JP2009028876A - 研削装置及び研削装置の観察方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石が配設された研削ホイールを有する研削手段と、研削領域に研削水を供給する研削水供給手段とを備えた研削装置であって、前記チャックテーブルに保持されたウエーハの研削によって発生する研削屑を含んだ研削水によって研削状態を観察する観察手段を具備したことを特徴とする。
【選択図】図4
Description
16 研削手段(研削ユニット)
24 スピンドル
26 サーボモータ
30 研削ホイール
34 研削砥石
36 ホース
42 研削水供給ノズル
50 チャックテーブルユニット
54 チャックテーブル
92 排水口
94 pHセンサ
96 濃度センサ
98 温度センサ
100 コントローラ
102 表示手段
Claims (6)
- ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石が配設された研削ホイールを有する研削手段と、研削領域に研削水を供給する研削水供給手段とを備えた研削装置であって、
前記チャックテーブルに保持されたウエーハの研削によって発生する研削屑を含んだ研削水によって研削状態を観察する観察手段を具備したことを特徴とする研削装置。 - 前記観察手段は、研削屑を含んだ研削水のpHを検出するpH検出部を有している請求項1記載の研削装置。
- 前記観察手段は、研削屑を含んだ研削水の濃度を検出する濃度検出部を有している請求項1又は2記載の研削装置。
- 前記観察手段は、研削屑を含んだ研削水の温度を検出する温度検出部を有している請求項1〜3のいずれかに記載の研削装置。
- 前記観察手段は、前記研削ホイールのドレッシング時期を観察する請求項1〜4のいずれかに記載の研削装置。
- ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石が配設された研削ホイールを有する研削手段と、研削領域に研削水を供給する研削水供給手段とを備えた研削装置の観察方法であって、
前記チャックテーブルに保持されたウエーハの研削によって発生する研削屑を含んだ研削水によって研削状態を観測することを特徴とする研削装置の観察方法。
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