JP2009026985A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板2の表面には、ホトダイオードから成る受光素子3が形成されている。また、受光素子3で変換された電気信号を増幅するためのトランジスタ素子等から成る集積回路4が形成されている。半導体基板2の側面及び裏面全体は絶縁膜10で被覆されている。絶縁膜10上には、パッド電極6と電気的に接続された配線層11が形成されている。配線層11上には電極接続層12及びバンプ電極14が形成されている。実装基板20上にはランド22が形成されている。ランド22は、半導体チップ1の実装時において、半導体基板2の裏面のうち金属層(配線層11,電極接続層12,バンプ電極14)で覆われていない領域を覆うように形成されている。
【選択図】図4
Description
5 絶縁膜 6 パッド電極 7 パッシベーション膜 8 接着層
9 支持体 10 絶縁膜 11 配線層 12 電極接続層
13 保護層 14 バンプ電極 20 実装基板 21 導電層
22 ランド 23 接触部 25 半導体装置 30 半導体チップ
31 受光素子 35 半導体チップ 36 ダミー受光素子
40 半導体チップ 41 電極接続層 42 バンプ電極 45 実装基板
46 ランド 47 遮光層 100 半導体チップ 101 半導体基板
102 受光素子 103 パッド電極 104 絶縁膜
105 パッシベーション膜 106 支持体 107 接着層
108 絶縁膜 109 配線層 110 保護層 111 バンプ電極
Claims (6)
- 実装基板上に実装された半導体チップを備える半導体装置であって、
前記半導体チップは、表面に受光素子が形成された半導体基板と、
前記半導体基板の裏面上に部分的に形成され、前記受光素子と電気的に接続された裏面電極を含む金属層とを備え、
前記実装基板は、その表面上に、前記裏面電極と接続され、かつ前記実装基板の裏面方向から前記半導体基板の表面方向に入射される光を遮断する導電層を備え、
前記導電層は、前記半導体基板の裏面のうち前記金属層で覆われていない領域を覆うように形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記金属層は、前記受光素子の全体を覆うことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記金属層は、前記受光素子の一部を覆い、
前記導電層は、前記受光素子のうち前記金属層で覆われていない領域を覆うことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記半導体基板の表面のうち、前記金属層及び前記導電層のいずれにも覆われていない領域に、前記受光素子とは電気的に接続されておらず、前記受光素子の動作に影響を与えないダミー受光素子を備えることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の半導体装置。
- 実装基板上に実装された半導体チップを備える半導体装置であって、
前記半導体チップは、表面に受光素子が形成された半導体基板と、
前記半導体基板の側面に隣接して形成され、前記受光素子と電気的に接続された電極とを備え、
前記実装基板の表面上には、前記電極と接続され、かつ前記実装基板の裏面方向から前記半導体基板の表面方向に入射される光を遮断する導電層を備え、
前記導電層は、前記受光素子の全体を覆うことを特徴とする半導体装置。 - 前記実装基板の裏面上に、前記受光素子の全体を覆う遮光層を備えることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の半導体装置。
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