして、この駆動部14は内部にエンコーダを有しておりシャフト13の上下方向の位置をパルス信号に変えて制御部15に出力し、制御部15はこの出力を受けてシャフト13の上下動を制御する。本実施形態の装置はベース16上にステージ5が搭載されていると共に支柱17が立設されており、この支柱17がステージ5の上方に張り出した部分に駆動部14と制御部15が設けられている。また図示しないが、装置の動作指示や設定値入力に使用する操作部と表示部を備えている。
以上は加熱ツール3の上下動を位置制御する場合の構成を示したが、加熱ツール3の被接合部に対する押圧力を荷重制御する場合は、荷重検知部18を設ける必要がある。荷重検知部18は圧力センサであるロードセルと圧縮コイルばねを有しており、これらがシャフト13と駆動部14とのあいだに直列に介在するようになっている。またこの場合は、シャフト13とその下端に支持された構造物の質量をキャンセルするため、これらを上方に懸架するような引っ張りコイルばね(図示せず)を設ける。
このようにすることで、加熱ツール3が被接合物に荷重を付与する際、前記ロードセルが前記圧縮コイルばねの圧縮量にほぼ比例する反発力を取得し、この値をその時点の押圧力として制御部15に出力する。これを受けた制御部15は、所定の押圧力となるように駆動部14の動作を制御する。
以上本実施形態の装置の構成と動作を説明したが、ステージ5と共にベース16上にリッド1のピックアップステージを設け、このピックアップステージ上には複数のリッド1を重ねて収納したマガジンを載置し、ステージ5上には複数の外囲器6を所定の位置に平面状に並べて載置しておき、両ステージが交互に加熱ツール3の下方に移動するようにすれば、加熱ツール3の吸着機能でリッド1のピックアップを行なうことができ、さらにステージ5の下面にXYテーブルを取り付ければリッド1と外囲器3との水平方向の位置合わせが可能になるので、ある程度の自動化が達成できる。
1 リッド
2 ろう材
3 加熱ツール
4 吸着手段
5 ステージ
6 外囲器
7 冷却風
8 排気手段
9 絶縁ブロック
10A、10B 給電ケーブル
11 パルスヒート電源
12 熱電対
13 シャフト
14 駆動部
15 制御部
16 ベース
17 支柱
18 荷重検知部
2 ろう材
3 加熱ツール
4 吸着手段
5 ステージ
6 外囲器
7 冷却風
8 排気手段
9 絶縁ブロック
10A、10B 給電ケーブル
11 パルスヒート電源
12 熱電対
13 シャフト
14 駆動部
15 制御部
16 ベース
17 支柱
18 荷重検知部
Claims (9)
- 電子部品を収納する外囲器の開口部にリッドを載置し、この外囲器とリッドとに介在するろう材に熱を加えて溶融させることで、前記開口部を封止するパッケージの封止方法であって、外囲器と対向する面の少なくとも外囲器の開口部周縁と対応する領域にろう材を設けたリッドを用意し、このリッドの外囲器と対向しない面を加熱ツールで吸着保持し、次にこの加熱ツールの加熱で前記ろう材を溶融状態にし、次に前記外囲器の開口部周縁と前記溶融状態のろう材とを接触させ、次に前記吸着保持を維持したまま前記ろう材を凝固させることを特徴とするパッケージの封止方法。
- 前記開口部周縁と前記溶融状態のろう材との接触は、前記外囲器と前記リッドとの間隔が、前記開口部周縁の全周が前記溶融状態のろう材と接触した状態であり、且つ前記リッドの一部が前記開口部周縁に直接接触しない状態で維持され、この状態でろう材が凝固するように制御されることを特徴とする請求項1に記載のパッケージの封止方法。
- 前記制御は前記外囲器の開口部周縁と前記リッドとの間隔の大きさを制御する位置制御であることを特徴とする請求項2に記載のパッケージの封止方法。
- 前記制御は前記外囲器と前記リッドとを挟持する時の押圧力を制御する荷重制御であることを特徴とする請求項2に記載のパッケージの封止方法。
- 前記加熱ツールの加熱方法はパルスヒート方式であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のパッケージの封止方法。
- 電子部品を収納する外囲器の開口部にリッドを載置し、この外囲器とリッドとに介在するろう材に熱を加えて溶融させることで、前記開口部を封止するパッケージの封止装置であって、外囲器を載置するステージと、リッドを作用面に吸着保持しつつ加熱する加熱ツールと、前記加熱ツールを昇温させる電流発生源と、前記ステージと前記加熱ツールとの間隔を拡縮する駆動部と、この駆動部の動作を制御する制御部とを備えたことを特徴とするパッケージの封止装置。
- 前記制御部は前記外囲器の開口部周縁と前記リッドとの間隔の大きさを制御する位置制御を行なうことを特徴とする請求項6に記載のパッケージの封止装置。
- 前記制御部は前記外囲器と前記リッドとを挟持する時の押圧力の荷重制御を行なうことを特徴とする請求項6に記載のパッケージの封止装置。
- 前記加熱ツールを昇温させる電流発生源はパルスヒート電源であることを特徴とする請求項6乃至8のいずれかに記載のパッケージの封止装置。
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Citations (2)
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JPH02273958A (ja) * | 1989-04-17 | 1990-11-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体用パッケージの封止方法 |
JP2005340444A (ja) * | 2004-05-26 | 2005-12-08 | Kyocera Corp | 電子部品収納用パッケージ |
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2007
- 2007-08-16 JP JP2007212010A patent/JP2009049092A/ja active Pending
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