JP2008534431A - 無機フラーレン様ナノ粒子の製造法および製造装置 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
文献一覧
以下の文献が本発明の背景を理解するうえで適切であると考えられる。
1.L. Rapport, Yu. Bilik, Y. Feldman, M. Homyonfer, S. Cohen, R. Tenne, Nature, 1997, 387, 791
2.C. Schffenhauer, R. Popovitz-Biro, R. Tenne, J. Mater. Chem. 2002, 12, 1587-1591
3.Jun. Chen. Suo-Long Li, Zhan-Liang Tao, Feng Gao, Chem. Commun. 2003, 980-981
4.国際公開第97/44278号パンフレット
5.Y. Feldman, V. Lyakhovitskaya, R. Tenne, J. Am. Chem. Soc. 1998, 120, 4176
6.A. Zak, Y. Feldman, V. Alperovich, R. Rosentsveig, R. Tenne, J. Am. Chem. Soc. 2000, 122, 11108
7.Y. Feldman, A. Zak, R. Popovitz-Biro, R. Tenne., Solid State Sci. 2000, 2, 663
8.国際公開第01/66462号パンフレット
9.国際公開第02/34959号パンフレット
10.Xiao-Lin Li, Jian-Ping Ge, Ya-Dong Li, Chem. Eur. J. 2004, 10, 6163-6171
11.T. Tsirlina, V. Lyakhovitskaya, S. Fiechter, R. Tenne, J. Mater. Res. 2000, 15, 2636-2646
(c)金属前駆体蒸気の反応室への供給を、前記金属前駆体の加熱を停止することにより終了させる;
(d)反応領域を冷却し、得られたフラーレン様金属カルコゲナイドナノ粒子を収集する。
水分および酸素を含まない雰囲気を維持するために、反応室12は、オーブン15から取り出す実施開始直前まで、500℃およびN2ガス流(20ml/分)を永続的に維持した。この時点で、反応室12を開け洗浄した。当該方法のはじめに、反応室12はオーブンの外側から密閉し、前駆体(四塩化チタン)以外の反応ガスを流入口に供給し、そのシステムを10〜15分間フラッシングした。反応室12からのガスの流出口GOにあるガストラップにより軽度の超過圧力(約1.1バール)を一定値で維持した。この手順により、反応室から水蒸気および酸素のような残留大気ガスのほとんどが排除される。最終生成物(TiS2)および特に前駆体(TiCl4)はどちらも水分にきわめて敏感であるため、この工程はこの合成においてきわめて重要である。その後、反応装置をオーブン15内に挿入した。
反応室112は、水分および酸素を含まない雰囲気を維持するために、上記実施例1に記述したのと同様にして浄化した。その後この反応室をオーブン115内に挿入した。
反応室112は、水分および酸素を含まない雰囲気を維持するために、上記実施例1に記述したのと同様にして浄化した。その後、当該反応室をオーブン115内に挿入した。
この方法の最初に、反応室12をオーブンの外側から密封し、前駆体(WBr5)以外の反応ガスを流入口から供給し、当該システムを10〜15分間フラッシングした。反応室12からのガスの流出口GOにあるガストラップにより軽度の超過圧力(約1.1バール)を一定値に維持した。その後、この反応装置をオーブン15内に挿入した。
この方法の最初に、反応室12をオーブンの外側から密封し、前駆体(Mo(CO)5)以外の反応ガスを流入口から供給し、当該システムを10〜15分間フラッシングした。その後この反応室をオーブン15内に挿入した。
この方法の最初に、反応室12をオーブンの外側から密封し、前駆体(WCl4)以外の反応ガスを流入口から供給し、当該システムを10〜15分間フラッシングした。反応室12からのガスの流出口GOにあるガストラップにより軽度の超過圧力(約1.1バール)を一定値に維持した。その後、この反応装置をオーブン15内に挿入した。
この方法の最初に、反応室12をオーブンの外側から密封し、前駆体(WCl5)以外の反応ガスを流入口から供給し、当該システムを10〜15分間フラッシングした。反応室12からのガスの流出口GOにあるガストラップにより軽度の超過圧力(約1.1バール)を一定値に維持した。その後、この反応装置をオーブン15内に挿入した。
この方法の最初に、反応室12をオーブンの外側から密封し、前駆体(WCl6)以外の反応ガスを流入口から供給し、当該システムを10〜15分間フラッシングした。反応室12からのガスの流出口GOにあるガストラップにより軽度の超過圧力(約1.1バール)を一定値に維持した。その後この反応装置をオーブン15内に挿入した。
この方法の最初に、反応室12をオーブンの外側から密封し、前駆体(MoCl5)以外の反応ガスを流入口から供給し、当該システムを10〜15分間フラッシングした。反応室12からのガスの流出口GOにあるガストラップにより軽度の超過圧力(約1.1バール)を一定値に維持した。その後この反応装置をオーブン15内に挿入した。
前記生成物を、主として各種電子顕微鏡法により分析した。使用した顕微鏡は、環境走査電子顕微鏡(フィリップス(Philips)FEI−XL30 E−SEM)、EDS検出器(EDAX−Phoenix Microanalyzer)搭載の透過電子顕微鏡(フィリップス CM120 TEM)、平行電子エネルギー損失分光計(ガタン(Gatan)結像フィルター−GIF(ガタン))搭載の電界放射銃(FEI Technai F30)装備の高分解能透過型電子顕微鏡(HRTEM)であった。TiS2のHRTEM顕微鏡写真のシミュレーションは、MacTempasイメージシミュレーションソフトウエアを用いて得られた。補足的な分析は粉末X線回折(XRD)により行った。
当該トライボロジー実験には平板テスター上のボール1(ball on flat tester)を使用した。これらの実験では50グラムの荷重を使用した。定常的トライボロジーレジームが優勢な20サイクルの実施終了時に摩擦係数を測定した。
垂直反応装置において、本発明の方法で得られたIF−TiS2ナノ粒子は、通常約100層から構成され、わずか数分以内で迅速に形成される。形状は球形であり、その格子定数(c)はナノ粒子の放射軸に沿って一定であり、これはナノ粒子が比較的小さなひずみを受けていることを示唆している。表2は、図11とともに、本発明の方法によって得られたIF−TiS2ナノ粒子の形態およびいくつかの性質を、当該技術分野において公知の方法によって得られたIF−WS2ナノ粒子と簡潔に比較したものである。
Claims (41)
- 無機フラーレン様(IF)金属カルコゲナイドナノ粒子の製造方法であって、前記方法が、
(a)金属ハロゲン化物蒸気、金属カルボニル蒸気、有機金属化合物蒸気、および金属オキシハロゲン化物蒸気から選択される金属前駆体を反応領域に向かって反応室内に供給し、気相中の少なくとも1種類のカルコゲン材料の流れと相互作用させることを含む、前記反応領域の温度条件が無機フラーレン様(IF)金属カルコゲナイドナノ粒子生成物の形成を可能にするようなものである方法。 - 前記方法が更に、
(b)前記金属前駆体の前記反応室内への流れを制御下変化させて、この方法で製造される固体状の無機フラーレン様(IF)金属カルコゲナイドナノ粒子の量、形状、およびサイズを制御することを含む請求項1に記載の方法。 - 前記の金属前駆体の蒸気が、垂直経路に沿って、前記反応領域に向かって流れるように前記反応室内に供給される、請求項1または2に記載の方法。
- 前記カルコゲン材料が、不活性キャリアにより前記反応領域に供給される、請求項1または2に記載の方法。
- 前記カルコゲン材料が水素を含む、請求項1または2に記載の方法。
- 前記カルコゲン材料が、H2S、H2Se、およびH2Teならびにその混合物から選択される、前記請求項に記載の方法。
- 前記カルコゲン材料が、H2および/またはCOと任意に混合される、請求項1または2に記載の方法。
- 前記不活性ガスが、N2、He、Ne、Ar、Kr、およびXeから選択される、請求項1または2に記載の方法。
- 前記金属が、In、Ga、Sn、および遷移金属から選択される、請求項1または2に記載の方法。
- 前記遷移金属が、Mo、W、V、Zr、Hf、Pt、Pd、Re、Nb、Ta、Ti、Cr、およびRuから選択される、前記請求項に記載の方法。
- 前記金属前駆体が、本明細書中の表1に記載されている化合物から選択される、請求項1または2に記載の方法。
- 前記金属前駆体が、TiCl4、WCl6、WCl5、WCl4、WBr5、WO2Cl2、WOCl4、MoCl5、Mo(CO)5およびW(CO)6、Ga(CH3)3、W(CH2CH3)5およびIn(CH3)3から選択される、請求項1または2に記載の方法。
- 前記金属カルコゲナイドが、TiS2、TiSe2、TiTe2、WS2、WSe2、WTe2、MoS2、MoSe2、MoTe2、SnS2、SnSe2、SnTe2、RuS2、RuSe2、RuTe2、GaS、GaSe、GaTe、In2S3、In2Se3、In2Te3、InS、InSe、Hf2S、HfS2、ZrS2、VS2、ReS2、およびNbS2から選択される、請求項1または2に記載の方法。
- 前記金属前駆体の蒸気の流れを、
(i)前記蒸気を前記反応室に送り込む不活性ガスの流量、
(ii)前記金属前駆体の蒸気を得るために前記金属前駆体を加熱する温度、
のうち少なくとも一つによって制御する、請求項1または2に記載の方法。 - 前記加熱温度が、前記金属前駆体の沸点の50度下から沸点までの範囲内である、前記請求項に記載の方法。
- 前記反応領域内の温度が、500〜900℃の範囲内である、請求項1または2に記載の方法。
- 前記方法が更に、
(c)前記金属前駆体の供給を、前記金属前駆体の加熱を停止することにより終了させる工程、
(d)前記反応領域を冷却し、得られたフラーレン様金属カルコゲナイドナノ粒子を収集する工程、
のうち少なくとも一つを含む、請求項1または2に記載の方法。 - 工程(c)の後であって、尚且つ工程(d)の前に、不活性ガスの流れを前記反応領域に供給する、前記請求項に記載の方法。
- 前記得られたフラーレン様ナノ粒子の直径が、10〜300nmの範囲内である、請求項1または2に記載の方法。
- 前記得られたフラーレン様ナノ粒子の直径が、30〜120nmの範囲内である、前記請求項に記載の方法。
- 前記方法が更に、前記方法の開始前に前記反応領域に存在する雰囲気から水と酸素を除去することを含む、請求項1または2に記載の方法。
- 請求項1または2に記載の方法により得られるフラーレン様(IF)金属カルコゲナイドナノ粒子。
- 請求項1または2に記載の方法により得られるTiS2ナノ粒子。
- フラーレン様構造を有し、直径サイズが60〜100nmであるTiS2ナノ粒子。
- 空洞コアが全く無いか、または非常に小さな空洞コアを有する、請求項24に記載のTiS2ナノ粒子。
- 請求項1または2に記載の方法により得られるMoS2およびWS2ナノ粒子。
- IF‐ナノ構造物の作製装置であって、反応ガスを投入するための流入口と流出口とを備えた反応室と、前駆体蒸気を別途生成するための個別の蒸発室と、前記反応室内への前記前駆体蒸気流を制御するように構成され且つ操作可能な制御ユニットとを備えた装置。
- 前記反応室が、前記装置の操作中、垂直に配向されるように構成され、前記ガス流入口が、前記前駆体蒸気と別の反応ガスを、互いに反対方向に、これらのガスが接触し互いに反応する反応領域に向かって導くよう前記室の上下の面に配置されている、請求項27に記載の装置。
- 前記反応室をその内部に設置可能なように構成されたオーブンを備えた、請求項27に記載の装置。
- 前記反応室をその内部に設置可能なように構成されたオーブンを備えた、請求項28に記載の装置。
- 前記オーブンが、前記反応室内に二つの温度源領域を画定するように構成されている、請求項30に記載の装置。
- 前記反応ガス間の反応によるナノ構造物含有生成物を収集するフィルター構成(アレンジメント)を備えている、請求項28に記載の装置。
- 前記制御ユニットが、前記蒸発室と連結されたバルブ構成(アレンジメント)を備え、前記バルブ構成が、前記前駆体蒸気を実質的に含まないクリーンな不活性ガスの流れを選択的に提供するように構成されている、請求項27に記載の装置。
- IF‐ナノ構造物の作製装置であって、(i)反応室であって、装置の操作中、垂直に配向されるように構成され、前駆体蒸気と別の反応ガスを、互いに反対方向に、これらのガスが接触し互いに反応する反応領域に向かって導くよう前記室の上下の面に配置されたガス流入口を有する反応室、(ii)前記前駆体蒸気を別途生成しそれを前記反応室の各流入口に供給するように構成され且つ操作可能な個別の蒸発室、および(c)前記反応室内への前記前駆体蒸気流を制御するように構成され且つ操作可能な制御ユニットを備えた装置。
- 複数の分子層を有する無機フラーレン様(IF)金属カルコゲナイドナノ粒子であって、前記分子層の数が40を超えるIF金属ナノ粒子。
- 前記層の数が50を超える、請求項35に記載のIF金属ナノ粒子。
- 空洞コアが全く無いか、または非常に小さな空洞コアを有する、請求項35または36に記載のIF金属ナノ粒子。
- 複数の無機フラーレン様(IF)金属カルコゲナイドナノ粒子を含む生成物であって、その相当部分が、40を超える多くの分子層を有する生成物。
- 前記ナノ粒子の相当部分が、50を超える多くの層を有する、請求項38に記載の生成物。
- 前記相当部分が、前記IFナノ粒子の総数40%以上である、請求項38または39に記載の生成物。
- 前記相当部分が、50%以上である、請求項40に記載の生成物。
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