JP2006080381A - Ccd型撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 フォトダイオードの素子分離領域となるP+型拡散層の上の酸化膜をエッチングで取り除き、P+型拡散層と、フォトダイオードの周囲上層の金属遮光膜とをコンタクト電極により接続する。P+型拡散層の上の酸化膜が取り去られていることにより、酸化膜が導波管となってクロストークを引き起こす現象が防止される。コンタクト電極がP+型拡散層に列状に接続されていることにより、P+拡散層の周囲にあるフォトダイオードの電荷が蓄積される部分に対する製造過程のダメージが防止される。
【選択図】図2
Description
2…CCDシフトレジスタ
3…読み出しゲート電極
4…P+型拡散層
5…N型シリコン基板
6…P型ウェル
7…N−型拡散層
8…P+型拡散層
9…酸化膜
10…層間膜
11…金属遮光膜
12…コンタクト
13…保護膜
Claims (7)
- 撮像される光が入射する受光部と、
前記受光部に周期的に設けられる金属遮光膜と、
前記光から光電変換により電荷を取り出す複数のフォトダイオードと、
前記複数のフォトダイオードの間を分離するチャネルストップ領域と、
前記金属遮光膜と前記チャネルストップ領域とに接触し、前記フォトダイオードとは接触しないコンタクト電極
とを具備する
固体撮像装置。 - 請求項1に記載された固体撮像装置であって、
前記コンタクト電極は、前記金属遮光膜と前記チャネルストップ領域とを電気的に接続し、前記フォトダイオードとは電気的に絶縁されている
固体撮像装置。 - 請求項2に記載された固体撮像装置であって、
前記金属遮光膜は、一定の電位に保たれている
固体撮像装置。 - 請求項1から3のうちのいずれか1項に記載された固体撮像装置であって、
更に、前記フォトダイオードの傍らに延設された読み出し電極
を具備し、
複数の前記フォトダイオードは1辺が読み出し電極の方向を向くように列をなして配列され、
前記コンタクト電極は前記フォトダイオードの周囲のうち前記読み出し電極の方向に向いていない場所に列をなして配列され、前記チャンネルストップ領域と接続している
固体撮像装置。 - 請求項4に記載された固体撮像装置であって、
前記フォトダイオードは基板と法線を共にする四辺形をなし、
前記コンタクト電極は、前記フォトダイオードの周囲の4辺のうち、前記読み出し電極に向いていない3辺のうちの少なくとも1辺に沿って設けられている
固体撮像装置。 - 請求項4に記載された固体撮像装置であって、
前記コンタクト電極は、読み出し電極のある側を除く三方からコの字状に前記フォトダイオードを囲んで前記チャネルストップ領域と接続している
固体撮像装置。 - 入射光を光電変換する複数のフォトダイオードと、前記複数のフォトダイオードの各々を分離するためのチャネルストップ領域と、前記フォトダイオードを囲むように壁状に形成され、且つ、前記チャネルストップ領域に接触し前記フォトダイオードとは離れているコンタクト電極と、前記コンタクト電極と接触する金属遮蔽膜とを具備する固体撮像装置。
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
JP2006086407A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
JP2009026985A (ja) * | 2007-07-20 | 2009-02-05 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0465460U (ja) * | 1990-10-16 | 1992-06-08 | ||
JPH04279061A (ja) * | 1991-03-07 | 1992-10-05 | Toshiba Corp | 固体撮像素子の製造方法 |
JPH07153932A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-06-16 | Sony Corp | 固体撮像装置 |
JPH0818091A (ja) * | 1994-06-30 | 1996-01-19 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 複数のフォトダイオードを有する半導体光電変換素子 |
JPH10189925A (ja) * | 1996-12-20 | 1998-07-21 | Nec Corp | 固体撮像装置 |
JPH11177078A (ja) * | 1997-12-10 | 1999-07-02 | Sony Corp | Ccd固体撮像素子 |
JP2002043555A (ja) * | 2000-04-21 | 2002-02-08 | Canon Inc | 固体撮像装置 |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0465460U (ja) * | 1990-10-16 | 1992-06-08 | ||
JPH04279061A (ja) * | 1991-03-07 | 1992-10-05 | Toshiba Corp | 固体撮像素子の製造方法 |
JPH07153932A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-06-16 | Sony Corp | 固体撮像装置 |
JPH0818091A (ja) * | 1994-06-30 | 1996-01-19 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 複数のフォトダイオードを有する半導体光電変換素子 |
JPH10189925A (ja) * | 1996-12-20 | 1998-07-21 | Nec Corp | 固体撮像装置 |
JPH11177078A (ja) * | 1997-12-10 | 1999-07-02 | Sony Corp | Ccd固体撮像素子 |
JP2002043555A (ja) * | 2000-04-21 | 2002-02-08 | Canon Inc | 固体撮像装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006086407A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
JP4599960B2 (ja) * | 2004-09-17 | 2010-12-15 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子 |
JP2009026985A (ja) * | 2007-07-20 | 2009-02-05 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置 |
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