JP2009500580A - 腐食バリヤを備えたシール装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2005年7月7日に出願された米国特許仮出願第60/698205号明細書の優先権及び利益を請求し(代理人整理番号MAT-22PRO)、その開示内容全体は引用したことによりここに記載されたものとする。
本発明は概してOリングシールに関し、特に腐食性材料をシールするために使用されるOリングシールに関する。
以下の実施形態及び実施形態の態様は、典型的かつ例示的であることが意味され、範囲を制限するものではないシステム、ツール及び方法に関連して説明及び例示される。様々な実施形態において、上述の問題の1つ又は2つ以上は減少又は排除されるのに対し、その他の実施形態はその他の改良に向けられている。
本開示は、以下に簡単に説明される図面に関連した以下の詳細な説明を参照することにより理解される。
以下の説明は、当業者が発明を形成及び使用することを可能にするために示され、特許出願及びその要求に関連して提供される。記載された実施形態に対する様々な変更は当業者に容易に明らかになり、ここでの一般的原理はその他の実施形態に適用されることができる。したがって、本発明は、示された実施形態に制限されることが意図されるのではなく、添付された請求項の範囲内で定義されるような、択一例、変更例及び均等物を含む、ここに記載された原理及び特徴と一致した最も広い範囲に一致させられる。図面は実寸ではなく、該当する特徴を最もよく示すと考えられる形式で本質的に概略的である。さらに、同じ参照符号は、この開示を通じて、実用的である場合にはいつでも、同じ構成部材に適用される。例えば、上/下、右/左、前/後等の説明的な用語は、図面に提供される様々な観点に関して、読み手の理解を高める目的で採用されており、制限するものであることは全く意図されていない。
Claims (32)
- 少なくとも1つの反応活性種を使用して少なくとも1つの基板を処理するための処理装置において使用するためのチャンバ装置において、該チャンバ装置に、
係合した位置において使用されるための第1チャンバ部分と第2チャンバ部分とが設けられており、これらの第1チャンバ部分と第2チャンバ部分とが、前記係合した位置において相俟ってチャンバ内部を形成しておりかつ前記係合した位置において相俟って通路を形成しており、該通路が、チャンバ装置の外部から前記チャンバ内部に連通しており、
係合した位置において前記通路をシールするためのシール装置が設けられており、該シール装置に、(i)防護リングが設けられており、該防護リングが、前記反応活性種に曝されるように前記通路において支持されており、(ii)Oリングが設けられており、該Oリングが、前記通路における前記防護リングに隣接してかつ該防護リングのすぐ外側において前記通路内に配置されており、防護リングをさらに通路内へ前記チャンバ内部に向かって周囲において弾性的に付勢するために前記Oリングが圧縮されており、これにより、前記反応活性種が前記チャンバ内部からOリングまで通過することを制限していることを特徴とする、チャンバ装置。 - 前記第1チャンバ部分と第2チャンバ部分とが前記係合した位置において前記Oリングに第1の方向で圧縮力を提供し、防護リングをさらに通路内へ前記チャンバ内部に向かって弾性的に付勢するために、前記Oリングが、前記圧縮力に応答して、該圧縮力に対して少なくともほぼ垂直な付勢方向で、弾性的な付勢力を生ぜしめるようになっている、請求項1記載のチャンバ装置。
- 弾性的な付勢力が少なくとも2つの互いに垂直でない方向に伝達されるように、第1チャンバ部分又は第2チャンバ部分のうちの選択された一方が、防護リングに係合するための、前記付勢方向に関して傾斜した付勢面を形成している、請求項2記載のチャンバ装置。
- 前記防護リングが、前記弾性的な付勢力に関して傾斜した接触面を形成するために三角形の断面を有する第1の防護リング部材を有しており、前記弾性的な付勢力が、接触面を、第1チャンバ部分又は第2チャンバ部分のうちの選択された一方の付勢面に直接に係合させる、請求項3記載のチャンバ装置。
- 前記第1の防護リング部材が、全体的な環形状を有しておりかつ、前記弾性的な付勢力に応答して環形状の変形を提供するために弾性的な材料から形成されている、請求項4記載のチャンバ装置。
- 前記第1の防護リング部材が、全体的な環形状を有しておりかつ、前記弾性的な付勢力に応答して実質的に変形不能である材料から形成されており、前記環形状が、1対の対向した端部の間に間隙を形成しており、該間隙が、第1の防護リング部材の周囲の移動を提供するために、弾性的な付勢力に応答して変化する幅を有する、請求項4記載のチャンバ装置。
- 前記間隙が、第1の防護リング部材を通る方向で傾斜した向きに形成されており、前記間隙が、前記通路と前記間隙とを通る前記反応活性種のための延長された移動経路を提供している、請求項6記載のチャンバ装置。
- 前記第1チャンバ部分と第2チャンバ部分とが前記係合した位置にある時、前記Oリングが、防護リングに加えられる弾性的な付勢力を生ぜしめかつ、弾性的な付勢力によって強制することに応答して防護リングを通路内にくさび状に捕捉するために前記通路と協働する、請求項1記載のチャンバ装置。
- 少なくとも1つの反応活性種に曝すことによって少なくとも1つの基板を処理するための処理装置において使用されるチャンバ装置においてシールを形成する方法であって、
第1チャンバ部分及び第2チャンバ部分を有するチャンバを配置し、前記第1チャンバ部分及び前記第2チャンバ部分が、係合した位置において相俟ってチャンバ内部を形成するために使用され、さらに前記第1チャンバ部分及び前記第2チャンバ部分が、前記係合した位置において相俟って前記チャンバ内部の周囲に周囲の通路を形成し、該通路が、チャンバの外部から前記チャンバ内部にまで延びており、
前記係合した位置において通路をシールするためのシール装置を提供し、該シール装置が、(i)前記反応活性種に曝されるように前記通路において支持された防護リングと、(ii)前記チャンバ内部に関して前記通路に沿って前記防護リングのすぐ外側に隣接して通路内に配置されたOリングとを有しており、前記防護リングをさらに通路内へ前記チャンバ内部に向かって周囲で弾性的に付勢するために、前記係合した位置において前記Oリングが圧縮され、これによって、前記チャンバ内部からOリングへの前記反応活性種の通過を制限することを特徴とする、シールを形成する方法。 - 前記第1チャンバ部分及び前記第2チャンバ部分が前記係合した位置において前記Oリングに第1の方向で圧縮力を提供し、防護リングをさらに通路内へ前記チャンバ内部に向かって弾性的に付勢するために、前記Oリングが、前記圧縮力に応答して、前記圧縮力に対して少なくともほぼ垂直な付勢方向で、弾性的な付勢力を生ぜしめる、請求項9記載の方法。
- 弾性的な付勢力が少なくとも2つの互いに垂直でない方向に伝達されるように、防護リングに係合するための、前記付勢方向に対して傾斜した付勢面を形成するために、第1チャンバ部分又は第2チャンバ部分のうちの選択された一方を使用する、請求項10記載の方法。
- 前記弾性的な付勢力に対して傾斜した接触面を形成するために三角形の断面を有する第1の防護リング部材を備えた前記防護リングを提供し、前記弾性的な付勢力が、接触面を、第1チャンバ部分又は第2チャンバ部分のうちの選択された一方の付勢面に直接に係合させる、請求項11記載の方法。
- 前記弾性的な付勢力に応答して環形状の変形を提供するために、弾性的な材料から形成された、全体的な環形状を備えた前記第1の防護リング部材を形成する、請求項12記載の方法。
- 前記弾性的な付勢力に応答して実質的に変形不能な材料から形成された、全体的な環形状を備えた前記第1の防護リング部材を形成し、前記環形状が1対の対向した端部の間に間隙を形成しており、該間隙が、第1の防護リング部材の周囲移動を提供するために、弾性的な付勢力に応答して変化する幅を有している、請求項12記載の方法。
- 前記間隙を、第1の防護リング部材を通る方向に傾斜した向きで形成し、このことが、前記間隙において、前記通路を通る前記反応活性種のための延長された移動経路を提供する、請求項14記載の方法。
- 前記Oリングが、前記第1チャンバ部分と第2チャンバ部分とが前記係合した位置にある場合、防護リングに提供される弾性的な付勢力を生ぜしめかつ、弾性的な付勢力によって強制されることに応答して防護リングを通路にくさび式に捕捉するために前記通路と協働する、請求項9記載の方法。
- チャンバにおいて、
シール面を有する第1チャンバ部分と、
前記第1チャンバ部分の前記シール面に当て付けられて鋭角に配置されたテーパ面を有する第2チャンバ部分と、
前記シール面と前記テーパ面とに当て付けられて配置された腐食バリヤと、
前記シール面に対して配置されておりかつ、前記腐食バリヤが前記シール面と前記テーパ面とに同時に係合するように前記腐食バリヤに付勢力を提供するために前記第1チャンバ部分及び第2チャンバ部分によって支持されたOリングと、
前記腐食バリヤに対する前記Oリングとは反対側に配置された腐食種とを含み、該腐食種が前記Oリングに対して腐食性であることを特徴とする、チャンバ。 - 前記Oリングが、第1チャンバ部分及び第2チャンバ部分との接触に応答して前記腐食バリヤに前記付勢力を提供する、請求項17記載のチャンバ。
- 前記Oリングが、該Oリングの両側における圧力差に応答して前記腐食バリヤに前記付勢力を提供する、請求項17記載のチャンバ。
- Oリングシールのための腐食バリヤにおいて、
環形状を有しており、該環形状が、
(i)第1チャンバ部分のシール面上に配置される第1面領域と、(ii)前記シール面に対して鋭角に配置された第2チャンバ部分のテーパ面に対して配置される、第2面領域と、(iii)第3面領域とを形成しており、該第3面領域がOリングから付勢力を受け取るように適合されており、これにより、前記腐食バリヤが前記鋭角に亘って前記シール面及び前記テーパ面に同時に係合するようになっており、前記腐食バリヤが、隣接するOリングに反応活性種が到達するのを遅らせるように前記弾性的な付勢力に応答して環形状を変化させるように形成されていることを特徴とする、Oリングシールのための腐食バリヤ。 - 前記弾性的な付勢力に応答して環形状の変形を提供するために弾性的な材料から形成されている、請求項20記載の腐食バリヤ。
- 前記付勢力に応答して実質的に変形不能である材料から形成されており、前記環形状が1対の対向した端部の間に間隙を形成しており、前記間隙が、腐食バリヤの環状移動を提供するために付勢力の変化に応答して変化する幅を有している、請求項20記載の腐食バリヤ。
- 前記間隙が、腐食バリヤを通る方向で見て傾斜した切断部として形成されており、このことが、前記間隙を通る前記反応活性種のための延長された移動経路を提供する、請求項22記載の腐食バリヤ。
- 前記腐食バリヤが前記環形状に沿って実質的に三角形の断面を有している、請求項20記載の腐食バリヤ。
- 前記腐食バリヤが前記環形状に沿って実質的に円形の断面を有している、請求項20記載の腐食バリヤ。
- 方法において、
第2部材における環状のテーパ面が第1部材の環状のシール面の近傍に配置されるように前記第1部材及び前記第2部材を組み立て、前記環状のテーパ面が前記環状のシール面に対して鋭角に配置されており、前記腐食バリヤの第1部分が前記環状のシール面に当て付けて配置されかつ前記腐食バリヤ第2部分が前記環状のテーパ面に当て付けて配置されるように、環形状を有する腐食バリヤを配置し、
Oリングを前記腐食バリヤに当て付けて配置し、
前記OリングがOリング力を前記腐食バリヤに提供するように前記Oリングに付勢力を提供し、これにより、前記腐食バリヤを前記環状のシール面と前記環状のテーパ面とに実質的に同時に押し付け、
前記Oリングと反対側において前記腐食バリヤに腐食種を案内し、該腐食種が前記Oリングに対して腐食性であることを特徴とする、方法。 - Oリングに付勢力を提供するために前記第1部材及び前記第2部材によって圧縮されるように前記Oリングを支持する、請求項26記載の方法。
- 前記付勢力を生ぜしめるために前記Oリングの両側における圧力差を利用する、請求項26記載の方法。
- 実質的に三角形の断面を備えた前記腐食バリヤを形成する、請求項26記載の方法。
- 実質的に円形の断面を備えた前記腐食バリヤを形成する、請求項26記載の方法。
- 前記弾性的な付勢力に応答して環形状の変形を提供するために、弾性的な材料から腐食バリヤを形成する、請求項26記載の方法。
- 前記付勢力に応答して実質的に変形不能な材料から腐食バリヤを形成し、1対の対向する端部の間において前記環形状に間隙を形成し、該間隙が、腐食バリヤの環状移動を提供するために、付勢力の変化に応答して変化する幅を有している、請求項26記載の方法。
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