JP2009035601A - 耐ハロゲンガス性パーフルオロエラストマー成形体及びシール材料 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(A)(A1)パーフルオロオレフィンと、(A2)パーフルオロビニルエーテルと、(A3)ニトリル基を有するフッ化オレフィン、ニトリル基を有するフッ化ビニルエーテル及びその混合物からなる群から選択された硬化部位モノマーの共重合単位とを含み、かつ、前記(A3)硬化部位モノマーを1.0〜8.0モル%の割合で含むパーフルオロエラストマー100質量部と、(B)特定の架橋剤0.1〜10質量部とを含む組成物を成形架橋したパーフルオロエラストマー成形体。
【選択図】なし
Description
(1)(A)(A1)パーフルオロオレフィンと、(A2)パーフルオロ(アルキルビニル)エーテル、パーフルオロ(アルコキシビニル)エーテル及びその混合物からなる群から選択されたパーフルオロビニルエーテルと、(A3)ニトリル基を有するフッ化オレフィン、ニトリル基を有するフッ化ビニルエーテル及びその混合物からなる群から選択される硬化部位モノマーの共重合単位とを含み、かつ、前記(A3)硬化部位モノマーを1.0〜8.0モル%の割合で含むパーフルオロエラストマー100質量部と、
(B)下記一般式(a)で表される架橋剤0.1〜10質量部と
を含む組成物を成形架橋してなることを特徴とする耐ハロゲンガス性パーフルオロエラストマー成形体。
(2)前記(A3)硬化部位モノマーの含有量が2.0〜4.0モル%であることを特徴とする上記(1)記載のパーフルオロエラストマー成形体。
(3)充填材を1〜20質量部の割合で含むことを特徴とする上記(1)または(2)に記載のパーフルオロエラストマー成形体。
(4)前記充填材が、カーボンブラック、シリカ、硫酸バリウム、二酸化チタン、半晶質フルオロポリマー、パーフルオロポリマーの何れ1つ又は2つ以上からなることを特徴とする上記(3)に記載のパーフルオロエラストマー成形体。
(5)上記(1)〜(4)の何れか1項に記載のパーフルオロエラストマー成形体からなることを特徴とする半導体製造装置用シール材料。
(6)上記(1)〜(4)の何れか1項に記載のパーフルオロエラストマー成形体からなることを特徴とする液晶製造装置用シール材料。
表1に記載の配合に従い、各成分をオープンロールで混練した後、190℃の温度で20分間熱処理して1次架橋し、次いで240℃で48時間熱処理をして2次架橋を行い成形した。成形体の形状は100mm×100mm×6mmtのシート及びOリング(JISP−26)とした。
過酸化物架橋タイプのダイキン工業製パーフルオロエラストマー「ダイエルGA55」を用い、170℃の温度で10分間熱処理して1次架橋し、次いで180℃で4時間熱処理をして2次架橋を行い成形した。成形体の形状は100mm×100mm×6mmtのシート及びOリング(JISP−26)とした。
<評価方法>
・ 引張強さ及び伸び:JIS K6251に準じた。
・ 圧縮永久歪 :JIS K6262に準じた。但し、条件は200℃×72時間である。
・ フッ素ガス暴露試験:JIS P−26Oリングを切断して一本の断面円形の線状体とし、そこから長さ50mmの線分を切り出し、更に軸線方向に2分割して半筒状の試験片を得た。そして、試験片をチャンバー内にセットし、20%濃度のフッ素ガス(80%窒素)を導入後、チャンバー内を200℃に加温して1時間保持した。評価は、暴露前後における外観変化から、変化が無い場合を「◎」、試験片の角部に若干の丸みを帯びている場合を「○」、試験片表面全体が溶解している場合を「×」とした。
Claims (6)
- (A)(A1)パーフルオロオレフィンと、(A2)パーフルオロ(アルキルビニル)エーテル、パーフルオロ(アルコキシビニル)エーテル及びその混合物からなる群から選択されたパーフルオロビニルエーテルと、(A3)ニトリル基を有するフッ化オレフィン、ニトリル基を有するフッ化ビニルエーテル及びその混合物からなる群から選択される硬化部位モノマーの共重合単位とを含み、かつ、前記(A3)硬化部位モノマーを1.0〜8.0モル%の割合で含むパーフルオロエラストマー100質量部と、
(B)下記一般式(a)で表される架橋剤0.1〜10質量部と
を含む組成物を成形架橋してなることを特徴とする耐ハロゲンガス性パーフルオロエラストマー成形体。
- 前記(A3)硬化部位モノマーの含有量が2.0〜4.0モル%であることを特徴とする請求項1記載のパーフルオロエラストマー成形体。
- 充填材を1〜20質量部の割合で含むことを特徴とする請求項1または2に記載のパーフルオロエラストマー成形体。
- 前記充填材が、カーボンブラック、シリカ、硫酸バリウム、二酸化チタン、半晶質フルオロポリマー、パーフルオロポリマーの何れ1つ又は2つ以上からなることを特徴とする請求項3に記載のパーフルオロエラストマー成形体。
- 請求項1〜4の何れか1項に記載のパーフルオロエラストマー成形体からなることを特徴とする半導体製造装置用シール材料。
- 請求項1〜4の何れか1項に記載のパーフルオロエラストマー成形体からなることを特徴とする液晶製造装置用シール材料。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007199625A JP5164058B2 (ja) | 2007-07-31 | 2007-07-31 | 耐ハロゲンガス性パーフルオロエラストマー成形体及びシール材料 |
KR1020080073943A KR20090013074A (ko) | 2007-07-31 | 2008-07-29 | 할로겐 가스 내성 퍼플루오로 엘라스토머 성형품 및 실링재 |
US12/181,709 US20090036586A1 (en) | 2007-07-31 | 2008-07-29 | Halogen gas-resistant perfluoro elastomer molded article and sealing material |
TW097128741A TW200914472A (en) | 2007-07-31 | 2008-07-30 | Halogen gas-resistant perfluoro elastomer molded article and sealing material |
ITRM2008A000414A IT1390894B1 (it) | 2007-07-31 | 2008-07-30 | Articolo stampato di perfluoroelastomero resistente al gas alogeno e materiale di sigillatura. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007199625A JP5164058B2 (ja) | 2007-07-31 | 2007-07-31 | 耐ハロゲンガス性パーフルオロエラストマー成形体及びシール材料 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009035601A true JP2009035601A (ja) | 2009-02-19 |
JP5164058B2 JP5164058B2 (ja) | 2013-03-13 |
Family
ID=40338762
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007199625A Expired - Fee Related JP5164058B2 (ja) | 2007-07-31 | 2007-07-31 | 耐ハロゲンガス性パーフルオロエラストマー成形体及びシール材料 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090036586A1 (ja) |
JP (1) | JP5164058B2 (ja) |
KR (1) | KR20090013074A (ja) |
IT (1) | IT1390894B1 (ja) |
TW (1) | TW200914472A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114058143B (zh) * | 2021-12-22 | 2022-12-13 | 浙江博瑞中硝科技有限公司 | 一种用于氟气管道在线测试泄露的密封件组合物及其制备方法 |
CN117659600A (zh) * | 2024-02-02 | 2024-03-08 | 上海森桓新材料科技有限公司 | 一种耐高温全氟醚弹性体组合物的制备方法 |
CN118006062A (zh) * | 2024-02-29 | 2024-05-10 | 惠州市协同橡塑材料有限公司 | 一种耐高温全氟醚橡胶组合物及其制备方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000029479A1 (fr) * | 1998-11-13 | 2000-05-25 | Daikin Industries, Ltd. | Elastomere fluore et composition associee reticulable |
JP2002003677A (ja) * | 2000-04-18 | 2002-01-09 | Nippon Mektron Ltd | 含フッ素エラストマー組成物 |
JP2002515525A (ja) * | 1998-05-20 | 2002-05-28 | デュポン ダウ エラストマーズ エルエルシー | 熱的に安定したパーフルオロエラストマー組成物 |
JP2003055577A (ja) * | 2001-08-22 | 2003-02-26 | Daikin Ind Ltd | 改質無機フィラー |
JP2005048193A (ja) * | 1996-11-25 | 2005-02-24 | E I Du Pont De Nemours & Co | 硬化性パーフルオロエラストマー組成物 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2833645B2 (ja) * | 1994-10-21 | 1998-12-09 | 日本メクトロン株式会社 | 含フッ素エラストマー組成物 |
US6114452A (en) * | 1996-11-25 | 2000-09-05 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Perfluoroelastomer composition having excellent heat stability |
-
2007
- 2007-07-31 JP JP2007199625A patent/JP5164058B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-07-29 KR KR1020080073943A patent/KR20090013074A/ko not_active Application Discontinuation
- 2008-07-29 US US12/181,709 patent/US20090036586A1/en not_active Abandoned
- 2008-07-30 IT ITRM2008A000414A patent/IT1390894B1/it active
- 2008-07-30 TW TW097128741A patent/TW200914472A/zh unknown
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005048193A (ja) * | 1996-11-25 | 2005-02-24 | E I Du Pont De Nemours & Co | 硬化性パーフルオロエラストマー組成物 |
JP2002515525A (ja) * | 1998-05-20 | 2002-05-28 | デュポン ダウ エラストマーズ エルエルシー | 熱的に安定したパーフルオロエラストマー組成物 |
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JP2003055577A (ja) * | 2001-08-22 | 2003-02-26 | Daikin Ind Ltd | 改質無機フィラー |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ITRM20080414A1 (it) | 2009-02-01 |
US20090036586A1 (en) | 2009-02-05 |
JP5164058B2 (ja) | 2013-03-13 |
IT1390894B1 (it) | 2011-10-19 |
TW200914472A (en) | 2009-04-01 |
KR20090013074A (ko) | 2009-02-04 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121211 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151228 Year of fee payment: 3 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151228 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |