JP2009023353A - 造形方法、造形物の製造方法及び造形装置 - Google Patents
造形方法、造形物の製造方法及び造形装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009023353A JP2009023353A JP2008224332A JP2008224332A JP2009023353A JP 2009023353 A JP2009023353 A JP 2009023353A JP 2008224332 A JP2008224332 A JP 2008224332A JP 2008224332 A JP2008224332 A JP 2008224332A JP 2009023353 A JP2009023353 A JP 2009023353A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transfer
- transfer body
- shape
- modeled
- shaped
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 102
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 238000000465 moulding Methods 0.000 title abstract description 13
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 206
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims abstract 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 30
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 17
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 15
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 7
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 140
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 140
- 230000009466 transformation Effects 0.000 abstract 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 21
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 14
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 11
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 11
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 10
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 238000003491 array Methods 0.000 description 5
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000013518 transcription Methods 0.000 description 1
- 230000035897 transcription Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
Abstract
【解決手段】光硬化性樹脂と、レンズ部312と同形状、レンズ部312と反対形状からなる転写形状部が形成された転写体62とを互いに接触させ、光硬化性樹脂を転写体62の転写形状にならって変形させる変形工程と、変形した光硬化性樹脂の少なくとも変形した部分を硬化させる硬化工程と、硬化した光硬化性樹脂と転写部材とを離間させる離間工程とからなる転写工程を複数回繰り返し、光硬化性樹脂の収縮にあわせて、転写体62が光硬化性樹脂に接触する位置のピッチ、又は転写体62の形状を変更し、レンズアレイ、ナノインプリント用の型等の造形物を造形する。
【選択図】図2
Description
を有し、被造形物の収縮にあわせて、前記転写体が前記被造形物に接触する位置のピッチを前記制御部が変更するか、又は前記転写体の形状が変更可能に構成される造形装置にある。
h2に注入された光硬化性樹脂と、転写体62とを接触させる(接触工程)。また、光硬
化性樹脂を変形させるにあたり、孔h2への光硬化性樹脂の注入(注入工程)と、孔h2に注入された光硬化性樹脂への転写体62の接触(接触工程)とが、相互に複数回繰り返される。
2aで孔h2の1つに注入された光硬化性樹脂に、転写体62を接触させる接触工程(S302b)とを有し、光硬化性樹脂を転写体62に形成された転写形状にならって変形させる変形工程が実行される。すなわち、ステップS302では、主制御部204は、注入装置を制御してウエハWに形成された複数の孔h2の1つに光硬化性樹脂をした後、モータ制御回路206を制御して、1つの孔h2に注入された孔h2と転写体62とが接触するように、転写体62及び支持台14の少なくとも一方を移動させる。
要に応じて複数枚が、張り合わせる等の方法で接合される(接合工程)。図11(a)に
は、接合させる前の3個のレンズアレイ304が、図11(b)には、3枚のレンズアレイ304が接合された接合レンズアレイ310が示されている。
0が分割されることにより、レンズが製造される。ここで、先述のように、ウエハWにスクライブ層S(図2参照)を形成しておけば、接合レンズアレイ310の分割が容易となる。
(c)に示されるように接合レンズアレイ310とされ、接合レンズアレイ310が、少なくとも1つのレンズ部を有するように分割されて(分割工程)、図12(d)に示され
るように、1つのレンズ部312を有するレンズ314が製造される。レンズ314は、先述の第1の実施形態で製造されたレンズと同様に、例えば、CMOSセンサ等の受光素子に取り付けることでカメラを製造することができ、製造されたカメラは、例えば携帯電話機に内蔵されるカメラとして用いられる。
14 支持台
18 駆動源
24 可動台
32 y軸モータ
34 θ軸モータ
36 供給装置
44 可動ユニット
56 x軸モータ
60 光照射装置
62 転写体
64 支持部材用z軸モータ
68 光ファイバー
70 光源
72 検知装置
74 撮影部
76 レンズユニット
90 凸部
200 制御装置
204 主制御部
300 型
304 レンズアレイ
310 接合レンズアレイ
312 レンズ部
314 レンズ
W ウエハ
W1 基板
W2 保持板
h1 貫通孔
h2 孔
Claims (8)
- 被造形物と、転写形状が形成された転写体とを互いに接触させ、被造形物を前記転写形状にならって変形させる変形工程と、
被造形物の、少なくとも変形した部分を硬化させる硬化工程と、
被造形物と前記転写体とを互いに離間させる離間工程と、
前記転写体を前記被造形物の他の位置へ相対移動させる移動工程と、
を有し、被造形物に前記転写形状を転写する転写工程を複数回繰り返し、
被造形物の収縮にあわせて、前記転写体が前記被造形物に接触する位置のピッチ、又は前記転写体の形状を変更する造形方法。 - 前記変形工程は、
基板に予め複数が形成された孔に被造形物を注入する注入工程と、
前記孔に注入された被造形物と、前記転写体とを接触させる接触工程と、
を有する請求項1記載の造形方法。 - 前記注入工程及び前記接触工程を、相互に複数回繰り返す請求項2記載の造形方法。
- 前記変形工程では、前記転写体として、1つの転写形状、又は1つの転写形状との反対形状のみが形成された転写体を用い、被造形物を変形させる請求項1乃至3いずれか記載の造形方法。
- 光硬化性材料からなる被造形物を用い、
前記硬化工程では、光を照射して被造形物を硬化させる請求項1乃至4いずれか記載の造形方法。 - 熱硬化性材料からなる被造形物を用い、
前記硬化工程では、加熱により被造形物を硬化させる請求項1乃至4いずれか記載の造形方法。 - 被造形物と、転写形状が形成された転写体とを互いに接触させ、被造形物を前記転写形状にならって変形させる変形工程、被造形物の少なくとも変形した部分を硬化させる硬化工程、被造形物と前記転写体とを互いに離間させる離間工程、及び前記転写体を前記被造形物の他の位置へ相対移動させる移動工程を有する転写工程を複数回繰り返して、前記転写形状の反対形状が複数形成された型を造形する造形造工程と、
前記造形工程で造形された型を用いて、複数の転写形状部を有する1次造形物を成形する1次造形物成形工程と、
前記1次造形物成形工程で成形された1次造形物を、少なくとも1つの転写形状部を有する複数の2次造形物に分割する分割工程と、
を有し、
被造形物の収縮にあわせて、前記転写体が前記被造形物に接触する位置のピッチ、又は前記転写体の形状を変更する造形物の製造方法。 - 被造形物を支持する支持部と、
前記支持部に支持された被造形物に接触可能に設けられ、転写形状が形成された転写体と、
前記支持部に支持された被造形物と前記転写体とを、離間させ、前記転写体を前記被造形物の他の位置へ相対移動させて当接させるように、前記支持部及び前記転写体との少なくともいずれか一方を移動させる移動装置と、
被造形物の、少なくとも前記転写体に接触し、前記転写形状にならって変形した部分を硬化させる硬化装置と、
被造形物に、前記転写形状が複数回、転写されるように、少なくとも前記移動装置及び前記硬化装置を制御する制御部と、
を有し、
被造形物の収縮にあわせて、前記転写体が前記被造形物に接触する位置のピッチを前記制御部が変更するか、又は前記転写体の形状が変更可能に構成される造形装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008224332A JP5147608B2 (ja) | 2007-06-14 | 2008-09-02 | 造形方法、造形物の製造方法及び造形装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007157396 | 2007-06-14 | ||
JP2007157396 | 2007-06-14 | ||
JP2008224332A JP5147608B2 (ja) | 2007-06-14 | 2008-09-02 | 造形方法、造形物の製造方法及び造形装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008153849A Division JP4226067B2 (ja) | 2007-06-14 | 2008-06-12 | 造形方法、レンズの製造方法、及び造形装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009023353A true JP2009023353A (ja) | 2009-02-05 |
JP5147608B2 JP5147608B2 (ja) | 2013-02-20 |
Family
ID=40358614
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008153849A Active JP4226067B2 (ja) | 2007-06-14 | 2008-06-12 | 造形方法、レンズの製造方法、及び造形装置 |
JP2008224332A Active JP5147608B2 (ja) | 2007-06-14 | 2008-09-02 | 造形方法、造形物の製造方法及び造形装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008153849A Active JP4226067B2 (ja) | 2007-06-14 | 2008-06-12 | 造形方法、レンズの製造方法、及び造形装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP4226067B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010194760A (ja) * | 2009-02-23 | 2010-09-09 | Sharp Corp | 成形装置、成形型の製造方法、光学素子アレイ板の製造方法、電子素子モジュールの製造方法、電子情報機器 |
CN102497966A (zh) * | 2009-08-31 | 2012-06-13 | 柯尼卡美能达精密光学株式会社 | 晶片透镜的制造方法 |
US8400718B2 (en) | 2009-07-14 | 2013-03-19 | Sharp Kabushiki Kaisha | Image pickup lens and image pickup module |
US8422147B2 (en) | 2011-04-05 | 2013-04-16 | Sharp Kabushiki Kaisha | Image pickup lens and image pickup module |
US8462448B2 (en) | 2009-08-07 | 2013-06-11 | Sharp Kabushiki Kaisha | Image sensing module, imaging lens and code reading method |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2010087082A1 (ja) * | 2009-01-30 | 2012-07-26 | コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 | ウエハレンズ製造装置及びウエハレンズの製造方法 |
EP2437928B1 (en) * | 2009-06-02 | 2017-08-09 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Method for manufacturing wafer lens and the manufatured wafer lens |
WO2010139343A1 (en) | 2009-06-02 | 2010-12-09 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Lens and method for manufacturing same |
JP2011090018A (ja) * | 2009-09-24 | 2011-05-06 | Sharp Corp | 撮像レンズ、撮像モジュール、撮像レンズの製造方法、および、撮像モジュールの製造方法 |
JP4886016B2 (ja) * | 2009-10-08 | 2012-02-29 | シャープ株式会社 | 撮像レンズ、撮像モジュール、撮像レンズの製造方法、および、撮像モジュールの製造方法 |
JP5138656B2 (ja) * | 2009-10-15 | 2013-02-06 | シャープ株式会社 | レンズ評価方法 |
JP5647808B2 (ja) | 2010-03-30 | 2015-01-07 | 富士フイルム株式会社 | レンズアレイのマスタの製造方法 |
JP5138734B2 (ja) * | 2010-06-15 | 2013-02-06 | シャープ株式会社 | 撮像レンズ、および撮像モジュール |
TWI770034B (zh) | 2016-08-15 | 2022-07-11 | 日商索尼半導體解決方案公司 | 積層透鏡構造體、相機模組及積層透鏡構造體之製造方法 |
-
2008
- 2008-06-12 JP JP2008153849A patent/JP4226067B2/ja active Active
- 2008-09-02 JP JP2008224332A patent/JP5147608B2/ja active Active
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010194760A (ja) * | 2009-02-23 | 2010-09-09 | Sharp Corp | 成形装置、成形型の製造方法、光学素子アレイ板の製造方法、電子素子モジュールの製造方法、電子情報機器 |
US8400718B2 (en) | 2009-07-14 | 2013-03-19 | Sharp Kabushiki Kaisha | Image pickup lens and image pickup module |
US8462448B2 (en) | 2009-08-07 | 2013-06-11 | Sharp Kabushiki Kaisha | Image sensing module, imaging lens and code reading method |
CN102497966A (zh) * | 2009-08-31 | 2012-06-13 | 柯尼卡美能达精密光学株式会社 | 晶片透镜的制造方法 |
US8422147B2 (en) | 2011-04-05 | 2013-04-16 | Sharp Kabushiki Kaisha | Image pickup lens and image pickup module |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5147608B2 (ja) | 2013-02-20 |
JP4226067B2 (ja) | 2009-02-18 |
JP2009018578A (ja) | 2009-01-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5147608B2 (ja) | 造形方法、造形物の製造方法及び造形装置 | |
EP2168746B1 (en) | Method and apparatus for moulding aspherical lenses | |
KR101634353B1 (ko) | 마이크로 렌즈, 상기 마이크로 렌즈 제조방법, 상기 마이크로 렌즈 제조 장치, 및 상기 마이크로 렌즈를 구비한카메라 모듈 | |
JP6004738B2 (ja) | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 | |
JP4226061B1 (ja) | 光学部品の製造方法、型の製造方法、光学部品製造装置、及び型製造装置 | |
JP5546066B2 (ja) | 転写システムおよび転写方法 | |
JP2013102137A (ja) | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 | |
JP5161707B2 (ja) | 微細構造転写モールド及び微細構造転写装置 | |
JP2012164809A (ja) | インプリント装置、および、物品の製造方法 | |
TWI627050B (zh) | 壓印方法、壓印設備、模具及製造半導體裝置的方法 | |
JP6423641B2 (ja) | インプリント装置、物品の製造方法及びインプリント方法 | |
TW201303376A (zh) | 成形模具、薄片狀透鏡以及光學透鏡之製造方法 | |
JP5678887B2 (ja) | ウエハレンズ製造装置、ウエハレンズの製造方法及びウエハレンズ製造用樹脂型の製造方法 | |
JP5503115B2 (ja) | 造形物の製造方法及び造形物製造システム | |
JP2007176037A (ja) | 転写装置および転写方法 | |
JP2009028996A (ja) | スタンパ及びスタンパ取り付け方法 | |
JP2006224342A (ja) | ハイブリッドレンズの製造方法 | |
JP2008107406A (ja) | ハードコート処理パネルの製造方法及び処理パネル | |
JP2008046469A (ja) | 回折光学素子の製造方法および樹脂吐出装置 | |
JP2007164058A (ja) | 光学基材、金型、及び複合型光学部品の製造方法 | |
JPH1134067A (ja) | 金型製造方法及び離型機構及び加圧装置 | |
KR20050108953A (ko) | 쾌속광조형기 | |
JP2000094529A (ja) | 成形方法 | |
JP2012183777A (ja) | 成形型、ウェハレンズ及び光学レンズの製造方法 | |
JP2011216808A (ja) | 転写装置、転写システム及び転写方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110524 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121019 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121101 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121127 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5147608 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151207 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151207 Year of fee payment: 3 |
|
S303 | Written request for registration of pledge or change of pledge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316304 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151207 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S343 | Written request for registration of root pledge or change of root pledge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316350 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316343 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S803 | Written request for registration of cancellation of provisional registration |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316803 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |