JP2008508693A - イオン移動度分光計 - Google Patents
イオン移動度分光計 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008508693A JP2008508693A JP2007524405A JP2007524405A JP2008508693A JP 2008508693 A JP2008508693 A JP 2008508693A JP 2007524405 A JP2007524405 A JP 2007524405A JP 2007524405 A JP2007524405 A JP 2007524405A JP 2008508693 A JP2008508693 A JP 2008508693A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion
- spectrometer
- electric field
- filter
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims abstract description 119
- 102000004310 Ion Channels Human genes 0.000 claims abstract description 91
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 42
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 167
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 95
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 31
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 28
- 239000012491 analyte Substances 0.000 claims description 23
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 19
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 19
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 17
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 claims description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 7
- 238000003491 array Methods 0.000 claims description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 5
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 claims description 5
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 5
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 4
- WYTGDNHDOZPMIW-RCBQFDQVSA-N alstonine Natural products C1=CC2=C3C=CC=CC3=NC2=C2N1C[C@H]1[C@H](C)OC=C(C(=O)OC)[C@H]1C2 WYTGDNHDOZPMIW-RCBQFDQVSA-N 0.000 claims description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 3
- 238000013021 overheating Methods 0.000 claims 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 abstract description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 34
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 27
- 230000037230 mobility Effects 0.000 description 24
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 19
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 19
- 230000006870 function Effects 0.000 description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 description 14
- 230000008569 process Effects 0.000 description 12
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 12
- 238000001871 ion mobility spectroscopy Methods 0.000 description 9
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 8
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 238000013461 design Methods 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 150000001875 compounds Chemical group 0.000 description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 7
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 7
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 7
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 6
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 6
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 230000004044 response Effects 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 235000014101 wine Nutrition 0.000 description 6
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 5
- 238000000708 deep reactive-ion etching Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 5
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 5
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 4
- 239000002808 molecular sieve Substances 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 3
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 3
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 230000002285 radioactive effect Effects 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 239000013043 chemical agent Substances 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 239000007799 cork Substances 0.000 description 2
- 230000002939 deleterious effect Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 239000002207 metabolite Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- -1 molecular sieve compound Chemical class 0.000 description 2
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 2
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000029058 respiratory gaseous exchange Effects 0.000 description 2
- URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N sodium aluminosilicate Chemical compound [Na+].[Al+3].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 2
- FUUHMSUPRUNWRQ-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,4-tetrachloro-5-methoxybenzene Chemical compound COC1=CC(Cl)=C(Cl)C(Cl)=C1Cl FUUHMSUPRUNWRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RULKYXXCCZZKDZ-UHFFFAOYSA-N 2,3,4,5-tetrachlorophenol Chemical compound OC1=CC(Cl)=C(Cl)C(Cl)=C1Cl RULKYXXCCZZKDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HSQFVBWFPBKHEB-UHFFFAOYSA-N 2,3,4-trichlorophenol Chemical compound OC1=CC=C(Cl)C(Cl)=C1Cl HSQFVBWFPBKHEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 102100037819 Fas apoptotic inhibitory molecule 1 Human genes 0.000 description 1
- 229920000544 Gore-Tex Polymers 0.000 description 1
- 101000878509 Homo sapiens Fas apoptotic inhibitory molecule 1 Proteins 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 238000000277 atomic layer chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010923 batch production Methods 0.000 description 1
- 235000013361 beverage Nutrition 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 238000004159 blood analysis Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000005251 capillar electrophoresis Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000005056 compaction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005202 decontamination Methods 0.000 description 1
- 230000003588 decontaminative effect Effects 0.000 description 1
- 230000007123 defense Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 239000002274 desiccant Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000000132 electrospray ionisation Methods 0.000 description 1
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000000796 flavoring agent Substances 0.000 description 1
- 235000019634 flavors Nutrition 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 238000013467 fragmentation Methods 0.000 description 1
- 238000006062 fragmentation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004817 gas chromatography Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 210000004209 hair Anatomy 0.000 description 1
- 230000009931 harmful effect Effects 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000005865 ionizing radiation Effects 0.000 description 1
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 description 1
- 238000004811 liquid chromatography Methods 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229920002521 macromolecule Polymers 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 1
- 238000011165 process development Methods 0.000 description 1
- 108090000765 processed proteins & peptides Proteins 0.000 description 1
- 102000004196 processed proteins & peptides Human genes 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000003362 replicative effect Effects 0.000 description 1
- 230000001953 sensory effect Effects 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000357 thermal conductivity detection Methods 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
- CLYZNABPUKUSDX-UHFFFAOYSA-N trichloromethoxybenzene Chemical compound ClC(Cl)(Cl)OC1=CC=CC=C1 CLYZNABPUKUSDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005353 urine analysis Methods 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/62—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode
- G01N27/622—Ion mobility spectrometry
- G01N27/624—Differential mobility spectrometry [DMS]; Field asymmetric-waveform ion mobility spectrometry [FAIMS]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
Abstract
【選択図】図2a
Description
本発明は、イオン移動度分光計に関し、さらに詳細には電界非対称性イオン移動度(FAIM)分光計に関する。本発明のある態様は、マイクロマシン型FAIM分光計に関する。本発明の態様はまた、イオン移動度分光測定法の実行方法およびそのような分光計に用いるための構成要素に関する。
イオン移動度分光測定法は、ガス試料における分子種の存在を検出するために用いられる汎用性の広い技術である。この技術は、試料中の爆薬、薬物および化学薬剤の検出において特定の用途があるが、これらの用途に限定されるわけではない。携帯型の検出器は、手荷物検査および防衛業界では一般に用いられる。しかし、それにもかかわらず、従来の携帯型デバイスは、依然として比較的大きいものである。
本発明の第1の態様によれば、イオナイザと、イオンフィルタと、イオン検出器と、を備えるイオン移動度分光計が提供され、
イオンフィルタは、少なくとも1つのイオンチャネルを画定し、イオンは、そのイオンチャネルに沿ってイオナイザからイオン検出器まで通過することができ、
イオンフィルタは、イオンチャネル付近に配置される複数の電極を備え、
分光計は、第1の駆動電界がイオンチャネルの長さに沿って生成され、第2の横電界が第1の電界に対して直角に生成されるように、電極を制御するための電極制御手段をさらに備え、上記の複数の電極のそれぞれは、駆動電界および横電界の両方の成分を生成するのに関与する。
a)望ましくない粒子が分光計に入らないようにすると同時に、デバイス内に検体を拡散することができるようにするために、注入層が存在してもよい。注入層は、多孔性セラミックなどの多孔性材料から形成されることが好都合である。
b)分光計から水蒸気を除去するための除湿器層。この層は、吸湿材料を含んでもよく、あるいは、乾燥剤または類似物を用いてもよい。層は、吸湿材料を定期的に一掃するために用いてもよい加熱素子をさらに含んでもよい。
c)検体を効果的に濃縮するために、検体を蓄積し、定期的に除去するための濃縮素子(preconcentrator)層。この層はまた、所望の範囲の検体を吸収するために、適切に大きなサイズの孔を有する分子ふるいなどの吸湿材料を含んでもよい。次に、定期的に吸収された検体を除去するために、加熱素子を作動してもよい。
d)化学反応に作用させ、その結果、性能を部分修正するために、層から活性領域に除去または吸着される所望の化学物質またはドーパントを注入した材料を含むドーパント層。これは、一定の化合物の大気圧イオン化を強化するために、たとえば、アンモニアであってもよく、または、スペクトルおよびその結果として解像度において化合物の分離を強化するために周知であるたとえば、水であってもよい。
イオンチャネルの長さに沿って第1の駆動電界を形成するステップと、
第1の電界に直角に第2の横電界を形成するステップと、
イオンチャネルの入口に隣接してイオンを生成するために、試料をイオン化するステップと、
イオンチャネルを通過した生成イオンを検出するステップと、
を含む方法が提供される。
イオンフィルタは、複数のイオンチャネルを画定し、イオンは、そのイオンチャネルに沿ってイオナイザからイオン検出器まで通過することができ、
イオンフィルタは、イオンチャネル付近に配置される複数の電極を備え、
分光計は、第1の駆動電界がイオンチャネルの長さに沿って生成され、第2の横電界が第1の電界に対して直角に生成されるように、電極を制御するための電極制御手段をさらに備える。
導電層が2つの面に設けられている略平面抵抗基板を設けるステップと、
電極が付近に配置されている複数のイオンチャネルを画定する2つ以上の互いに嵌合する電極アレイを備えるフィルタを提供するために、パターン形成、たとえばエッチングを施すステップと、
検出器電極を備える略平面イオン検出器層に上記のフィルタの1つの面を接合するステップと、
検体をイオン化するための手段を含む略平面イオン化層に上記のフィルタの対向する面を接着、たとえば接合するステップと、
を含む方法が提供される。
図1は、従来のFAIMS(電界非対称性イオン移動度分光測定法)の動作に関する概略図に示されている。空気は、大気圧で試料の成分がイオン化される反応領域に引き寄せられる。イオン12a、12bは、一方は低電圧直流バイアスを有し、他方は周期的な高電圧パルス波形を有する2つの金属電極14a、14bの間で飛ばされ、イオンが衝突し、電流が記録される検出器プレート(図示せず)に達する。イオンは、パルス位相の中では一方の電極に向かって急速に駆動され、パルス間では対向する電極に向かってゆっくり駆動される。一部のイオン12aは、検出器プレートに到達する前に、電極に衝突する。適切な差動移動度を有する他のイオン12bは、端部に到達し、これを一種の差動移動度イオンフィルタにする。生成される電流対直流バイアスのグラフは、特徴的な差動イオン移動度スペクトルを提供する。スペクトルにおけるピークの強度は、変化量に対応し、薬剤の相対濃度を表す。
図4に示されているように、別個のサブシステム層を共に接合することによって、完成したセンサが形成される。この構成は、簡単な整備および製作しやすさのために、各サブシステムを独立したウェーハの上に製作することが可能である。各サブシステム層の機能および組立の詳細は、以下で与えられる。層は、スルーチップバイアまたは簡単なワイヤボンディングを用いて電気的に相互接続される。
機能:この層の機能は、粒子が検出器に入らないようにすると同時に、検体を分析領域に拡散可能にすることである。
機能:この層の機能は、センサ共振器の湿度を制御することである。水蒸気がFAIMS中の化合物の分離に作用し、それが制御されない場合には、解像度の向上を助けることができるが、測定における不確定要素を加える可能性があり、性能の劣化につながる。湿度の制御は、水蒸気の除去またはセンサ共振器の乾燥によって達成される。乾燥は、分析領域に入る前に、センサ入口で湿度を選択的に除去する材料を用いることによって達成される。この材料は、吸収した水分を一掃するために定期的に加熱される。
機能:この層の機能は、分析用の検体を濃縮することである。これは、除湿器層において用いられた材料のような分子ふるい材料72を用いて達成されるが、この材料は選択性に乏しい。分析周期中に濃縮した検体プルームを除去するために加熱される。
機能:イオン化層の機能は、検体をイオン化することである。最初はこの目的のために放射性同位元素が用いられるが、紫外発光ダイオード(UV−LED)が代替物であってもよい。UV−LEDは、潜在的により選択性があるが、適切な種類は未だ利用可能ではない。照射はイオン化組立体の内部に完全に閉じ込められているため、センサ性能が劣化することになるフィルタ領域ではイオン化は生じない。
機能:フィルタ層の機能は、選択されたイオン種を検出器に入れて、選択されていないイオン種のすべてを中和することである。これは、イオン化された検体を2つの直交電界が同時に作用するマイクロチャネル92のアレイに導入することによって達成される。マイクロチャネルの壁に拡散される時間を有する前に、フィルタ領域を通って迅速にイオンを推進するために、駆動静電界が印加される。低い電界移動度に対する高い電界移動度の特定の比を備えたイオン種を選択するために、横方向に振動する電界が印加される。
機能:検出器層の機能は、イオンフィルタ層を駆動する信号を生成し、フィルタを通ったイオン種の電流を収集して測定し、検出電流と駆動信号を相関することによって計算された分光測定法データを出力することである。
フィルタ層電極は、低電圧および従来の集積回路を用いて制御されるため、フィルタ領域内の電界強度を従来の設計で可能である場合よりも正確でより複雑な態様で制御することができる。したがって、差動移動度をより正確に決定することができ、その結果、この精度のために、解像度が向上すると期待される。さらに複雑な制御アルゴリズムおよび分析アルゴリズムにより、既存のFAIMS設計の場合のようなちょうど2つの点ではなく、複数の電界強度で、検体のイオン移動度をサンプリングすることによって、誤認警報をより少なくすることができると考えられる。
a)緊密な集積化および小さなセンササイズ。完成品は、1平方センチメートル未満の設置面積および1立方センチメートル未満の体積で製作することができる十分に集積されたモノリシックセンサである。その小型サイズにより、多くの新たな用途および開発のシナリオを可能にすると期待することができ、そのモノリシック構成により高い力に対して弾力性に優れていることになる。
b)簡素なシステム設計、改変、製作および検査。本発明の手法は、3次元センサを2次元層に分けている。これらの層は、独立かつ並列に設計される。これらは、既存の微小機械加工工程を用いて製作されることができ、従来のウェーハプローブ機器を用いて容易に試験を行うことができる。
c)さらなる実装および組立の必要性の低減または排除。小区分はウェーハボンディングによる気密性の態様で接続されるため、外部の実装をほとんどまたは全く必要としない。ポンプレス設計により、外部ポンプによって製作後の組立の必要性を排除する。MEMS実装は、デバイスの総コストの大部分である可能性がある。したがって、簡素化された実装の要件を備えた設計は好ましい。
d)フリップチップの実現。イオンは、上に向かって引き寄せられ、下で検出器に向けられる。検出器層はすべての回路を含み、最下層であるため、スルーチップバイアは背面にあるハンダパッドと回路を接続することができ、フリップチップデバイスを形成する。フリップチップ接続構想は、取付けのための最小の基板上の面積を必要とし、最小の可能重量を提供し、最も信頼性の高い相互接続を有する。
e)従来の微細加工技術を用いた製作。SOIのDRIEなどの標準的な微小機械加工製作技術のみが必要とされる。したがって、最小のプロセス開発が必要とされ、基本材料は、経済的な価格で大量に容易に入手可能であり、既に量産可能な製品が既に存在する。
積層の交互の層は、電気的に並列に接続されてもよい。ウェーハ構造はマイクロスケールの製作には特に適しているが、金属コーティングされたセラミック層などのマクロスケールの構成要素のほか、EFAB工程を用いるなどのマイクロスケールを用いて、積層された平面配置構成を達成してもよい。この実施形態において、イオンチャネルの長さの増大のために、チャネルを通ってイオンを駆動するために、本発明のこの実施形態はガスフローおよび電界の組み合わせによって動作することが好ましい。このフィルタ構造の概略図が、図19に示されている。
Claims (41)
- イオナイザ、イオンフィルタおよびイオン検出器を備えるイオン移動度分光計であって、
前記イオンフィルタは、少なくとも1つのイオンチャネルを画定し、前記イオンチャネルに沿って前記イオナイザから前記イオン検出器までイオンが通過することができ、
前記イオンフィルタは、前記イオンチャネルの付近に配置される複数の電極を備え、
前記分光計は、第1の駆動電界が前記イオンチャネルの長さに沿って生成され、第2の横電界が前記第1の電界に対して直角に生成されるように、前記電極を制御するための電極制御手段をさらに備え、前記複数の電極のそれぞれは、前記駆動電界および前記横電界の両方の成分を生成するのに関与する、
イオン移動度分光計。 - 前記駆動電界は静電界である、
請求項1に記載の分光計。 - 前記横電界は、時間の経過と共に変化する、
請求項1または2に記載の分光計。 - 前記横電界は、交流成分および直流成分を含む、
請求項3に記載の分光計。 - 前記電極は、前記イオンチャネルの入口および出口に隣接して配置される、
請求項1〜4のいずれか一項に記載の分光計。 - 少なくとも2つの電極対が設けられる、
請求項1〜5のいずれか一項に記載の分光計。 - 前記フィルタは、複数のイオンチャネルを備える、
請求項1〜6のいずれか一項に記載の分光計。 - 前記イオンチャネルは、コーム状の配置構成を形成する複数の電極指によって画定される、
請求項7に記載の分光計。 - 前記フィルタは、2つ以上の互いに嵌合される電極アレイを備え、各アレイは複数の電極指を有する、
請求項1〜8のいずれか一項に記載の分光計。 - 前記フィルタは、略ウェーハ状の形状を有する、
請求項1〜9のいずれか一項に記載の分光計。 - 前記分光計は複数の機能層を備え、各層はウェーハ状の形状を有する、
請求項1〜10のいずれか一項に記載の分光計。 - 注入層、除湿器層および濃縮素子層のうち1つ以上をさらに備える、
請求項1〜11のいずれか一項に記載の分光計。 - 半透膜をさらに含む、
請求項1〜12のいずれか一項に記載の分光計。 - 前記膜は、加熱素子を備える、
請求項13に記載の分光計。 - 前記膜は、注入チューブの形状である、
請求項13または14に記載の分光計。 - 標準器を備える、
請求項1〜15のいずれか一項に記載の分光計。 - 複数のイオンフィルタを備える、
請求項1〜16のいずれか一項に記載の分光計。 - 複数のイオン検出器を備える、
請求項1〜17のいずれか一項に記載の分光計。 - 前記分光計によってガスフローを生成するための手段をさらに備える、
請求項1〜18のいずれか一項に記載の分光計。 - 前記ガスフローは、イオンの移動方向に逆らって向流である、
請求項19に記載の分光計。 - 前記フィルタを過熱するための手段をさらに備える、
請求項1〜20のいずれか一項に記載の分光計。 - 前記加熱手段は、ジュール効果加熱によって加熱される基板を備える、
請求項21に記載の分光計。 - 前記イオンチャネルは、その長さに沿って前記チャネルの壁に位置する不活性導電粒子を含む、
請求項1〜22のいずれか一項に記載の分光計。 - 前記イオンフィルタは、ウェーハ状の形状を備える、
請求項1〜23のいずれか一項に記載の分光計。 - 前記イオンフィルタは、複数の積層された平面層を備える、
請求項1〜23のいずれか一項に記載の分光計。 - 前記イオンチャネルは、湾曲または蛇行される、
請求項1〜24のいずれか一項に記載の分光計。 - 1つ以上の他の検出デバイスまたは分析デバイスに結合される、
請求項1〜26のいずれか一項に記載の分光計。 - 間隔をおいて定期的にサンプリングするために前記分光計を動作させるための制御手段をさらに備える、
請求項1〜27のいずれか一項に記載の分光計。 - 前記イオン検出器は、定期的に放電されるコンデンサに結合される電極を備える、
請求項1〜28のいずれか一項に記載の分光計。 - 試料を分析するための方法であって、
イオンチャネルの長さに沿って第1の駆動電界を形成するステップと、
前記第1の電界に直角に第2の横電界を形成するステップと、
前記イオンチャネルの入口に隣接してイオンを生成するために、試料をイオン化するステップと、
前記イオンチャネルを通過した生成イオンを検出するステップと、
を含む方法。 - 前記駆動電界および前記横電界は複数の電極によって生成され、各電極は前記駆動電界および前記横電界の両方の成分に寄与する、
請求項30に記載の方法。 - 前記駆動電界は静電界である、
請求項30または31に記載の方法。 - 前記横電界は、時間の経過と共に変化する、
請求項30、31または32に記載の方法。 - 間隔をおいてサンプリングするステップを定期的に繰り返すステップをさらに含む、
請求項30〜33のいずれか一項に記載の方法。 - イオン移動度分光計などの分光計に用いるためのイオンフィルタであって、
前記フィルタは、少なくとも1つのイオンチャネルを画定し、前記イオンチャネルに沿ってイオンが通過することができ、
複数の電極が前記イオンチャネルの付近に配置され、
前記電極が前記イオンチャネルの長さに沿って第1の駆動電界を生成することができ、
前記第1の電界に対して直角に第2の横電界を生成することができるように構成され、
前記複数の電極のそれぞれは、前記駆動電界および前記横電界の両方の成分を生成するのに関与する、
イオンフィルタ。 - イオナイザ、イオンフィルタおよびイオン検出器を備えるイオン移動度分光計であって、
前記イオンフィルタは、複数のイオンチャネルを画定し、前記イオンチャネルに沿って前記イオナイザから前記イオン検出器までイオンが通過することができ、
前記イオンフィルタは、前記イオンチャネルの付近に配置される複数の電極を備え、
前記分光計は、第1の駆動電界が前記イオンチャネルの長さに沿って生成され、第2の横電界が前記第1の電界に対して直角に生成されるように、前記電極を制御するための電極制御手段をさらに備える、
イオン移動度分光計。 - イオン移動度分光計などの分光計に用いるためのイオンフィルタであって、
前記フィルタは、複数のイオンチャネルを画定し、前記イオンチャネルに沿ってイオンが通過することができ、
複数の電極が前記イオンチャネルの付近に配置され、
前記電極が前記イオンチャネルの長さに沿って第1の駆動電界を生成することができ、
前記第1の電界に対して直角に第2の横電界を生成することができるように構成される、
イオンフィルタ。 - イオン移動度分光計の製作方法であって、
導電層が2つの面に設けられている略平面抵抗基板を設けるステップと、
電極が付近に配置されている複数のイオンチャネルを画定する2つ以上の互いに嵌合する電極アレイを備えるフィルタを提供するために、前記基板にパターン形成を施すステップと、
検出器電極を備える略平面イオン検出器層に前記フィルタの1つの面を接合するステップと、
検体をイオン化するための手段を含む略平面イオン化層に前記フィルタの対向する面を接着するステップと、
を含む方法。 - イオナイザ、複数のイオンフィルタおよびイオン検出器を備えるイオン移動度分光計であって、
各イオンフィルタは、少なくとも1つのイオンチャネルを画定し、前記イオンチャネルに沿って前記イオナイザから前記イオン検出器までイオンが通過することができ、
各イオンフィルタは、前記イオンチャネルの付近に配置される複数の電極を備え、
前記分光計は、第1の駆動電界が前記イオンチャネルの長さに沿って生成され、第2の横電界が前記第1の電界に対して直角に生成されるように、前記電極を制御するための電極制御手段をさらに備える、
イオン移動度分光計。 - イオナイザ、イオンフィルタおよびイオン検出器を備えるイオン移動度分光計であって、
前記イオンフィルタは、少なくとも1つのイオンチャネルを画定し、前記イオンチャネルに沿って前記イオナイザから前記イオン検出器までイオンが通過することができ、
前記イオンフィルタは、前記イオンチャネルの付近に配置される複数の電極を備え、
前記分光計は、第1の駆動電界が前記イオンチャネルの長さに沿って生成され、第2の横電界が前記第1の電界に対して直角に生成されるように、前記電極を制御するための電極制御手段と、間隔をおいて定期的にサンプリングを行うために前記分光計を動作させるための追加的な制御手段と、をさらに備える、
イオン移動度分光計。 - イオン移動度分光計などの分光計に用いるためのイオンフィルタであって、
前記フィルタは複数のイオンチャネルを画定する1対の互いに嵌合する電極を備え、前記イオンチャネルに沿ってイオンが通過することができる、
イオンフィルタ。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB0417184A GB0417184D0 (en) | 2004-08-02 | 2004-08-02 | Microchip ion mobility spectrometer |
GB0417184.9 | 2004-08-02 | ||
GB0500812A GB0500812D0 (en) | 2005-01-17 | 2005-01-17 | Ion mobility spectrometer |
GB0500812.3 | 2005-01-17 | ||
PCT/GB2005/050124 WO2006013396A2 (en) | 2004-08-02 | 2005-08-02 | Ion mobility spectrometer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008508693A true JP2008508693A (ja) | 2008-03-21 |
JP5221954B2 JP5221954B2 (ja) | 2013-06-26 |
Family
ID=35583323
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007524405A Active JP5221954B2 (ja) | 2004-08-02 | 2005-08-02 | イオン移動度分光計 |
Country Status (14)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7714278B2 (ja) |
EP (1) | EP1779409A2 (ja) |
JP (1) | JP5221954B2 (ja) |
KR (1) | KR20070052774A (ja) |
CN (1) | CN101882552A (ja) |
AU (1) | AU2005268605A1 (ja) |
BR (1) | BRPI0514095A (ja) |
CA (1) | CA2575913A1 (ja) |
EA (1) | EA200700395A1 (ja) |
IL (2) | IL181140A (ja) |
MX (1) | MX2007001434A (ja) |
NO (1) | NO20071168L (ja) |
NZ (1) | NZ553460A (ja) |
WO (1) | WO2006013396A2 (ja) |
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009157187A1 (ja) | 2008-06-23 | 2009-12-30 | Murthy Prakash Sreedhar | 化学物質に関連した情報を取り扱うためのシステム |
JP2010519687A (ja) * | 2007-02-19 | 2010-06-03 | バイエル・テクノロジー・サービシーズ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | 質量分析計 |
WO2011077730A1 (ja) | 2009-12-22 | 2011-06-30 | アトナープ株式会社 | ロボット |
WO2011077732A1 (ja) | 2009-12-22 | 2011-06-30 | アトナープ株式会社 | コンテンツを供給する装置 |
WO2011077731A1 (ja) | 2009-12-22 | 2011-06-30 | アトナープ株式会社 | 化学物質を検出する装置 |
WO2012029303A1 (ja) | 2010-08-31 | 2012-03-08 | アトナープ株式会社 | イオン移動度センサーに供給するサンプルを調製する装置 |
WO2012029312A1 (ja) | 2010-08-31 | 2012-03-08 | アトナープ株式会社 | センサーにより測定されたデータから候補を見つける方法および装置 |
WO2012056730A1 (ja) | 2010-10-29 | 2012-05-03 | アトナープ株式会社 | 分析装置 |
JP2012533148A (ja) * | 2009-07-08 | 2012-12-20 | ディミトリアス・シダリス | 質量分析装置及び質量分析方法 |
WO2013018529A1 (en) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ion mobility spectrometer, gas analysis system including the same, and method of determining chemical species |
WO2013035307A1 (ja) | 2011-09-06 | 2013-03-14 | アトナープ株式会社 | 異常を監視する装置 |
WO2013035306A1 (ja) | 2011-09-06 | 2013-03-14 | アトナープ株式会社 | ガス採取装置および検査装置 |
WO2015008371A1 (ja) * | 2013-07-19 | 2015-01-22 | 株式会社日立製作所 | イオン移動度分離装置 |
KR20150132553A (ko) * | 2013-03-18 | 2015-11-25 | 스미스 디텍션 몬트리올 인코포레이티드 | 하전 물질 운반 챔버를 구비한 이온 이동도 분광 분석(ims) 디바이스 |
JP2017211358A (ja) * | 2016-05-24 | 2017-11-30 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 電界非対称性イオン移動度分光計、およびそれを用いた混合物分離方法 |
JP2018025534A (ja) * | 2016-08-02 | 2018-02-15 | 株式会社リコー | イオンフィルタ、イオン検出装置及びイオンフィルタの製造方法 |
JP2018173283A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 電界非対称性イオン移動度分光計、およびそれを用いた混合物分離方法 |
JP2018185159A (ja) * | 2017-04-24 | 2018-11-22 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 電界非対称性イオン移動度分光計、およびそれを用いた混合物分離方法 |
JP2019510222A (ja) * | 2016-03-15 | 2019-04-11 | ディーエイチ テクノロジーズ デベロップメント プライベート リミテッド | マルチチャネル微分移動度分光計のためのシステムおよび方法 |
JP2019129015A (ja) * | 2018-01-23 | 2019-08-01 | 株式会社リコー | イオンフィルタ、イオン検出装置及びイオンフィルタの製造方法 |
JP2021168301A (ja) * | 2013-03-15 | 2021-10-21 | ザ ユニバーシティ オブ ノース カロライナ アット チャペル ヒルThe University Of North Carolina At Chapel Hill | 質量分析向けの細長いトラッピング領域を有する小型荷電粒子トラップ |
Families Citing this family (53)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU2005268605A1 (en) * | 2004-08-02 | 2006-02-09 | Owlstone Ltd | Ion mobility spectrometer |
EP1927125A2 (en) * | 2005-09-19 | 2008-06-04 | Owlstone Ltd | Ion pump |
US20100264304A1 (en) * | 2006-04-04 | 2010-10-21 | Martinez-Lozano Pablo | Method for detecting volatile species of high molecular weight |
CN100587486C (zh) * | 2006-05-31 | 2010-02-03 | 中国科学院电子学研究所 | 用于离子迁移率谱仪的微机电表面离化源 |
GB0618926D0 (en) * | 2006-09-26 | 2006-11-08 | Owlstone Ltd | Ion filter |
US9588081B2 (en) | 2007-09-25 | 2017-03-07 | Ownstone Medical Limited | Interdigitated electrode configuration for ion filter |
US8178045B2 (en) | 2007-12-17 | 2012-05-15 | University Of Louisville Research Foundation, Inc. | Interchangeable preconcentrator connector assembly |
EP2112683A1 (en) * | 2008-04-22 | 2009-10-28 | IEE INTERNATIONAL ELECTRONICS & ENGINEERING S.A. | Differential mobility spectrometer and operating method therefor |
WO2009136821A1 (en) * | 2008-05-05 | 2009-11-12 | Adixen Sensistor Ab | A gas probe for sampling gas molecules from a fluid and a system comprising the gas probe |
WO2010014950A1 (en) | 2008-07-31 | 2010-02-04 | University Of Louisville Rasearch Foundation, Inc. | Large volume analyte preconcentrator |
US8448532B2 (en) | 2009-03-18 | 2013-05-28 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Actively cooled vapor preconcentrator |
US8193488B2 (en) * | 2009-06-30 | 2012-06-05 | New Zealand Forest Research Institute Limited | Vibrating probe |
US8716655B2 (en) * | 2009-07-02 | 2014-05-06 | Tricorntech Corporation | Integrated ion separation spectrometer |
US8569691B2 (en) | 2009-11-24 | 2013-10-29 | University Of Louisville Research Foundation | Preconcentrator for analysis instruments |
GB2479190B (en) * | 2010-04-01 | 2014-03-19 | Microsaic Systems Plc | Microengineered multipole rod assembly |
GB2479191B (en) * | 2010-04-01 | 2014-03-19 | Microsaic Systems Plc | Microengineered multipole ion guide |
US8812250B2 (en) * | 2010-06-18 | 2014-08-19 | Washington State University | Ion mobility spectrometry systems and associated methods of operation |
CZ306424B6 (cs) * | 2010-10-26 | 2017-01-18 | Vysoké Učení Technické V Brně | Filtr iontů pro senzor pro měření extrémně nízkých úrovní koncentrace volných iontů |
US8581177B2 (en) * | 2011-04-11 | 2013-11-12 | Thermo Finnigan Llc | High duty cycle ion storage/ion mobility separation mass spectrometer |
DE102011017280A1 (de) | 2011-04-15 | 2012-10-18 | Fagus-Grecon Greten Gmbh & Co Kg | Verfahren zum Messen von emittierenden flüchtigen Stoffen aus Holzwerkstoffen und Vorrichtung zum Messen von emittierenden flüchtigen Stoffen aus Holzwerkstoffen |
JP5453490B2 (ja) | 2011-12-21 | 2014-03-26 | 財團法人工業技術研究院 | 除湿と離脱装置及びシステム |
US9362099B2 (en) | 2012-01-05 | 2016-06-07 | Owlstone Limited | Field asymmetric ion mobility spectrometry filter |
US9366649B2 (en) * | 2012-03-29 | 2016-06-14 | Owlstone Nanotech Inc | Field asymmetric ion mobility spectrometry system |
WO2013152344A1 (en) * | 2012-04-06 | 2013-10-10 | Implant Sciences Corporation | Selective ionization using high frequency filtering of reactive ions |
WO2013154732A1 (en) * | 2012-04-11 | 2013-10-17 | President And Fellows Of Harvard College | Buffer gas cooling and mixture analysis |
EP2843399B1 (en) | 2012-04-25 | 2019-01-16 | Atonarp Inc. | System which provides content |
GB201315145D0 (en) * | 2013-08-23 | 2013-10-09 | Smiths Detection Watford Ltd | Ion Modification |
EP3043914B1 (en) * | 2013-09-13 | 2019-11-06 | Inficon, Inc. | Chemical analyzer with membrane |
US9704700B2 (en) | 2014-06-16 | 2017-07-11 | Purdue Research Foundation | Sample analysis systems and methods of use thereof |
CN104201083A (zh) * | 2014-09-04 | 2014-12-10 | 同方威视技术股份有限公司 | 用于离子迁移谱仪的空气干燥器 |
EP2993177A1 (en) | 2014-09-05 | 2016-03-09 | Technische Universität Berlin | A chemo-enzymatic preparation method for purine nucleosides and their deaza- and aza- analogues |
CN104759189A (zh) * | 2015-03-12 | 2015-07-08 | 同方威视技术股份有限公司 | 离子迁移谱仪中可持续工作的气体净化装置 |
US10209220B2 (en) | 2015-11-26 | 2019-02-19 | Korea Basic Science Institute | Apparatus for measuring ion mobility of harmful material and reference data obtaining method of the same |
DE102015016820A1 (de) * | 2015-12-22 | 2017-06-22 | Testo SE & Co. KGaA | Partikelmessanordnung |
WO2017187141A1 (en) | 2016-04-25 | 2017-11-02 | Owlstone Medical Limited | A method for collecting a selective portion of a subject's breath |
CN107342768B (zh) * | 2017-07-18 | 2020-08-11 | 上海新示方科技有限公司 | 一种氢原子频标 |
CN107342212B (zh) * | 2017-07-18 | 2019-05-10 | 上海新示方科技有限公司 | 一种电离源系统、氢原子频标 |
GB2566326A (en) * | 2017-09-11 | 2019-03-13 | Owlstone Inc | Ion mobility filter |
GB2573483B (en) * | 2017-10-06 | 2022-05-11 | Owlstone Inc | Ion Mobility Filter |
GB2568480A (en) * | 2017-11-16 | 2019-05-22 | Owlstone Inc | Method of manufacture for a ion mobility filter |
JP7102733B2 (ja) | 2018-01-04 | 2022-07-20 | 株式会社リコー | イオン検出装置及び電界非対称波形イオン移動度分光分析システム |
US11874251B2 (en) | 2018-02-13 | 2024-01-16 | Jp Scientific Limited | Ion mobility spectrometer and method of analyzing ions |
US11275054B2 (en) | 2018-02-13 | 2022-03-15 | Jp Scientific Limited | Ion mobility spectrometer and method of analyzing ions |
SG11202011332QA (en) | 2018-05-14 | 2020-12-30 | Mobilion Systems Inc | Coupling of ion mobility spectrometer with mass spectrometer |
GB2582367B (en) * | 2019-03-21 | 2021-03-24 | Owlstone Med Ltd | Method of manufacture for an ion mobility filter |
CN114051428A (zh) | 2019-05-21 | 2022-02-15 | 莫比莱昂系统有限公司 | 用于离子迁移率分离的电压控制 |
WO2021102406A1 (en) | 2019-11-22 | 2021-05-27 | MOBILion Systems, Inc. | Mobility based filtering of ions |
JP7276751B2 (ja) * | 2020-03-05 | 2023-05-18 | 新東工業株式会社 | ガス測定器及びガス測定方法 |
EP4133264A4 (en) | 2020-04-06 | 2024-05-01 | Mobilion Systems Inc | SYSTEMS AND METHODS FOR TWO-DIMENSIONAL MOBILITY-BASED FILTRATION OF IONS |
US11953466B2 (en) | 2020-05-22 | 2024-04-09 | MOBILion Systems, Inc. | Methods and apparatus for trapping and accumulation of ions |
US11874252B2 (en) | 2020-06-05 | 2024-01-16 | MOBILion Systems, Inc. | Apparatus and methods for ion manipulation having improved duty cycle |
KR102218535B1 (ko) | 2020-08-24 | 2021-02-22 | 주식회사 이온랩토리 | 이온 이동도 분광장치 및 이를 활용한 대기 분석시스템 |
CN117665087A (zh) * | 2022-08-30 | 2024-03-08 | 霍尼韦尔国际公司 | 采用时分模式在同一物理区执行分离和检测的光电离检测器传感器 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06176734A (ja) * | 1991-07-24 | 1994-06-24 | Yukiro Takahashi | 電子増倍素子 |
JPH0887976A (ja) * | 1994-07-08 | 1996-04-02 | Res Inst Of Natl Defence | イオン移動度スペクトロメータ |
JP2001343360A (ja) * | 2000-06-05 | 2001-12-14 | Mitsubishi Electric Corp | ガス中イオン量測定装置 |
WO2002071053A2 (en) * | 2001-03-05 | 2002-09-12 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Method and apparatus for chromatography-high field asymmetric waveform ion mobility spectrometry |
JP2003514349A (ja) * | 1999-11-12 | 2003-04-15 | ザ・チャールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテッド | 長手方向の電界で駆動される非対称イオン移動度フィルタおよび検出システム |
JP2003527734A (ja) * | 2000-03-14 | 2003-09-16 | ナショナル リサーチ カウンシル カナダ | 混合組成のキャリヤガスを用いるfaims装置およびその方法 |
JP2005527786A (ja) * | 2001-10-31 | 2005-09-15 | イオンフィニティ エルエルシー | ソフトイオン化装置およびその用途 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2291200A (en) | 1994-07-15 | 1996-01-17 | Ion Track Instr | Ion mobility spectrometer and method of operation for enhanced detection of narotics |
US6051832A (en) | 1996-08-20 | 2000-04-18 | Graseby Dynamics Limited | Drift chambers |
DE19730898C2 (de) * | 1997-07-18 | 1999-06-17 | Bruker Saxonia Analytik Gmbh | Verfahren zum Erstellen eines Ionenmobilitätsspektrums |
US5789745A (en) * | 1997-10-28 | 1998-08-04 | Sandia Corporation | Ion mobility spectrometer using frequency-domain separation |
WO2001064320A1 (en) | 2000-02-29 | 2001-09-07 | Ionwerks, Inc. | Improved mobility spectrometer |
CA2364676C (en) * | 2000-12-08 | 2010-07-27 | Mds Inc., Doing Business As Mds Sciex | Ion mobility spectrometer incorporating an ion guide in combination with an ms device |
US6576899B2 (en) * | 2001-01-16 | 2003-06-10 | California Institute Of Technology | Direct detection of low-energy charged particles using metal oxide semiconductor circuitry |
US6765215B2 (en) * | 2001-06-28 | 2004-07-20 | Agilent Technologies, Inc. | Super alloy ionization chamber for reactive samples |
US7632681B2 (en) | 2003-12-02 | 2009-12-15 | Celavie Biosciences, Llc | Compositions and methods for propagation of neural progenitor cells |
AU2005268605A1 (en) * | 2004-08-02 | 2006-02-09 | Owlstone Ltd | Ion mobility spectrometer |
-
2005
- 2005-08-02 AU AU2005268605A patent/AU2005268605A1/en not_active Abandoned
- 2005-08-02 US US11/659,262 patent/US7714278B2/en active Active
- 2005-08-02 WO PCT/GB2005/050124 patent/WO2006013396A2/en active Application Filing
- 2005-08-02 JP JP2007524405A patent/JP5221954B2/ja active Active
- 2005-08-02 CA CA002575913A patent/CA2575913A1/en not_active Abandoned
- 2005-08-02 NZ NZ553460A patent/NZ553460A/en not_active IP Right Cessation
- 2005-08-02 BR BRPI0514095-1A patent/BRPI0514095A/pt not_active IP Right Cessation
- 2005-08-02 MX MX2007001434A patent/MX2007001434A/es active IP Right Grant
- 2005-08-02 KR KR1020077005077A patent/KR20070052774A/ko not_active Application Discontinuation
- 2005-08-02 EA EA200700395A patent/EA200700395A1/ru unknown
- 2005-08-02 CN CN2010101934941A patent/CN101882552A/zh active Pending
- 2005-08-02 EP EP05764106A patent/EP1779409A2/en not_active Withdrawn
-
2007
- 2007-02-04 IL IL181140A patent/IL181140A/en not_active IP Right Cessation
- 2007-03-01 NO NO20071168A patent/NO20071168L/no not_active Application Discontinuation
-
2010
- 2010-05-06 US US12/774,869 patent/US8319177B2/en active Active
- 2010-05-27 IL IL206034A patent/IL206034A0/en unknown
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06176734A (ja) * | 1991-07-24 | 1994-06-24 | Yukiro Takahashi | 電子増倍素子 |
JPH0887976A (ja) * | 1994-07-08 | 1996-04-02 | Res Inst Of Natl Defence | イオン移動度スペクトロメータ |
JP2003514349A (ja) * | 1999-11-12 | 2003-04-15 | ザ・チャールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテッド | 長手方向の電界で駆動される非対称イオン移動度フィルタおよび検出システム |
JP2003527734A (ja) * | 2000-03-14 | 2003-09-16 | ナショナル リサーチ カウンシル カナダ | 混合組成のキャリヤガスを用いるfaims装置およびその方法 |
JP2001343360A (ja) * | 2000-06-05 | 2001-12-14 | Mitsubishi Electric Corp | ガス中イオン量測定装置 |
WO2002071053A2 (en) * | 2001-03-05 | 2002-09-12 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Method and apparatus for chromatography-high field asymmetric waveform ion mobility spectrometry |
JP2005527786A (ja) * | 2001-10-31 | 2005-09-15 | イオンフィニティ エルエルシー | ソフトイオン化装置およびその用途 |
Cited By (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010519687A (ja) * | 2007-02-19 | 2010-06-03 | バイエル・テクノロジー・サービシーズ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | 質量分析計 |
WO2009157187A1 (ja) | 2008-06-23 | 2009-12-30 | Murthy Prakash Sreedhar | 化学物質に関連した情報を取り扱うためのシステム |
US11521711B2 (en) | 2008-06-23 | 2022-12-06 | Atonarp Inc. | System for handling information relating to chemical substances |
JP2012533148A (ja) * | 2009-07-08 | 2012-12-20 | ディミトリアス・シダリス | 質量分析装置及び質量分析方法 |
WO2011077731A1 (ja) | 2009-12-22 | 2011-06-30 | アトナープ株式会社 | 化学物質を検出する装置 |
WO2011077732A1 (ja) | 2009-12-22 | 2011-06-30 | アトナープ株式会社 | コンテンツを供給する装置 |
WO2011077730A1 (ja) | 2009-12-22 | 2011-06-30 | アトナープ株式会社 | ロボット |
WO2012029303A1 (ja) | 2010-08-31 | 2012-03-08 | アトナープ株式会社 | イオン移動度センサーに供給するサンプルを調製する装置 |
WO2012029312A1 (ja) | 2010-08-31 | 2012-03-08 | アトナープ株式会社 | センサーにより測定されたデータから候補を見つける方法および装置 |
WO2012029315A1 (ja) | 2010-08-31 | 2012-03-08 | アトナープ株式会社 | イオン移動装置 |
US9035240B2 (en) | 2010-08-31 | 2015-05-19 | Atonarp Inc. | Ion transfer device |
US8866075B2 (en) | 2010-08-31 | 2014-10-21 | Atonarp Inc. | Apparatus preparing samples to be supplied to an ion mobility sensor |
WO2012056730A1 (ja) | 2010-10-29 | 2012-05-03 | アトナープ株式会社 | 分析装置 |
WO2012056729A1 (ja) | 2010-10-29 | 2012-05-03 | アトナープ株式会社 | サンプリング装置 |
US9536720B2 (en) | 2010-10-29 | 2017-01-03 | Atonarp Inc. | Analyzing apparatus |
WO2013018529A1 (en) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ion mobility spectrometer, gas analysis system including the same, and method of determining chemical species |
US8502138B2 (en) | 2011-07-29 | 2013-08-06 | Sharp Kabushiki Kaisha | Integrated ion mobility spectrometer |
US9285341B2 (en) | 2011-09-06 | 2016-03-15 | Atonarp Inc. | Apparatus monitoring for abnormalities |
US9625358B2 (en) | 2011-09-06 | 2017-04-18 | Atonarp Inc. | Gas sampling apparatus and monitoring apparatus |
JPWO2013035307A1 (ja) * | 2011-09-06 | 2015-03-23 | アトナープ株式会社 | 異常を監視する装置 |
WO2013035306A1 (ja) | 2011-09-06 | 2013-03-14 | アトナープ株式会社 | ガス採取装置および検査装置 |
WO2013035307A1 (ja) | 2011-09-06 | 2013-03-14 | アトナープ株式会社 | 異常を監視する装置 |
JP2021168301A (ja) * | 2013-03-15 | 2021-10-21 | ザ ユニバーシティ オブ ノース カロライナ アット チャペル ヒルThe University Of North Carolina At Chapel Hill | 質量分析向けの細長いトラッピング領域を有する小型荷電粒子トラップ |
JP7301095B2 (ja) | 2013-03-15 | 2023-06-30 | ザ ユニバーシティ オブ ノース カロライナ アット チャペル ヒル | 質量分析向けの細長いトラッピング領域を有する小型荷電粒子トラップ |
JP2016519764A (ja) * | 2013-03-18 | 2016-07-07 | スミスズ ディテクション モントリオール インコーポレイティド | 帯電物質搬送チャンバを有するイオン移動度分光分析(ims)装置 |
KR102220784B1 (ko) | 2013-03-18 | 2021-02-25 | 스미스 디텍션 몬트리올 인코포레이티드 | 하전 물질 운반 챔버를 구비한 이온 이동도 분광 분석(ims) 디바이스 |
JP2019109254A (ja) * | 2013-03-18 | 2019-07-04 | スミスズ ディテクション モントリオール インコーポレイティド | 帯電物質搬送チャンバを有するイオン移動度分光分析(ims)装置 |
KR20150132553A (ko) * | 2013-03-18 | 2015-11-25 | 스미스 디텍션 몬트리올 인코포레이티드 | 하전 물질 운반 챔버를 구비한 이온 이동도 분광 분석(ims) 디바이스 |
JPWO2015008371A1 (ja) * | 2013-07-19 | 2017-03-02 | 株式会社日立製作所 | イオン移動度分離装置 |
US10338028B2 (en) | 2013-07-19 | 2019-07-02 | Hitachi, Ltd. | Ion mobility separation device |
WO2015008371A1 (ja) * | 2013-07-19 | 2015-01-22 | 株式会社日立製作所 | イオン移動度分離装置 |
JP2019510222A (ja) * | 2016-03-15 | 2019-04-11 | ディーエイチ テクノロジーズ デベロップメント プライベート リミテッド | マルチチャネル微分移動度分光計のためのシステムおよび方法 |
US9927400B2 (en) | 2016-05-24 | 2018-03-27 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Field asymmetric ion mobility spectrometer and method for separating mixture using the same |
JP2017211358A (ja) * | 2016-05-24 | 2017-11-30 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 電界非対称性イオン移動度分光計、およびそれを用いた混合物分離方法 |
JP2018025534A (ja) * | 2016-08-02 | 2018-02-15 | 株式会社リコー | イオンフィルタ、イオン検出装置及びイオンフィルタの製造方法 |
JP2018173283A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 電界非対称性イオン移動度分光計、およびそれを用いた混合物分離方法 |
JP7022884B2 (ja) | 2017-03-31 | 2022-02-21 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 電界非対称性イオン移動度分光計、およびそれを用いた混合物分離方法 |
JP2018185159A (ja) * | 2017-04-24 | 2018-11-22 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 電界非対称性イオン移動度分光計、およびそれを用いた混合物分離方法 |
JP7069742B2 (ja) | 2018-01-23 | 2022-05-18 | 株式会社リコー | イオンフィルタ、イオン検出装置及びイオンフィルタの製造方法 |
JP2019129015A (ja) * | 2018-01-23 | 2019-08-01 | 株式会社リコー | イオンフィルタ、イオン検出装置及びイオンフィルタの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2006013396A3 (en) | 2006-12-21 |
MX2007001434A (es) | 2008-03-07 |
AU2005268605A1 (en) | 2006-02-09 |
KR20070052774A (ko) | 2007-05-22 |
NO20071168L (no) | 2007-04-24 |
IL181140A0 (en) | 2007-07-04 |
US20080191132A1 (en) | 2008-08-14 |
EP1779409A2 (en) | 2007-05-02 |
CA2575913A1 (en) | 2006-02-09 |
CN101882552A (zh) | 2010-11-10 |
NZ553460A (en) | 2010-06-25 |
IL181140A (en) | 2011-07-31 |
EA200700395A1 (ru) | 2008-12-30 |
IL206034A0 (en) | 2010-11-30 |
US7714278B2 (en) | 2010-05-11 |
US8319177B2 (en) | 2012-11-27 |
WO2006013396A2 (en) | 2006-02-09 |
US20110006196A1 (en) | 2011-01-13 |
JP5221954B2 (ja) | 2013-06-26 |
BRPI0514095A (pt) | 2008-05-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5221954B2 (ja) | イオン移動度分光計 | |
US7498570B2 (en) | Ion mobility spectrometer | |
CN101036213B (zh) | 离子迁移率谱仪 | |
EP1839049A1 (en) | Micromachined field asymmetric ion mobility spectrometer | |
US7579589B2 (en) | Ultra compact ion mobility based analyzer apparatus, method, and system | |
US7075068B2 (en) | Method and apparatus for electrospray augmented high field asymmetric ion mobility spectrometry | |
JP5281070B2 (ja) | 超小型非対称電界イオン移動度フィルタおよび検出システム | |
US20110036973A1 (en) | Ion pump | |
WO2002083276A1 (en) | Methods and apparatus for electrospray-augmented high field asymmetric ion mobility spectrometry | |
AU2002257177A1 (en) | Methods and apparatus for electrospray-augmented high field asymmetric ion mobility spectrometry | |
Voiculescu et al. | Microfabricated chemical preconcentrators for gas-phase microanalytical detection systems | |
JP2003514349A (ja) | 長手方向の電界で駆動される非対称イオン移動度フィルタおよび検出システム | |
JP2010518378A (ja) | 質量分光計のための微分移動度分光計プレフィルタ | |
US20070134667A1 (en) | Molecular single electron transistor (mset) detector device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080728 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110518 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110520 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110809 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110816 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120704 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120912 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130207 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130308 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160315 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5221954 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |