CN113969980A - 一种真空装置 - Google Patents

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崔恒玮
丁云凌
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Abstract

本发明实施例提供一种真空装置，涉及半导体技术领域，可避免密封圈被腐蚀或沾污，甚至出现变形或裂缝等问题。该真空装置包括腔体、密封盖、密封圈、以及保护环；密封圈和保护环设置于真空装置的内侧壁。保护环覆盖密封圈的内侧面。密封圈用于在腔体与密封盖处于对合状态时，密封真空装置。

Description

一种真空装置
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种真空装置。
背景技术
密封圈常应用于真空装置中，起到密封作用。
然而，真空装置处于工作状态时，真空装置内可能为高温条件，且真空装置内可能包括等离子、气体等。等离子、气体、高温可能导致密封圈表面被刻蚀，从而出现变形或裂纹。此时会引起诸如泄露、或生成其他颗粒的问题。
发明内容
本发明的提供一种真空装置，避免密封圈出现变形或裂缝等问题，提高真空装置的密封性。
为达到上述目的，本发明提供一种真空装置，包括腔体、密封盖、密封圈、以及保护环。密封圈和保护环设置于真空装置的内侧壁。保护环覆盖密封圈的内侧面。密封圈用于在腔体与密封盖处于对合状态时，密封真空装置。
可选的，腔体具有第一开口。密封圈和保护环固定于腔体的内侧壁上，且密封圈中的一部分和保护环中的一部分超出腔体的第一开口。
可选的，腔体包括第一凹槽，密封圈和保护环中未超出腔体的部分固定于第一凹槽内。
可选的，密封盖具有第二开口。密封圈和保护环固定于密封盖的内侧壁上，且密封圈中的一部分和保护环中的一部分超出密封盖的第二开口。
可选的，密封盖包括第二凹槽，密封圈和保护环中未超出密封盖的部分固定于第二凹槽内。
可选的，保护环与密封圈之间的间距小于5cm。
可选的，保护环与密封圈完全贴合。
可选的，保护环靠近密封圈的表面的形状为C型。
可选的，保护环的材料为金属。
可选的，密封圈为全氟醚O型密封圈。
本发明提供的真空装置包括密封圈和保护环，可利用保护环覆盖密封圈的内侧面，利用腔体11和密封盖12覆盖密封圈13的其他面，以对密封圈起到保护作用。这样一来，即使真空装置工作时产生等离子、气体等，或者真空装置处于高温条件，密封圈也不会因腐蚀或者沾污而出现变形或裂纹，进而避免空气等进入真空装置内，或者真空装置出现泄漏等问题。基于此，提高应用该真空装置制造出的膜层品质的同时，还可节省更换密封圈的成本。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的一种真空装置的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的一种真空装置的结构示意图；
图3位本发明实施例提供的一种真空装置的剖视示意图；
图4a位本发明实施例提供的一种真空装置的剖视示意图；
图4b位本发明实施例提供的一种真空装置的剖视示意图。
附图标记：
11-腔体；12-密封盖；13-密封圈；14-保护环。
具体实施方式
以下，将参照附图来描述本公开的实施例。但是应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本公开的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本公开的概念。
在附图中示出了根据本公开实施例的各种结构示意图。这些图并非是按比例绘制的，其中为了清楚表达的目的，放大了某些细节，并且可能省略了某些细节。图中所示出的各种区域、层的形状以及它们之间的相对大小、位置关系仅是示例性的，实际中可能由于制造公差或技术限制而有所偏差，并且本领域技术人员根据实际所需可以另外设计具有不同形状、大小、相对位置的区域/层。
在本公开的上下文中，当将一层/元件称作位于另一层/元件“上”时，该层/元件可以直接位于该另一层/元件上，或者它们之间可以存在居中层/元件。另外，如果在一种朝向中一层/元件位于另一层/元件“上”，那么当调转朝向时，该层/元件可以位于该另一层/元件“下”。
本发明实施例提供一种真空装置，如图1和图2所示，包括腔体11、密封盖12、密封圈13、以及保护环14。密封圈13和保护环14设置于腔体11的内侧壁。保护环14覆盖密封圈12的内侧面。密封圈13用于在腔体11与密封盖12处于对合状态时，密封真空装置。
此处，由于真空装置是依靠腔体11与密封盖12之间上下挤压排空内部的空气，以达到真空状态。因此，即使在真空装置中设置保护环14，也不会影响真空装置的密封性。
上述真空装置处于密封状态时，腔体11与密封盖12对合。真空装置处于非密封状态时，腔体11与密封盖12还可以分离。
如图1所示，上述腔体11还可以具有第一开口(图中未示出)。密封圈13和保护环14固定于腔体11的内侧壁上，且密封圈13中的一部分和保护环14中的一部分超出腔体11的第一开口。此时，在保护环14覆盖密封圈13的内侧面的基础上，当腔体11与密封盖12对合时，密封盖12覆盖密封圈13中超出第一开口的部分的上表面，同时，密封圈13的外侧面和下表面始终被腔体11的侧壁覆盖。
此处，密封圈13的外侧面是与腔体11的侧壁接触的侧面，密封圈13的内侧面为与密封圈13的外侧面相对的侧面，相较于密封圈13的外侧面，密封圈13的内侧面位于真空装置的内侧。
上述腔体11还可以包括第一凹槽(图中未示出)，密封圈13和保护环14中未超出腔体11的部分固定于第一凹槽内。
如图2所示，上述密封盖12还可以具有第二开口(图中未示出)。密封圈13和保护环14固定于密封盖12的内侧壁上，且密封圈13中的一部分和保护环14中的一部分超出密封盖12的第二开口。此时，在保护环14覆盖密封圈13的内侧面的基础上，当腔体11与密封盖12对合时，腔体11覆盖密封圈13中超出第二开口的部分的下表面，同时，密封圈13的外侧面和上表面始终被密封盖12的侧壁覆盖。
此处，密封圈13的外侧面是与密封盖12的侧壁接触的侧面，密封圈13的内侧面为与密封圈13的外侧面相对的侧面，相较于密封圈13的外侧面，密封圈13的内侧面位于真空装置的内侧。
上述密封盖12还可以包括第二凹槽(图中未示出)，密封圈13和保护环14中未超出密封盖12的部分固定于第二凹槽内。
上述密封圈13的材质和型号可以不做具体限定，只要可以起到密封作用，防止空气等进入真空装置内部即可。示例的，密封圈13可以是O型圈(O-ring)、V型密封圈、U型密封圈、矩形密封圈、Y型密封圈等。
例如，密封圈13还可以为全氟醚(FFKM)O型密封圈。一方面，全氟醚O型密封圈具有很强的耐腐蚀性、耐化学性、耐高温。另一方面，全氟醚O型密封圈的成本较高，一旦被腐蚀，其更换成本非常高，利用本发明实施例的真空装置，可延长全氟醚O型密封圈的使用寿命，从而降低成本。
上述保护环14的材料可以不做具体限定，只要保护环14的材料耐腐蚀、耐磨即可。示例的，保护环14的材料例如可以是金属。例如，保护环14的材料可以是不锈钢、镍、铁氟龙、铬镍铁合金等金属。
上述保护环14的形状可以不做具体限定，只要保护环14可以覆盖密封圈13的内侧面即可。示例的，保护环14的形状可以是C型(图3)、凹槽型(图4a和图4b)等。
保护环14与密封圈13完全贴合。此时，密封圈13中与保护环14贴合的内侧面的形状，与保护环14中与密封圈13贴合的内表面的形状相同。当保护环14与密封圈13完全贴合时，保护环14可以最大程度对密封圈13起到保护效果。
相较于保护环14与密封圈13完全贴合，如图4a和图4b所示，密封圈13与腔体14之间也可以具有一定间距，在工艺上更容易制备得到。示例的，保护环与所述密封圈之间的间距小于5cm。
本发明实施例提供的真空装置，可利用保护环14覆盖密封圈13的内侧面，利用腔体11和密封盖12覆盖密封圈13的其他面，以对密封圈13起到保护作用。这样一来，即使真空装置工作时产生等离子、气体等，或者真空装置处于高温条件，密封圈13也不会被腐蚀或者沾污，导致密封圈13变形或出现裂纹，进而避免空气等进入真空装置内，或者真空装置出现泄漏等问题，从而影响利用该真空装置制造的膜层的品质；同时，还可节省更换密封圈13的成本。
本发明实施例还提供一种基板，包括衬底和设置于衬底上的膜层。膜层可以在本发明实施例提供的真空装置中制备得到。
基于膜层形成的图案与基板的功能有关，本发明实施例对此不作特殊限定。
采用本发明实施例提供的真空装置制备膜层时，由于保护环14可以防止密封圈13被腐蚀或者沾污，在避免密封圈13变形或出现裂纹的情况下，避免空气等进入到真空装置内，或者真空装置出现泄漏等问题，使得膜层的品质得到提高。
本发明实施例还提供一种电子设备，包括前述任一实施例所述的基板。上述电子设备包括智能电话、计算机、平板电脑、可穿戴智能设备、人工智能设备、移动电源中的至少一种。
可以不对电子设备的具体用途进行限定，只要电子设备内包括上述基板即可。
本发明实施例提供的电子设备的其他解释说明、以及其有益效果与前述基板的解释说明、以及有益效果相同，在此不再赘述。
在以上的描述中，对于各层的构图、刻蚀等技术细节并没有做出详细的说明。但是本领域技术人员应当理解，可以通过各种技术手段，来形成所需形状的层、区域等。另外，为了形成同一结构，本领域技术人员还可以设计出与以上描述的方法并不完全相同的方法。另外，尽管在以上分别描述了各实施例，但是这并不意味着各个实施例中的措施不能有利地结合使用。
以上对本公开的实施例进行了描述。但是，这些实施例仅仅是为了说明的目的，而并非为了限制本公开的范围。本公开的范围由所附权利要求及其等价物限定。不脱离本公开的范围，本领域技术人员可以做出多种替代和修改，这些替代和修改都应落在本公开的范围之内。

Claims (10)

1.一种真空装置，其特征在于，包括腔体、密封盖、密封圈、以及保护环；所述密封圈和所述保护环设置于所述真空装置的内侧壁；
所述保护环覆盖所述密封圈的内侧面；所述密封圈用于在所述腔体与所述密封盖处于对合状态时，密封所述真空装置。
2.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述腔体具有第一开口；
所述密封圈和所述保护环固定于所述腔体的内侧壁上，且所述密封圈中的一部分和所述保护环中的一部分超出所述腔体的第一开口。
3.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述腔体包括第一凹槽，所述密封圈和所述保护环中未超出所述腔体的部分固定于所述第一凹槽内。
4.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述密封盖具有第二开口；
所述密封圈和所述保护环固定于所述密封盖的内侧壁上，且所述密封圈中的一部分和所述保护环中的一部分超出所述密封盖的第二开口。
5.根据权利要求4所述的真空装置，其特征在于，所述密封盖包括第二凹槽，所述密封圈和所述保护环中未超出所述密封盖的部分固定于所述第二凹槽内。
6.根据权利要求1-5任一项所述的真空装置，其特征在于，所述保护环与所述密封圈之间的间距小于5cm。
7.根据权利要求6所述的真空装置，其特征在于，所述保护环与所述密封圈完全贴合。
8.根据权利要求7所述的真空装置，其特征在于，所述保护环靠近所述密封圈的表面的形状为C型。
9.根据权利要求1-5任一项所述的真空装置，其特征在于，所述保护环的材料为金属。
10.根据权利要求1-5任一项所述的真空装置，其特征在于，所述密封圈为全氟醚O型密封圈。
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Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH266960A (de) * 1941-09-02 1950-02-28 Limited Dowty Equipment Kolbenpackung.
JP2007120738A (ja) * 2005-09-30 2007-05-17 Tokyo Electron Ltd シール部品及び基板処理装置
WO2009038022A1 (ja) * 2007-09-21 2009-03-26 Nippon Valqua Industries, Ltd. 複合シール材
CN101427062A (zh) * 2005-07-07 2009-05-06 马特森技术公司 具有腐蚀抑制件的密封结构和方法
CN104766778A (zh) * 2015-03-31 2015-07-08 上海华力微电子有限公司 等离子体刻蚀设备之腔体密封面保护装置
CN205278368U (zh) * 2015-12-11 2016-06-01 中国航空工业第六一八研究所 一种用于28MPa工作压力的组合活动密封件
CN106352200A (zh) * 2016-11-25 2017-01-25 时延昭 一种真空绝热板及其制备方法
CN207161712U (zh) * 2017-08-09 2018-03-30 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 一种新型活塞杆双道密封结构
CN108695131A (zh) * 2017-04-05 2018-10-23 北京北方华创微电子装备有限公司 反应腔室
WO2020026943A1 (ja) * 2018-08-02 2020-02-06 株式会社バルカー 複合シール材

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH266960A (de) * 1941-09-02 1950-02-28 Limited Dowty Equipment Kolbenpackung.
CN101427062A (zh) * 2005-07-07 2009-05-06 马特森技术公司 具有腐蚀抑制件的密封结构和方法
JP2007120738A (ja) * 2005-09-30 2007-05-17 Tokyo Electron Ltd シール部品及び基板処理装置
WO2009038022A1 (ja) * 2007-09-21 2009-03-26 Nippon Valqua Industries, Ltd. 複合シール材
CN104766778A (zh) * 2015-03-31 2015-07-08 上海华力微电子有限公司 等离子体刻蚀设备之腔体密封面保护装置
CN205278368U (zh) * 2015-12-11 2016-06-01 中国航空工业第六一八研究所 一种用于28MPa工作压力的组合活动密封件
CN106352200A (zh) * 2016-11-25 2017-01-25 时延昭 一种真空绝热板及其制备方法
CN108695131A (zh) * 2017-04-05 2018-10-23 北京北方华创微电子装备有限公司 反应腔室
CN207161712U (zh) * 2017-08-09 2018-03-30 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 一种新型活塞杆双道密封结构
WO2020026943A1 (ja) * 2018-08-02 2020-02-06 株式会社バルカー 複合シール材

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