JP4226067B2 - 造形方法、レンズの製造方法、及び造形装置 - Google Patents
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Description
前記アレイ状のレンズ基板上にメッキして前記レンズ形状を形成する面を有するマスタを形成する工程と、前記マスタのレンズ形状を形成する面上にメッキしてマザーを形成する工程と、前記マザーにより成形型を形成する工程と、前記成形型により第2の基板上に第2の樹脂を前記レンズ形状に硬化させ形成する工程と、ドライエッチングにより前記第2の樹脂を除去するとともに前記第2の基板の一部を除去する工程とを含むマイクロレンズアレイの製造方法が開示されている。
図1において、本発明の第1の実施形態に係る造形装置10が示されている。造形装置10は、造形物であり、光学部品であるレンズアレイの造形に用いられ、設置面に設置される基台12を有し、基台12の上に可動台24が支持されている。可動台24の上側面には、さらに支持台14が支持されている。
図2に示されるように、ウエハWは、基板W1の上方に、保持板W2が重ねられた構造をしている。基板W1は、例えば光が透過することができる材料であるガラスからなり、その厚さt1は、例えば400μである。保持板W2は、例えば液体からなり、流動性が高い硬化前の光硬化性樹脂を所定の位置に保持するために用いられ、例えばシリコンからなり、その厚さt2は、例えば725μであり、上方から下方に貫通する貫通孔h1が複数形成されている。それぞれの貫通孔h1は、例えば、上方から下方に向かって狭くなるすり鉢形状をしている。
但し、Cを曲率半径Rの逆数、ρを反射鏡面の光軸からの高さ、zをサグ(sag)量、κ1を円錐係数とする。
先述の実施形態に係るウエハWは、基板W1と保持板W2とが積層されるようになっていたのに対して、この第2の変形例では、ウエハWは、保持板W2を有せず、基板W1からなる。第2の変形例に係るウエハWを用いる場合、ウエハWの表面全体に、スピンコートで光硬化性樹脂を塗布し、ウエハWに塗布された光硬化性樹脂に対して、順次、転写体62による転写がなされる。
図6に示されるように、制御装置200は、検知装置72で撮影された画像を認識する画像認識装置202を介して検知装置72からの出力が入力される主制御部204を有する。主制御部204は、モータ制御回路206を制御することで、y軸モータ32、x軸モータ56、支持部材用z軸モータ64、及びθ軸モータ34を制御する。また、主制御部204は、光源駆動回路208を制御することで光源70を制御する。また、主制御部204は、モータ制御回路210を制御することで検知装置用z軸モータ80を制御する。また、主制御部204は、バルブ駆動回路212を制御することで、バルブ38を制御する。また、主制御部204は、駆動源制御回路214を制御することで、駆動源18を制御する。また、先述のように、ウエハWに形成された孔h2に光硬化性樹脂を注入する注入装置(不図示)を造形装置10に設けた場合、この注入装置の制御も、制御装置200によってなされる。
転写工程がスタートすると、ステップS302でウエハWに塗布された光硬化性樹脂を、転写体62に形成された転写形状にならって変形させる変形工程が実行される。すなわち、ステップS302では、主制御部204は、モータ制御回路206を制御して、y軸モータ32、x軸モータ56、支持部材用z軸モータ64、及びθ軸モータ34を駆動させ、ウエハWに塗布された光硬化性樹脂の所定の位置と転写体62とが接触し、光硬化性材料を変形させるように、転写体62及び支持台14の少なくとも一方を移動させる。
これに対して、この第2のフローチャートに示す工程においては、ステップS200におけるウエハWの全面への光硬化性樹脂の塗布はなされず、後述するように、ステップS300の転写工程において、ウエハWに形成された孔h2への樹脂の注入がなされる。
まず、形成されたレンズアレイは、図11(a)、図11(b)に示されるように、必要に応じて複数枚が、張り合わせる等の方法で接合される(接合工程)。図11(a)には、接合させる前の3個のレンズアレイ304が、図11(b)には、3枚のレンズアレイ304が接合された接合レンズアレイ310が示されている。
第1の実施形態では、造形装置10(図1参照)を用いてレンズアレイ304(図11参照)の造形がなされたのに対して、この第2の実施形態では、造形装置10を用いて、レンズアレイを成形するために用いられる型の形成がなされる。型は、第1の実施形態と同様に、ステップS100の載置工程、ステップS200に光硬化性樹脂塗付工程、ステップS300の転写工程、ステップS500のウエハ搬出工程を経て造形され、ステップS300の転写工程は、最終的に成形されるレンズアレイのレンズ部の数に応じて繰り返される。
尚、2つの型300を転写体62の形状が転写された側の面が互いに向かい合うように配置して型300、300の間にレンズアレイの材料を供給することに替えて、型300の転写体62の形状が転写された側の面と、平面を有する平板とを対向するように配置して、型300と平板との間にレンズアレイの材料を供給しても良い。
14 支持台
18 駆動源
24 可動台
32 y軸モータ
34 θ軸モータ
36 供給装置
44 可動ユニット
56 x軸モータ
60 光照射装置
62 転写体
64 支持部材用z軸モータ
68 光ファイバー
70 光源
72 検知装置
74 撮影部
76 レンズユニット
90 凸部
200 制御装置
204 主制御部
300 型
304 レンズアレイ
310 接合レンズアレイ
312 レンズ部
314 レンズ
W ウエハ
W1 基板
W2 保持板
h1 貫通孔
h2 孔
Claims (10)
- 被造形物と、非球面形状からなるレンズ部と同形状、又は前記非球面形状からなるレンズ部と反対形状からなる転写形状が形成された転写体とを互いに接触させ、被造形物を前記転写形状にならって変形させる変形工程と、
被造形物の、少なくとも変形した部分を硬化させる硬化工程と、
被造形物と前記転写体とを互いに離間させる離間工程と、
前記転写体を前記被造形物の他の位置へ相対移動させる移動工程と、
を有し、被造形物に前記転写形状を転写する転写工程を複数回繰り返し、
被造形物の収縮にあわせて、前記転写体が前記被造形物に接触する位置のピッチ、又は前記転写体の形状を変更する造形方法。 - 前記変形工程は、
基板に予め複数が形成された孔に被造形物を注入する注入工程と、
前記孔に注入された被造形物と、前記転写体とを接触させる接触工程と、
を有する請求項1記載の造形方法。 - 前記注入工程及び前記接触工程を、相互に複数回繰り返す請求項2記載の造形方法。
- 前記変形工程では、前記転写体として、1つの非球面形状からなるレンズ形状、又は1つの非球面形状からなるレンズ形状との反対形状のみが形成された転写体を用い、被造形物を変形させる請求項1乃至3いずれか記載の造形方法。
- 光硬化性材料からなる被造形物を用い、
前記硬化工程では、光を照射して被造形物を硬化させる請求項1乃至4いずれか記載の造形方法。 - 熱硬化性材料からなる被造形物を用い、
前記硬化工程では、加熱により被造形物を硬化させる請求項1乃至4いずれか記載の造形方法。 - 非球面形状からなるレンズを造形する請求項1乃至6いずれか記載の造形方法。
- 非球面形状からなるレンズの成形に用いられる型を造形する請求項1乃至6いずれか記載の造形方法。
- 被造形物と、非球面形状からなるレンズ部と同形状からなる転写形状が形成された転写体とを互いに接触させ、被造形物を前記転写形状にならって変形させる変形工程、被造形物の少なくとも変形した部分を硬化させる硬化工程、被造形物と前記転写体とを互いに離間させる離間工程、及び前記転写体を前記被造形物の他の位置へ相対移動させる移動工程を有する転写工程を複数回繰り返して、前記転写形状の反対形状が複数形成された型を造形する造形造工程と、
前記造形工程で造形された型を用いて、複数の非球面形状からなるレンズ部を有するレンズアレイを成形するレンズアレイ成形工程と、
前記レンズアレイ成形工程で成形されたレンズアレイを、少なくとも1つの非球面形状からなるレンズ部を有する複数のレンズに分割する分割工程と、
を有し、
被造形物の収縮にあわせて、前記転写体が前記被造形物に接触する位置のピッチ、又は前記転写体の形状を変更するレンズの製造方法。 - 被造形物を支持する支持部と、
前記支持部に支持された被造形物に接触可能に設けられ、非球面形状からなるレンズ部と同形状、又は前記非球面形状からなるレンズ部と反対形状からなる転写形状が形成された転写体と、
前記支持部に支持された被造形物と前記転写体とを、離間させ、前記転写体を前記被造形物の他の位置へ相対移動させて当接させるように、前記支持部及び前記転写体との少なくともいずれか一方を移動させる移動装置と、
被造形物の、少なくとも前記転写体に接触し、前記転写形状にならって変形した部分を硬化させる硬化装置と、
被造形物に、前記転写形状が複数回、転写されるように、少なくとも前記移動装置及び前記硬化装置を制御する制御部と、
を有し、
被造形物の収縮にあわせて、前記転写体が前記被造形物に接触する位置のピッチを前記制御部が変更する造形装置。
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