JP2009024838A - 密封構造体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】石英の板状脆性部材1を、金属のメインシール10と、金属の副シール20にて、弾発的遊離状態で、挾着保持する。
【選択図】図4
Description
その理由は、石英やセラミックは割れ易い(脆い)ため、弾性変形しやすいゴム材質が好適なものとして選定されていた。
そこで、これらの特性に優れた材質として金属を用いたメタル(金属)シールが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
また、石英又はセラミックから成る脆性部材の被密封用外縁部を、第1金属平坦面部・第2金属平坦面部にて、挾着保持すると共に、密封空間を区画形成する上記第1金属平坦面部と上記外縁部の一面の間に介設したメインシールと、上記第2金属平坦面部と上記外縁部の他面の間に介設した副シールとによって、上記脆性部材を上記第1金属平坦面部・第2金属平坦面部から弾発的遊離状態で挾着保持するように構成したものである。
また、上記メインシール及び副シールは、金属を主材とした圧縮弾性変形可能なメタルシールである。
また、上記メインシールは表面被覆層を有するメタルシールから成り、上記副シールは表面被覆層の省略されたメタルシールから成る。
また、上記メインシールと上記副シールの外形形状及び外形寸法を同一に設定した。
石英やセラミックの脆性部材は、線膨張係数の相違する第1金属平坦面部・第2金属平坦面部の間に、弾発的遊離状態として挾着保持され、第1・第2金属平坦面部の熱変形(熱歪)、ボルト締付による外力変形、加工精度上の形状寸法誤差による影響等が、脆性部材に加わらず、ヒートサイクルを繰返しても、優れたシール性能を、長期間にわたって発揮する。しかも、脆性部材の割れを防止できる。これによって、半導体や液晶の製造装置の高性能化及び高機能化に貢献できる。さらに言えば、比較的簡素な構成にて、これまで困難とされていた脆性部材に対する金属シール(メタルシール)の使用が可能となった。
図1と図4の実施の一形態に於て、1は石英(又はセラミック)から成る低線膨張係数の脆性部材である。この脆性部材1の被密封用外縁部(フランジ部)1Aは、上記低線膨張係数よりも大きい線膨張係数の第1金属平坦面部11と第2金属平坦面部12にて、(間接的に)挾着保持されている。
図1又は図4の上方から平面的に見た場合、脆性部材1は円形、あるいは、矩形や正方形や六角形や楕円等、その形状はいろいろある。また、半導体製造装置や液晶製造装置に用いられる、負圧(又は正圧)の密封空間2を備える。
このメインシール10は、図3(A),(B)又は(C)に例示するような金属を主材とした圧縮弾性変形可能なメタルシールである。
20は、押え部材7の第2金属平坦面部12と、脆性部材1の外縁部1Aの他面(上面)14との間に、介設される副シール(補助シール)であり、大気9側に配設されている。
この副シール(補助シール)20は、図3(A),(B)又は(C)に例示するような金属を主材とした圧縮弾性変形可能なメタルシールである。
そして、図1と図4で明らかなように、脆性部材1は、第1・第2金属平坦面部11, 12から、(メインシール10と副シール20の弾発的支持力によって)弾発的遊離状態で、挾着保持されている。
図2では、上方の(平板状の)金属部材15と、脆性部材1の外縁部(フランジ部)1Aの上面との間に、(前述の)メインシール10が介設され、このメインシール10は密封空間2を区画形成している。
また、図2では横断面L字型の金属製保持部材16と、上方の金属部材15によって凹周溝3が形成され、この凹周溝3内に、外縁部1Aが差込まれて保持される。
第2金属平坦面部12は、横断面L字型の金属製保持部材16の内方突出片部16aの上面が相当し、副シール20は、この第2金属平坦面部12と、外縁部1Aの下面との間に介設(介装)され、大気側に対応する。なお、一点鎖線にてボルト8を示し、このボルト8の締結によって、金属部材15と保持部材16は連結一体化される。
図2に示したメインシール10と副シール20も、金属を主材とした圧縮弾性変形可能なメタルシールであり、例えば、図3(A)(B)(C)に例示する。
また、図3(C)では、横断面矩形状の基本部から半円山型突部19, 19が突出した形状である。第1・第2金属平坦面部11, 12から矢印F,Fのような力を受けると矢印Mのように撚り変形し、その反対方向の弾発付勢力を生じて、上記突部19, 19が弾発的に相手面に圧接して、密封作用をなす。
なお、図3に例示した以外に、金属Oリングや金属Cリングや金属板製波形リング等を用いるも好ましい場合もある。
(i)押え部材7には元来の歪や形状寸法誤差が存在し、その場合、従来例(図5)では、その歪や形状寸法誤差が直接的に接触しているところの板状脆性部材40に影響し、この板状脆性部材40に歪(変形)を発生させ、メインシール10全周に不均等な当接を生じ、シール性能を悪化させていた。これに対し、本発明実施品(図4)では、押え部材7の元来持っている歪や形状寸法誤差が副シール(補助シール)20によって緩和(緩衝)され、メインシール10に対して全周に均等に脆性部材1が当接し、全体のシール性能が優秀な結果を示したと考えられる。
また、上記メインシール10と上記副シール20の外形形状及び外形寸法を同一に設定したので、脆性部材1の両面の外形が同一の位置にて弾発的に保持されて、脆性部材1に曲げモーメントが作用せず、脆性部材1の耐久性、及び、メインシール10の耐久性に好影響を与える。
1A 外縁部
2 密封空間
10 メインシール
11 第1金属平坦面部
12 第2金属平坦面部
13 一面
14 他面
20 副シール
Claims (5)
- 低線膨張係数の脆性部材(1)の被密封用外縁部(1A)を、上記低線膨張係数よりも大きい線膨張係数の第1金属平坦面部(11)・第2金属平坦面部(12)にて、挾着保持すると共に、密封空間(2)を区画形成する上記第1金属平坦面部(11)と上記外縁部(1A)の一面(13)の間に介設したメインシール(10)と、上記第2金属平坦面部(12)と上記外縁部(1A)の他面(14)の間に介設した副シール(20)とによって、上記脆性部材(1)を上記第1金属平坦面部(11)・第2金属平坦面部(12)から弾発的遊離状態で挾着保持するように構成したことを特徴とする密封構造体。
- 石英又はセラミックから成る脆性部材(1)の被密封用外縁部(1A)を、第1金属平坦面部(11)・第2金属平坦面部(12)にて、挾着保持すると共に、密封空間(2)を区画形成する上記第1金属平坦面部(11)と上記外縁部(1A)の一面(13)の間に介設したメインシール(10)と、上記第2金属平坦面部(12)と上記外縁部(1A)の他面(14)の間に介設した副シール(20)とによって、上記脆性部材(1)を上記第1金属平坦面部(11)・第2金属平坦面部(12)から弾発的遊離状態で挾着保持するように構成したことを特徴とする密封構造体。
- 上記メインシール(10)及び副シール(20)は、金属を主材とした圧縮弾性変形可能なメタルシールである請求項1又は2記載の密封構造体。
- 上記メインシール(10)は表面被覆層を有するメタルシールから成り、上記副シール(20)は表面被覆層の省略されたメタルシールから成る請求項1又は2記載の密封構造体。
- 上記メインシール(10)と上記副シール(20)の外形形状及び外形寸法を同一に設定した請求項1,2,3又は4記載の密封構造体。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007190969A JP4855356B2 (ja) | 2007-07-23 | 2007-07-23 | 密封構造体 |
TW97127690A TW200918792A (en) | 2007-07-23 | 2008-07-21 | Sealing structure |
PCT/JP2008/001949 WO2009013894A1 (ja) | 2007-07-23 | 2008-07-22 | 密封構造体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007190969A JP4855356B2 (ja) | 2007-07-23 | 2007-07-23 | 密封構造体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009024838A true JP2009024838A (ja) | 2009-02-05 |
JP4855356B2 JP4855356B2 (ja) | 2012-01-18 |
Family
ID=40281154
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007190969A Active JP4855356B2 (ja) | 2007-07-23 | 2007-07-23 | 密封構造体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4855356B2 (ja) |
TW (1) | TW200918792A (ja) |
WO (1) | WO2009013894A1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20130086174A (ko) | 2012-01-23 | 2013-07-31 | 미츠비시 덴센 고교 가부시키가이샤 | 금속 시일 |
KR20130087416A (ko) | 2012-01-27 | 2013-08-06 | 미츠비시 덴센 고교 가부시키가이샤 | 금속 시일 |
JP2015200366A (ja) * | 2014-04-08 | 2015-11-12 | 日本特殊陶業株式会社 | 接合体 |
JP2017040280A (ja) * | 2015-08-18 | 2017-02-23 | 日本バルカー工業株式会社 | 金属リングガスケット |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2003194226A (ja) * | 2001-12-25 | 2003-07-09 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | ジャケットシール |
JP2006153062A (ja) * | 2004-11-25 | 2006-06-15 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 金属シール材 |
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JPH0629549B2 (ja) * | 1985-07-23 | 1994-04-20 | ヤマハ発動機株式会社 | エンジンの排気管連結装置 |
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JPH01133589U (ja) * | 1988-03-08 | 1989-09-12 |
-
2007
- 2007-07-23 JP JP2007190969A patent/JP4855356B2/ja active Active
-
2008
- 2008-07-21 TW TW97127690A patent/TW200918792A/zh unknown
- 2008-07-22 WO PCT/JP2008/001949 patent/WO2009013894A1/ja active Application Filing
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US9057443B2 (en) | 2012-01-23 | 2015-06-16 | Mitsubishi Cable Industries, Ltd. | Metal seal |
KR20130087416A (ko) | 2012-01-27 | 2013-08-06 | 미츠비시 덴센 고교 가부시키가이샤 | 금속 시일 |
US8814175B2 (en) | 2012-01-27 | 2014-08-26 | Mitsubishi Cable Industries, Ltd. | Metal seal |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4855356B2 (ja) | 2012-01-18 |
WO2009013894A1 (ja) | 2009-01-29 |
TW200918792A (en) | 2009-05-01 |
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A621 | Written request for application examination |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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