JP2009016422A - クリーニング装置、露光装置、デバイス製造方法、及びクリーニング方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】デバイス製造装置を良好にクリーニングできるクリーニング装置を提供する。
【解決手段】クリーニング装置は、基板を処理するデバイス製造装置に用いられる。クリーニング装置は、液体接触面と、液体接触面上のクリーニング用液体に振動を与える振動発生装置とを備え、デバイス製造装置の保持部に着脱可能である。
【選択図】図1
【解決手段】クリーニング装置は、基板を処理するデバイス製造装置に用いられる。クリーニング装置は、液体接触面と、液体接触面上のクリーニング用液体に振動を与える振動発生装置とを備え、デバイス製造装置の保持部に着脱可能である。
【選択図】図1
Description
本発明は、デバイス製造装置に用いられるクリーニング装置、基板を露光光で露光する露光装置、デバイス製造方法、及びデバイス製造装置のクリーニング方法に関する。
半導体デバイス、電子デバイス等のマイクロデバイスを製造する際、半導体ウエハ、ガラス板等の基板が、例えばCVD装置、PVD装置のような薄膜形成装置、スピンコーティング装置、インクジェット装置のような塗布装置、及び露光装置等、各種のデバイス製造装置によって処理される。下記特許文献には、デバイス製造装置の一例として、基板を露光光で露光する露光装置の一例が開示されている。
国際公開第99/49504号パンフレット
特開2004−289127号公報
デバイス製造装置において、例えば処理対象である基板の近傍の所定部位が汚染している状態を放置しておくと、デバイス製造装置の性能が低下したり、基板が汚染されたりして、製造されるデバイスが不良となる可能性がある。そのため、デバイス製造装置を良好にクリーニングできる技術の案出が望まれる。
本発明は、デバイス製造装置を良好にクリーニングできるクリーニング装置を提供することを目的とする。また本発明は、所定部位を良好にクリーニングできる露光装置、及びその露光装置を用いるデバイス製造方法を提供することを目的とする。また本発明は、デバイス製造装置を良好にクリーニングできるクリーニング方法を提供することを目的とする。
本発明の第1の態様に従えば、基板を処理するデバイス製造装置に用いられるクリーニング装置であって、液体接触面と、液体接触面上のクリーニング用液体に振動を与える振動発生装置と、を備え、デバイス製造装置の保持部に着脱可能であるクリーニング装置が提供される。
本発明の第2の態様に従えば、基板を露光光で露光する露光装置であって、振動発生装置を有するクリーニング装置を着脱可能に支持可能な保持部を備え、クリーニング装置と所定部位との間のクリーニング用液体に、振動発生装置を用いて振動を与えて、所定部位をクリーニングする露光装置が提供される。
本発明の第3の態様に従えば、上記態様の露光装置を用いて基板を露光することと、露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法が提供される。
本発明の第4の態様に従えば、基板を処理するデバイス製造装置のクリーニング方法であって、基板を着脱可能に保持する保持部で、振動発生装置を有するクリーニング装置を支持することと、デバイス製造装置の所定部位と対向する位置に、保持部に支持されたクリーニング装置を配置することと、所定部位とクリーニング装置との間にクリーニング用液体を供給することと、振動発生装置を使ってクリーニング用液体に振動を与えることと、を含むクリーニング方法が提供される。
本発明によれば、デバイス製造装置を良好にクリーニングできる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。なお、以下の説明においては、XYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。水平面内の所定方向をX軸方向、水平面内においてX軸方向と直交する方向をY軸方向、X軸方向及びY軸方向のそれぞれに直交する方向(すなわち鉛直方向)をZ軸方向とする。また、X軸、Y軸、及びZ軸まわりの回転(傾斜)方向をそれぞれ、θX、θY、及びθZ方向とする。
<第1実施形態>
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係るクリーニング装置1を示す平面図、図2は、側断面図である。本実施形態において、クリーニング装置1は、基板を処理するデバイス製造装置に用いられる。
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係るクリーニング装置1を示す平面図、図2は、側断面図である。本実施形態において、クリーニング装置1は、基板を処理するデバイス製造装置に用いられる。
図1及び図2に示すように、本実施形態においては、クリーニング装置1は、円板状の外形を有し、表面2及び裏面3を有する。クリーニング装置1は、クリーニング用液体を用いて、デバイス製造装置の少なくとも一部をクリーニングする。デバイス製造装置をクリーニングするとき、クリーニング装置1の表面2上に、クリーニング用液体で液浸空間が形成され、クリーニング装置1の表面2は、クリーニング用液体と接触する。
なお、液浸空間は、液体で満たされた空間である。また、以下の説明において、液体(クリーニング用液体を含む)と接触するクリーニング装置1の表面2を適宜、液体接触面2、と称する。
クリーニング装置1は、振動発生装置4を備えている。本実施形態において、振動発生装置4は、圧電素子を含む。振動発生装置4は、クリーニング装置1の液体接触面2上のクリーニング用液体に振動を与える。本実施形態においては、液体接触面2と平行なXY平面内における振動発生装置4の外形は、円形である。
デバイス製造装置の所定部位をクリーニングするとき、その所定部位と対向する位置にクリーニング装置1の液体接触面2が配置され、デバイス製造装置の所定部位とクリーニング装置1の液体接触面2との間にクリーニング用液体で液浸空間が形成される。クリーニング装置1は、振動発生装置4を用いて、デバイス製造装置の所定部位と液体接触面2との間のクリーニング用液体に振動を与えて、所定部位をクリーニングする。本実施形態においては、振動発生装置4は、クリーニング用液体に、超音波を与える。
本実施形態において、クリーニング装置1は、円板状の基材5を有し、振動発生装置4は、基材5上に配置されている。本実施形態においては、振動発生装置4は、液体接触面2と平行なXY平面内において、基材5のほぼ中央に配置されている。本実施形態において、基材5は、石英(ガラス)で形成されている。なお、基材5がシリコンで形成されていてもよいし、ステンレス鋼等の金属、あるいはガラスで形成されていてもよい。
また、クリーニング装置1は、振動発生装置4に動力を供給する動力供給装置6を備えている。本実施形態において、動力供給装置6は、充電池を含む電源7と、配線8を介して電源7と接続された高周波電圧発生器9とを含む。電源7及び高周波電圧発生器9を含む動力供給装置6は、基材5上に配置されている。
高周波電圧発生器9は、配線10を介して振動発生装置4と接続されている。電源7から供給される電力によって高周波電圧発生器9が作動すると、その高周波電圧発生器9は、振動発生装置4を振動(超音波振動)させるための信号(交流電圧)を振動発生装置4に供給する。
また、本実施形態においては、クリーニング装置1は、電源7と配線11を介して接続された回路素子12を備えている。回路素子12は、無線で通信可能な通信器13を含む。通信器13は、信号を無線で受信可能な受信器14、及び信号を無線で送信可能な送信器15を含む。また、回路素子12は、高周波電圧発生器9、通信器13等を制御可能な制御器16を含む。回路素子12と高周波電圧発生器9とは配線17を介して接続されており、制御器16の制御信号は、配線17を介して高周波電圧発生器9に供給可能である。通信器13及び制御器16を含む回路素子12は、基材5上に配置されている。回路素子12は、電源7から供給される電力によって作動する。
本実施形態においては、振動発生装置4が振動することによって、基材5を含むクリーニング装置1全体が振動(超音波振動)する。
次に、上述のクリーニング装置1が用いられるデバイス製造装置について説明する。本実施形態においては、デバイス製造装置が、基板を露光光で露光する露光装置である場合を例にして説明する。
図3は、本実施形態に係る露光装置EXを示す概略構成図である。図3において、露光装置EXは、マスクMを保持しながら移動可能なマスクステージ20と、基板Pを保持しながら移動可能な基板ステージ21と、マスクステージ20を移動する第1駆動システム22と、基板ステージ21を移動する第2駆動システム23と、各ステージ20、21の位置情報を計測するレーザ干渉計24A、24Bを含む干渉計システム24と、マスクMを露光光ELで照明する照明系ILと、露光光ELで照明されたマスクMのパターンの像を基板Pに投影する投影光学系PLと、露光装置EX全体の動作を制御する制御装置25とを備えている。
なお、ここでいう基板Pは、デバイスを製造するためのデバイス製造用基板であって、本実施形態においては、例えばシリコンウエハのような半導体ウエハ等の基材に感光膜が形成されたものを含む。感光膜は、感光材(フォトレジスト)の膜である。また、基板Pには、感光膜とは別に保護膜(トップコート膜)等の各種の膜が形成されていてもよい。マスクMは、基板Pに投影されるデバイスパターンが形成されたレチクルを含み、例えばガラス板等の透明板部材上にクロム等の遮光膜を用いて所定のパターンが形成されたものである。この透過型マスクは、遮光膜でパターンが形成されるバイナリーマスクに限られず、例えばハーフトーン型、あるいは空間周波数変調型などの位相シフトマスクも含む。また、本実施形態においては、マスクMとして透過型のマスクを用いるが、反射型のマスクを用いてもよい。
また、本実施形態の露光装置EXは、無線で通信可能な通信装置26を有する。通信装置26は、制御装置25に接続されている。通信装置26は、信号を無線で受信可能な受信装置27、及び信号を無線で送信可能な送信装置28を含む。通信装置26は、クリーニング装置1と無線で通信可能である。
また、露光装置EXは、基板Pを搬送する搬送部材29を含む搬送システム30を備えている。搬送システム30は、搬送部材29を用いて、露光前の基板Pを基板ステージ21に搬入(ロード)可能である。また、搬送システム30は、搬送部材29を用いて、露光後の基板Pを基板ステージ21から搬出(アンロード)可能である。
本実施形態の露光装置EXは、露光用液体LQを介して基板Pを露光光ELで露光する液浸露光装置であって、露光光ELの光路空間の少なくとも一部が露光用液体LQで満たされるように、露光用液体LQで液浸空間を形成する。なお、露光光ELの光路空間は、露光光ELが通過する光路を含む空間である。
本実施形態においては、投影光学系PLの複数の光学素子のうち、投影光学系PLの像面に最も近い終端光学素子31と、その終端光学素子31と対向する物体との間の露光光ELの光路空間が露光用液体LQで満たされるように、露光用液体LQで液浸空間が形成される。終端光学素子31は、投影光学系PLの像面に向けて露光光ELを射出する下面32(射出面)を有し、露光用液体LQの液浸空間は、終端光学素子31の下面32と、その終端光学素子31の下面32と対向する物体との間の露光光ELの光路空間を露光用液体LQで満たすように形成される。露光装置EXは、露光用液体LQを介して基板Pに露光光ELを照射して、その基板Pを露光する。
本実施形態の露光装置EXは、露光光ELの光路空間を露光用液体LQで満たすために、露光用液体LQで液浸空間を形成可能なノズル部材33を備えている。ノズル部材33は、終端光学素子31の近傍に配置されている。ノズル部材33は、終端光学素子31の下面32と対向する位置に配置される物体と対向可能な下面34を有する。本実施形態においては、終端光学素子31及びノズル部材33と、その終端光学素子31及びノズル部材33と対向する物体との間に保持される露光用液体LQによって液浸空間が形成される。
終端光学素子31及びノズル部材33と対向可能な物体は、終端光学素子31の射出側(投影光学系PLの像面側)で移動可能な物体を含む。本実施形態においては、終端光学素子31の射出側で移動可能な物体は、基板ステージ21、及び基板ステージ21に保持された基板Pの少なくとも一方を含む。
基板Pの露光時には、基板ステージ21に保持された基板Pが、終端光学素子31及びノズル部材33と対向するように配置される。ノズル部材33は、少なくとも基板Pの露光時に、終端光学素子31と基板Pとの間の露光光ELの光路空間を露光用液体LQで満たすように、露光用液体LQで液浸空間を形成する。
本実施形態においては、上述の物体の表面の一部の領域(局所的な領域)が液体で覆われるように液浸空間が形成され、その物体の表面とノズル部材33の下面34との間に液体の界面(メニスカス、エッジ)が形成される。基板Pの露光時には、投影光学系PLの投影領域を含む基板P上の一部の領域が露光用液体LQで覆われるように露光用液体LQで液浸空間が形成される。すなわち、本実施形態の液浸露光装置EXは、局所液浸方式を採用する。
また、本実施形態においては、所定のタイミングで、上述のクリーニング装置1を用いて、露光装置EXの所定部位をクリーニングする処理が実行される。露光装置EXの所定部位をクリーニングするとき、その所定部位と対向する位置にクリーニング装置1の液体接触面2が配置され、その所定部位とクリーニング装置1の液体接触面2との間にクリーニング用液体で液浸空間が形成される。クリーニング用液体で液浸空間を形成することによって、その液浸空間のクリーニング用液体と接触する所定部位をクリーニングすることができる。
ここで、以下の説明においては、露光用液体LQを適宜、第1液体LQ、と称し、クリーニング用液体LCを適宜、第2液体LC、と称する。また、第1液体LQで形成される液浸空間を適宜、第1液浸空間LS1、と称し、第2液体LCで形成される液浸空間を適宜、第2液浸空間LS2、と称する。
照明系ILは、マスクM上の所定の照明領域を均一な照度分布の露光光ELで照明する。照明系ILから射出される露光光ELとしては、例えば水銀ランプから射出される輝線(g線、h線、i線)及びKrFエキシマレーザ光(波長248nm)等の遠紫外光(DUV光)、ArFエキシマレーザ光(波長193nm)及びF2レーザ光(波長157nm)等の真空紫外光(VUV光)などが用いられる。本実施形態においては、露光光ELとして、ArFエキシマレーザ光が用いられる。
マスクステージ20は、マスクMを保持した状態で、第1駆動システム22により、X軸、Y軸、及びθZ方向の3つの方向に移動可能である。第1駆動システム22は、例えばリニアモータ等のアクチュエータを含む。マスクステージ20(マスクM)の位置情報は、干渉計システム24のレーザ干渉計24Aによって計測される。レーザ干渉計24Aは、マスクステージ20に設けられた計測ミラー20Rを用いて、マスクステージ20のX軸、Y軸、及びθZ方向に関する位置情報を計測する。制御装置25は、干渉計システム24のレーザ干渉計24Aの計測結果に基づいて、第1駆動システム22を用いて、マスクステージ20(マスクM)の位置制御を行う。
投影光学系PLは、マスクMのパターンの像を所定の投影倍率で基板Pに投影する。投影光学系PLの光学素子は、鏡筒PKで保持されている。本実施形態の投影光学系PLは、その投影倍率が例えば1/4、1/5、1/8等の縮小系である。なお、投影光学系PLは等倍系及び拡大系のいずれでもよい。本実施形態においては、投影光学系PLの光軸AXはZ軸方向と平行である。また、投影光学系PLは、反射光学素子を含まない屈折系、屈折光学素子を含まない反射系、反射光学素子と屈折光学素子とを含む反射屈折系のいずれであってもよい。また、投影光学系PLは、倒立像と正立像とのいずれを形成してもよい。
基板ステージ21は、基板Pを保持した状態で、第2駆動システム23により、X軸、Y軸、Z軸、θX、θY、及びθZ方向の3つの方向に移動可能である。第2駆動システム23は、例えばリニアモータ等のアクチュエータを含む。基板ステージ21(基板P)の位置情報は、干渉計システム24のレーザ干渉計24Bによって計測される。レーザ干渉計24Bは、基板ステージ21に設けられた計測ミラー21Rを用いて、基板ステージ21のX軸、Y軸、及びθZ方向に関する位置情報を計測する。また、基板ステージ21に保持されている基板Pの表面の面位置情報(Z軸、θX、及びθY方向に関する位置情報)は、フォーカス・レベリング検出システム(不図示)によって検出される。制御装置25は、干渉計システム24のレーザ干渉計24Bの計測結果及びフォーカス・レベリング検出システムの検出結果に基づいて、第2駆動システム23を用いて、基板ステージ21(基板P)の位置制御を行う。
本実施形態において、基板ステージ21は、基板Pを着脱可能に保持可能な保持部35を有する。本実施形態において、保持部35は、ピンチャック機構(真空チャック機構)を有し、基板Pを着脱可能に保持可能である。保持部35は、基板Pの表面とXY平面とがほぼ平行となるように、基板Pを保持する。基板ステージ21は、凹部36を有し、保持部35は、凹部36に配置されている。保持部35(凹部36)の周囲には、基板ステージ21の上面37が配置される。基板ステージ21の上面37は、保持部35に保持された基板Pの表面の周囲に配置される。上面37は、ほぼ平坦であり、保持部35に保持された基板Pの表面とほぼ同一平面内(XY平面内)に配置される。すなわち、保持部35に保持された基板Pの表面と、基板ステージ21の上面37とは、ほぼ面一である。保持部35に保持された基板Pの表面、及び基板ステージ21の上面37は、終端光学素子31の下面32及びノズル部材33の下面34と対向可能である。
搬送システム30の搬送部材29は、露光前の基板Pを基板ステージ21の保持部35に搬入(ロード)可能である。また、搬送システム30の搬送部材29は、露光後の基板Pを基板ステージ21の保持部35から搬出(アンロード)可能である。
本実施形態において、クリーニング装置1は、露光装置EXの保持部35に着脱可能である。本実施形態において、クリーニング装置1は、基板Pとほぼ同じ外形を有し、保持部35は、クリーニング装置1を着脱可能に支持可能である。本実施形態において、保持部35は、クリーニング装置1の裏面3を支持する。裏面3は、平坦である。
基板ステージ21の上面37は、保持部35に支持されたクリーニング装置1の液体接触面2の周囲に配置され、保持部35に支持されたクリーニング装置1の液体接触面2とほぼ同一平面内(XY平面内)に配置される。すなわち、保持部35に支持されたクリーニング装置1の液体接触面2と、基板ステージ21の上面37とは、ほぼ面一である。保持部35に支持されたクリーニング装置1の液体接触面2、及び基板ステージ21の上面37は、終端光学素子31の下面32及びノズル部材33の下面34と対向可能である。
また、本実施形態においては、搬送システム30の搬送部材29は、クリーニング装置1を基板ステージ21の保持部35に搬入(ロード)可能である。また、搬送システム30の搬送部材29は、クリーニング装置1を基板ステージ21の保持部35から搬出(アンロード)可能である。
図4は、ノズル部材33の近傍を示す側断面図である。図4に示すように、ノズル部材33は、終端光学素子31の近傍に配置されている。ノズル部材33は、環状の部材であって、終端光学素子31(露光光ELの光路空間)の周囲に配置されている。例えば基板P上に第1液浸空間LS1を形成する場合、終端光学素子31の下面32及びノズル部材33の下面34と基板Pの表面との間に第1液体LQが保持される。
ノズル部材33は、第1液体LQを供給可能な供給口38と、第1液体LQを回収可能な回収口39とを有する。本実施形態においては、ノズル部材33の供給口38は、第2液体LCを供給可能であり、ノズル部材33の回収口39は、第2液体LCを回収可能である。
回収口39は、ノズル部材33の下面34の一部に配置されている。また、終端光学素子31の下面32と対向するノズル部材33の一部に開口40が形成されている。終端光学素子31の下面32から射出された露光光ELは、開口40を通過し、基板Pに照射される。
露光装置EXは、第1液体LQを発生する第1液体供給装置41と、第2液体LCを発生する第2液体供給装置42と、液体(第1液体LQ、第2液体LCを含む)を回収可能な液体回収装置43とを備えている。第1液体供給装置41、第2液体供給装置42、及び液体回収装置43は、制御装置25に制御される。第1液体供給装置41と供給口38とは、ノズル部材33の内部に形成された供給流路44、及び供給管45を介して接続されている。液体回収装置43と回収口39とは、ノズル部材33の内部に形成された回収流路46、及び回収管47を介して接続されている。第2液体供給装置42は、流路切替機構48を介して、供給管45と接続されている。流路切替機構48は、制御装置25に制御される。
上述のように、第1液体LQは、露光用液体である。第1液体供給装置41は、清浄で温度調整された第1液体LQを、供給口38に向けて送出可能である。第2液体LCは、クリーニング用液体である。第2液体供給装置42は、第2液体LCを、供給口38に向けて送出可能である。液体回収装置43は、真空システムを含み、第1液体LQ及び第2液体LCを回収可能である。
本実施形態において、制御装置25は、流路切替機構48、第1液体供給装置41、及び第2液体供給装置42を制御して、第1液体供給装置41から送出された第1液体LQが供給口38へ供給されるとき、第2液体供給装置42から供給口38への第2液体LCの供給を停止することができる。また、制御装置25は、第2液体供給装置42から送出された第2液体LCが供給口38へ供給されるとき、第1液体供給装置41から供給口38への第1液体LQの供給を停止することができる。
例えば、第1液体LQで第1液浸空間LS1を形成するために、制御装置25は、第2液体供給装置42から供給口38への第2液体LCの供給を停止し、第1液体供給装置41から第1液体LQを送出する。第1液体供給装置41から送出された第1液体LQは、供給管45、及びノズル部材33の供給流路44を流れた後、供給口38に供給される。供給口38は、第1液体LQで第1液浸空間LS1を形成するために、第1液体供給装置41からの第1液体LQを供給する。また、液体回収装置43の作動によって、回収口39から回収された第1液体LQは、ノズル部材33の回収流路46を流れた後、回収管47を介して液体回収装置43に回収される。制御装置25は、供給口38を用いる第1液体LQの供給動作と並行して、回収口39を用いる第1液体LQの回収動作を実行することによって、第1液体LQで第1液浸空間LS1を形成する。
また、第2液体LCで第2液浸空間LS2を形成するために、制御装置25は、第1液体供給装置41から供給口38への第1液体LQの供給を停止し、第2液体供給装置42から第2液体LCを送出する。第2液体供給装置42から送出された第2液体LCは、供給管45、及びノズル部材33の供給流路44を流れた後、供給口38に供給される。供給口38は、第2液体LCで第2液浸空間LS2を形成するために、第2液体供給装置42からの第2液体LCを供給する。また、液体回収装置43の作動によって、回収口39から回収された第2液体LCは、ノズル部材33の回収流路46を流れた後、回収管47を介して液体回収装置43に回収される。制御装置25は、供給口38を用いる第2液体LCの供給動作と並行して、回収口39を用いる第2液体LCの回収動作を実行することによって、第2液体LCで第2液浸空間LS2を形成する。
このように、本実施形態においては、供給口38は、第1液体LQ及び第2液体LCのそれぞれを供給可能である。また、回収口39は、第1液体LQ及び第2液体LCのそれぞれを回収可能である。
本実施形態においては、第1液体LQとして、水(純水)を用いる。
また、本実施形態においては、第2液体LCとして、第1液体LQと異なるものを用いる。本実施形態においては、第2液体LCとして、水素ガスを水に溶解させた水素水(水素溶解水)を用いる。
なお、第2液体LCとして、オゾンガスを水に溶解させたオゾン水(オゾン溶解水)、窒素ガスを水に溶解させた窒素水(窒素溶解水)、アルゴンガスを水に溶解させたアルゴン水(アルゴン溶解水)、二酸化炭素ガスを水に溶解させた二酸化炭素水(二酸化炭素溶解水)等、所定のガスを水に溶解させた溶解ガス制御水を用いてもよい。また、大気圧下の溶解度以上にガスを溶解させたガス過飽和水でもよい。また、第2液体LCとして、過酸化水素を水に添加した過酸化水素水、塩酸(次亜塩素酸)を水に添加した塩素添加水、アンモニアを水に添加したアンモニア水、コリンを溶解させたコリン水、及び硫酸を水に添加した硫酸添加水等、所定の薬液を水に添加した薬液添加水を用いてもよい。また、第2液体LCとして、エタノール、及びメタノール等のアルコール類、エーテル類、ガンマブチロラクトン、シンナー類、界面活性剤、HFE等のフッ素系溶剤を用いてもよい。
本実施形態において、クリーニング装置1の液体接触面2は、第1液体LQ及び第2液体LCに対して撥液性を有する。第1液体LQ及び第2液体LCに対するクリーニング装置1の液体接触面2の接触角は、90度以上である。 本実施形態においては、クリーニング装置1の液体接触面2は、フッ素を含む材料の膜で形成されている。例えば、クリーニング装置1の液体接触面2は、PFA(テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合体)の膜で形成される。あるいは、クリーニング装置1の液体接触面2が、PTFE(ポリテトラフロエラエチレン)の膜で形成されていてもよい。あるいは、クリーニング装置1の液体接触面2が、例えば旭硝子社製「サイトップ」のような、光を透過可能なフッ素を含む材料の膜で形成されていてもよい。なお、クリーニング装置1の側面も、第1液体LQ及び第2液体LCに対して撥液性を有することが望ましい。
同様に、基板ステージ21の上面37は、第1液体LQ及び第2液体LCに対して撥液性を有する。第1液体LQ及び第2液体LCに対する基板ステージ21の上面37の接触角は、90度以上である。本実施形態においては、基板ステージ21の上面37は、例えばPFA、PTFE等、フッ素を含む材料の膜で形成されている。あるいは、基板ステージ21の上面37が、「サイトップ」の膜で形成されていてもよい。なお、基板ステージ21の凹部36の内側面(クリーニング装置1の側面と対向可能な面)も、第1液体LQ及び第2液体LCに対して撥液性を有することが望ましい。
次に、上述の構成を有する露光装置EXを用いて基板Pを露光する方法について説明する。
搬送部材29によって露光前の基板Pが基板ステージ21の保持部35にロードされると、制御装置25は、基板Pを保持部35で保持する。保持部35は、真空チャック機構を含み、基板Pを真空力で吸着保持する。制御装置25は、第2駆動システム23を用いて、終端光学素子31及びノズル部材33と対向する位置に、基板Pを保持した基板ステージ21を配置し、終端光学素子31及びノズル部材33と基板ステージ21(基板P)との間に、第1液体LQで第1液浸空間LS1を形成する。
そして、制御装置25は、第1液浸空間LS1の第1液体LQを介して、マスクMからの露光光ELを基板Pに照射する。これにより、マスクMのパターンの像が基板Pに投影され、基板Pが露光される。
制御装置25は、基板Pの露光が終了した後、保持部35による吸着保持を解除し、搬送部材29を用いて、露光後の基板Pを基板ステージ21の保持部35から搬出(アンロード)するとともに、露光前の基板Pを基板ステージ21の保持部35に搬入(ロード)する。基板ステージ21に対する基板Pの搬入が終了した後、上述同様、制御装置25は、第1液浸空間LS1の第1液体LQを介して基板Pを露光する。そして、制御装置25は、上述の動作を繰り返して、複数の基板Pを順次露光する。
基板Pの露光時に、基板Pの表面、終端光学素子31の下面32、及びノズル部材33の下面34のそれぞれは、第1液浸空間LS1の第1液体LQと接触する。基板Pと接触した第1液体LQに、例えば基板Pの一部の物質(例えば感光材の一部)が溶出する可能性がある。その液体LQが、終端光学素子31の下面32、ノズル部材33の下面34に接触すると、基板Pから溶出、あるいは分離した物質によって、下面32、34が汚染される可能性がある。また、基板Pからの物質に限られず、例えば、露光装置EXが置かれている空間中を浮遊する物質(異物)によっても、下面32、34が汚染される可能性がある。
そこで、本実施形態においては、露光装置EXは、クリーニング装置1を用いて、終端光学素子31及びノズル部材33の少なくとも一方をクリーニングする。本実施形態においては、露光装置EXは、基板ステージ21の保持部35にクリーニング装置1を支持して、基板ステージ21の保持部35に支持されているクリーニング装置1と、終端光学素子31及びノズル部材33との間に第2液体LCで第2液浸空間LS2を形成し、その形成された第2液浸空間LS2の第2液体LCに、クリーニング装置1の振動発生装置4を用いて振動を与えることによって、終端光学素子31及びノズル部材33の少なくとも一方をクリーニングする。
次に、クリーニング装置1を用いて終端光学素子31及びノズル部材33をクリーニングする方法の一例について、図5のフローチャート、及び図6の模式図を参照しながら説明する。
クリーニング装置1を用いて終端光学素子31及びノズル部材33をクリーニングするために、制御装置25は、搬送部材29を用いて、基板ステージ21の保持部35にクリーニング装置1をロードする。クリーニング装置1の裏面3は、基板ステージ21の保持部35に支持される(ステップS1)。なお、本実施形態においては、搬送部材29でクリーニング装置1を搬送しているとき、クリーニング装置1の振動発生装置4の作動は停止されている。
制御装置25は、保持部35に支持されたクリーニング装置1の液体接触面2が終端光学素子31及びノズル部材33と対向するように基板ステージ21を移動して、終端光学素子31及びノズル部材33と対向する位置に、保持部35に支持されたクリーニング装置1を配置する(ステップS2)。
制御装置25は、終端光学素子31及びノズル部材33とクリーニング装置1との間に、供給口38より第2液体LCを供給する(ステップS3)。制御装置25は、供給口38を用いる第2液体LCの供給動作と並行して、回収口29を用いる第2液体LCの回収動作を実行する。これにより、図6に示すように、終端光学素子31及びノズル部材33とクリーニング装置1との間に、第2液体LCで第2液浸空間LS2が形成される。
図6に示すように、保持部35に支持されたクリーニング装置1の液体接触面2と、基板ステージ21の上面37とは、ほぼ面一である。また、図6に示すように、第2液体LCの第2液浸空間LS2は、クリーニング装置1の液体接触面2の一部の領域(局所的な領域)を覆うように形成される。本実施形態においては、クリーニング装置1の液体接触面2のうち、振動発生装置4が配置されている領域と第2液体LCとが接触するように、第2液浸空間LS2が形成される。
制御装置25は、第2液体LCで第2液浸空間LS2を形成した状態で、クリーニング装置1の振動発生装置4を振動させる動作を開始する。本実施形態においては、制御装置25は、保持部35に支持されたクリーニング装置1の動力発生装置6を無線で制御する。制御装置25は、通信装置26(送信装置28)を用いて、動力発生装置6を制御するための制御信号を、クリーニング装置1の通信器13(受信器14)に対して、無線で送信する。
クリーニング装置1は、露光装置EXの送信装置28から送信された、動力供給装置6を制御するための制御信号を、受信器14を用いて、無線で受信する。動力供給装置6は、露光装置EXから無線で送信された制御信号に基づいて、振動発生装置4に動力を供給する。これにより、振動発生装置4は、振動を開始する(ステップS4)。
また、制御装置25は、振動発生装置4の振動数を制御可能である。制御装置25は、振動発生装置4の振動数(目標振動数)に関する情報を含む制御信号を、クリーニング装置1に無線で送信可能である。動力発生装置6は、露光装置EXから無線で送信された制御信号に基づいて、振動発生装置4を所定の振動数で振動させる。
制御装置25は、クリーニング装置1の振動発生装置4を振動させることによって、クリーニング装置1の液体接触面2上に形成されている第2液浸空間LS2の第2液体LC2に振動(超音波)を与える。クリーニング装置1は、基板ステージ21の保持部35に支持された状態で、露光装置EXの終端光学素子31及びノズル部材33と液体接触面2との間の第2液体LCに振動を与えることによって、終端光学素子31及びノズル部材33をクリーニングする。
本実施形態においては、振動発生装置4は、20kHz〜5000kHzの振動数で振動する。クリーニング装置1は、振動発生装置4を用いて、終端光学素子31及びノズル部材33と液体接触面2との間に形成された第2液浸空間LS2の第2液体LCに超音波(振動)を与えることによって、終端光学素子31及びノズル部材33の少なくとも一方に付着している異物(汚染物)を剥離させ、終端光学素子31及びノズル部材33の少なくとも一方をクリーニングすることができる。供給口38からは、常に清浄な第2液体LCが供給され、終端光学素子31及びノズル部材33の少なくとも一方から剥離された異物(汚染物)は、第2液体LCとともに、回収口39より回収される。これにより、終端光学素子31及びノズル部材33は、良好にクリーニングされる。
本実施形態においては、制御装置25は、クリーニング装置1を用いて終端光学素子31及びノズル部材33をクリーニングするとき、すなわち振動発生装置4を振動させるとき、クリーニング装置1を保持部35に吸着保持する。クリーニング装置1は、保持部35に吸着保持された状態で、振動発生装置4を用いて、第2液浸空間LS2の第2液体LCに振動(超音波)を与えることができる。
なお、制御装置25は、クリーニング装置1を用いて終端光学素子31及びノズル部材33をクリーニングするとき、クリーニング装置1を保持部35に吸着保持せずに、クリーニング装置1を保持部35上に載せた状態で、振動発生装置4を振動させることもできる。
また、終端光学素子31及びノズル部材33とクリーニング装置1との間に第2液体LCで第2液浸空間LS2を形成し、終端光学素子31及びノズル部材33に対して、クリーニング装置1を支持した保持部35(基板ステージ21)をXY方向に移動しながら、振動発生装置4を使って第2液体LCに振動を与えるようにしてもよい。
クリーニング装置1を用いたクリーニング処理が終了した後、制御装置25は、送信装置28を用いて、クリーニング装置1に制御信号を無線で送信して、動力供給装置6から振動発生装置4に対する動力の供給を停止させる。これにより、クリーニング装置1の振動が停止する。クリーニング装置1の振動が停止された後、制御装置25は、搬送部材29を用いて、クリーニング装置1を基板ステージ21の保持部35からアンロードする。その後、基板Pの露光処理を含む通常シーケンスが開始される。
アンロードされたクリーニング装置1の電源7に対して、必要に応じて、充電処理が実行される。また、アンロードされたクリーニング装置1に対して、必要に応じて、クリーニング処理が実行される。終端光学素子31及びノズル部材33から剥離した異物(汚染物)がクリーニング装置1に付着する等して、クリーニング装置1が汚れている場合には、そのクリーニング装置1に対するクリーニング処理を実行することができる。例えば、作業者によって、所定のクリーニング用液体等を用いて、クリーニング装置1に対するクリーニング処理が実行される。また、クリーニング装置1を複数用意し、アンロードされたクリーニング装置1を新たなものと交換してもよい。
以上説明したように、本実施形態によれば、終端光学素子31及びノズル部材33等、露光装置EXの所定部位を、クリーニング装置1を用いて良好にクリーニングすることができる。したがって、終端光学素子31及びノズル部材33の汚染に起因する露光装置EXの性能の劣化を抑制できる。
また、本実施形態においては、クリーニング装置1は、第2液浸空間LS2の第2液体LCに超音波を与えるので、クリーニング効果を高めることができる。本実施形態においては、クリーニングに適した第2液体LC(水素水)と超音波との相乗効果によって、終端光学素子31及びノズル部材33を良好にクリーニングすることができる。
また、本実施形態においては、第2液浸空間LS2の第2液体LCに超音波を与えるために、基板ステージ21の保持部35に着脱可能なクリーニング装置1を用いている。これにより、例えば露光装置EXに、専用のクリーニング装置を設けることなく、既存の搬送部材29を用いてクリーニング装置1を搬送し、既存の保持部35でクリーニング装置1を支持することで、クリーニング装置1の液体接触面2と対向する露光装置EXの所定部位(終端光学素子31及びノズル部材33)を円滑にクリーニングできる。したがって、露光装置EXの構造の複雑化、大型化、装置コストの増大化等を抑制しつつ、露光装置EXの所定部位を良好にクリーニングできる。
また、上述したように、終端光学素子31及びノズル部材33に対するクリーニング処理によって、終端光学素子31及びノズル部材33から剥離した異物(汚染物)が、クリーニング装置1に付着する等して、クリーニング装置1が汚染する可能性がある。本実施形態のクリーニング装置1は、露光装置EX内から容易に取り出せることができるので、汚染している可能性があるクリーニング装置1が、露光装置EX内に長時間配置され続けることを抑制できる。また、汚染している可能性のあるクリーニング装置1を容易にクリーニングしたり、新たなものと容易に交換したりすることができる。
また、本実施形態によれば、クリーニング装置1の液体接触面2が第2液体LCに対して撥液性なので、終端光学素子31及びノズル部材33と液体接触面2との間に第2液体LCを良好に保持することができ、第2液体LCで第2液浸空間LS2を良好に形成することができる。したがって、例えば終端光学素子31及びノズル部材33に対するクリーニング処理中に、第2液浸空間LS2の第2液体LCが漏出することを抑制できる。また、液体接触面2に第2液体LCが残留することを抑制できる。
また、本実施形態によれば、保持部35に着脱可能な、小型のクリーニング装置1を振動させている。これにより、クリーニング装置1を高い周波数(振動数)で円滑に振動させることができ、第2液浸空間LS2の第2液体LCに高い周波数の超音波を円滑に与えることができる。第2液浸空間LS2の第2液体LCに与える超音波の周波数が高いほうが、より良好なクリーニング効果が得られる場合には、クリーニング装置1を、例えば1MHz以上の高い周波数(振動数)で振動させることが有効である。
また、本実施形態においては、保持部35に支持されたクリーニング装置1の液体接触面2と、基板ステージ21の上面37とは面一なので、第2液浸空間LS2が基板ステージ21の上面37とクリーニング装置1の液体接触面2との間を移動するような場合でも、第2液浸空間LS2を良好に形成することができる。
また、保持部35に支持されたクリーニング装置1の液体接触面2と、基板ステージ21の上面37との間のギャップは微小(約0.1mm)であり、且つクリーニング装置1の液体接触面2及び基板ステージ21の上面37は、第2液体LCに対して撥液性を有しているので、液体接触面2、上面37に第2液体LCが残留したり、クリーニング装置1の液体接触面と基板ステージ21の上面37との間のギャップから基板ステージ2の内部に第2液体LCが浸入することを抑制することができる。
なお、本実施形態においては、振動発生装置4が、XY平面内においてクリーニング装置1(基材5)のほぼ中央に配置されている場合を例にして説明したが、エッジ近傍等、中央に配置されていなくてもよい。なお、クリーニング装置1の液体接触面2を形成する撥液性の膜を、例えばスピンコーティング法を用いて形成する場合、クリーニング装置1の回転中心と重心とが一致するように、振動発生装置4、動力供給装置6、回路素子12等の位置関係(配置)を考慮することが望ましい。
なお、本実施形態においては、クリーニング装置1に振動発生装置4が1つだけ搭載されている場合を例にして説明したが、複数の振動発生装置が搭載されていてもよい。
なお、本実施形態においては、ノズル部材33に形成された供給口38が第2液体LCと第1液体LQとの両方を供給可能である場合を例にして説明したが、ノズル部材に、第2液体LCを供給する供給口と、第1液体LQを供給する供給口との両方を形成してもよい。同様に、ノズル部材に第1液体LQを回収するための回収口と、第2液体LCを回収するための回収口の両方を設けてもよい。また、ノズル部材とは別の部材に、供給口、回収口を形成してもよい。
<第2実施形態>
次に、第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第2実施形態の特徴的な部分は、クリーニング装置1Bが、画像を取得する撮像素子を含む観察装置を備えている点にある。
図7は、第2実施形態に係るクリーニング装置1Bの一例を示す平面図である。図7において、クリーニング装置1Bは、露光装置EXの所定部位の状態を観察可能な観察装置50を備えている。観察装置50は、画像を取得する撮像素子51と、撮像素子51の入射側に設けられた光学系52とを含む。撮像素子51は、例えばCCD(charge coupled device)を含み、露光装置EXの所定部位の画像を、光学系52を介して取得可能である。撮像素子51を含む観察装置50は、基材5上に配置されている。観察装置50は、電源7に接続されており、電源7から供給される電力によって作動する。
また、本実施形態においては、クリーニング装置1Bは、発光装置53を有する。発光装置53は、例えば有機EL装置のような面光源を備える。発光装置53は、基材5上に配置されている。発光装置53は、電源7に接続されており、電源7から供給される電力によって作動する。
クリーニング装置1Bの発光装置53は、露光装置EXの所定部位を照明可能である。クリーニング装置1Bは、発光装置53で露光装置EXの所定部位を照明しながら、撮像素子51を用いて、露光装置EXの所定部位の画像を取得する。
上述の第1実施形態と同様、クリーニング装置1Bは、無線で通信可能な通信器13を備えている。通信器13は、信号を無線で受信可能な受信器14、及び信号を無線で送信可能な送信器15を含む。本実施形態において、送信器15は、観察装置50の撮像素子51で取得した画像情報を含む信号を無線で送信する。
露光装置EXは、通信装置26(受信装置27)を使って、クリーニング装置1Bから送信された、観察装置50の撮像素子51で取得した画像情報を含む信号を無線で受信する。制御装置25は、受信装置27で受信した信号を画像処理する。このように、本実施形態においては、制御装置25は、通信装置26を使って、撮像素子51で取得した画像情報を取得する。
次に、第2実施形態に係るクリーニング装置1Bを用いて終端光学素子31及びノズル部材33をクリーニングする方法の一例について、図8の模式図を参照しながら説明する。
搬送部材29によって、基板ステージ21の保持部35にクリーニング装置1Bがロードされると、制御装置25は、保持部35に支持されたクリーニング装置1Bの液体接触面2が終端光学素子31及びノズル部材33と対向するように基板ステージ21を移動して、終端光学素子31及びノズル部材33と対向する位置に、保持部35に支持されたクリーニング装置1Bを配置する。
制御装置25は、供給口38を用いる第2液体LCの供給動作と並行して、回収口39を用いる第2液体LCの回収動作を実行して、終端光学素子31及びノズル部材33とクリーニング装置1Bとの間に、第2液体LCで第2液浸空間LS2を形成する。
制御装置25は、通信装置26(送信装置28)を用いて、動力発生装置6を制御するための制御信号を、クリーニング装置1Bの通信器12(受信器14)に対して、無線で送信する。クリーニング装置1Bの動力供給装置6は、露光装置EXから無線で送信された制御信号に基づいて、振動発生装置4に動力を供給する。これにより、振動発生装置4は、振動を開始する。
制御装置25は、クリーニング装置1Bの振動発生装置4を振動させることによって、クリーニング装置1Bの液体接触面2上に形成されている第2液浸空間LS2の第2液体LC2に振動(超音波)を与える。クリーニング装置1Bは、基板ステージ21の保持部35に支持された状態で、露光装置EXの終端光学素子31及びノズル部材33と液体接触面2との間の第2液体LCに振動を与えることによって、終端光学素子31及びノズル部材33をクリーニングする。
制御装置25は、第2液体LCに振動を与える動作を所定時間実行した後、制御信号を無線で送信して、振動発生装置6による振動発生動作を停止させる。そして、制御装置25は、供給口38を用いる第2液体LCの供給動作と並行して、回収口39を用いる第2液体LCの回収動作を実行しながら、図8の模式図に示すように、終端光学素子31及びノズル部材33と観察装置50とを対向させる。制御装置25は、観察装置50及び発光装置53を制御するための制御信号を無線で送信し、発光装置53を用いて終端光学素子31及びノズル部材33を照明しながら、観察装置50を用いて終端光学素子31及びノズル部材33の画像を取得する。
このとき、制御装置25は、終端光学素子31及びノズル部材33に対して、クリーニング装置1Bを支持した保持部35(基板ステージ21)を、XY方向に移動しながら、観察装置50を用いて、終端光学素子31及びノズル部材33の画像を取得することができる。こうすることにより、広い範囲の画像を取得することができる。
観察装置50で取得した、終端光学素子31及びノズル部材33の画像情報を含む信号は、無線で露光装置EXの受信装置27に送信される。制御装置25は、送信された信号を画像処理し、終端光学素子31の下面32及びノズル部材33の下面34の状態が所望状態かどうかを判断する。すなわち、終端光学素子31の下面32及びノズル部材33の下面34が十分にクリーニングされたか、換言すれば、終端光学素子31の下面32及びノズル部材33の下面34が汚染されていないかどうかが判断される。
このように、本実施形態においては、観察装置50を用いて、クリーニング処理の確認処理が実行される。そして、その確認処理によって得られた画像情報に基づいて、制御装置25は、クリーニング装置1Bを用いたクリーニング処理を制御する。
終端光学素子31の下面32及びノズル部材33の下面34が良好にクリーニングされたと判断した場合、制御装置25は、クリーニング処理を終了し、搬送部材29を用いて、クリーニング装置1Bを保持部35からアンロードする動作を開始する。その後、通常シーケンスが実行される。
一方、終端光学素子31の下面32及びノズル部材33の下面34が十分にクリーニングされていないと判断した場合、制御装置25は、クリーニング装置1Bを用いたクリーニング処理を再実行する。そして、クリーニング装置1Bを用いたクリーニング処理を所定時間実行した後、制御装置25は、再度、観察装置50を用いた確認処理を実行する。そして、終端光学素子31の下面32及びノズル部材33の下面34が十分にクリーニングされたと判断されるまで、クリーニング処理と確認処理とが繰り返される。
また、所定のクリーニング条件でクリーニング処理したにもかかわらず、取得した画像情報に基づいて、終端光学素子31の下面32及びノズル部材33の下面34が未だ汚染していると判断した場合には、例えば、制御装置25は、クリーニング条件を変更するための制御信号を無線で送信する。例えば、制御装置25は、終端光学素子31の下面32及びノズル部材33の下面34を十分にクリーニングするために、振動発生装置4の振動数を高める等、振動発生装置4の動作条件を変更する制御信号を送信する。
以上説明したように、本実施形態によれば、終端光学素子31及びノズル部材33等、露光装置EXの所定部位をクリーニングした後、観察装置50を用いて、クリーニング効果の確認処理を実行できる。そして、クリーニング効果が認められた場合には、クリーニング処理を終了することで、所定部位が十分にクリーニングされたにも関わらず、クリーニング処理を継続してしまうことを抑制することができる。したがって、不要なクリーニング処理を排除できるので、スループットの低下、露光装置EXの稼動率の低下を抑制できる。また、十分なクリーニング効果が認められない場合には、クリーニング処理を継続(再実行)することで、所定部位を良好にクリーニングすることができる。
なお、本実施形態においては、観察装置50が、第2液体LCを介して、終端光学素子31及びノズル部材33の画像を取得する場合を例にして説明したが、第2液体LCを介さずに、終端光学素子31及びノズル部材33の画像を取得するようにしてもよい。例えば、観察装置50を用いて終端光学素子31及びノズル部材33の画像を取得する際に、供給口38を用いる第2液体LCの供給動作を停止し、回収口39を用いる第2液浸空間LS2の第2液体LCの回収動作を所定時間継続して、第2液浸空間LS2の第2液体LCを全て無くした後、観察装置50を用いて終端光学素子31及びノズル部材33の画像を取得するようにしてもよい。
なお、本実施形態においては、クリーニング装置1Bを用いるクリーニング処理を実行した後、観察装置50を用いる確認処理を実行しているが、クリーニング装置1Bを用いるクリーニング処理を実行する前に、観察装置50を用いて、終端光学素子31及びノズル部材33の画像を取得するようにしてもよい。例えば、搬送部材29によって、基板ステージ31の保持部35にクリーニング装置1Bをロードした後、クリーニング装置1Bの液体接触面2上に第2液浸空間LS2を形成する前に、観察装置50を用いて、終端光学素子31の下面32及びノズル部材33の下面34の画像情報を取得し、その取得した画像情報に基づいて、終端光学素子31の下面32及びノズル部材33の下面34が汚染されているかどうかを判断し、その判断した結果に基づいて、クリーニング処理を実行するかどうかを判断するようにしてもよい。例えば、終端光学素子31の下面32及びノズル部材33の下面34が汚染されていないと判断された場合には、クリーニング装置1Bは、保持部35からアンロードされる。一方、終端光学素子31の下面32及びノズル部材33の下面34が汚染されていると判断された場合には、終端光学素子31及びノズル部材33と保持部35に保持されたクリーニング装置1Bとの間に第2液浸空間LS2が形成され、クリーニング装置1Bを用いたクリーニング処理が開始される。
<第3実施形態>
次に、第3実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第3実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第3実施形態の特徴的な部分は、クリーニング装置1Cが、例えば特開2006−165502号公報に開示されているような、光洗浄効果を有する光を射出する発光装置60を備えている点にある。
図9は、第3実施形態を示す図である。図9において、クリーニング装置1Cは、光洗浄効果を有する光を射出する発光装置60を備えている。発光装置60は、基材5上に設けられている。本実施形態においては、発光装置60は、振動発生装置4Cの近傍に配置されている。
また、上述の第2実施形態と同様、第3実施形態のクリーニング装置1Cは、観察装置50と、露光装置EXの所定部位を照明するための照明光を射出する発光装置53とを備えている。
発光装置60は、光洗浄効果を有する光として、紫外光を射出する。例えば、制御装置25は、終端光学素子31及びノズル部材33と、発光装置60を有するクリーニング装置1Cとの間に第2液体LC2で第2液浸空間LS2を形成した状態で、発光装置60より、光洗浄効果を有する光を射出して、終端光学素子31の下面32及びノズル部材33の下面34に照射することができる。これにより、終端光学素子31の下面32及びノズル部材33の下面34は、光洗浄される。また、制御装置25は、振動発生装置4Cを振動させて第2液体LCに振動を与える動作と並行して、発光装置60から光洗浄効果を有する光を射出させる動作を実行することができる。
また、上述の第2実施形態と同様、制御装置25は、クリーニング装置1Cの観察装置50を用いて、終端光学素子31の下面32及びノズル部材33の下面34の状態を観察したり、クリーニング効果を確認したりすることができる。
なお、上述の、第2、第3実施形態においては、終端光学素子31及びノズル部材33の少なくとも一方の汚染状態を検出するために、クリーニング装置1B(1C)の観察装置50を用いる場合を例にして説明したが、例えば、終端光学素子31の下面32と対向する位置に光量検出器を配置し、終端光学素子31の下面32から射出される露光光ELの光量を光量検出器で検出し、その検出結果に基づいて、クリーニング処理を実行するかどうかを判断することができる。終端光学素子31の下面32が汚染されている状態と汚染されていない状態とでは、光量検出器に照射される露光光ELの光量が変化する可能性が高い。したがって、光量検出器の検出結果に基づいて、終端光学素子31の下面32の汚染状態を求めることができる。そして、終端光学素子31の下面32が汚染されていると判断されたときに、クリーニング装置1(1B、1C)が、基板ステージ21の保持部35にロードされ、クリーニング装置1(1B、1C)を用いたクリーニング処理が実行される。この場合、光量検出器は、クリーニング装置1B(1C)に設けてもよいし、クリーニング装置1B(1C)を保持する基板ステージ21に設けてもよい。
また、マスクM及び投影光学系PLを介した露光光ELで基板Pを露光し、現像処理を行った後、その基板P上に形成されたパターンの形状を所定の計測装置で計測し、その計測結果に基づいて、クリーニング処理を実行するかどうかを判断するようにしてもよい。例えば、パターンの形状の計測結果に基づいて、パターンの欠陥が許容範囲でないと判断した場合、終端光学素子31の下面32の汚染状態も許容範囲でないと判断し、クリーニング処理を実行する。
なお、終端光学素子31及びノズル部材33に対するクリーニング装置1(1B、1C)を用いたクリーニング処理を、例えば所定枚数の基板Pを露光する毎に、あるいはロット毎に、あるいは所定時間間隔毎に実行するようにしてもよい。
<第4実施形態>
次に、第4実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第4実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
図10は、第4実施形態に係るクリーニング装置1Dの一部を拡大した側断面図である。上述の第1〜第3実施形態においては、振動発生装置の作動によって、クリーニング装置全体が振動する場合を例にして説明したが、第4実施形態の特徴的な部分は、クリーニング装置1Dの一部分が振動する点にある。
図10において、クリーニング装置1Dは、基材5Dと、基材5D上に配置された振動部材71と、振動部材71に振動を与える振動発生装置4Dとを備えている。振動発生装置4Dは、圧電素子を含む。
基材5Dは、凹部72を有する。振動部材71は、基材5Dの凹部72の内側に配置されている。振動部材71の側面と、基材5Dの凹部72の内側面との間には所定のギャップが形成されている。振動発生装置4Dは、凹部72の内側において、振動部材71の下面と接続されている。また、振動発生装置4Dと基材5Dとの間には、バネ、ゴム等の弾性部材(可撓性部材)73が配置されており、振動発生装置4Dの振動が基材5Dに伝わることが抑制されている。また、振動部材71の表面と、基材5Dの表面とは、ほぼ面一である。なお、図10においては、電源、通信装置等の図示を省略してある。
振動発生装置4Dが作動すると、その振動発生装置4Dは、振動部材71を振動させる。本実施形態においては、基材5Dと振動部材71とは振動的に分離されており、振動発生装置4Dによって振動部材71が振動しても、基材5Dはほぼ振動しない。
終端光学素子31及びノズル部材33をクリーニング処理する際、終端光学素子31及びノズル部材33と対向する位置に、振動部材71の表面を含むクリーニング装置1Dの液体接触面2Dが配置される。そして、上述の第1〜第3実施形態と同様、終端光学素子31及びノズル部材33とクリーニング装置1Dとの間に、第2液体LCで第2液浸空間LS2が形成される。第2液浸空間LS2の第2液体LCは、振動部材71と接触する。振動発生装置4Dを用いて振動部材71が振動することによって、第2液体LCに振動を与えることができる。
以上説明したように、本実施形態においても、終端光学素子31及びノズル部材33を良好にクリーニングすることができる。また、本実施形態によれば、小型の振動部材71を振動させている。これにより、振動部材71を高い周波数(振動数)で円滑に振動させることができ、第2液浸空間LS2の第2液体LCに高い周波数の超音波を円滑に与えることができる。第2液浸空間LS2の第2液体LCに与える超音波の周波数が高いほうが、より良好なクリーニング効果が得られる場合には、振動部材71を、例えば1MHz以上の高い周波数(振動数)で振動させることが有効である。
なお、上述の第1〜第4実施形態において、第1液体LQで第2液浸空間を形成して、終端光学素子31及びノズル部材33等をクリーニングしてもよい。例えば、使用される第1液体LQがクリーニング能力を有するもの(例えばフッ素系液体)であったり、あるいは発生した汚染が第1液体LQで良好に除去可能(クリーニング可能)である場合には、第1液体LQで良好にクリーニングできる。
なお、上述の各実施形態において、終端光学素子31及びノズル部材33とクリーニング装置との間に第2液浸空間LS2を形成するために、第1液体LQと、第1液体LQと異なる第2液体LCとを時系列的に使用してもよい。例えば第1液体LQが水(純水)であり、第2液体LCが所定の気体を水に溶解させた溶解ガス制御水(水素水、窒素水等)である場合には、第2液体LCを用いたクリーニング動作後、第1液体LQを用いたクリーニング動作を実行することができる。クリーニング動作終了後に第1液体LQに置換する処理の時間を短くすることができる。
また、上述の各実施形態において、ノズル部材33とクリーニング装置との両方を振動させて第2液浸空間LS2の液体に超音波(振動)を与えるようにしてもよい。
また、上述の各実施形態においては、終端光学素子及びノズル部材のクリーニングを促進するために、液体(LQ又はLC)に20kHz以上の振動(超音波)を与えるようにしているが、液体(LQ又はLC)に20kHz未満の振動を与えるようにしてもよい。
なお、上述の各実施形態においては、クリーニング装置1の液体接触面2は、第1液体LQ及び第2液体LCの両方に対して撥液性を有しているが、どちらか一方、例えばクリーニング用の第2液体LCのみに対して撥液性であってもよい。また、液体接触面2の全面が撥液性でなくてもよく、例えば液体接触面2の周縁部のみが撥液性であってもよい。この場合、液体接触面2の一部に液体が残留する可能性があるが、液体接触面2の周縁部に撥液性の領域が設けられているので、残留した液体がクリーニング装置から落下することを防止できる。
また、液体接触面2の周縁部を撥液性にするかわりに、液体接触面2の周縁部に環状の壁部(凸部)を設けて、残留した液体がクリーニング装置から落下することを防止するようにしてもよい。
なお、上述の各実施形態においては、動力供給装置6を制御するための信号を無線でクリーニング装置1に送信し、搬送部材29によってクリーニング装置1が保持部35にロードされた後、クリーニング装置1の振動を開始し、クリーニング装置1が搬送部材29によってアンロードされる前に、クリーニング装置1の振動を停止する場合を例にして説明したが、例えば、クリーニング装置1を振動させた状態で、保持部35にロードしてもよいし、クリーニング装置1を振動させた状態で、保持部35からアンロードしてもよい。クリーニング装置1を振動させた状態で搬送しても、搬送部材29を用いて円滑に搬送可能である場合には、クリーニング装置1を振動させた状態で、そのクリーニング装置1を搬送することができる。
なお、上述の各実施形態においては、振動発生装置4が圧電素子を含む場合を例にして説明したが、例えば、偏心されたロッド状の部材と、そのロッド状の部材を回転させる回転モータとをクリーニング装置1(基材5)に搭載し、ロッド状の部材を回転モータで回転させることによって、クリーニング装置1の液体接触面2上の液体に振動を与えることができる。
なお、上述の各実施形態においては、クリーニング装置1を用いて、第1液体LQと接触する終端光学素子31及びノズル部材33をクリーニングする場合を例にして説明したが、それら終端光学素子31及びノズル部材33以外の部位をクリーニングすることももちろん可能である。保持部35を移動することによって、保持部35に保持されたクリーニング装置1の液体接触面2と対向する位置に配置される所定部位を、クリーニング装置1を用いてクリーニングすることができる。例えば、FIA方式のアライメント装置が配置されている場合において、保持部35に保持されたクリーニング装置1の液体接触面2と、アライメント装置の少なくとも一部とが対向する位置関係となる場合、クリーニング装置1の液体接触面2と、アライメント装置との間に第2液体LCで第2液浸空間LS2を形成して、アライメント装置をクリーニングすることができる。この場合、クリーニング装置1の液体接触面2とアライメント装置とで形成される空間の近傍に、第2液体LCで第2液浸空間LS2を形成するために第2液体LC2を供給する供給口、回収口等が設けられる。
なお、上述の各実施形態においては、基板Pの外形とクリーニング装置1の外形とが同じである場合を例にして説明したが、基板Pの外形とクリーニング装置1の外形とが異なる場合でも、基板Pを着脱可能に保持する保持部35にクリーニング装置1を支持した状態で、クリーニング処理を実行可能であるならば、基板Pの外形とクリーニング装置1の外形とは異なっていてもよい。
なお、上述の各実施形態においては、クリーニング装置1が、基板Pを着脱可能に保持する保持部35に支持された状態で、クリーニング処理が実行される場合を例にして説明したが、基板Pを着脱可能に保持する保持部とは別の保持部に、クリーニング装置1を支持して、クリーニング処理を実行するようにしてもよい。例えば、基板Pを着脱可能に保持する保持部とは別に、クリーニング装置1専用の保持部を設け、その専用の保持部にクリーニング装置1を支持して、クリーニング処理を実行するようにしてもよい。その場合、クリーニング装置1の外形は、必ずしも基板Pと同じでなくてもよい。また、基板Pの外形とクリーニング装置1の外形とが異なる場合、クリーニング装置1専用の保持部は、クリーニング装置1の外形に応じた構造を有することが望ましい。
また、クリーニング装置1専用の保持部を、クリーニングしたい部位の近傍に設けることによって、露光装置EXの様々な部位を、クリーニング装置1を用いてクリーニングすることができる。例えば、照明系ILの一部、マスクステージ20の一部をクリーニングすることもできる。
なお、上述の各実施形態で説明したクリーニング動作、クリーニング機構を適宜組み合わせて使用できることは言うまでもない。
なお、上述の各実施形態の露光用液体LQは水であるが、水以外の液体であってもよい、例えば、露光光ELの光源がF2レーザである場合、このF2レーザ光は水を透過しないので、液体LQとしてはF2レーザ光を透過可能な例えば、過フッ化ポリエーテル(PFPE)やフッ素系オイル等のフッ素系流体であってもよい。また、液体LQとしては、その他にも、露光光ELに対する透過性があってできるだけ屈折率が高く、投影光学系PLや基板P表面に塗布されているフォトレジストに対して安定なもの(例えばセダー油)を用いることも可能である。また、液体LQとしては、屈折率が1.6〜1.8程度のものを使用してもよい。更に、石英及び蛍石よりも屈折率が高い(例えば1.6以上)材料で、液体LQと接触する投影光学系PLの光学素子(終端光学素子など)を形成してもよい。液体LQとして、種々の流体、例えば、超臨界流体を用いることも可能である。
なお、上述の各実施形態においては、投影光学系の終端光学素子の射出側(像面側)の光路空間を液体で満たしているが、国際公開第2004/019128号パンフレットに開示されているように、終端光学素子の光入射側(物体面側)の光路空間も液体で満たす投影光学系を採用することもできる。
なお、上述の各実施形態においては、投影光学系PLと基板Pとの間に局所的に液体を満たす露光装置を採用しているが、米国特許第5,825,043号などに開示されているような、露光対象の基板の表面全体が液体中に浸かっている状態で露光を行う液浸露光装置を採用可能である。
なお、上述の各実施形態の基板Pとしては、半導体デバイス製造用の半導体ウエハのみならず、ディスプレイデバイス用のガラス基板、薄膜磁気ヘッド用のセラミックウエハ、あるいは露光装置で用いられるマスクまたはレチクルの原版(合成石英、シリコンウエハ)等が適用される。
露光装置EXとしては、マスクMと基板Pとを同期移動してマスクMのパターンを走査露光するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置(スキャニングステッパ)の他に、マスクMと基板Pとを静止した状態でマスクMのパターンを一括露光し、基板Pを順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置(ステッパ)を採用することができる。
さらに、露光装置EXとして、ステップ・アンド・リピート方式の露光において、第1パターンと基板Pとをほぼ静止した状態で、投影光学系を用いて第1パターンの縮小像を基板P上に転写した後、第2パターンと基板Pとをほぼ静止した状態で、投影光学系を用いて第2パターンの縮小像を第1パターンと部分的に重ねて基板P上に一括露光するスティッチ方式の一括露光装置を採用してもよい。また、スティッチ方式の露光装置としては、基板P上で少なくとも2つのパターンを部分的に重ねて転写し、基板Pを順次移動させるステップ・アンド・スティッチ方式の露光装置を採用することもできる。
また、露光装置EXとして、例えば米国特許第6,611,316号に開示されているように、2つのマスクのパターンを、投影光学系を介して基板上で合成し、1回の走査露光によって基板上の1つのショット領域をほぼ同時に二重露光する露光装置などを採用することができる。また、露光装置EXとして、プロキシミティ方式の露光装置、ミラープロジェクション・アライナーなどを採用することができる。
また、露光装置EXとして、米国特許6,341,007号、米国特許6,400,441号、米国特許6,549,269号、及び米国特許6,590,634号、米国特許6,208,407号、米国特許6,262,796号等に開示されているような複数の基板ステージを備えたツインステージ型の露光装置を採用することもできる。
更に、米国特許第6,897,963号公報、欧州特許出願公開第1,713,113号公報などに開示されているように、基板を保持する基板ステージと、基準マークが形成された基準部材及び/又は各種の光電センサを搭載した計測ステージとを備えた露光装置にも本発明を適用することができる。また、複数の基板ステージと計測ステージとを備えた露光装置を採用することができる。
露光装置EXの種類としては、基板Pに半導体素子パターンを露光する半導体素子製造用の露光装置に限られず、液晶表示素子製造用又はディスプレイ製造用の露光装置、薄膜磁気ヘッド、撮像素子(CCD)、マイクロマシン、MEMS、DNAチップ、あるいはレチクル又はマスクなどを製造するための露光装置などにも広く適用できる。
なお、上述の各実施形態においては、レーザ干渉計を含む干渉計システムを用いてマスクステージ、基板ステージ、及び計測ステージの各位置情報を計測するものとしたが、これに限らず、例えば各ステージに設けられるスケール(回折格子)を検出するエンコーダシステムを用いてもよい。この場合、干渉計システムとエンコーダシステムとの両方を備えるハイブリッドシステムとし、干渉計システムの計測結果を用いてエンコーダシステムの計測結果の較正(キャリブレーション)を行うことが好ましい。また、干渉計システムとエンコーダシステムとを切り換えて用いる、あるいはその両方を用いて、ステージの位置制御を行うようにしてもよい。
また、上述の各実施形態では、露光光ELとしてArFエキシマレーザ光を発生する光源装置として、ArFエキシマレーザを用いてもよいが、例えば、米国特許7,023,610号に開示されているように、DFB半導体レーザ又はファイバーレーザなどの固体レーザ光源、ファイバーアンプなどを有する光増幅部、及び波長変換部などを含み、波長193nmのパルス光を出力する高調波発生装置を用いてもよい。さらに、上記実施形態では、前述の各照明領域と、投影領域がそれぞれ矩形状であるものとしたが、他の形状、例えば円弧状などでもよい。
なお、上述の実施形態においては、光透過性の基板上に所定の遮光パターン(又は位相パターン・減光パターン)を形成した光透過型マスクを用いたが、このマスクに代えて、例えば米国特許第6,778,257号公報に開示されているように、露光すべきパターンの電子データに基づいて透過パターン又は反射パターン、あるいは発光パターンを形成する可変成形マスク(電子マスク、アクティブマスク、あるいはイメージジェネレータとも呼ばれる)を用いてもよい。可変成形マスクは、例えば非発光型画像表示素子(空間光変調器)の一種であるDMD(Digital Micro-mirror Device)等を含む。また、可変成形マスクとしては、DMDに限られるものでなく、DMDに代えて、以下に説明する非発光型画像表示素子を用いても良い。ここで、非発光型画像表示素子は、所定方向へ進行する光の振幅(強度)、位相あるいは偏光の状態を空間的に変調する素子であり、透過型空間光変調器としては、透過型液晶表示素子(LCD:Liquid Crystal Display)以外に、エレクトロクロミックディスプレイ(ECD)等が例として挙げられる。また、反射型空間光変調器としては、上述のDMDの他に、反射ミラーアレイ、反射型液晶表示素子、電気泳動ディスプレイ(EPD:Electro Phonetic Display)、電子ペーパー(または電子インク)、光回折型ライトバルブ(Grating Light Valve)等が例として挙げられる。
また、非発光型画像表示素子を備える可変成形マスクに代えて、自発光型画像表示素子を含むパターン形成装置を備えるようにしても良い。この場合、照明光学系は不要となる。ここで自発光型画像表示素子としては、例えば、CRT(Cathode Ray Tube)、無機ELディスプレイ、有機ELディスプレイ(OLED:Organic Light Emitting Diode)、LEDディスプレイ、LDディスプレイ、電界放出ディスプレイ(FED:Field Emission Display)、プラズマディスプレイ(PDP:Plasma Display Panel)等が挙げられる。また、パターン形成装置が備える自発光型画像表示素子として、複数の発光点を有する固体光源チップ、チップを複数個アレイ状に配列した固体光源チップアレイ、または複数の発光点を1枚の基板に作り込んだタイプのもの等を用い、該固体光源チップを電気的に制御してパターンを形成しても良い。なお、固体光源素子は、無機、有機を問わない。
なお、上述の各実施形態においては、投影光学系PLを備えた露光装置を例に挙げて説明してきたが、投影光学系PLを用いない露光装置及び露光方法に採用することができる。このように投影光学系PLを用いない場合であっても、露光光はレンズ等の光学部材を介して基板に照射され、そのような光学部材と基板との間の所定空間に液浸空間が形成される。
また、露光装置EXとして、例えば国際公開第2001/035168号パンフレットに開示されているように、干渉縞を基板P上に形成することによって、基板P上にライン・アンド・スペースパターンを露光する露光装置(リソグラフィシステム)を採用することができる。
本願実施形態の露光装置EXは、本願請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
半導体デバイス等のマイクロデバイスは、図11に示すように、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ201、この設計ステップに基づいたマスク(レチクル)を製作するステップ202、デバイスの基材である基板を製造するステップ203、前述した実施形態に従って、マスクからの露光光で基板を露光すること、及び露光した基板を現像することを含む基板処理ステップ204、デバイス組み立てステップ(ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程などの加工プロセスを含む)205、検査ステップ206等を経て製造される。上述の各実施形態で説明した露光装置EXにおけるクリーニング方法は、基板処理ステップ204に含まれ、そのクリーニング方法でクリーニングされた露光装置EXを用いて、基板Pを露光することが行われる。
なお、上述の各実施形態においては、露光装置EXが、第1液体LQを介して基板Pを露光光ELで露光する液浸露光装置の所定部位をクリーニング装置1を用いてクリーニングする場合を例にして説明したが、液体を用いずに、気体を介して基板Pを露光光ELで露光するドライ型露光装置の所定部位を、クリーニング装置1を用いてクリーニングすることももちろん可能である。ドライ型露光装置においても、例えば投影光学系PLの終端光学素子が汚染される可能性がある場合には、クリーニング装置1を用いて、その終端光学素子をクリーニングすることができる。また、EUV露光装置の所定部位を、クリーニング装置を用いてクリーニングすることもできる。
なお、上述の各実施形態においては、クリーニング装置1を用いて、露光装置EXの所定部位をクリーニングする場合を例にして説明したが、半導体デバイス等のマイクロデバイスを製造するために使用される、例えばCVD装置、PVD装置のような薄膜形成装置、スピンコーティング装置、インクジェット装置のような塗布装置、現像装置、CMP装置、ウエハ洗浄装置等、各種のデバイス製造装置をクリーニングするために、クリーニング装置を用いることができる。また、バッチ式の基板(ウエハ)洗浄装置に、他の基板とともに、上述のクリーニング装置1を搬送して、洗浄動作を行ってもよい。
例えば、図12に示すように、インクジェット装置IJの所定部位を、クリーニング装置1を用いてクリーニングすることができる。インクジェット装置IJは、デバイスを製造するためのインクを吐出する吐出口81を有するインクジェットヘッド80と、デバイスを製造するための保持部82を有し、保持部82で基板を保持しながら、吐出口81と対向する位置に移動可能な基板ステージ83とを備えている。インクジェット装置IJは、インクジェットヘッド80と基板ステージ83とを相対的に移動して、吐出口81が形成されているインクジェットヘッド80の吐出面84と、基板ステージ83上の基板とを対向させることができる。インクジェット装置IJは、基板上にデバイスパターンを形成するために、インクジェットヘッド80と基板ステージ83とを相対的に移動しながら、吐出口81より基板に向けてインクの滴を吐出する。
クリーニング装置1は、インクジェット装置IJの保持部82に着脱可能であり、その保持部82に支持される。本実施形態において、インクジェット装置IJは、インクジェットヘッド80の吐出面84と、クリーニング装置1の液体接触面2との間に、第2液体LCで第2液浸空間LS2を形成する。また、本実施形態においては、インクジェット装置IJは、第2液浸空間LS2を形成するために、第2液体LCを供給するための供給口85と、第2液体LCを回収するための回収口86とを備えている。クリーニング装置1は、インクジェット装置IJの保持部82に支持された状態で、インクジェットヘッド80の吐出面84と液体接触面2との間の第2液体LCに振動を与えて、インクジェットヘッド80の吐出面84、吐出口81等をクリーニングすることができる。また、インクジェット装置IJに、クリーニング装置専用の保持部を設けてもよい。
なお、上述のように本発明の実施形態を説明したが、本発明は上述した全ての構成要素を適宜組み合わせて用いることが可能であり、また、一部の構成要素を用いない場合もある。
なお、上述の各実施形態及び変形例で引用した露光装置等に関する全ての公開公報及び米国特許の開示を援用して本文の記載の一部とする。
1…クリーニング装置、2…液体接触面、4…振動発生装置、6…動力供給装置、13…通信器、14…受信器、15…送信器、26…通信装置、27…受信装置、28…送信装置、29…搬送部材、31…終端光学素子、32…下面、33…ノズル部材、34…下面、35…保持部、37…上面、38…供給口、39…回収口、50…観察装置、51…撮像素子、53…発光装置、60…発光装置、EX…露光装置、LC…第2液体、LQ…第1液体、P…基板
Claims (49)
- 基板を処理するデバイス製造装置に用いられるクリーニング装置であって、
液体接触面と、
前記液体接触面上のクリーニング用液体に振動を与える振動発生装置と、を備え、
前記デバイス製造装置の保持部に着脱可能であるクリーニング装置。 - 前記保持部に支持された状態で、前記デバイス製造装置の所定部位と前記液体接触面との間のクリーニング用液体に振動を与えて、前記所定部位をクリーニングする請求項1記載のクリーニング装置。
- 前記デバイス製造装置は、前記基板を露光光で露光する露光装置を含む請求項2記載のクリーニング装置。
- 前記露光装置は、露光用液体を介して前記基板を露光光で露光する請求項3記載のクリーニング装置。
- 前記クリーニング用液体は、前記露光用液体を含む請求項4記載のクリーニング装置。
- 前記所定部位は、前記露光用液体と接触する請求項4又は5記載のクリーニング装置。
- 前記露光装置は、前記露光光を射出する光学素子を備え、
前記所定部位は、前記光学素子を含む請求項6記載のクリーニング装置。 - 前記露光装置は、前記露光光を射出する光学素子と、前記基板の露光時に前記基板が対向するように配置され、前記光学素子と前記基板との間を前記露光用液体で満たすための液浸部材とを備え、
前記所定部位は、前記液浸部材を含む請求項6記載のクリーニング装置。 - 前記液浸部材は、前記クリーニング用液体を供給するための供給口を有する請求項8記載のクリーニング装置。
- 前記液浸部材は、前記クリーニング用液体を回収するための回収口を有する請求項8又は9記載のクリーニング装置。
- 前記保持部は、前記基板を着脱可能に保持可能である請求項1〜10のいずれか一項記載のクリーニング装置。
- 前記基板とほぼ同じ外形を有する請求項1〜11のいずれか一項記載のクリーニング装置。
- 前記基板は、半導体ウエハを含む請求項1〜12のいずれか一項記載のクリーニング装置。
- 前記液体接触面は、前記クリーニング用液体に対して撥液性を有する請求項1〜13のいずれか一項記載のクリーニング装置。
- 前記クリーニング用液体は、気体が水に溶解されたクリーニング水を含む請求項1〜14のいずれか一項記載のクリーニング装置。
- 前記振動発生装置は、圧電素子を含む請求項1〜15のいずれか一項記載のクリーニング装置。
- 前記振動発生装置は、前記クリーニング用液体に超音波を与える請求項1〜16のいずれか一項記載のクリーニング装置。
- 前記振動発生装置に動力を供給する動力供給装置をさらに備えた請求項1〜17のいずれか一項記載のクリーニング装置。
- 画像を取得する撮像装置をさらに備えた請求項1〜18のいずれか一項記載のクリーニング装置。
- 発光装置を有する請求項1〜19のいずれか一項記載のクリーニング装置。
- 無線で通信可能な通信装置を有する請求項1〜20のいずれか一項記載のクリーニング装置。
- 前記振動発生装置に動力を供給可能な動力供給装置と、前記動力供給装置を制御するための信号を無線で受信可能な受信装置とを有する請求項1〜17のいずれか一項記載のクリーニング装置。
- 画像を取得可能な撮像装置と、前記撮像装置で取得した画像情報を含む信号を無線で送信可能な送信装置とを有する請求項1〜17のいずれか一項記載のクリーニング装置。
- 基板を露光光で露光する露光装置であって、
振動発生装置を有するクリーニング装置を着脱可能に支持可能な保持部を備え、
前記クリーニング装置と所定部位との間のクリーニング用液体に、前記振動発生装置を用いて振動を与えて、前記所定部位をクリーニングする露光装置。 - 前記保持部は、前記基板を着脱可能に保持可能である請求項24記載の露光装置。
- 前記クリーニング装置を前記保持部へ搬送する搬送部材をさらに備えた請求項25記載の露光装置。
- 前記搬送部材は、前記保持部へ前記基板を搬送可能である請求項26記載の露光装置。
- 前記クリーニング用液体は、所定の気体が水に溶解されたクリーニング水を含む請求項24〜27のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記保持部の周囲に配置された所定面を有し、
前記保持部に支持された前記クリーニング装置の液体接触面と前記所定面とはほぼ面一である請求項24〜28のいずれか一項記載の露光装置。 - 露光用液体を介して前記基板を前記露光光で露光する請求項24〜29のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記クリーニング用液体は、前記露光用液体を含む請求項30記載の露光装置。
- 前記所定部位は、前記基板の露光時に、前記露光用液体と接触する請求項30又は31記載の露光装置。
。 - 前記露光光を射出する光学素子を備え、
前記所定部位は、前記光学素子を含む請求項32記載の露光装置。 - 前記露光光を射出する光学素子と、前記基板の露光時に前記基板が対向するように配置され、前記光学素子と前記基板との間を前記露光用液体で満たすための液浸部材とを備え、
前記所定部位は、前記液浸部材を含む請求項32記載の露光装置。 - 前記液浸部材は、前記クリーニング用液体を供給する供給口を有する請求項34記載の露光装置。
- 前記液浸部材は、前記クリーニング用液体を回収する回収口を有する請求項34又は35記載の露光装置。
- 前記クリーニング装置と無線で通信可能な通信装置を有する請求項24〜36のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記クリーニング装置は、前記振動発生装置に動力を供給可能な動力供給装置を有し、
前記通信装置を使って前記動力供給装置を制御する請求項37記載の露光装置。 - 前記クリーニング装置は、画像を取得可能な撮像装置を有し、
前記通信装置を使って、前記撮像装置で取得した画像情報を取得する請求項37又は38記載の露光装置。 - 請求項24〜39のいずれか一項記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 基板を処理するデバイス製造装置のクリーニング方法であって、
前記基板を着脱可能に保持する保持部で、振動発生装置を有するクリーニング装置を支持することと、
前記デバイス製造装置の所定部位と対向する位置に、前記保持部に支持された前記クリーニング装置を配置することと、
前記所定部位と前記クリーニング装置との間にクリーニング用液体を供給することと、
前記振動発生装置を使って前記クリーニング用液体に振動を与えることと、を含むクリーニング方法。 - 前記クリーニング装置は、前記基板とほぼ同じ外形を有する請求項41記載のクリーニング方法。
- 前記クリーニング装置は、前記所定部位と対向する液体接触面を有し、前記液体接触面は、前記クリーニング用液体に対して撥液性を有する請求項41又は42記載のクリーニング方法。
- 前記クリーニング用液体は、所定の気体が水に溶解されたクリーニング水を含む請求項41〜43のいずれか一項記載のクリーニング方法。
- 前記振動発生装置は、前記クリーニング用液体に超音波を与える請求項41〜44のいずれか一項記載のクリーニング方法。
- 前記クリーニング装置は、前記振動発生装置に動力を供給可能な動力供給装置を含み、
前記保持部に支持された前記動力供給装置を無線で制御することをさらに含む請求項41〜45のいずれか一項記載のクリーニング方法。 - 前記クリーニング装置は、前記所定部位の画像を取得可能な撮像装置を含み、
前記保持部に支持された前記撮像装置で取得した画像情報を無線で取得することをさらに含む請求項41〜46のいずれか一項記載のクリーニング方法。 - 前記画像情報に基づいて、前記クリーニング装置を用いたクリーニング動作が制御される請求項47記載のクリーニング方法。
- 前記クリーニング装置は、発光装置を含み、
前記発光装置から光を前記所定部位に照射することをさらに含む請求項41〜47のいずれか一項記載のクリーニング方法。
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