JP2010056245A - 半導体撮像素子及びその製造方法、電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】白点を抑止することができ、安定し形成することができる半導体撮像素子を提供する。
【解決手段】半導体基体30に形成された第1導電型の半導体領域21と、半導体基体30上に形成された転送ゲート23と、第1導電型の半導体領域21に形成されたフォトダイオード領域34、及び、第2導電型のフローティングディフュージョン領域31とを備える半導体撮像素子を構成する。この半導体撮像素子には、転送ゲート23及びフォトダイオード領域34上に絶縁層27が形成され、この絶縁層27を貫通して転送ゲート23に接続するコンタクトプラグ28が形成されている。さらに、このコンタクトプラグ28に接続され、ゲート電極23からフォトダイオード領域34までの絶縁層27を覆う導電体層29が形成されている。
【選択図】図3
【解決手段】半導体基体30に形成された第1導電型の半導体領域21と、半導体基体30上に形成された転送ゲート23と、第1導電型の半導体領域21に形成されたフォトダイオード領域34、及び、第2導電型のフローティングディフュージョン領域31とを備える半導体撮像素子を構成する。この半導体撮像素子には、転送ゲート23及びフォトダイオード領域34上に絶縁層27が形成され、この絶縁層27を貫通して転送ゲート23に接続するコンタクトプラグ28が形成されている。さらに、このコンタクトプラグ28に接続され、ゲート電極23からフォトダイオード領域34までの絶縁層27を覆う導電体層29が形成されている。
【選択図】図3
Description
本発明は、特に、MOS型の半導体撮像素子及びその製造方法、並びに、この半導体撮像素子を有する電子機器に関する。
半導体撮像素子において、白点の抑制は大きな課題となっている。この課題に対して、例えば、第2導電型の信号電荷を蓄積する領域最表面に、第1導電型の正孔蓄積領域を形成する構造の半導体撮像素子が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
また、第1導電型の正孔蓄積領域上に、バッファ膜を介して負電荷を有する電荷保持膜を形成する構造により、正孔蓄積領域に正孔を誘起することができる半導体素子が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
しかしながら、上述の第2導電型の信号電荷を蓄積する領域最表面に、第1導電型の正孔蓄積領域を形成する構造のように、第1導電型の正孔蓄積領域を形成したのみでは、半導体撮像素子の白点抑制が不十分である。
また、孔蓄積領域に正孔を誘起するために、第1導電型の正孔蓄積領域上に、バッファ膜を介して負電荷を有する電荷保持膜を形成する構造では、素子製造過程における膜中電荷量変動などにより、正孔蓄積領域に安定して正孔を誘起することが困難である。
また、孔蓄積領域に正孔を誘起するために、第1導電型の正孔蓄積領域上に、バッファ膜を介して負電荷を有する電荷保持膜を形成する構造では、素子製造過程における膜中電荷量変動などにより、正孔蓄積領域に安定して正孔を誘起することが困難である。
上述した問題の解決のため、本発明においては、白点を抑止することができ、安定し形成することができる半導体撮像素子を提供するものである。
本発明の半導体撮像素子は、半導体基体に形成された第1導電型の半導体領域と、半導体基体上に形成された転送ゲートと、第1導電型の半導体領域に形成されたフォトダイオード領域、及び、第2導電型のフローティングディフュージョン領域とを備える。そして、転送ゲート及びフォトダイオード領域上に絶縁層が形成され、この絶縁層を貫通して転送ゲートに接続するコンタクトプラグが形成されている。さらに、このコンタクトプラグに接続され、ゲート電極からフォトダイオード領域までの絶縁層を覆う導電体層が形成されている。
また、本発明の半導体撮像素子の製造方法は、半導体基体に、第1導電型の半導体領域、フォトダイオード領域、フローティングディフュージョン領域を形成する工程と、第1導電型の半導体領域上に、転送ゲートを形成する工程とを備える。さらに、この転送ゲートにサイドウォールを形成する工程と、転送ゲート及びフォトダイオード領域上を覆う絶縁層、及び絶縁層を覆う導電体層を形成する工程と、転送ゲートと導電体層とを電気的に接続するコンタクトプラグを形成する工程とを備える。
また、本発明の電子機器は、上述の本発明の半導体撮像素子と、導体撮像素子の撮像部に入射光を導く光学系と、半導体撮像素子の出力信号を処理する信号処理回路とを備える。
本発明の半導体撮像素子、及び、半導体撮像素子の製造方法によれば、フォトダイオード領域上に、絶縁層を介して、転送ゲートと電気的に接続されて同期する導電体層が形成されている。この構成では、転送ゲートがOFFの時に、転送ゲートとこれに同期する導電体層にマイナス電圧が印加され、フォトダイオード領域の表面側に正孔が誘起される。このため、フォトダイオード領域と絶縁物の界面で発生する暗電流の発生を抑制することができる。そして、白点の発生を抑制した半導体撮像素子を提供することができる。
また、白点を抑制するための構成として、コンタクトプラグに電気的に接続する導電体層を、フォトダイオード領域上に形成する。このため、電荷保持膜のような特別な構成を設ける必要がないため、半導体撮像素子の白点を抑制するための構成を安定して形成することが可能である。
また、本発明の電子機器によれば、上記本発明の半導体撮像素子を備えることにより、白点を抑制し、画質の向上が図れる。
また、白点を抑制するための構成として、コンタクトプラグに電気的に接続する導電体層を、フォトダイオード領域上に形成する。このため、電荷保持膜のような特別な構成を設ける必要がないため、半導体撮像素子の白点を抑制するための構成を安定して形成することが可能である。
また、本発明の電子機器によれば、上記本発明の半導体撮像素子を備えることにより、白点を抑制し、画質の向上が図れる。
本発明によれば、白点の発生を抑制することができ、正孔蓄積領域に安定して正孔を誘起することが可能な半導体撮像素子、及び、この半導体撮像素子を備えた電子機器を提供することができる。
以下、本発明を実施するための最良の形態の例を説明するが、本発明は以下の例に限定されるものではない。
本実施の形態は、以下の順序で説明する。
1.半導体撮像素子の画素部及び周辺回路部の構成
2.半導体撮像素子の第1の実施の形態
3.第1の実施の形態の半導体撮像素子の製造方法
4.半導体撮像素子の第2の実施の形態
5.第2の実施の形態の半導体撮像素子の製造方法
6.半導体撮像素子を有する電子機器の実施の形態
本実施の形態は、以下の順序で説明する。
1.半導体撮像素子の画素部及び周辺回路部の構成
2.半導体撮像素子の第1の実施の形態
3.第1の実施の形態の半導体撮像素子の製造方法
4.半導体撮像素子の第2の実施の形態
5.第2の実施の形態の半導体撮像素子の製造方法
6.半導体撮像素子を有する電子機器の実施の形態
1.半導体撮像素子の画素部及び周辺回路部の構成の説明
まず、図1に本実施の形態の半導体撮像素子の画素部及び周辺回路部を示す。なお、本実施例では、半導体撮像素子をMOS型イメージセンサに適用した場合について説明する。
まず、図1に本実施の形態の半導体撮像素子の画素部及び周辺回路部を示す。なお、本実施例では、半導体撮像素子をMOS型イメージセンサに適用した場合について説明する。
図1に、本発明に適用される半導体撮像素子、すなわちCMOS半導体撮像素子の一例の概略構成を示す。
本例の半導体撮像素子10は、半導体基体11例えばシリコン基板に複数の光電変換素子を含む画素12が規則的に2次元的に配列された画素部(いわゆる撮像領域)13と、周辺回路部とを有して構成される。画素12は、光電変換素子となる例えばフォトダイオードと、複数の画素トランジスタ(いわゆるMOSトランジスタ)を有して成る。複数の画素トランジスタは、例えば転送トランジスタ、リセットトランジスタ、増幅トランジスタ及び選択トランジスタの4つのトランジスタで構成することができる。その他、例えば選択トランジスタを省略して3つのトランジスタで構成することもできる。これら単位画素の等価回路は通常と同様であるので、詳細説明を省略する。
周辺回路部は、垂直駆動回路14と、カラム信号処理回路15と、水平駆動回路16と、出力回路17と、制御回路18等から構成される。
制御回路18は、垂直同期信号、水平同期信号及びマスタクロックに基づいて、垂直駆動回路14、カラム信号処理回路15及び水平駆動回路16等の動作の基準となるクロック信号や制御信号を生成し、これらの信号を垂直駆動回路14、カラム信号処理回路15及び水平駆動回路16等に入力する。
垂直駆動回路14は、例えばシフトレジスタによって構成され、画素部13の各画素12を行単位で順次垂直方向に選択走査し、垂直信号線19を通して各画素12の光電変換素子となる例えばフォトダイオードにおいて受光量に応じて生成した信号電荷に基く画素信号をカラム信号処理回路15に供給する。
カラム信号処理回路15は、画素12の例えば列ごとに配置されており、1行分の画素12から出力される信号を画素列ごとに黒基準画素(有効画素領域の周囲に形成される)からの信号によってノイズ除去などの信号処理を行う。すなわちカラム信号処理回路15は、画素12固有の固定パターンノイズを除去するためのCDSや、信号増幅等の信号処理を行う。カラム信号処理回路15の出力段には水平選択スイッチ(図示せず)が水平信号線20との間に接続されて設けられる。
水平駆動回路16は、例えばシフトレジスタによって構成され、水平走査パルスを順次出力することによって、カラム信号処理回路15の各々を順番に選択し、カラム信号処理回路15の各々から画素信号を水平信号線20に出力させる。
出力回路17は、カラム信号処理回路15の各々から水平信号線20を通して順次に供給される信号に対し、信号処理を行って出力する。
出力回路17は、カラム信号処理回路15の各々から水平信号線20を通して順次に供給される信号に対し、信号処理を行って出力する。
また、本例では表面照射型の半導体撮像素子としているので、画素部13及び周辺回路部が形成された基板の表面側の上方に、層間絶縁膜を介して多層配線層が形成される。画素部13では、多層配線層の上に平坦化膜を介してオンチップカラーフィルタ、さらにその上にオンチップマイクロレンズが形成される。撮像領域の画素部以外の領域、より詳しくは、周辺回路部と撮像領域のフォトダイオード(いわゆる受光部)を除く他部領域とに遮光膜が形成される。この遮光膜は、例えば多層配線層の最上層の配線層で形成することができる。
なお、後述するが、裏面照射型の半導体撮像素子では光入射面(いわゆる受光面)側の裏面上には多層配線層はない。多層配線層は受光面と反対側の表面側に形成される。
また、本実施の形態に係る半導体撮像素子、特にその転送トランジスタの構成は、上述のCMOS半導体撮像素子に適用されるものであるが、この例に限るものではない。
また、本実施の形態に係る半導体撮像素子、特にその転送トランジスタの構成は、上述のCMOS半導体撮像素子に適用されるものであるが、この例に限るものではない。
2.半導体撮像素子の第1の実施の形態
図2及び図3に、本発明の第1実施の形態に係る半導体撮像素子を示す。図2及び図3では、第1の実施の形態に係る半導体撮像素子に形成される画素領域及び周辺回路領域から、例として画素領域に形成される1つの転送トランジスタを用いて説明する。また、図2では、上述の図1に示した構成の半導体基体11、例えばシリコン基板に形成した画素部13の転送トランジスタを示した平面図である。そして、図3では、各画素に形成される転送トランジスタの断面図を示す。
なお、半導体撮像素子には、画素領域及び周辺回路領域において、転送トランジスタ以外に複数のトランジスタが形成され、それぞれ必要に応じて2個又は3個以上のトランジスタが形成されている。
図2及び図3に、本発明の第1実施の形態に係る半導体撮像素子を示す。図2及び図3では、第1の実施の形態に係る半導体撮像素子に形成される画素領域及び周辺回路領域から、例として画素領域に形成される1つの転送トランジスタを用いて説明する。また、図2では、上述の図1に示した構成の半導体基体11、例えばシリコン基板に形成した画素部13の転送トランジスタを示した平面図である。そして、図3では、各画素に形成される転送トランジスタの断面図を示す。
なお、半導体撮像素子には、画素領域及び周辺回路領域において、転送トランジスタ以外に複数のトランジスタが形成され、それぞれ必要に応じて2個又は3個以上のトランジスタが形成されている。
図2Aに示すように転送トランジスタには、転送ゲートとなるゲート電極23の周囲にサイドウォール26が形成されている。そして、このゲート電極23を挟んで対向する位置に、フォトダイオード(PD)領域34とフローティングディフュージョン(FD)領域31とが形成されている。
この転送トランジスタは、PD領域34とFD領域31との間に形成されたゲート電極23に電圧を加えることにより、PD領域34で光電変換されて蓄積された電荷信号が、FD領域31に転送される構成である。
この転送トランジスタは、PD領域34とFD領域31との間に形成されたゲート電極23に電圧を加えることにより、PD領域34で光電変換されて蓄積された電荷信号が、FD領域31に転送される構成である。
転送トランジスタは、図2Bに示すように、ゲート電極23、サイドウォール26、FD領域31、及び、PD領域34の全面を覆って、画素部分のサリサイドブロック膜を兼ねることが可能な第1の絶縁層27が形成されている。さらに、ゲート電極23、サイドウォール26、及び、PD領域34上の第1の絶縁層27を覆う導電体層29が形成されている。そして、ゲート電極23上には、導電体層29とゲート電極23とを電気的に接続するコンタクトプラグ(CS)28が形成されている。
また、図3に示すように、この転送トランジスタには、第2導電型、例えばn型の半導体基体30に形成された第1導電型、例えばp型の半導体領域(p−well)21が形成されている。そして、第1導電型の半導体領域21上に、ゲート絶縁層22を介して、転送ゲートとなるポリシリコン等によるゲート電極23が形成されている。
また、ゲート電極23の側面には、サイドウォール26が形成されている。サイドウォール26は、ゲート電極23の側面に形成されている第2の絶縁層24と、第2の絶縁層24を介して形成される第3の絶縁層25とからなる。
第2の絶縁層24は、例えば、減圧CVD法により形成されたTEOS(Tetraethoxysilane)(LP−TEOS)層からなる。
また、第3の絶縁層25は、例えば、LP−TEOS層上に減圧CVD法により形成されたSiN(LP−SiN)層からなる。
第2の絶縁層24は、例えば、減圧CVD法により形成されたTEOS(Tetraethoxysilane)(LP−TEOS)層からなる。
また、第3の絶縁層25は、例えば、LP−TEOS層上に減圧CVD法により形成されたSiN(LP−SiN)層からなる。
また、ゲート電極23を挟んで対向する位置の第1導電型の半導体領域21に、フローティングディフュージョン(FD)領域31と、フォトダイオード(PD)領域34が形成されている。
FD領域31は、第1導電型の半導体領域21よりも高い濃度で不純物、例えばリン(P)が導入された第2導電型(n+)の半導体領域からなる。
また、PD領域34は、電荷蓄積領域32と、サイドウォール36が形成された部分の下部を除き、PD領域34の表面に形成された正孔蓄積領域33とから構成される。なお、正孔蓄積領域33は、例えば、熱拡散による導入された不純物の領域の拡散等により、サイドウォール36の下部に延在させた構成とすることができる。
電荷蓄積領域32は、第1導電型の半導体領域21よりも高い濃度で不純物、例えばリン(P)が導入された第2導電型(n+)の半導体領域からなる。また、正孔蓄積領域33は、第1導電型の半導体領域21よりも高い濃度で不純物、例えばボロン(B)が導入された第1導電型(p+)の半導体領域からなる。
また、PD領域34は、電荷蓄積領域32と、サイドウォール36が形成された部分の下部を除き、PD領域34の表面に形成された正孔蓄積領域33とから構成される。なお、正孔蓄積領域33は、例えば、熱拡散による導入された不純物の領域の拡散等により、サイドウォール36の下部に延在させた構成とすることができる。
電荷蓄積領域32は、第1導電型の半導体領域21よりも高い濃度で不純物、例えばリン(P)が導入された第2導電型(n+)の半導体領域からなる。また、正孔蓄積領域33は、第1導電型の半導体領域21よりも高い濃度で不純物、例えばボロン(B)が導入された第1導電型(p+)の半導体領域からなる。
また、この転送トランジスタでは、ゲート電極23、サイドウォール26及び半導体基体30上を覆う、第1の絶縁層27が形成されている。さらに、ゲート電極23上から、PD領域34上の第1の絶縁層27までを覆う導電体層29が形成されている。
さらに、ゲート電極23と電気的に接続するコンタクトプラグ(CS)28が、第1の絶縁層27及び導電体層29を貫通して形成されている。そして、CS28により、ゲート電極23と導電体層29とが電気的に接続され、同期する構成である。また、CS28は、図示しない配線と接続されてゲート電極23に電力を供給する。
さらに、ゲート電極23と電気的に接続するコンタクトプラグ(CS)28が、第1の絶縁層27及び導電体層29を貫通して形成されている。そして、CS28により、ゲート電極23と導電体層29とが電気的に接続され、同期する構成である。また、CS28は、図示しない配線と接続されてゲート電極23に電力を供給する。
上述の構成では、第1の絶縁層27は、この第1の絶縁層27上に形成する導電体層29と、PD領域34に形成される正孔蓄積領域33とに対するバッファ層となる。
また、第1の絶縁層27は、例えば、半導体撮像素子上に形成するサリサイドブロック膜として作用させることができる。半導体撮像素子の画素部以外の部分の図示しない周辺トランジスタ領域等には、抵抗低減のためにシリコンをサリサイド化する必要がある。このため、サリサイド化する周辺トランジスタ領域等には、第1の絶縁層27を形成せずにサリサイド化を行う。このとき、上述の転送トランジスタを含む画素部等の、サリサイド化を行わない部分に第1の絶縁層27を形成することにより、サリサイド化を防ぐことができる。
なお、第1の絶縁層27をサリサイドブロック膜として使用せず、第1の絶縁層27以外のサリサイドブロック膜を画素部に形成することも可能である。但し、第1の絶縁層27以外のサリサイドブロック膜を形成する場合には、サリサイドブロック膜を形成するための工程が増加する。
また、第1の絶縁層27は、例えば、半導体撮像素子上に形成するサリサイドブロック膜として作用させることができる。半導体撮像素子の画素部以外の部分の図示しない周辺トランジスタ領域等には、抵抗低減のためにシリコンをサリサイド化する必要がある。このため、サリサイド化する周辺トランジスタ領域等には、第1の絶縁層27を形成せずにサリサイド化を行う。このとき、上述の転送トランジスタを含む画素部等の、サリサイド化を行わない部分に第1の絶縁層27を形成することにより、サリサイド化を防ぐことができる。
なお、第1の絶縁層27をサリサイドブロック膜として使用せず、第1の絶縁層27以外のサリサイドブロック膜を画素部に形成することも可能である。但し、第1の絶縁層27以外のサリサイドブロック膜を形成する場合には、サリサイドブロック膜を形成するための工程が増加する。
上述の構成の半導体撮像素子によれば、PD領域34上にバッファ層となる第1の絶縁層27を介して、ゲート電極23と電気的に接続された導電体層29が形成されている。このため、例えば、ゲート電極23がOFFの場合に印加されるマイナスの電圧、例えば−1.6Vにより、導電体層29の下部に形成された正孔蓄積領域33に、正孔を誘起することができる。このため、正孔蓄積領域33のp型が強化され、PD領域34と第1の絶縁層27との界面で発生する暗電流の発生を抑制することができ、白点を抑制することができる。
また、ゲート電極23がONの場合に印加されるプラスの電圧、例えば3.2Vにより、第1の絶縁層27下に電子が励起され、正孔蓄積領域29の正孔蓄積が弱まるため、読み出し効率が上がり、残像抑制効果が得られる。
このように、PD領域34に形成された正孔蓄積領域33を制御し、白点を抑制することができる。
また、ゲート電極23がONの場合に印加されるプラスの電圧、例えば3.2Vにより、第1の絶縁層27下に電子が励起され、正孔蓄積領域29の正孔蓄積が弱まるため、読み出し効率が上がり、残像抑制効果が得られる。
このように、PD領域34に形成された正孔蓄積領域33を制御し、白点を抑制することができる。
また、上述の構成の半導体撮像素子では、白点を抑制するための構成として、コンタクトプラグ28によりゲート電極23と電気的に接続する導電体層29を、第1の絶縁層27を介してフォトダイオード領域34上に形成する。このため、従来の半導体撮像素子にフォトダイオードの正孔蓄積領域に正孔を誘起させるために構成されていた、電荷保持膜のような特別な構成を設ける必要がない。また、ゲート電極と電気的に接続する導電体層は、従来から半導体装置の製造に用いられている導電体、及び、半導体製造プロセスを用いて構成することができる。従って、半導体撮像素子の白点を抑制するための構成を安定して形成することが可能である。
なお、上述の転送トランジスタにおいて、PD領域34には、正孔蓄積領域33が形成されていない場合にも、導電体層29によるPD領域内の正孔の誘起及び電子の励起を行うことができ、白点の抑制及び残像抑制効果を得ることができる。このため、PD領域34を、電荷蓄積領域32のみで構成し、正孔蓄積領域33を形成しなくてもよい。
しかし、正孔蓄積領域33を設けることにより、PD領域34の表面の暗電流を抑制することができる。さらに、ゲート電極23がOFFの場合にマイナスの電圧を印加する際に、正孔の誘起を効果的に行うことができる。このため、白点の抑制及び残像抑制をより効果的に行うことができる。
しかし、正孔蓄積領域33を設けることにより、PD領域34の表面の暗電流を抑制することができる。さらに、ゲート電極23がOFFの場合にマイナスの電圧を印加する際に、正孔の誘起を効果的に行うことができる。このため、白点の抑制及び残像抑制をより効果的に行うことができる。
3.第1の実施の形態の半導体撮像素子の製造方法
次に、第1の実施の形態の半導体撮像素子の製造方法について説明する。
まず、第2導電型、例えばn型のシリコンからなる半導体基体30上に、例えばボロン(B)イオンを導入し、約1000℃でのアニールすることにより、第1導電型、例えばp型の半導体領域(p−well)21を形成する。
次に、第1の実施の形態の半導体撮像素子の製造方法について説明する。
まず、第2導電型、例えばn型のシリコンからなる半導体基体30上に、例えばボロン(B)イオンを導入し、約1000℃でのアニールすることにより、第1導電型、例えばp型の半導体領域(p−well)21を形成する。
そして、第1導電型の半導体領域21内に、第1導電型の半導体領域21よりも高い濃度で不純物、例えばリン(P)イオンを導入し、約1000℃でアニールすることにより、第2導電型(n+)のフローティングディフュージョン(FD)領域31と、第2導電型(n+)の電荷蓄積領域32を形成する。
さらに、CVDを用いて、半導体基体30上に、例えばSiO2等の絶縁層と、ゲート電極となるポリシリコン層を形成する。そして、フォトリソグラフィを用いて、絶縁層とポリシリコン層からゲート電極23のパターンを形成する。
以上の工程により、図4に示すように、半導体基体30に第1導電型の半導体領域21、第2導電型のFD領域31及び電荷蓄積領域32を形成し、さらに、半導体基体30上にゲート電極23を形成する。
次に、図5に示すように、ゲート電極23の側面にサイドウォール26を形成し、電荷蓄積領域32に正孔蓄積領域33を形成する。
サイドウォール26の形成は、例えば、半導体基体30及びゲート電極23上に、減圧CVD法によりTEOS(Tetraethoxysilane)(LP−TEOS)層24を20nmを形成する。さらに、LP−TEOS層24上に、減圧CVD法によりSiN(LP−SiN)層25を100nm形成する。そして、CF4系のガスを用いて、LP−TEOS層24とLP−SiN層25のドライエッチングを行う。
そして、サイドウォール26を形成した後、電荷蓄積領域32に、第1導電型の半導体領域21よりも高い濃度で不純物、例えばボロンイオンを導入し、約1000℃でアニールすることにより、第1導電型(p+)の正孔蓄積領域33を形成する。
サイドウォール26の形成は、例えば、半導体基体30及びゲート電極23上に、減圧CVD法によりTEOS(Tetraethoxysilane)(LP−TEOS)層24を20nmを形成する。さらに、LP−TEOS層24上に、減圧CVD法によりSiN(LP−SiN)層25を100nm形成する。そして、CF4系のガスを用いて、LP−TEOS層24とLP−SiN層25のドライエッチングを行う。
そして、サイドウォール26を形成した後、電荷蓄積領域32に、第1導電型の半導体領域21よりも高い濃度で不純物、例えばボロンイオンを導入し、約1000℃でアニールすることにより、第1導電型(p+)の正孔蓄積領域33を形成する。
次に、図6に示すように、ゲート電極23、サイドウォール26及び半導体基体30上を覆う第1の絶縁層27を形成する。
この第1の絶縁層27は、半導体撮像素子の画素部に形成するサリサイドブロック膜を兼用することができる。
第1の絶縁層27は、例えば、減圧CVD法を用いてLP−TEOS層10nmとLP−SiN層10nmとを積層して形成する。
この第1の絶縁層27は、半導体撮像素子の画素部に形成するサリサイドブロック膜を兼用することができる。
第1の絶縁層27は、例えば、減圧CVD法を用いてLP−TEOS層10nmとLP−SiN層10nmとを積層して形成する。
半導体撮像素子の画素部以外の部分の図示しない周辺トランジスタ領域等は、抵抗低減のためにシリコンをサリサイド化する必要がある。このため、サリサイド化する周辺トランジスタ領域等は、例えばCF4系のガスを用いたドライエッチングにより、第1の絶縁層27を除去する。そして、サリサイド化する周辺トランジスタ領域等に、例えばスパッタ等により、Co層を形成した後、アニール等によってCoシリサイドを形成する。
このとき、画素部などに第1の絶縁層27を形成することにより、サリサイド化を防ぐ。
なお、第1の絶縁層27をサリサイドブロック膜として使用せず、別の工程において第1の絶縁層27以外とは異なるサリサイドブロック膜を形成することも可能である。
第1の絶縁層27をサリサイドブロック膜として使用することにより、半導体撮像素子の製造工程数の増加を抑制することができる。
このとき、画素部などに第1の絶縁層27を形成することにより、サリサイド化を防ぐ。
なお、第1の絶縁層27をサリサイドブロック膜として使用せず、別の工程において第1の絶縁層27以外とは異なるサリサイドブロック膜を形成することも可能である。
第1の絶縁層27をサリサイドブロック膜として使用することにより、半導体撮像素子の製造工程数の増加を抑制することができる。
次に、図7に示すように、ゲート電極23上から、電荷蓄積領域32及び正孔蓄積領域33上までの第1の絶縁層27を覆う導電体層29を形成する。
導電体層29は、可視光に対して透過率の高い材料を用いて、例えば、20nmに形成する。可視光に対して透過率の高い材料としては、例えば、従来から半導体装置に透明電極として使用されているITO(In2O3)やPDAS(P doped amorphous Si)を使用することができる。
また、導電体層29としては、光の透過性を考慮した3nm以下の金属薄膜を用いることもできる。金属薄膜としては、例えば、Ir,Re,Ni,Pd,Co,Ru,Rh,Os,Au等の金属、及び、これらの金属の合金を使用することができる。
また、導電体層29は、形成後にフォトリソグラフィによるパターン形成とドライエッチングにて、上述の図2A,Bに示した構成のように、ゲート電極23上から電荷蓄積領域32上までの部分以外を除去する。
導電体層29は、可視光に対して透過率の高い材料を用いて、例えば、20nmに形成する。可視光に対して透過率の高い材料としては、例えば、従来から半導体装置に透明電極として使用されているITO(In2O3)やPDAS(P doped amorphous Si)を使用することができる。
また、導電体層29としては、光の透過性を考慮した3nm以下の金属薄膜を用いることもできる。金属薄膜としては、例えば、Ir,Re,Ni,Pd,Co,Ru,Rh,Os,Au等の金属、及び、これらの金属の合金を使用することができる。
また、導電体層29は、形成後にフォトリソグラフィによるパターン形成とドライエッチングにて、上述の図2A,Bに示した構成のように、ゲート電極23上から電荷蓄積領域32上までの部分以外を除去する。
次に、図8に示すように、半導体基体30上に層間絶縁層35と、コンタクトプラグ(CS)28を形成する。
層間絶縁層35としては、例えば、半導体基体30上にゲート電極23等を覆ってNSG(Non-Doped Silicate Glass)層を500nm形成した後、NSG層をCMP等により平坦化することで形成する。
そして、層間絶縁層35を形成した後、コンタクトプラグ(CS)28を形成する。この際、ゲート電極23と接続するCS28と、ゲート電極23上に形成されている導電体層29とを接続する。CS28と導電体層29とを接続することにより、ゲート電極23と導電体層29とが電気的に接続され、同電位となる。
層間絶縁層35としては、例えば、半導体基体30上にゲート電極23等を覆ってNSG(Non-Doped Silicate Glass)層を500nm形成した後、NSG層をCMP等により平坦化することで形成する。
そして、層間絶縁層35を形成した後、コンタクトプラグ(CS)28を形成する。この際、ゲート電極23と接続するCS28と、ゲート電極23上に形成されている導電体層29とを接続する。CS28と導電体層29とを接続することにより、ゲート電極23と導電体層29とが電気的に接続され、同電位となる。
以上の工程により、第1の実施の形態の半導体撮像素子を製造することができる。
上述の製造方法では、第1の絶縁層27により、バッファ層とサリサイドブロック層を兼ねることができる。このため、従来の導電体層29を形成しない半導体撮像素子に比べて、導電体層29の形成、導電体層29のフォトリソグラフィ及びパターニング、導電体層29のドライエッチング、及び、後処理の4工程の増加のみで、上述の半導体撮像素子を製造することができる。このため、工程数の増加を抑え、少ない工程数で白点を抑制することが可能な半導体撮像素子を製造することができる。
上述の製造方法では、第1の絶縁層27により、バッファ層とサリサイドブロック層を兼ねることができる。このため、従来の導電体層29を形成しない半導体撮像素子に比べて、導電体層29の形成、導電体層29のフォトリソグラフィ及びパターニング、導電体層29のドライエッチング、及び、後処理の4工程の増加のみで、上述の半導体撮像素子を製造することができる。このため、工程数の増加を抑え、少ない工程数で白点を抑制することが可能な半導体撮像素子を製造することができる。
そして、ゲート電極23と同期する導電体層29を、第1の絶縁層27を介して正孔蓄積領域33及び電荷蓄積領域32からなるPD領域34上に形成することにより、ゲート電極23がOFFの場合にゲート電極にマイナスの電圧、例えば−1.6Vを印加することにより、フォトダイオード領域の表面に正孔を誘起することができる。このため、フォトダイオード領域と絶縁物の界面で発生する暗電流の発生を抑制することができ、白点を抑制することができる。
また、ゲート電極がONの場合にゲート電極にプラスの電圧、例えば3.2Vを印加することにより、フォトダイオード領域の表面に電子を励起することができる。このため、正孔蓄積領域33の正孔蓄積が弱まるため、読み出し効率が上がり残像抑制効果が得られる。
また、ゲート電極がONの場合にゲート電極にプラスの電圧、例えば3.2Vを印加することにより、フォトダイオード領域の表面に電子を励起することができる。このため、正孔蓄積領域33の正孔蓄積が弱まるため、読み出し効率が上がり残像抑制効果が得られる。
また、上述の構成の半導体撮像素子の製造方法では、白点を抑制するための構成として、コンタクトプラグによりゲート電極と電気的に接続する導電体層を、絶縁層を介してフォトダイオード領域上に形成する。この導電体層の形成は、来から半導体装置の製造に用いられている導電体、及び、半導体製造プロセスを用いて構成することができるため、安定して形成することが可能である。
4.半導体撮像素子の第2の実施の形態
次に、本発明の半導体撮像素子の第2の実施の形態について説明する。なお、以下の説明において、図2及び図3に示した半導体撮像素子の第1の実施の形態と同じ構成には、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
次に、本発明の半導体撮像素子の第2の実施の形態について説明する。なお、以下の説明において、図2及び図3に示した半導体撮像素子の第1の実施の形態と同じ構成には、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
図9A及び図10に、本発明の第2実施の形態に係る半導体撮像素子を示す。図9A及び図10では、第2の実施の形態に係る半導体撮像素子に形成される画素領域及び周辺回路領域から、例として画素領域に形成される1つの転送トランジスタを用いて説明する。また、図9Aでは、図1に示した構成の半導体基体11、例えばシリコン基板に形成した画素部13の要部を示した平面図である。そして、図10では、各画素に形成される転送トランジスタの断面図を示す。
なお、半導体撮像素子には、画素領域及び周辺回路領域において、転送トランジスタ以外に複数のトランジスタが形成され、それぞれ必要に応じて2個又は3個以上のトランジスタが形成されている。
なお、半導体撮像素子には、画素領域及び周辺回路領域において、転送トランジスタ以外に複数のトランジスタが形成され、それぞれ必要に応じて2個又は3個以上のトランジスタが形成されている。
図9Aに示すように転送トランジスタには、転送ゲートとなるゲート電極23の周囲にサイドウォール36が形成されている。そして、このゲート電極23を挟んで対向する位置に、フォトダイオード(PD)領域34とフローティングディフュージョン(FD)領域31とが形成されている。
図9Aに示す第2の実施の形態の半導体撮像素子と、図2に示した第1の実施の形態の半導体撮像素子とは、サイドウォール36の構成が異なる。
第1の実施の形態では、ゲート電極の周囲を囲んでサイドウォールが形成されているのに対し、第2の実施の形態では、ゲート電極23のPD領域34と接する側において、PD領域34上のサイドウォール36の一部が除去された構成である。
このような構成とすることにより、PD領域34の面積を大きくすることができ、半導体撮像素子の光感度を向上させることができる。
図9Aに示す第2の実施の形態の半導体撮像素子と、図2に示した第1の実施の形態の半導体撮像素子とは、サイドウォール36の構成が異なる。
第1の実施の形態では、ゲート電極の周囲を囲んでサイドウォールが形成されているのに対し、第2の実施の形態では、ゲート電極23のPD領域34と接する側において、PD領域34上のサイドウォール36の一部が除去された構成である。
このような構成とすることにより、PD領域34の面積を大きくすることができ、半導体撮像素子の光感度を向上させることができる。
また、第2の実施の形態の半導体撮像素子では、PD領域34の面積をより大きくするために、図9Bに示すように、ゲート電極23のPD領域34と接する側のサイドウォール36をすべて除去し、PD領域34上にサイドウォール36を形成していない構成とすることもできる。
この場合には、PD領域34上のサイドウォール36がすべて除去されている構成のため、PD領域34の面積をより大きくすることができ、半導体撮像素子の光感度をさらに向上させることができる。
この場合には、PD領域34上のサイドウォール36がすべて除去されている構成のため、PD領域34の面積をより大きくすることができ、半導体撮像素子の光感度をさらに向上させることができる。
また、図10に示すように、この転送トランジスタには、第2導電型、例えばn型の半導体基体30に形成された第1導電型、例えばp型の半導体領域(p−well)21が形成されている。そして、第1導電型の半導体領域21上に、ゲート絶縁層22を介して、転送ゲートとなるポリシリコン等によるゲート電極23が形成されている。
また、ゲート電極23を挟んで対向する位置の第1導電型の半導体領域21に、フローティングディフュージョン(FD)領域31と、フォトダイオード(PD)領域34が形成されている。
また、ゲート電極23を挟んで対向する位置の第1導電型の半導体領域21に、フローティングディフュージョン(FD)領域31と、フォトダイオード(PD)領域34が形成されている。
そして、ゲート電極23の側面には、サイドウォール36がPD領域34の上部を除いて形成されている。サイドウォール36は、ゲート電極23の側面に形成されている第2の絶縁層37と、第2の絶縁層37を介して形成される第3の絶縁層38とからなる。
また、PD領域34は、電荷蓄積領域32と、ゲート電極23が形成された部分を除いて電荷蓄積領域32の表面に形成された正孔蓄積領域39とから構成される。
また、PD領域34は、電荷蓄積領域32と、ゲート電極が形成された部分を除いて電荷蓄積領域32の表面に形成された正孔蓄積領域33とから構成される。なお、正孔蓄積領域33は、例えば、熱拡散による導入された不純物の領域の拡散等により、ゲート電極23の下部に延在させた構成とすることができる。
また、PD領域34は、電荷蓄積領域32と、ゲート電極が形成された部分を除いて電荷蓄積領域32の表面に形成された正孔蓄積領域33とから構成される。なお、正孔蓄積領域33は、例えば、熱拡散による導入された不純物の領域の拡散等により、ゲート電極23の下部に延在させた構成とすることができる。
このように、第2の実施の形態の半導体撮像素子では、第1の実施の形態の半導体撮像素子に比べ、電荷蓄積領域32の表面に形成される正孔蓄積領域39の面積が大きくなっている。この構成によれば、正孔蓄積領域39を形成することにより、電荷蓄積領域32の表面から発生する暗電流を抑制することができる。そして、正孔蓄積領域39が形成される面積を大きくすることにより、電荷蓄積領域32の表面をより広く覆うことができる。このため、PD領域34と第1の絶縁層41との界面で発生する暗電流の発生を、さらに抑制することができ、白点の発生を抑制することが可能な半導体撮像装置を構成することができる。
また、この転送トランジスタでは、ゲート電極23、サイドウォール26及び半導体基体30上を覆う、第1の絶縁層41が形成されている。さらに、ゲート電極23上から、PD領域34上の第1の絶縁層27までを覆う導電体層42が形成されている。
そして、PD領域34上にはサイドウォール36が形成されていないため、ゲート電極23のPD領域34側において第1の絶縁層41は、ゲート電極23の側面に接触した状態で形成される。そして、第1の絶縁層41上に導電体層42が形成されているため、導電体層42は、PD領域34の表面に形成される正孔蓄積領域39上を、第1の絶縁層41を挟んで覆うように形成される。
さらに、ゲート電極23と電気的に接続するコンタクトプラグ(CS)28が、形成され、このCS28により、ゲート電極23と導電体層29とが電気的に接続される。
そして、PD領域34上にはサイドウォール36が形成されていないため、ゲート電極23のPD領域34側において第1の絶縁層41は、ゲート電極23の側面に接触した状態で形成される。そして、第1の絶縁層41上に導電体層42が形成されているため、導電体層42は、PD領域34の表面に形成される正孔蓄積領域39上を、第1の絶縁層41を挟んで覆うように形成される。
さらに、ゲート電極23と電気的に接続するコンタクトプラグ(CS)28が、形成され、このCS28により、ゲート電極23と導電体層29とが電気的に接続される。
上述の第2の実施の形態の半導体撮像素子の構成では、第1の実施の形態の半導体撮像素子の構成と同様に、第1の絶縁層41は、この第1の絶縁層41上に形成する導電体層42と、PD領域34に形成される正孔蓄積領域39とに対するバッファ層となる。
また、第1の絶縁層41は、半導体撮像素子上に形成するサリサイドブロック膜として作用させることが可能である。
また、上述の第2の実施の形態の半導体撮像素子の構成によれば、PD領域34上にバッファ層となる第1の絶縁層41を介して、ゲート電極23と電気的に接続された導電体層42が、正孔蓄積領域39上に形成されている。このため、第1の実施の形態の半導体撮像素子と同様に、ゲート電極23がOFFの場合に正孔蓄積領域39に、正孔を誘起することができる。このため、正孔蓄積領域39の正孔蓄積が強化され、PD領域34と第1の絶縁物41の界面で発生する暗電流の発生を抑制し、半導体撮像素子の白点を抑制することができる。
また、ゲート電極23がONの場合に第1の絶縁層41の下に電子が励起され、正孔蓄積領域39の正孔蓄積が弱まるため、読み出し効率が上がり残像抑制効果が得られる。
また、第1の絶縁層41は、半導体撮像素子上に形成するサリサイドブロック膜として作用させることが可能である。
また、上述の第2の実施の形態の半導体撮像素子の構成によれば、PD領域34上にバッファ層となる第1の絶縁層41を介して、ゲート電極23と電気的に接続された導電体層42が、正孔蓄積領域39上に形成されている。このため、第1の実施の形態の半導体撮像素子と同様に、ゲート電極23がOFFの場合に正孔蓄積領域39に、正孔を誘起することができる。このため、正孔蓄積領域39の正孔蓄積が強化され、PD領域34と第1の絶縁物41の界面で発生する暗電流の発生を抑制し、半導体撮像素子の白点を抑制することができる。
また、ゲート電極23がONの場合に第1の絶縁層41の下に電子が励起され、正孔蓄積領域39の正孔蓄積が弱まるため、読み出し効率が上がり残像抑制効果が得られる。
なお、上述の転送トランジスタにおいて、PD領域34には、正孔蓄積領域39が形成されていない場合にも、導電体層42によるPD領域内の正孔の誘起及び電子の励起を行うことができ、白点の抑制及び残像抑制効果を得ることができる。
しかし、正孔蓄積領域39を設けることにより、PD領域34の表面の暗電流を抑制することができる。さらに、ゲート電極23がOFFの場合にマイナスの電圧を印加する際に、正孔の誘起を効果的に行うことができる。このため、白点の抑制及び残像抑制をより効果的に行うことができる。
また、第2の実施の形態の半導体撮像素子では、正孔蓄積領域39をゲート電極23の下部まで延在させることにより、第1の実施の形態の半導体撮像素子よりも正孔蓄積領域も広くしている。しかし、第1の実施の形態の半導体撮像素子と同じ面積の正孔蓄積領域を形成しても、白点の抑制及び残像抑制効果を得ることができる。
しかし、正孔蓄積領域39を設けることにより、PD領域34の表面の暗電流を抑制することができる。さらに、ゲート電極23がOFFの場合にマイナスの電圧を印加する際に、正孔の誘起を効果的に行うことができる。このため、白点の抑制及び残像抑制をより効果的に行うことができる。
また、第2の実施の形態の半導体撮像素子では、正孔蓄積領域39をゲート電極23の下部まで延在させることにより、第1の実施の形態の半導体撮像素子よりも正孔蓄積領域も広くしている。しかし、第1の実施の形態の半導体撮像素子と同じ面積の正孔蓄積領域を形成しても、白点の抑制及び残像抑制効果を得ることができる。
5.第2の実施の形態の半導体撮像素子の製造方法
次に、第2の実施の形態の半導体撮像素子の製造方法について説明する。
なお、第2の実施の形態の半導体撮像素子の製造方法において、第1導電型の半導体領域21、FD領域31、電荷蓄積領域32、ゲート絶縁層22、及び、ゲート電極23を形成する工程は、図4を用いて説明した第1の実施の形態と同じ工程であるため、説明を省略する。
次に、第2の実施の形態の半導体撮像素子の製造方法について説明する。
なお、第2の実施の形態の半導体撮像素子の製造方法において、第1導電型の半導体領域21、FD領域31、電荷蓄積領域32、ゲート絶縁層22、及び、ゲート電極23を形成する工程は、図4を用いて説明した第1の実施の形態と同じ工程であるため、説明を省略する。
まず、図11に示すように、ゲート電極23の側面にサイドウォール36を形成し、電荷蓄積領域32の表面に正孔蓄積領域39を形成する。
サイドウォール36は、図5を用いて説明した第1の実施の形態と同じ工程により、ゲート電極23の周囲を囲むサイドウォールを形成した後、電荷蓄積領域32上のサイドウォールを除去して形成する。
そして、サイドウォール36を形成した後、電荷蓄積領域32に、第1導電型の半導体領域21よりも高い濃度で不純物、例えばボロンイオンを導入し、約1000℃でアニールすることにより、第1導電型(p+)の正孔蓄積領域39を形成する。このとき、電荷蓄積領域32上のサイドウォール36が形成されてないため、電荷蓄積領域32のゲート電極23の真下付近まで不純物を導入することができ、熱拡散によりゲート電極23の下部まで延在させることができる。
サイドウォール36は、図5を用いて説明した第1の実施の形態と同じ工程により、ゲート電極23の周囲を囲むサイドウォールを形成した後、電荷蓄積領域32上のサイドウォールを除去して形成する。
そして、サイドウォール36を形成した後、電荷蓄積領域32に、第1導電型の半導体領域21よりも高い濃度で不純物、例えばボロンイオンを導入し、約1000℃でアニールすることにより、第1導電型(p+)の正孔蓄積領域39を形成する。このとき、電荷蓄積領域32上のサイドウォール36が形成されてないため、電荷蓄積領域32のゲート電極23の真下付近まで不純物を導入することができ、熱拡散によりゲート電極23の下部まで延在させることができる。
そして、図6及び図7を用いて説明した第1の実施の形態と同様に、第1の絶縁層41、及び、導電体層42を形成する。このときにも、PD領域34上にサイドウォール36が形成されていないため、ゲート電極23のPD領域34側において、第1の絶縁層41をゲート電極23の側面に接触するように形成する。そして、第1の絶縁層41上に導電体層42を形成することにより、導電体層42をPD領域34の表面に形成される正孔蓄積領域39上を、第1の絶縁層41を挟んで覆うように形成する。
さらに、第1の絶縁層41及び導電体層42を形成した後、図8を用いて説明した第1の実施の形態と同様に、コンタクトプラグ28を形成することにより、図10に示した構成の半導体撮像素子を製造することができる。
さらに、第1の絶縁層41及び導電体層42を形成した後、図8を用いて説明した第1の実施の形態と同様に、コンタクトプラグ28を形成することにより、図10に示した構成の半導体撮像素子を製造することができる。
また、図11に示した構成のサイドウォール36は、上記と異なる方法で形成することもできる。
例えば、まず、第1の実施の形態と同様に、半導体基体30に、第1導電型の半導体領域21、FD領域31、電荷蓄積領域32、ゲート絶縁層22、及び、ゲート電極23を形成する。
そして、図12に示すように、電荷蓄積領域32に正孔蓄積領域39を形成した後、半導体基体30及びゲート電極23上に、第1の酸化物層43、窒化物層44、及び、第2の酸化物層45をこの順に積層し、さらに、第2の酸化物層45上にレジスト層46を形成する。
例えば、まず、第1の実施の形態と同様に、半導体基体30に、第1導電型の半導体領域21、FD領域31、電荷蓄積領域32、ゲート絶縁層22、及び、ゲート電極23を形成する。
そして、図12に示すように、電荷蓄積領域32に正孔蓄積領域39を形成した後、半導体基体30及びゲート電極23上に、第1の酸化物層43、窒化物層44、及び、第2の酸化物層45をこの順に積層し、さらに、第2の酸化物層45上にレジスト層46を形成する。
正孔蓄積領域39は、電荷蓄積領域32に第1導電型の半導体領域21よりも高い濃度で不純物、例えばボロンイオンを導入し、約1000℃でアニールすることにより、第1導電型(p+)の半導体領域を形成する。
また、第1の酸化物層43は、例えば、減圧CVD法によりTEOS(LP−TEOS)層40nmを形成する。
窒化物層44は、LP−TEOS層上に、減圧CVD法によりSiN(LP−SiN)層を60nm形成する。
第2の酸化物層45は、減圧CVD法によりTEOS(LP−TEOS)層10nmを形成する。
さらに、第2の酸化物層45上に、PD領域34を開口するパターンのレジスト層46を形成する。
また、第1の酸化物層43は、例えば、減圧CVD法によりTEOS(LP−TEOS)層40nmを形成する。
窒化物層44は、LP−TEOS層上に、減圧CVD法によりSiN(LP−SiN)層を60nm形成する。
第2の酸化物層45は、減圧CVD法によりTEOS(LP−TEOS)層10nmを形成する。
さらに、第2の酸化物層45上に、PD領域34を開口するパターンのレジスト層46を形成する。
次に、図13に示すように、レジスト層46のパターンに従って上層の第2の酸化物層45を、例えばCF4系のガスを用いて、ドライエッチングにより除去する。さらに、レジスト層46をドライエッチングにより剥離する。
次に、図14に示すように、HOTリン酸を用いたウェットエッチングを行い、第2の酸化物層45から露出する窒化物層44を除去する。このとき、ゲート電極23上において、第2の酸化物層45の端部より内側の窒化物層が、HOTリン酸が潜り込むことにより浸食される。このため、第2の酸化物層45の端部よりも内側まで窒化物層44がエッチングされる。
次に、図15に示すように、希フッ酸(DHF)を用いたウェットエッチングにより、第2の酸化物層45を除去する。このとき、窒化物層44から露出する下層の第1の酸化物層43も、上層の第2の酸化物層45と同程度の厚さ、例えば10nmがウェットエッチングにより除去される。また、窒化物層44端部の下に希フッ酸が潜りこむことにより、窒化物層44から露出していない、窒化物層44端部の下方の第1の酸化物層43が、第2の酸化物層45と同程度の厚さ、例えば10nm程度エッチングにより除去される。
次に、窒化物層44を、ドライエッチング等の異方性エッチングを用いてエッチングをすることにより、図16に示すように、サイドウォール36を構成する絶縁層38を形成することができる。このとき、窒化物層44のエッチングは、第1の酸化物層43とのエッチング選択比が大きい、例えばCH2F2ガス等を用いることにより、窒化物層44を選択的にエッチングすることができる。
そして、下層の第1の酸化物層43を、希フッ酸(DHF)を用いたウェットエッチングにより除去し、図11に示したサイドウォール36を形成することができる。
そして、図6及び図7を用いて説明した第1の実施の形態と同様に、第1の絶縁層41、及び、導電体層42を形成する。このとき、ゲート電極23のPD領域34と接する側のサイドウォールが除去された構成であるため、ゲート電極23のPD領域34側において第1の絶縁層41は、ゲート電極23の側面に接触した状態で形成される。
さらに、第1の絶縁層41及び導電体層42を形成した後、図8を用いて説明した第1の実施の形態と同様に、コンタクトプラグ28を形成することにより、図10に示した構成の半導体撮像素子を製造することができる。
そして、図6及び図7を用いて説明した第1の実施の形態と同様に、第1の絶縁層41、及び、導電体層42を形成する。このとき、ゲート電極23のPD領域34と接する側のサイドウォールが除去された構成であるため、ゲート電極23のPD領域34側において第1の絶縁層41は、ゲート電極23の側面に接触した状態で形成される。
さらに、第1の絶縁層41及び導電体層42を形成した後、図8を用いて説明した第1の実施の形態と同様に、コンタクトプラグ28を形成することにより、図10に示した構成の半導体撮像素子を製造することができる。
6.半導体撮像素子を有する電子機器の実施の形態
本発明に係る半導体撮像素子は、半導体撮像素子を備えたカメラ、カメラ付き携帯機器、半導体撮像素子を備えたその他の機器、等の電子機器に適用することができる。
図17に、本発明の電子機器の一例としてカメラに適用した実施の形態を示す。本実施の形態に係るカメラ50は、光学系(光学レンズ)51と、半導体撮像素子52と、信号処理回路53とを備える。半導体撮像素子52は、上述した各実施の形態のいずれか1つの半導体撮像素子が適用される。光学系51は、被写体からの像光(入射光)を半導体撮像素子52の撮像面上に結像させる。これにより、半導体撮像素子52の光電変換素子において一定期間信号電荷が蓄積される。信号処理回路53は、半導体撮像素子52の出力信号に対して種々の信号処理を施して出力する。本実施の形態のカメラ50は、光学系51、半導体撮像素子52、信号処理回路53がモジュール化したカメラモジュールの形態を含む。
本発明に係る半導体撮像素子は、半導体撮像素子を備えたカメラ、カメラ付き携帯機器、半導体撮像素子を備えたその他の機器、等の電子機器に適用することができる。
図17に、本発明の電子機器の一例としてカメラに適用した実施の形態を示す。本実施の形態に係るカメラ50は、光学系(光学レンズ)51と、半導体撮像素子52と、信号処理回路53とを備える。半導体撮像素子52は、上述した各実施の形態のいずれか1つの半導体撮像素子が適用される。光学系51は、被写体からの像光(入射光)を半導体撮像素子52の撮像面上に結像させる。これにより、半導体撮像素子52の光電変換素子において一定期間信号電荷が蓄積される。信号処理回路53は、半導体撮像素子52の出力信号に対して種々の信号処理を施して出力する。本実施の形態のカメラ50は、光学系51、半導体撮像素子52、信号処理回路53がモジュール化したカメラモジュールの形態を含む。
本発明は、図17のカメラ、あるいはカメラモジュールを備えた例えば携帯電話に代表されるカメラ付き携帯機器などを構成することができる。
さらに、図17の構成は、光学系51、半導体撮像素子52、信号処理回路53がモジュール化した撮像機能を有するモジュール、いわゆる撮像機能モジュ−ルとして構成することができる。本発明は、このような撮像機能モジュールを備えた電子機器を構成することができる。
本実施の形態に係る電子機器によれば、半導体撮像素子における画素特性が優れており、高画質が得られ、高性能の電子機器を提供することができる。
さらに、図17の構成は、光学系51、半導体撮像素子52、信号処理回路53がモジュール化した撮像機能を有するモジュール、いわゆる撮像機能モジュ−ルとして構成することができる。本発明は、このような撮像機能モジュールを備えた電子機器を構成することができる。
本実施の形態に係る電子機器によれば、半導体撮像素子における画素特性が優れており、高画質が得られ、高性能の電子機器を提供することができる。
なお、上述の半導体撮像素子では、第2導電型、例えばn型の半導体基体に形成した第1導電型、例えばp型の半導体領域に、第2導電型のFD領域と、第2導電型及び第1導電型のPD領域を形成しているが、n型とp型とを逆導電型としてもよい。
本発明は、上述の構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲でその他様々な構成が取り得る。
10,52 半導体撮像素子、11,30 半導体基体、12 画素、13 画素部、14 垂直駆動回路、15 カラム信号処理回路、16 水平駆動回路、17 出力回路、18 制御回路、19 垂直信号線、20 水平信号線、21 第1導電型の半導体領域、22 ゲート絶縁層、23 ゲート電極、24,37 第2の絶縁層、25,38 第3の絶縁層、26,36 サイドウォール、27,41 第1の絶縁層、28 コンタクトプラグ(CS)、29,42 導電体層、31 フローティングディフュージョン(FD)領域、32 電荷蓄積領域、33,39 正孔蓄積領域、34 フォトダイオード(PD)領域、35 層間絶縁層、43 第1の酸化物層、44 窒化物層、45 第2の酸化物層、46 レジスト層、50 カメラ、51 光学系、53 信号処理回路
Claims (9)
- 半導体基体に形成された第1導電型の半導体領域と
前記半導体基体上に形成された転送ゲートと、
前記第1導電型の半導体領域に形成されたフォトダイオード領域、及び、第2導電型のフローティングディフュージョン領域と、
前記転送ゲート及び前記フォトダイオード領域上を覆う絶縁層と、
前記絶縁層を貫通して前記転送ゲートに接続するコンタクトプラグと、
前記コンタクトプラグに接続され、前記ゲート電極から前記フォトダイオード領域までの前記絶縁層を覆う導電体層と
を備える半導体撮像素子。 - 前記フォトダイオード領域に、信号電荷を蓄積する第2導電型の電荷蓄積領域と、前記電荷蓄積領域の表面に形成されている第1導電型の正孔蓄積領域とを備える請求項1記載の半導体撮像素子。
- 前記絶縁層が、前記フォトダイオード領域のサリサイドブロック膜である請求項1記載の半導体撮像素子。
- 前記転送ゲートは、前記フォトダイオード領域側を除いてサイドウォールを備え、前記絶縁層と前記転送ゲートが、前記フォトダイオード領域側の側面に接触している請求項1記載の半導体撮像素子。
- 半導体基体に、第1導電型の半導体領域を形成する工程と、
前記第1導電型の半導体領域に、フォトダイオード領域、及び、第2導電型のフローティングディフュージョン領域を形成する工程と、
前記前記第1導電型の半導体領域上に、転送ゲートを形成する工程と、
前記転送ゲートにサイドウォールを形成する工程と、
前記転送ゲート及び前記フォトダイオード領域上を覆う絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層上に、前記ゲート電極から前記フォトダイオード領域までの前記絶縁層を覆う導電体層を形成する工程と、
前記転送ゲートと前記導電体層とを電気的に接続するコンタクトプラグを形成する工程と
を備える半導体撮像素子の製造方法。 - 前記フォトダイオード領域を形成する工程が、前記第1導電型の半導体領域に信号電荷を蓄積する第2導電型の電荷蓄積領域を形成する工程と、前記電荷蓄積領域の表面に第1導電型の正孔蓄積領域を形成する工程とからなる請求項5に記載の半導体撮像素子の製造方法。
- 前記フォトダイオード領域上において、少なくとも一部のサイドウォールを除去する工程を備える請求項5記載の半導体撮像素子の製造方法。
- 前記転送ゲートにサイドウォールを形成する工程が、第1の酸化物層、窒化物層、及び、第2の酸化物層からなる積層構造を形成する工程からなり、前記フォトダイオード領域上のサイドウォールを除去する工程が、前記フォトダイオード領域上の前記第2の酸化物層を除去する工程と、前記窒化物層を異方性エッチングにより除去する工程と、前記第2の酸化物層を除去する工程とからなる請求項7記載の半導体撮像素子の製造方法。
- 半導体基体に形成された第1導電型の半導体領域と
前記半導体基体上に形成された転送ゲートと、
前記第1導電型の半導体領域に形成されたフォトダイオード領域、及び、第2導電型のフローティングディフュージョン領域と、
前記転送ゲート及び前記フォトダイオード領域上を覆う絶縁層と、
前記絶縁層を貫通して前記転送ゲートに接続するコンタクトプラグと、
前記コンタクトプラグに接続され、前記ゲート電極から前記フォトダイオード領域までの前記絶縁層を覆う導電体層と、を備える半導体撮像素子と、
前記半導体撮像素子の撮像部に入射光を導く光学系と、
前記半導体撮像素子の出力信号を処理する信号処理回路と
を有する電子機器。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2008218806A JP2010056245A (ja) | 2008-08-27 | 2008-08-27 | 半導体撮像素子及びその製造方法、電子機器 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US8803204B1 (en) | 2013-02-04 | 2014-08-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Manufacturing method of solid-state image pickup device and solid-state image pickup device |
CN111584527A (zh) * | 2019-02-15 | 2020-08-25 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 图像传感器、像素传感器与其形成方法 |
-
2008
- 2008-08-27 JP JP2008218806A patent/JP2010056245A/ja active Pending
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