KR20200103358A - 반도체 제조설비용 공정가스 배기관 - Google Patents

반도체 제조설비용 공정가스 배기관 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 제조설비용 공정가스(유독가스) 배기관에 관한 것으로, 상세하게는, 배기관을 이중관으로 구성하고, 내관과 외관 사이의 공간에는 충전가스(질소가스)를 일정 압력으로 충전하여 내관에 리크 발생시 압력 이상을 감지하여 경보음을 제공하여 안전성을 확보할 수 있는 반도체 제조설비용 공정가스 배기관에 관한 것이다.

Description

반도체 제조설비용 공정가스 배기관{EXHAUST PIPES FOR TRANSFERRING THE PROCESS GAS USED IN THE PROCESS OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING FACILITY}
본 발명은 반도체 제조설비용 공정가스(유독가스) 배기관에 관한 것으로, 상세하게는, 배기관을 이중관으로 구성하고, 내관과 외관 사이의 공간에는 충전가스를 일정 압력으로 충전하여 내관에 리크 발생시 압력 이상을 감지하여 경보음을 제공하여 안전성을 확보할 수 있는 반도체 제조설비용 공정가스 배기관에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조설비들에서는 각종 반도체 장치를 제조하기 위해 여러 공정들이 수행된다. 각 공정에서는 해당 공정에 필요한 다양한 공정가스들이 사용되고 있고, 이러한 공정가스들은 반도체 제조설비별로 배관을 통해 공급 및 이송된다.
반도체 제조 공정에서 사용되는 공정가스들은 통상적으로 유독성 가스나 부식성 가스들이 많이 포함되어 있기 때문에 이송 및 오염관리는 반도체 장치의 수율 및 신뢰성뿐만 아니라 대형 인명사고를 예방하는 차원에서 매우 중요하다 할 것이다.
이러한 공정가스들은 배관을 통해 각 반도체 제조설비로 이송 및 공급되는데, 이 과정에서 공정가스에 포함된 부식성 가스로 인해 배관이 부식되고, 이로 인해 배관의 불특정 부위에서 구멍이 형성되어 공정가스가 대기로 유출되는 문제가 있었다.
이와 같이 배관의 불특정 부위에 구멍이 뚫리는 경우 공정가스에 포함된 유독가스가 대기로 유출되어 대형 인명사고를 유발하는 등 안전상에 심각한 문제를 야기할 수 있기 때문에 이를 미연에 감지하여 예방할 수 있는 기술 개발이 요구되었다.
KR 10-1997-0052059 A, 1997. 07. 29. KR 10-2000-0021904 A, 2000. 04. 25. KR 10-1007640 B1, 2011. 01. 05.
따라서, 본 발명은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 배기관을 이중관으로 구성하고, 내관과 외관 사이의 공간에는 충전가스를 일정 압력으로 충전하여 내관에 리크 발생시 압력 이상을 감지하여 경보음을 제공하여 안전성을 확보할 수 있는 반도체 제조설비용 공정가스 배기관을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 일 측면에 따른 본 발명은 반도체 제조공정시 사용되는 공정가스를 이송하는 내관; 상기 내관의 외주면을 감싸도록 형성되되, 상기 내관의 외주면과의 사이에 공간이 형성되도록 내주면이 상기 내관의 외주면과 일정 간격으로 이격 형성된 외관; 상기 공간과 연통하도록 일단부가 상기 외관의 일측부에 설치되고, 타단부에는 상기 공간에 충진된 충전가스의 압력을 감지하는 압력계가 결합되는 제1 접속구; 및 상기 공간과 연통하도록 일단부가 상기 외관의 타측부에 설치되고, 타단부에는 상기 충전가스를 상기 공간으로 충진하기 위한 충전밸브가 결합되는 제2 접속구를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 공정가스 배기관을 제공한다.
바람직하게, 상기 압력계에 의해 감지된 상기 공간의 내부 압력을 토대로 상기 공간의 내부 압력에 이상이 발생된 것으로 판단되면, 경보음을 발생하는 경보음 발생부를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 다른 측면에 따른 본 발명은 반도체 제조공정시 사용되는 공정가스를 이송하는 내관; 상기 내관의 외주면을 감싸도록 형성되되, 상기 내관의 외주면과의 사이에 공간이 형성되도록 내주면이 상기 내관의 외주면과 일정 간격으로 이격 형성된 외관; 상기 공간과 연통하도록 일단부가 상기 외관의 일측부에 설치되고, 타단부에는 진공 상태로 유지되는 상기 공간의 압력을 감지하는 진공계가 결합되는 제1 접속구; 및 상기 공간과 연통하도록 일단부가 상기 외관의 타측부에 설치되고, 타단부에는 상기 공간의 내부를 진공 상태로 충진하기 위한 충전밸브가 결합되는 제2 접속구를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 공정가스 배기관을 제공한다.
바람직하게, 상기 진공계에 의해 감지된 상기 공간의 내부 압력을 토대로 상기 공간의 내부 압력에 이상이 발생된 것으로 판단되면, 경보음을 발생하는 경보음 발생부를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 또 다른 측면에 따른 본 발명은 상기한 반도체 제조설비용 공정가스 배기관; 및 상기 반도체 제조설비용 공정가스 배기관들 중 인접하게 배치된 상기 반도체 제조설비용 공정가스 배기관들의 제1 또는 제2 접속구와 연결되어 인접하게 배치된 상기 반도체 제조설비용 공정가스 배기관들의 공간을 상호 연통시키는 연결관을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 공정가스 배기관을 제공한다.
바람직하게, 상기 압력계 또는 상기 진공계에 의해 감지된 상기 공간의 내부 압력을 토대로 상기 공간의 내부 압력에 이상이 발생된 것으로 판단되면, 경보음을 발생하는 경보음 발생부를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 공정가스를 이송하는 배기관을 이중관으로 구성하고, 내관과 외관 사이의 공간에는 질소가스를 일정 압력으로 충전하여 내관에 리크 발생시 압력 이상을 감지하여 경보음을 제공하여 안전성을 확보할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 공정가스를 이송하는 배기관을 이중관으로 구성하고, 내관과 외관 사이의 공간을 진공상태로 유지시켜 상기 내관을 통해 이송되는 공정가스를 단열함으로써 상기 내관을 통해 이송되는 공정가스를 일정 온도로 유지시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조설비용 공정가스 배기관을 도시한 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 공정가스 배기관의 분해 사시도.
도 3은 도 1에 도시된 공정가스 배기관의 정면도.
도 4는 도 1에 도시된 공정가스 배기관의 단면도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조설비용 공정가스 배기관의 응용예를 설명하기 위해 도시한 단면도.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예로 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이다.
본 명세서에서 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 그리고 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 따라서, 몇몇 실시예에서, 잘 알려진 구성 요소, 잘 알려진 동작 및 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다.
또한, 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 그리고, 본 명세서에서 사용된(언급된) 용어들은 실시예를 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 또한, '포함(또는, 구비)한다'로 언급된 구성 요소 및 동작은 하나 이상의 다른 구성요소 및 동작의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 정의되어 있지 않은 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 기술적 특징을 구체적으로 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조설비용 공정가스 배기관을 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 공정가스 배기관의 분해 사시도이고, 도 3은 도 1에 도시된 공정가스 배기관의 정면도이고, 도 4는 도 1에 도시된 공정가스 배기관의 단면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조설비용 공정가스 배기관(10)은 내관(11)과 외관(12)을 포함하는 이중관으로, 내관(11)과 외관(12) 사이의 공간에는 충전가스를 일정 압력으로 충전하여 내관(11)에 리크 발생시 압력 변화(이상)을 감지하여 경보음을 제공함으로써 안전성을 확보할 수 있다.
내관(11)은 도 4와 같이, 공정가스를 이송하는 이송 배관으로 기능하고, 외관(12)은 내관(11)을 감싸도록 설치되되, 내주면이 내관(11)의 외주면과 일정 간격으로 이격 형성되어 내관(11)과 외관(12) 사이에 질소가스가 충진되는 공간(10a)이 형성된다.
한편, 외관(12)에는 공간(10a)의 내부를 볼 수 있도록 투명창(미도시)이 형성될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조설비용 공정가스 배기관(10)은 도 2와 같이, 외관(12)의 일측부에 결합되어 압력계(15)(또는, 진공계)가 결합되는 제1 접속구(13)와, 외관(12)의 타측부에 결합되어 내관(11)과 외관(12)의 공간(10a)에 충전가스, 예를 들면 질소가스를 충진하기 위한 충전밸브(16)가 결합되거나 이웃하게 배치된 다른 공정가스 배기관들과 상호 연결하는 연결관이 결합되는 제2 접속구(14)를 포함한다.
도 1과 같이, 내관(11)과 외관(12) 사이의 공간(10a)에는 내관(11)의 부식으로 인해 발생하는 리크(leak)로 인한 압력 변화를 감지하기 위해 질소가스가 충진된다. 상기 질소가스는 제2 접속구(14)에 결합된 충전밸브(16)를 통해 공간(10a)의 내부로 주입된다. 이때, 상기 질소가스는 일정 압력, 예를 들면, 1kg/cm2 내외로 충진한다.
압력계(15)는 제1 접속구(13)에 결합되어 내관(11)과 외관(12) 사이의 공간(10a)에 충진되어 있는 질소가스의 압력을 실시간으로 감지한다. 이때, 상기 질소가는 설정된 압력으로 충진되어 있다. 이에 따라, 내관(11)의 부식으로 인해 내관(11)에 구멍이 뚫려 내관(11)에 리크가 발생된 경우 공간(10a)의 내부에 충진된 질소가스의 압력에 변화가 발생하는데 이를 실시간으로 감지하여 이상 유무를 감지한다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조설비용 공정가스 배기관(10)은 압력계(15)에 의해 압력 이상이 감지된 경우 경보음을 발생하는 경보음 발생부(17)를 포함한다.
경보음 발생부(17)는 도 3과 같이, 압력계(15)에 내장되거나 일체로 압력계(15)에 구비될 수 있다. 혹은 압력계(15)와 분리되어 독립적으로 설치될 수 있다.
경보음 발생부(17)는 압력계(15)에 의해 압력 이상이 감지되면 경보음을 발생한다.
한편, 내관(11)과 외관(12) 사이의 공간(10a)에는 내관(11)을 통해 이송되는 공정가스를 일정 온도로 유지시키기 위해 진공상태로 유지할 수도 있다. 즉, 내관(11)과 외관(12) 사이의 공간(10a)을 진공상태로 유지시켜 내관(11)의 외주면을 단열함으로써 내관(11)을 통해 이송되는 공정가스를 일정 온도로 유지시킬 수 있다.
물론, 내관(11)과 외관(12) 사이의 공간(10a)이 진공상태로 유지되더라도 일정압력으로 유지됨에 따라 충진되는 질소가스와 마찬가지로 압력계(15)를 통해 내관(11)의 리크에 따른 압력 이상을 감지하여 경보음 발생부(17)를 통해 경보음을 발생할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조설비용 공정가스 배기관(10)은 한 개의 구간(단일 배기관)마다 관리하고자 하는 경우, 각 배기관 별로 압력계(15), 경보음 발생부(17) 및 충전밸브(16)를 구비하고, 일정 구간, 즉 복수 개의 단일 배기관이 상호 연결된 구간에 설치된 각각의 배기관의 이상 유무를 관리하고자 하는 경우에는 후술하는 연결관을 이용하여 각 배기관들을 상호 연결하여 사용할 수도 있다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조설비용 공정가스 배기관의 응용예를 설명하기 위해 도시한 단면도로서, 일례로 3개의 배기관이 상호 연결된 상태를 도시하였다.
도 5와 같이, 공정가스 배기관(10-1~10-3)은 길이 연장을 위해 각각 단품으로 제작된 후 양단부에 구비된 플랜지(10b)를 통해 인접한 배기관끼리 상호 연결된다.
그리고, 일정 구간마다 공정가스 배기관(10-1~10-3)의 이상 유무를 감지하기 위해 각 공정가스 배기관(10-1~10-3)의 공간(10a)을 연결관(18)을 통해 상호 연통시킨다.
연결관(18)은 인접하게 연결된 공정가스 배기관들의 제1 또는 제2 접속구(13, 14)를 상호 연결하여 인접하게 연결된 공정가스 배기관들의 공간(10a)을 상호 연통시킨다.
이에 따라, 서로 연결된 공정가스 배기관들 중 어느 하나의 공정가스 배기관(최선단에 배치된 배기관이나 최후단에 배치된 배기관)에 결합된 제1 또는 제2 접속구(13, 14)에 충전밸브(16)를 통해 질소가스를 충진하면 연결관(18)을 통해 상호 연통하여 모든 공정가스 배기관들(10-1~10-3)의 공간(10a)에는 질소가스가 충진된다.
그리고, 서로 연결된 공정가스 배기관들 중 어느 하나의 공정가스 배기관(최선단에 배치된 배기관이나 최후단에 배치된 배기관)에 결합된 제1 또는 제2 접속구(13, 14)에 압력계(15)를 결합하여 실시간으로 공간(10a) 내의 압력 변화를 감지한다.
예를 들어, 일정 구간 내에서 서로 연결된 공정가스 배기관들 중 적어도 어느 하나의 공정가스 배기관의 내관에서 리크가 발생되어 공간(10a)의 내부에 충진된 질소가스의 압력에 변화가 발생하면, 이를 압력계(15)를 통해 감지하여 경보음 발생부(18)를 통해 경보음을 발생하여 유독가스의 누출로 인한 안전사고를 예방할 수 있다.
이상에서와 같이 본 발명의 기술적 사상은 바람직한 실시예에서 구체적으로 기술되었으나, 상기한 바람직한 실시예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아니다. 이처럼 이 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 본 발명의 실시예의 결합을 통해 다양한 실시예들이 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
10, 10-1, 10-2, 10-3 : 공정가스 배기관
10a : 공간
10b : 플랜지
11 : 내관
12 : 외관
13 : 제1 접속구
14 : 제2 접속구
15 : 압력계(또는 진공계)
16 : 충전밸브
17 : 경보음 발생부
18 : 연결관

Claims (6)

  1. 반도체 제조공정시 사용되는 공정가스를 이송하는 내관;
    상기 내관의 외주면을 감싸도록 형성되되, 상기 내관의 외주면과의 사이에 공간이 형성되도록 내주면이 상기 내관의 외주면과 일정 간격으로 이격 형성된 외관;
    상기 공간과 연통하도록 일단부가 상기 외관의 일측부에 설치되고, 타단부에는 상기 공간에 충진된 충전가스의 압력을 감지하는 압력계가 결합되는 제1 접속구; 및
    상기 공간과 연통하도록 일단부가 상기 외관의 타측부에 설치되고, 타단부에는 상기 충전가스를 상기 공간으로 충진하기 위한 충전밸브가 결합되는 제2 접속구;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 공정가스 배기관.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 압력계에 의해 감지된 상기 공간의 내부 압력을 토대로 상기 공간의 내부 압력에 이상이 발생된 것으로 판단되면, 경보음을 발생하는 경보음 발생부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 공정가스 배기관.
  3. 반도체 제조공정시 사용되는 공정가스를 이송하는 내관;
    상기 내관의 외주면을 감싸도록 형성되되, 상기 내관의 외주면과의 사이에 공간이 형성되도록 내주면이 상기 내관의 외주면과 일정 간격으로 이격 형성된 외관;
    상기 공간과 연통하도록 일단부가 상기 외관의 일측부에 설치되고, 타단부에는 진공 상태로 유지되는 상기 공간의 압력을 감지하는 진공계가 결합되는 제1 접속구; 및
    상기 공간과 연통하도록 일단부가 상기 외관의 타측부에 설치되고, 타단부에는 상기 공간의 내부를 진공 상태로 충진하기 위한 충전밸브가 결합되는 제2 접속구;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 공정가스 배기관.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 진공계에 의해 감지된 상기 공간의 내부 압력을 토대로 상기 공간의 내부 압력에 이상이 발생된 것으로 판단되면, 경보음을 발생하는 경보음 발생부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 공정가스 배기관.
  5. 제 1 항 또는 제 3 항의 반도체 제조설비용 공정가스 배기관; 및
    상기 반도체 제조설비용 공정가스 배기관들 중 인접하게 배치된 상기 반도체 제조설비용 공정가스 배기관들의 제1 또는 제2 접속구와 연결되어 인접하게 배치된 상기 반도체 제조설비용 공정가스 배기관들의 공간을 상호 연통시키는 연결관;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 공정가스 배기관.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 압력계 또는 상기 진공계에 의해 감지된 상기 공간의 내부 압력을 토대로 상기 공간의 내부 압력에 이상이 발생된 것으로 판단되면, 경보음을 발생하는 경보음 발생부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 공정가스 배기관.
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KR1020190021726A KR20200103358A (ko) 2019-02-25 2019-02-25 반도체 제조설비용 공정가스 배기관

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR970052059A (ko) 1995-12-06 1997-07-29 김광호 반도체 제조 설비용 가스 배관의 성능 평가 방법 및 팁 홀더
KR20000021904A (ko) 1998-09-30 2000-04-25 윤종용 반도체장치 제조설비용 가스배관
KR101007640B1 (ko) 2009-12-17 2011-01-13 이진로 반도체공정의 공정가스 배출배관을 연결하는 유니온 가스켓

Patent Citations (3)

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Free format text: TRIAL NUMBER: 2020101000022; TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20200103

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