KR101007640B1 - 반도체공정의 공정가스 배출배관을 연결하는 유니온 가스켓 - Google Patents

Abstract

반도체공정의 배출배관 연결용 유니온 가스켓이 개시된다. 본 발명의 유니온 가스켓(100)은, 원판형상의 부재로서, 상기 원판형상의 부재의 중앙에 상기 공정가스를 통과시키기 위한 동공형상의 통과중공(102)이 형성된 중앙디스크(110); 상기 배출배관의 내주면형상에 대응되는 원형의 평면형상을 가지며, 상기 통과중공(102)의 외곽을 따라 상기 중앙디스크(110)의 표면으로부터 상기 배출배관의 연결단면방향으로 돌출형성된 배관지지가이드(120); 및 상기 배관지지가이드(120)의 외곽에 위치하고, 상기 배출배관의 단면형상에 대응되며 상기 통과중공(102)과 동심원형상이고, 상기 중앙디스크(110)의 표면으로부터 돌출형성된 트랙써클(130)을 포함하고, 상기 배출배관의 연결시에, 상기 배관지지가이드(120)은 상기 배출배관의 내주면으로 삽입되고, 상기 트랙써클(130)은, 상기 배관지지가이드(120)의 외곽으로부터 상기 중앙디스크(110)의 외주면까지 적어도 하나이상이 동심원형상으로 나란히 이격되어 중첩적으로 배열형성됨으로써, 상기 배출배관사이에 상기 유니온 가스켓이 삽입될 때 배출배관의 연결방향으로 상기 트랙써클(130)의 상부표면이 상기 배출배관의 연결단면을 중첩적으로 압착하여 상기 배출배관의 내부와 외부를 중첩적으로 밀폐시킨다. 본 발명에 의하면, 내화학성이 증가하면서도, 밀폐에 필요한 탄성이 구조적으로 제공되며, 제조공정이 감소하고 제조단가가 감소한다.

Description

반도체공정의 공정가스 배출배관을 연결하는 유니온 가스켓{Union Gasket for connecting a discharing pipe at semiconductor production process}

도 1은 종래의 배관과 배관사이에 연결된 실링부재를 나타내는 도면이다.

도 2 및 도 3은 각각 본 발명에 따른 반도체공정의 배출배관 연결용 유니온 가스켓(100)의 사시도 및 측면단면도이다.

도 4 는 본 발명과 배출배관과의 연결상태도이다.

도 5 및 도 6은 트랙써클이 배관의 단면과 닿는 부분의 확대도이다.

도 7a 및 7b 는 트랙써클의 중첩적 밀폐효과 및 탄성복구효과를 나타내는 도면이다.

본 발명은 반도체 공정의 배출배관을 연결하는 유니온 가스켓에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 공정의 부산물인 가스나 케미컬이 다음 공정으로 연결되도록 하는 배관사이를 연결하고 실링(sealing)하는 유니온 가스켓에 관한 것이다.

도 1은 종래의 배관과 배관사이에 연결된 실링부재를 나타내는 도면이다.

반도체 공정에서는 다양한 공정가스가 사용된다. 공정가스는 기체상태의 가스 및 케미컬(chmical, 화학물)을 포함하며, 제조챔버내에서 사용되기도 하고 다른 배관사이에서 사용되기도 한다. 이러한 공정가스는 이전공정에서 다음공정을 위해 배관을 통해서 인입 및 배출된다. 배관(1)은 파이프형태의 부재로서 상기 공정가스가 내부에서 이동되고, 전체 배관은 하나이상의 배관이 연결되기 때문에 실링부재(2)를 이용하여 공정가스가 외부로 새어나는 것을 방지한다. 이러한 실링부재로서, 현재 고무로 제조된 오링, 가스켓을 사용하거나, 금속성으로 제조된 복잡한 구조의 실링 부품이 사용되고 있다.

그러나, 이러한 종래의 실링 부품은 다음과 같음 문제점을 가진다.

첫째, 공정가스의 화학적 반응성에 취약하다. 기존의 고무제품의 오링은 초기에는 밀폐성이 뛰어나나, 장시간 사용시 공정가스의 화학적 반응성에 의해 부식되어 결국 밀폐성이 감소된다. 특히 공정가스에 사용되는 대부분의 케미컬은 강한 산성성분이고, 대부분의 오링의 재료인 고무재질은 산성에 부식되기 쉬우므로 문제점이 심각하다.

둘째, 높은 온도에 취약하다. 종래의 실링부재는 공정가스의 온도는 매우 높기 때문에, 화학적인 반응이 아니더라도 열에 의해 구조적으로 변형이 발생되기 쉽다. 구조적 변형은 밀폐성을 감소시키기 때문에 제품 수명이 짧아진다.

셋째, 상기 두가지 문제점을 해결하기 위해 화학적으로 안정하고 열에 강한 금속성 혹은 금속 합금을 이용하고, 또한 둘 이상의 부품을 조합한 구조를 이용하여 밀폐성을 증가시킨 제품이 시중에 출시되었으나, 이들 제품은 제조단가가 높아 서 소모품으로 사용하기는 경제성이 떨어지는 것이 일반적이다.

따라서, 본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 화학적으로 안정하고, 열에 강하고, 간단한 구조를 가져서 경제성이 뛰어나면서도 밀폐성이 보장되는 유니온 가스켓을 제공하고자 한다.

전술한 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 반도체 제조 공정의 공정가스를 배출하는 배출배관을 연결하고 실링하는 공정가스 배출배관 연결용 유니온 가스켓(100)으로서, 원판형상의 부재로서, 상기 원판형상의 부재의 중앙에 상기 공정가스를 통과시키기 위한 동공형상의 통과중공(102)이 형성된 중앙디스크(110); 상기 배출배관의 내주면형상에 대응되는 원형의 평면형상을 가지며, 상기 통과중공(102)의 외곽을 따라 상기 중앙디스크(110)의 표면으로부터 상기 배출배관의 연결단면방향으로 돌출형성된 배관지지가이드(120); 및 상기 배관지지가이드(120)의 외곽에 위치하고, 상기 배출배관의 단면형상에 대응되며 상기 통과중공(102)과 동심원형상이고, 상기 중앙디스크(110)의 표면으로부터 돌출형성된 트랙써클(130)을 포함하고, 상기 배출배관의 연결시에, 상기 배관지지가이드(120)은 상기 배출배관의 내주면으로 삽입되고, 상기 트랙써클(130)은, 상기 배관지지가이드(120)의 외곽으로부터 상기 중앙디스크(110)의 외주면까지 적어도 하나이상이 동심원형상으로 나란히 이격되어 중첩적으로 배열형성됨으로써, 상기 배출배관사이에 상기 유니온 가스켓이 삽입될 때 배출배관의 연결방향으로 상기 트랙써클(130)의 상부표면이 상기 배출배관의 연결단면을 중첩적으로 압착하여 상기 배출배관의 내부와 외부를 중첩적으로 밀폐시키는 것을 특징으로 한다.

일 실시예에서, 상기 중앙디스크(110), 배관지지가이드(120) 및 트랙써클(130)은 테프론(teflon)으로 형성되는 것을 특징으로 한다.

일 실시예에서, 상기 트랙써클(130)은 0.5 내지 2.0 mm의 간격으로 이격되어 배열된 것을 특징으로 한다.

일 실시예에서, 상기 트랙써클(130)의 폭은 0.5 내지 2.0mm 인 것을 특징으로 한다.

일 실시예에서, 상기 배관지지가이드(120)의 높이는 상기 트랙써클(130)의 높이보다 1.0 내지 3.0 배인 것을 특징으로 한다.

일 실시예에서, 상기 배열된 트랙써클(130)의 높이는 5% 내지 10%의 오차를 가지는 것을 특징으로 한다.

일 실시예에서, 상기 트랙써클(130)이 배열된 단면의 폭은 상기 배출배관의 연결단면의 폭보다 큰 것을 특징으로 한다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.

도 2 및 도 3은 각각 본 발명에 따른 반도체공정의 배출배관 연결용 유니온 가스켓(100)의 사시도 및 측면단면도이다.

본 발명의 유니온 가스켓(100)은 중앙디스크(110), 배관지지가이드(120), 트 랙써클(130)을 포함한다.

중앙디스크(110)는 원판형상의 부재로서, 중앙에 동공형상의 통과중공(102)가 형성되어 있다. 통과중공(102)은 중앙디스크(110)가 배출배관(1)사이에 삽입되었을 때 공정가스가 통과하기 위한 공간이다. 따라서 통과중공(102)의 직경은 배관(1)의 직경과 유사한 것이 바람직하다.

배관지지가이드(120)은 상기 배출배관(1)의 내주면 형상에 대응되는 원형의 평면형상을 가지며, 상기 통과중공(102)의 외곽을 따라 상기 중앙디스크(110)의 표면으로부터 상기 배출배관(1)의 연결단면 방향으로 돌출형성되어 있다. 배관지지가이드(120)의 외경 R 은 상기 배출배관(1)의 내경보다 작다. 설치시에 배관지지가이드(120)이 배출배관(1)의 내부로 용이하게 삽입될 수 있게 하기 위함이다.

배관지지가이드(120)는 본 발명의 유니온 가스켓(100)의 설치시에 배출배관(1)의 내주면으로 삽입되고, 그 결과 단턱역할을 하여, 유니온 가스켓(100)이 배출배관(1)의 내부에서 지지되어 올바른 위치에 설치될 수 있도록 가이드하는 역할을 한다. 배관지지가이드(120)의 높이는 2.0 내지 5.0 mm 인 것이 바람직하다.

트랙써클(130)은 상기 배관지지가이드(120)의 외곽에 위치하고, 상기 배출배관(1)의 단면형상에 대응되며 상기 통과중공(102)와 동심원형상이고, 상기 중앙디스크(110)의 표면으로부터 외부방향으로 돌출형성되어 있다.

또한 상기 트랙써클(130)은, 상기 배관지지가이드(120)의 외곽으로부터 상기 중앙디스크(110)의 외주면까지 적어도 하나이상이 동심원형상으로 나란히 이격되어 중첩적으로 배열형성된다. 즉 가장 작은 직경의 트랙써클(130)이 배관지지가이 드(120)의 인접하는 외곽에 배치되고, 중심디스크(110)의 외주면으로 진행할수록 점차 큰 직경의 트랙써클(130)이 배치되어, 결국 수개의 트랙써클(130)이 동심원형상으로 중첩적으로 배열되어진다. 여기서, 배관지지가이드와 트랙써클은 모두 동심원상에 위치한다.

여기서, 배관지지가이드(120)의 높이는 트랙써클(130)의 높이보다 높아야 한다. 이는 배관지지가이드가 배관내에 삽입되어 배관사이에서 중앙디스크를 적절히 고정된 상태로 지지하기 위한 최소한의 높이를 제공하기 위함이다.

바람직한 실시예에서, 배관지지가이드(130)의 높이 h3 는 트랙써클(130)의 높이 h1 의 1.0 내지 3.0 배 이다. 배관지지가이드가 너무 높으면 배관지지가이드의 설치시에 유연성이 감소되고, 너무 낮으면 배관지지가이드가 제공할수 있는 지지력이 감소되기 때문이다.

일 실시예에서, 트랙써클(130)의 폭 w 은 0.5 내지 2.0 mm 인 것이 바람직하다. 적절한 탄성을 제공하기에 충분한 폭이기 때문이다. 탄성에 대해서는 도 4 내지 6에서 다시 설명한다.

일 실시예에서, 트랙써클(130)이 설치되는 간격 d1 은 0.5 내지 2.0 mm 인 것이 바람직하다. 배관의 크기 및 중앙디스크의 크기를 고려하여 3 내지 7개의 트랙써클이 배열될 것이 필요하다. 너무 많은 수의 트랙써클은 제조단가가 증가되고, 너무 적은 수의 트랙써클은 밀폐효과가 감소되는 문제점이 있다.

일 실시예에서, 트랙써클(130)이 배열된 단면의 폭 L1 즉 중앙디스크(110)에서 트랙써클이 배열된 면적의 폭은 배출배관(1)의 두께 단면의 폭보다 큰 것이 바 람직하다.

본 발명에서, 본 발명의 중앙디스크, 배관지지가이드 및 트랙서클은 화학적으로 안정한 합성수지재료로 형성되며, 바람직한 실시예에서, 테프론(teflon)으로 형성된다. 테프론(Teflon)은 폴리테트라플루오르에틸렌(polytetrafluoroethylene; PTFE)의 상표명으로, 뒤퐁 사에서 개발한 불소 수지(plastic)의 일종으로서, 열에 강하고, 마찰계수가 극히 낮으며, 화학학적으로 안정하기 때문에 본 발명을 형성재료로서 적절하기 때문이다. 테프론의 상세 재료에 대해서는 당업계에알려져있으므로 설명을 생략한다.

도 4 내지 7은 본 발명의 효과를 나타내는 도면으로서, 도 4는 배출배관과의 연결상태도, 도 5 및 도 6은 트랙써클이 배관의 단면과 닿는 부분의 확대도, 도 7a 및 7b는 트랙써클의 중첩적 밀폐효과를 나타내는 도면이다.

이하 본 발명의 효과를 설명한다.

첫째, 본 발명에 의하면 트랙써클의 중첩적인 배열구조에 의해 밀폐성이 향상된다.

도 4 는 배출배관의 연결도이다. 본 발명의 유니온 가스켓(100)은 배출배관(1)의 사이에 연결되며, 트랙써클(130)이 배출배관(1)의 단면이 맞닿도록 설치된다. 도 5에 나타난 바와 같이, 트랙써클(130)은 하위 트랙써클(131,132,133,134)로 구성되며, 하위 트랙써클(131,132,133,134)은 높이 h2를 가지고 배관(1)의 단면에 중첩적으로 접촉한다. 따라서, 배출배관의 외부와 내부는 4개의 트랙써클에 의해 중첩적으로 밀폐(sealing)된다. 즉, 이러한 하나이상의 하위 트랙써클(130)이 중첩 적으로 배열된 구조에 의해, 상기 배출배관(1)사이에 상기 유니온 가스켓이 삽입될 때 배출배관의 연결방향으로 상기 트랙써클(130)의 상부표면이 상기 배출배관의 연결단면을 중첩적으로 압착하여 상기 배출배관의 내부와 외부를 중첩적으로 밀폐시킨다.

둘째, 도 6에 나타난 바와 같이, 트랙써클이 눌러지는 구조에 의해 밀폐가 수행되므로, 탄성이 있는 고무등의 재료를 사용하지 않아도 밀폐효과를 달성할 수있고, 이에 따라 종래의 고무 오링에 비해 부식이 방지된다.

종래의 오링은 밀폐효과를 달성하기 위해 탄성있는 재료를 사용하여야 했었다. 밀폐효과를 위해 압착에 의해 밀착하는 효과를 달성하기 위함이었다. 따라서 탄성있는 재료인 고무등을 사용하였는데, 이러한 고무등의 재료는 내화학성이 없기 때문에 공정가스에 의해 부식되기 쉬운 문제점이 있었다. 그렇다고 하여 탄성이 없는 금속성의 재료를 이용하여 밀폐구조를 형성하면 구조가 복잡하고 제조단가가 증가한다는 문제점이 있었다.

이에 대해 본 발명에서는 테프론(teflon)으로 형성된 중첩적 트랙써클을 채택함으로써, 내부식성과 밀폐성을 모두 달성하였다. 즉 고무 대신에 내화학성(내부식성)이 있는 테프론을 사용하고, 밀폐성은 폭이 좁은 트랙써클의 구조를 취함으로써 트랙써클 자체가 어느정도 눌려지는 변형을 제공함으로써 밀폐성도 달성하였다. 즉 고무와 같이 물성적으로 탄성을 가지는 재료 대신에 구조적 및 물리적으로 탄성을 가지기 쉬운 구조를 채택함으로써 씰링부재가 가져야할 탄성을 제공하였다.

도 6에 나타난 바와 같이, 테프론으로 형성된 좁은 폭의 트랙써클(132)은 연 결시에 제공되는 압력 P 에 의해 배출배관의 연결단면방향으로 압착력을 받게 되고, 이 압착력에 의해 트랙써클의 말단이 일부 눌려져서 변형되는 현상이 발생한다. 이 눌려지는 변형현상에 의해 배출배관의 연결단면(빗금친 부분)과 트랙써클의 상부단면은 더욱 밀착되게 되고 결과적으로 밀폐효과가 달성된다. 이러한 눌려지는 효과를 달성하기 위해 트랙써클의 폭은 어느정도 제한되는 것이 필요하다.

셋째, 트랙써클의 중첩적인 배열구조는 상기 눌려지는 효과의 부작용의 발생시에도 밀폐를 보장한다. 도 7에 나타나 바와 같이 상기 눌려지는 효과가 과도하거나, 설치시의 압력의 차이등으로 인해 하위 트랙써클의 일부가 파손될 수도 있다. 그러나, 본 발명에서는 수겹으로 쌓여진 트랙써클의 구조 때문에 어느한 겹의 트랙써클이 파손되더라도 밀폐성에는 영향을 받지 않는다. 즉 도 7에서, 하위 트랙써클 (132)가 파손되어 틈 T 에 의해 공간 s1 과 공간 s2 가 밀폐성이 해제되었다. 그러나 하위 트랙써클(133) 및 또다른 하위 트랙써클(134)에 의해 배출배관의 내부공간 S7 과 배출배관의 외부공간 S6은 여전히 밀폐성이 유지된 상태이다. 이처럼, 본 발명에서는 트랙써클의 중첩적인 배열구조에 의해 어느 한겹의 트랙써클이 파손되어도 다른 겹의 트랙써클에 의해 밀폐성이 보장되기 때문에 밀폐성이 더욱 향상된다.

넷째, 본 발명에 의하면, 씰링구조를 모두 하나의 부재로 생성하기 때문에 제조공정의 감축, 재료 및 시간의 감소가 가능하여 제조단가가 감소된다. 특히 이러한 반도체 설비는 소모품으로서, 유지비용에 많은 부분을 차지하기 때문에 반도체 완성품의 제조단가에 많은 영향을 미침을 고려하면 이 효과는 지배적이다.

다섯째, 본 발명에 의하면, 도 6에 나타난 바와 같이, 중첩되게 배열된 트랙써클(131,132,,...)사이의 공간에 형성된 공기층에 의해 배관내외부가 더욱 밀폐된다. 즉, 도 6에 나타난 바와 같이, 중첩적으로 배열된 트랙써클사이의 공간 B1,B2,...에는 공기층이 형성되고, 이 공기층은 배관의 내외부의 공정가스에 대해 압력을 가하게 되어 내외부공기를 분리시킴으로써 결국 배관의 내외부를 더욱 밀폐시키는 역할을 한다.

특히, 반도체공정의 배관의 온도는 상온이상이고 이 온도에 의해 공기층이 가열됨으로써 가열된 공기층의 부피가 팽창되어 결국 내외부의 공기를 밀어내는 작용을 하게 된다. 이러한 부피팽창에 의한 밀폐효과는 트랙써클의 내구성과 무관하게 발생하기 때문에 내구력 있는 밀폐성을 제공할 수 있다.

여섯째, 도 7b에 나타난 바와 같이, 상기와 같은 공기의 팽창력에 의해 트랙써클이 결합시 압력 P에 의해 눌림후 복구가 되지 않는 복구실패현상이 방지된다.

본 발명은 트랙써클의 구조적인 밀착으로 인해 배관의 내외부를 밀폐하는 것을 목적으로 하지만, 배관이음작업시의 압력 P가 과도하게 클 경우 트랙써클이 제공하는 구조적인 탄성력이 감소되거나 트랙써클이 배관과 닿는 면 즉 트랙층표면에서 트랙써클이 과도한 변형이 발생할 수도 있다. 이 탄성복구의 실패 혹은 과도한 변형은 차후 배관에 작용하는 압력이 감소하였을 경우 원래의 형태로 복구되지 않는 복구실패현상을 야기하여 밀폐력을 감소시키는 원인이 된다. 그러나 본 발명에서는 트랙써클사이의 공간에서 온도가 상승된 공기층의 팽창력에 의해 트랙써클에 대해 적절한 지지력을 제공함으로써, 강한 압력 P 이 발생하더라도 트랙써클이 눌 려지고 복구가능한정도의 절적한 지지력을 가지게 되어 트랙써클이 가지는 구조적 탄성이 유지됨으로써, 밀폐력의 감소를 방지할 수 있다.

이제까지 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예들을 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.

전술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 얇은 폭으로 중첩적으로 형성된 트랙써클의 구조에 의해 중첩적인 밀폐효과를 달성할 수 있다.

또한 본 발명에 의하면, 화학적으로 안정한 합성수지재료를 사용하여 공정가스에 의해 부식이 되지 않는다. 또한 합성수지재료를 폭이 좁은 트랙써클을 형성하여 구조적 및 물리적으로 탄성을 가지도록 하여 밀폐성을 보장하였다.

또한 본 발명에 의하면, 하나의 부재에 의해 씰링부재를 모두 형성함으로써 제조공정 시간 및 단가를 감소시킬 수 있다.

또한 본 발명에 의하면, 반복적으로 배열된 트랙써클사이에 공기층이 형성되어 가열 및 부피팽창의 원리를 이용함으로써 더욱 밀폐력을 향상시킬 수 있다.

또한 본 발명에 의하면, 상기 가열된 공기층의 팽창에 의해 트랙써클에 대해 적절한 지지력을 제공함으로써, 배관결합시 강한 압력에 대해 탄성을 유지시킬 수 있다.

Claims (7)

1. 삭제
2. 반도체 제조 공정의 공정가스를 배출하는 배출배관을 연결하고 실링하는 공정가스 배출배관 연결용 유니온 가스켓(100)으로서,

   원판형상의 부재로서, 상기 원판형상의 부재의 중앙에 상기 공정가스를 통과시키기 위한 동공형상의 통과중공(102)이 형성된 중앙디스크(110);

   상기 배출배관의 내주면형상에 대응되는 원형의 평면형상을 가지며, 상기 통과중공(102)의 외곽을 따라 상기 중앙디스크(110)의 표면으로부터 상기 배출배관의 연결단면방향으로 돌출형성된 배관지지가이드(120); 및

   상기 배관지지가이드(120)의 외곽에 위치하고, 상기 배출배관의 단면형상에 대응되며 상기 통과중공(102)과 동심원형상이고, 상기 중앙디스크(110)의 표면으로부터 돌출형성된 트랙써클(130)을 포함하고,

   상기 배출배관의 연결시에, 상기 배관지지가이드(120)은 상기 배출배관의 내주면으로 삽입되고,

   상기 트랙써클(130)은, 상기 배관지지가이드(120)의 외곽으로부터 상기 중앙디스크(110)의 외주면까지 적어도 하나이상이 동심원형상으로 나란히 이격되어 중첩적으로 배열형성됨으로써, 상기 배출배관사이에 상기 유니온 가스켓이 삽입될 때 배출배관의 연결방향으로 상기 트랙써클(130)의 상부표면이 상기 배출배관의 연결단면을 중첩적으로 압착하여 상기 배출배관의 내부와 외부를 중첩적으로 밀폐시키는 것을 특징으로 하고,

   상기 중앙디스크(110), 배관지지가이드(120) 및 트랙써클(130)은 테프론(teflon)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 배출배관 연결용 유니온 가스켓.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 트랙써클(130)은 0.5 내지 2.0 mm의 간격으로 이격되어 배열된 것을 특징으로 하는 공정가스 배출배관 연결용 유니온 가스켓.
4. 제 2 항에 있어서, 상기 트랙써클(130)의 폭은 0.5 내지 2.0mm 인 것을 특징으로 하는 공정가스 배출배관 연결용 유니온 가스켓.
5. 제 2 항에 있어서, 상기 배관지지가이드(120)의 높이는 상기 트랙써클(130)의 높이보다 1.0 내지 3.0 배인 것을 특징으로 하는 공정가스 배출배관 연결용 유니온 가스켓.
6. 제 2 항에 있어서, 상기 배열된 트랙써클(130)의 높이는 5% 내지 10%의 오차를 가지는 것을 특징으로 하는 공정가스 배출배관 연결용 유니온 가스켓.
7. 제 2 항에 있어서, 상기 트랙써클(130)이 배열된 단면의 폭은 상기 배출배관의 연결단면의 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 공정가스 배출배관 연결용 유니온 가스켓.

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