JP2008503085A - 電気デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
本発明は、パンチスルーダイオード(S)と直列に接続されたプログラマブル抵抗器(PR)を有する電気デバイス(図6)に関する。本発明はまた、そのような電気デバイスの製造方法に関する。前記方法は、第1の導電型とは反対の第2の導電型の半導体材料からなる第2の層と第3の層との間に配置された、第1の導電型の半導体材料からなる第1の層を含む積層体を設けるステップと、プログラマブルな抵抗率を有する材料の層であって、半導体材料の第2および第3の層のうちの1つと電気的に接触している、プログラマブルな抵抗率を有する材料の層を設けるステップとを含む。
Description
重要な新しいクラスの不揮発性メモリは、プログラマブル抵抗を有する材料の使用に基づいている。これらの材料に基づくメモリは、DRAMなどの電荷ベースのメモリに比べて、より小さいサイズへのスケールダウンに優れているという利点を有する。主だった技術としては、MRAM、相変化メモリ、プログラマブルメタライゼーションセル(PMC)、RRAM、および分子記憶がある。
一般的に言えば、上記技術の記憶素子は、少なくとも2つの不揮発性の抵抗状態を有する抵抗器である。特定の抵抗状態は、電圧、電流のどちらか、または両方を印加することによりプログラムすることができる。
米国特許第5,296,716号および米国特許第6,607,974号には、カルコゲナイド材料のメモリ素子を備えるメモリマトリックスが記載されている。このタイプの材料は、その状態に応じて異なる電気的特性を示す。非晶質状態では、結晶状態よりも高い抵抗率を示す。さらに、この材料は複数の中間状態の1つになることができる。この状態は、この材料のいわゆる活性領域に、比較的強い電流を受けさせることによって制御することができる。比較的低い電流を用いて抵抗率を測定することにより、状態を変化させることなく材料の状態を特定することができる。
複数の中から特定のメモリ素子を選択するために、メモリ素子は、非線形な電気的動作を有する選択デバイスと直列に接続される。知られたメモリマトリックスに用いられる選択デバイスのタイプには、メモリマトリックスのダイオードアレイが順バイアスモードで動作するか逆バイアスモードで動作するかに応じて、通常のダイオードなどのpnダイオード、ツェナーダイオード、またはアバランシェダイオードがある。
知られたメモリマトリックスにおける選択デバイスは、2ポート選択デバイスである。これは、ドーピングの型が異なる半導体材料から構成される2つの端子、すなわちpドープされた端子とnドープされた端子を有する。これらの端子を導体に電気的に接続するには、オーミック接触を確実にするために2つの異なる材料が必要になる。これにより、知られた電気デバイスの製造は、比較的複雑になる。
本発明の一目的は、より複雑でない方法で製造することができる電気デバイスを提供することである。本発明によれば、この目的は、選択デバイスをパンチスルーダイオードとすることで実現される。パンチスルーダイオードは、少なくとも、第1の導電型を有する第1および第2の領域と、第1および第2の領域の間の第2の導電型を有する第3の領域とを含む非線形素子である。一方で第1および第3の領域が、他方で第3および第2の領域が、対向して位置する2つの整流接合を形成する。これらのうちの少なくとも1つは、逆バイアスされた他方の接合の電界によって順方向にバイアスすることができる。第3の領域の幅は十分に小さく、そのドーピングプロファイルにより、少なくとも1つのバイアス方向で接合の1つが降伏する前に、2つの接合の間でパンチスルーが生じる。パンチスルーダイオードは、ドーピングの型が同じである2つの端子を有する。したがって、生産プロセスの様々なステップで用いられる、異なる材料の数が、知られた電気デバイスの製造よりも少なく、それによって製造プロセスがより複雑でなくなる。半導体および金属電極の両方には、広い範囲の材料を用いることができる。不完全なリストとしては、元素半導体およびそれらの合金(すなわちSi、Ge、SixGe1−x)、III−V(すなわちGaAs、…)、II−VI(ZnS、…)、黄銅鉱、カルコゲナイド、金属酸化物、硫化物などを用いることができる。代替物として、上に列挙した無機半導体材料に置き換えて、ポリマーまたは有機分子を用いることができる。低温(非エピタキシャル)堆積技法が用いられるので、半導体材料はほとんど多結晶相となる。しかし、いくつかの場合には、単結晶半導体材料を得ることもできる。金属としては、たとえばCu、Al、Ti、TiN、Ta、TaN、Ni、Co、Ag、Pt、Ru(O2)、合金から選ぶことができる。さらに、たとえばバリア金属を用いることができる。
一実施形態では、パンチスルーダイオードは、nドープされた2つの端子を有する。これにより、パンチスルーダイオードに接続された導体とのオーミック接触を得るための比較的容易な方法が可能になる。このことは、シリコン中のnドーピングでは、電気的に活性なドーパント原子の濃度が比較的大きいので、シリコンパンチスルーダイオードの場合、特に魅力的である。
本発明による集積回路の別の実施形態では、パンチスルーダイオードは、少なくとも、第2の導電型の半導体材料からなる第2の領域と第3の金属領域との間の、第1の導電型の半導体材料からなる第1の領域を含む。これらの金属層の存在は、2次の動作にわずかに影響するだけである。
パンチスルーダイオードの非対称な電気的動作は、電極付近の低ドープのnまたはp型領域を含む、非対称なドーピングプロファイルを用いることによって得られる。
パンチスルーダイオードは、順方向と逆方向とで交互に動作するように構成することができる。pnダイオードやツェナーダイオードのような他のダイオードと違って、パンチスルーダイオードは、順方向と逆方向とで同様な電流を供給するのに特に適している。さらに、たとえばツェナーダイオードと違って、電流の大きさを比較的広い範囲にわたって良好に制御することができる。このことは、プログラマブル抵抗器を通る電流Jが比較的大きい場合、たとえば104A/cm2より大きい場合、に特に有用である。比較的大きな電流では、たとえばエレクトロマイグレーションによって、電気デバイスの劣化が生じ得る。これらの影響は、極性が交替する電流を用いることによって低減される。パンチスルーダイオードは、他の知られた2ポート選択デバイスに比べて、大きさが同様の両極性の電流を供給できるという利点がある。
両極性の電流を供給できる能力に関する、パンチスルーダイオードの他の利点は、プログラマブル抵抗器が、第1の状態と第2の状態を有し、第1の状態から第2の状態へ、および第2の状態から第1の状態への遷移に、極性が反対の電気信号を必要とする場合には、明らかである。このタイプのプログラマブル抵抗器の例としては、プログラマブルメタライゼーションセル、および分子記憶セルがある。これらの抵抗器は、第1の状態から第2の状態へ、およびその逆へ切り換えるのに、極性が異なる電流を必要とする。他の知られた2端子選択デバイスと違って、パンチスルーダイオードは、これらの極性が交替する電流を制御された形で送出する能力を有する。特に、パンチスルーは、相変化技術(溶融および再結晶)、プログラマブルメタライゼーションセル技術(フィラメント形成)、および分子セル技術(分子の酸化/還元)に基づいたプログラム抵抗器で必要とされる104A/cm2より大きい、比較的大きな電流密度Jを送出することができる。
一実施形態では、パンチスルーダイオードは、多結晶シリコンのような多結晶材料を有する。このような選択デバイスでは、正孔の比較的高速な捕捉が可能であるため、比較的短いスイッチオフ時間が得られる。
パンチスルーダイオードとプログラマブル抵抗器は、電流を用いて好都合にプログラムされ読み出されるメモリセルを構成することができる。
集積回路のような電気デバイスは、複数のこのようなメモリ素子を含むことができる。集積回路は、プロセッサユニット、クロック、電源ユニットなどのような追加回路を含んでもよい。メモリ素子は、たとえば、各メモリ素子に共通な1つの第1の導体と、メモリ素子ごとの個別の第2の導体とによって、アクセス可能とすることができる。
本発明は、このようなメモリセルのアレイと、導体の第1の組と、導体の第2の組とを含み、メモリ素子はメモリマトリックスに構成され、各メモリ素子は第1の組の1つの導体と第2の組の1つの導体の間に接続される電気デバイスでの応用例に特に有利である。本発明者らにより、プログラマブル抵抗が選択デバイスとしてのパンチスルーダイオードと組み合わせられたメモリにおいて、漏れ電流を大幅に低減できることが認められた。パンチスルーダイオードは、プログラマブル抵抗器をプログラムしかつ読み出すのに必要な電圧−電流範囲において、非常に好ましい電気特性を有することが判明した。パンチスルーダイオードは、急峻な電流対電圧勾配を有しながら、大きな電流密度を可能とする。急峻な電流対電圧勾配は、半選択モードでの漏れ電流の大幅な低減に寄与する。
米国特許第4,254,427号には、選択デバイスとしてのパンチスルーダイオードを有するROMについて記載されていることが認められる。しかし、ROMデバイスでは選択デバイスは、メモリ素子からデータが読み出されるか否かを選択するためだけに用いられる。書き換え型メモリでは、メモリ素子から読み出すだけでなく、他のメモリ素子の状態に影響せずに、過度な漏れ電流を避けて、少なくとも2つの異なる状態を書き込む必要があるので、状況は著しくもっと複雑である。
メモリマトリックスでは、選択されたメモリ素子に接続された第1の組の導体と第2の組の導体に、基準電圧から互いに反対方向に偏移する電圧を供給することにより、メモリ素子の書込み、消去、または読出しができる。他のメモリ素子が書込みまたは消去されたり、非選択のメモリセルを介した漏れ電流によって読出し動作が妨げられるのを防止するために、メモリマトリックスは半選択モードで動作させることができる。このモードでは、他の導体には基準電圧が供給される。好ましくは、このモードは、対称型メモリ素子を含む一実施形態、すなわち、抵抗素子が書込みに用いられるのと反対の電圧または電流によって消去することができ、かつ、選択デバイスが対称型のI−V特性を有する、実施形態で使用される。
代替実施形態では、メモリ素子は非対称型、すなわちメモリ素子を消去するのに用いられる電圧または電流の極性は書込みに用いられるものと同じである。非対称型の実施形態では、通常、選択デバイスは非対称型のI−V特性を有する。好ましくは、この代替実施形態では、メモリマトリックスは全選択モードで駆動される。ここでは、選択されたメモリ素子に関連する第1の組の導体、ならびに選択されたメモリ素子に関連しない第2の組の各導体が第1の電圧で駆動され、選択されたメモリ素子に関連する第2の組の導体、ならびに選択されたメモリ素子に関連しない第1の組の各導体が第2の電圧で駆動される。第1および第2の電圧は、基準電圧から互いに反対方向に偏移する。
全選択モードでは、メモリマトリックスは、選択されたメモリ素子に関連する第2の組の導体が基準電圧から偏移した第1の電圧で駆動され、他のすべての導体は基準電圧で駆動される動作モードで駆動されるように構成される。このようにして、列全体を消去することができる。
本発明による電気デバイスを製造する方法は、第1の導電型と反対の第2の導電型の半導体材料からなる第2の層と第3の層との間に配置された、第1の導電型の半導体材料からなる第1の層を備える積層体を設けるステップと、プログラマブルな抵抗率を有する材料の層であって、半導体材料の第2および第3の層のうちの1つと電気的に接触している、プログラマブルな抵抗率を有する材料の層を設けるステップとを含む。
積層体は、パンチスルーダイオードを構成する層を含む。積層体はパターニングすることができ、それにより、比較的コンパクトな電気デバイスが得られるパンチスルーダイオードが形成される。あるいは、パンチスルーダイオードは、設けられた層によって構成されてもよい。積層体は水平な積層体、すなわちその層が、それらが設けられる基板の主表面とほぼ平行である積層体とすることができる。あるいは、積層体は垂直な積層体、すなわちその層が、それらが設けられる基板の主表面とほぼ垂直である積層体でもよい。層は、堆積によって設けることができる。代替方法として、あるいはさらに、層は基板の領域に注入することによって設けることができ、注入された領域が層を形成する。
プログラマブルな抵抗率を有する材料の層は、パターニングし、それによってプログラマブル抵抗器を形成することができる。プログラマブルな抵抗率を有する材料の層をパターニングするステップと、積層体をパターニングするステップは、1つのステップで行ってもよく、それによってオーバーレイ誤差を回避し得るので、比較的容易なプロセスおよび比較的コンパクトな電気デバイスが可能になる。
本発明の上記その他の態様について、図面を参照しながら、より詳しく説明する。
図は、原寸に比例して描かれていない。
図1は、メモリマトリックスを概略的に示している。これは行および列に配置された、複数のメモリ素子Mijを含んでいる。明確化のため、そのうちの2つの列、および3つの行だけが示されているが、通常のメモリマトリックスは、著しく多数の、たとえば10,000の行および列を含み得る。メモリセル、たとえばM13、は、第1の導体(WL1、WL2)および第2の導体(BL1、BL2、BL3)の間に直列に接続された、プログラマブル抵抗PRと選択デバイスSとを含む。
図2Aおよび2Bは、半選択モードでメモリ素子をどのようにして選択できるかを概略的に示している。明確化のため、図中にはメモリ素子は示されていない。選択されたメモリ素子だけを、それが接続されている導体の交点におけるドットによって記号的に示している。図2Aに示されるように、マトリックス中のメモリ素子、ここでは列3、行3の素子は、選択されたメモリ素子に接続されている導体に、基準電圧Vp/2から互いに反対方向に偏移した電圧Vp、0をそれぞれ供給することにより、半選択モードで選択することができる。これによって、選択されたメモリ素子の選択デバイスは、導通状態をとり、その結果メモリ素子は所望の状態にプログラムされる。しかし、こうすることにより、同じ行または列中の他のメモリ素子の両端にも電位差が存在する。残念ながら、知られたデバイスでは後者のメモリ素子の選択デバイスも、選択されたメモリ素子の選択デバイスよりも低い割合ではあるが導通し始めることが分かった。この結果、電力消費が比較的大きくなり、選択されたメモリセルの内容を読み出すときにノイズを生じる。同程度の影響が、図2Bの状況にもあてはまる。ここでは、選択されたメモリ素子の内容は、選択されたメモリ素子に関連する導体に電圧0およびVeを印加し、他の導体に基準電圧Ve/2を印加することによって消去される。同じ行または同じ列のメモリ素子両端の電圧降下Ve/2によって、漏れ電流を生じる。特に大きなマトリックスでは、この結果、電力消費が相当大きなものになり得る。
図3Aおよび3Bは、メモリ素子を選択する代替方法である、全選択モードを示す。やはり、選択されたメモリ素子に関連する導体には、基準電圧Vp/2から互いに反対方向に偏移した電圧(Vp、0)が供給される。半選択モードとは対照的に、選択されたメモリに関連しない行導体(非選択の行導体)には、選択された行導体の電圧と比べて反対にバイアスされた電圧(0)が供給される。同様に、非選択の列導体には、選択された行導体の電圧と比べて反対にバイアスされた電圧(Vp)が供給される。ここで、非対称型の選択デバイスが用いられれば、漏れ電流を大幅に低減することができる。全選択モードでの消去は、図3Bに示される。ここで、1列のメモリ素子は、その列に消去電圧(Ve)を供給することによって同時に消去される。全選択モードでは、単一のメモリ素子を消去することはできない。
図4は、プログラマブル抵抗とパンチスルーダイオードの直列接続(図6および9参照)を含む、複数のメモリ素子Mを有する、本発明による集積回路ICを概略的に示している。
集積回路ICはさらに、導体の第1の組C1(ワード線WL1、…、WL5)、および導体の第2の組C2(ビット線BL1、…、BL4)を含む。メモリ素子Mはメモリマトリックス中に配置され、各メモリ素子Mは、第1の組C1の1つの導体と第2の組C2の1つの導体との間に接続される。明確化のため、図示の集積回路ICは限られた数のワード線とビット線だけを含んでいる。実用的なメモリマトリックスは、たとえば1000〜10000個のワード線とビット線を含み得る。図示の実施形態では、ワード線とビット線は、それぞれにメモリアドレスADDRを受け取る第1のアドレスデコーダAD1と第2のアドレスデコーダAD2とによって制御される。選択されたメモリ素子の状態を特定するために、特定のビット線BL1、…、BL4を介して導通する電流が、電流検出増幅器CSAによって検出される。
当業者には、プログラマブル抵抗を有する様々な材料が知られている。例として以下の技術が挙げられる。
MRAM(磁気抵抗ランダムアクセスメモリ)は、局部的に存在する磁荷の方向と強さとに依存する抵抗を持つ磁気抵抗材料を使用する。MRAMは、R. Scheuerleinら、ISSCC,Digest of Technical papers、2000年、128頁、およびS. Tekraniら、ISSCC,Digest of Technical papers 2001年、128頁に、より詳しく記載されている。
PCRAM(相変化ランダムアクセスメモリ)は、たとえば、S. LaiおよびT. Lowrey、Tech. Digest IEDM、(2001年)、paper36.5に記載されるように、その状態を非晶質と結晶体との間で変えることができる材料を使用する。この状態が、材料の抵抗率を決定する。
PMCメモリ素子は、溶解できるナノフィラメントを有する電極間の電気化学的セルを使用する。第1の極性の電圧を印加することによって電極間に金属線が形成され、その結果、セルは低抵抗状態をとる。反対の極性の電圧を印加することによって金属が酸化され、セルは高抵抗状態をとる。たとえば米国特許第6,084,796号を参照されたい。
これらの技術の他の例としては、W. Zhuangら、Tech. Digest IEDM、(2002年)、143頁に記載されるような、RRAMがある。
さらに別の種類のプログラマブル抵抗メモリは分子記憶に基づいており、HP/UCLA group,Science 289 2000 1172、(2003年)に、より詳しく記載されている。
これらの材料の特性は、図5に示す表に要約される。ここで列1で参照される材料をプログラムする方法が、列2に記されている。たとえば相変化材料(PCRAM)については、材料を十分な程度まで加熱するのに最小限の電力を必要とする。これが大電流で低電圧あるいはその逆によって得られるのかどうかはあまり重要ではない。MRAMでは、プログラム電流は決定的に重要である。他のほとんどのデバイスでは、材料がどの状態をとるかを決めるのは電圧である。第4列はデバイス両端の電圧および電流密度に関して、選択デバイスに課される要件を記載している。
次に、本発明による集積回路中のメモリ素子の可能な実施形態について、図6〜12を参照しながら、より詳細に説明する。
図6は、本発明による集積回路中の対称型メモリ素子の実施例を示している。図示のメモリ素子は、プログラマブル抵抗PRとパンチスルーダイオードSの直列接続を含む。
この実施形態では、プログラマブル抵抗PRは、(溶解できる)ナノフィラメントを有する電気化学的セルである。プログラマブル抵抗素子PRは、銀上部電極PR1、Ag0.33Ge0.20Se0.47の固体電解質PR2、および金属下部電極PR3を含む、PMCセルである。層PR2の厚さt1、すなわち層PR1とPR3の間隔は、通常30nmである。後者の電極は、TiW、TiN、Ta(N)、W、WSi2のようなバリア金属を含んでもよい。銀電極PR1に正電位を印加することによって、銀イオンが還元され、上部電極に銀線が形成される。銀線が下部電極PR3に接触すると、低抵抗経路(「1」)が生成される。逆バイアスに対しては、銀線は酸化され、銀イオンが形成され、それによって高抵抗状態(「0」)が得られる。状態「1」の通常の値は50KΩである。オフ抵抗は、ずっと高い。この実施例では10MΩの値をとる。
この実施形態でのパンチスルーダイオードSは対称型であり、第2の導電型の半導体材料からなる第2の領域S1と第2の導電型の半導体材料からなる第3の領域S3との間の、第1の導電型の半導体材料からなる第1の領域S2を含む。パンチスルーダイオードS1〜S3は、通常の寸法でよい。例として、これは濃度1020cm−3でAsによってドープされたn+層S1と、濃度5×1018cm−3でBによってドープされたp層S2と、濃度1020cm−3でAsによってドープされたn+層S3とを有するシリコンデバイスとして実施される。アノードとカソードの分離間隔、すなわち層S1とS3の間隔t2は30nmである。メモリ素子の直径dは50nmである。読出し、書込み、および消去には、図2A、2Bに概略的に示されたような半選択方式が使用される。プログラムされるべきメモリ素子は、全電圧Vpを受ける。他のメモリ素子は、0、正の半バイアスVp/2、および負の半バイアス−Vp/2をとり得る。
図7には、PTダイオードのI−V特性DIVが示されている。さらに、Vp=2.5Vでの書込み時(ワード線極性が正)の、全選択条件LSおよびHSのそれぞれ、ならびに半選択条件LHおよびHHのそれぞれについて、低抵抗および高抵抗状態の負荷線を示す。負荷線は、選択デバイスSとプログラマブル抵抗PRの直列配列を通る電流をIとし、プログラマブル抵抗の瞬時値をRとしたときの関係、V=Vp−I×Rを示す。該当する負荷線と特性DIVの交点が、動作状態における選択デバイスの電流および電圧を特定する。デバイスは対称型であるので、メモリ素子Mの消去にも同じ考察があてはまる。
まず書込み動作について説明する。開始条件は、高抵抗状態と仮定する(ブロックへ書き込む前は、すべてのビットが消去されると仮定する)。図7から、10MΩ(HS)から50KΩ(LS)の範囲にわたって、抵抗器両端の電圧VRESは、0.3Vより大きいことが明らかである。したがって、プログラマブル抵抗器は低抵抗状態をとることになる。さらに電流は、(sub)μsの範囲でプログラマブル抵抗器PRをプログラムするのに十分な程度に大きい(>100nA)。次に、半選択されたデバイス(両極性)に対しては、電流は最大電流に対するものと比較して、1/104より小さいことが分かる。半選択されたメモリ素子では、抵抗器両端の電圧降下は10mV未満である。したがって、寄生的に流れるプログラム電流はほとんどなく、擾乱(disturbs)(すなわち意図しない書込みまたは消去)は無視できるものになる。消去動作については、状況は同様である。したがって、短時間で、プログラムすること、すなわちビットを選択的に書込みまたは消去することが可能である。次に読出しについて説明する。抵抗器両端の電圧降下は、(さらにプログラムするのを避けるために)より小さくするべきである。
図8に、読出し時(ワード線極性が正)のPTダイオードI−V特性(DIV)と、全選択条件LS、HS、および半選択条件LH、HHの両方に対する、低抵抗および高抵抗の抵抗器の負荷線を示す。読出し電圧は2.1Vである。選択された低抵抗セルの読出し電流は1.7μAであり、読出しには十分である。抵抗器両端の電圧降下は0.1V未満であり、望ましくないプログラム動作を低減するのに十分な程度に小さい。
高抵抗に対する読出し電流は1/50であり、したがって読出しに対して十分なマージンがある。最後に、半選択されたデバイスを通る寄生電流は、読出し電流よりも4〜5桁小さい。このことは、メガビットアレイでの読出しが可能であることを示している。
上記の結果から、対称型PT選択デバイスが電気化学的セルに適切であることは明らかである。
以下では図9を参照しながら、プログラマブル抵抗メモリでの、非対称型パンチスルーデバイスの応用の実施例を説明する。パンチスルーデバイスSは続けて、濃度1020cm−3でAsによってドープされたn+層S1と、濃度5×1018cm−3でBによってドープされたp+層S2と、p+層S2の濃度より大幅に低い、たとえば濃度5×1017cm−3でBによってドープされたp層S3と、濃度1020cm−3でAsによってドープされたn+層S4とを有し、アノードとカソードの分離間隔、すなわち層S1とS4の間隔t1は、全体で62nmであり、そのうちの20nmはp+ドープ領域S2の厚さt2による。
プログラマブル抵抗PRは、Wベースの材料TiW、W、WSi2、またはTiN、Ta、TaNのような他の適切な材料からなる電極層PR1、PR3の間に挟まれた、カルコゲナイドGe2Sb2Te5合金(厚さt3が10〜20nm)PR2を有するPCRAMである。電極の1つPR3の面積は、電極PR1の面積と等しくすることができ、あるいは代替方法として、通常50μAとなり得るプログラム電流を低減するために、PR1の面積より小さく、たとえば(50nm)2未満としてもよい。低抵抗および高抵抗状態は、それぞれ10KΩおよび250KΩに設定される。プログラム電流が大きいので、パンチスルーダイオードは比較的大きい100nmの直径dを有する。PCRAMは、同じ極性のパルスを用いて書き込まれかつ消去される。したがって非対称型パンチスルーダイオードが望ましい。
図10にPTダイオードのI−V特性DIVと、高抵抗および低抵抗の負荷線HS、LSを示す。プログラム、消去、および読出しは、すべて順方向で行われる。プログラム電圧は2.5Vである。低抵抗の場合、抵抗器両端の電圧降下は0.75Vである。高抵抗の場合、それは0.87Vである。電流能力(current capability)は、縮小された電極に対してリセットするのに十分である(1Dリミット(1D limit))。非選択のデバイスの電流は非常に小さい(0.1pA)ので、抵抗器両端の電圧降下はほとんどない(逆特性については図11を参照されたい)。したがって、非対称型PTデバイスの場合は、望ましくないプログラミングは無視できるものになる。セルは、材料の急速な加熱およびそれに続く急速な冷却によって消去することができる。
デバイスの読出しには、低減された電流が必要である。図12に、読出し電圧が1.8Vの場合のI−V特性と負荷線を示す。低抵抗および高抵抗の抵抗器両端の電圧降下は、それぞれ0.13Vおよび0.23Vである。読出し電流は12.6μAである。消費電力は、擾乱(disturbances)なしでの読出しを確実にするのに十分な程度に小さい。読出し電流はまた、十分高い読出し速度(>MHz)に対して十分な程度に大きい。逆方向の漏れ電流は、読出し電流より5〜6桁小さい。したがって非対称型PTデバイスは、単極性アレイでの使用に適切である。
図13A〜13Gおよび図14A〜14Cを参照しながら、本発明によるメモリを製造する2つの可能な方法について説明する。第1の方法は、たとえばタングステンベースの相互接続技術での、比較的高温度のバックエンドプロセスが可能になる。第2の方法は、低温度の銅のバックエンド技術と調和する。
図13A〜13Gは、タングステンメタライゼーション技術に基づく第1の製造方法を示している。タングステンメタライゼーションは、比較的高温度の実行計画を用いることが可能になる。この実施形態は、確立されたCMOS適合型技術と2端子デバイス用の材料を用いて製作された、非対称型デバイスを扱う。プログラマブル抵抗はPMCセルとするが、代替方法として他の適切な材料を用いることができる。
この電気デバイスは、たとえばシリコンまたはGaAsウェハのような図示されていない基板を含むことができ、その中にたとえばトランジスタや抵抗器のような他の電気素子を形成することができる。この基板には誘電体層を設けることができ、その中に、たとえば他の電気素子があればそれらを相互に接続するための導電層が配置される。この導電層は、相互接続層と、隣接する相互接続層を接続するプラグとを含むことができる。これらの素子は、半導体製造の分野で良く知られている。図13Aには単一の相互接続層10と、対応するタングステンのプラグ11が示されているが、本発明は1つの相互接続層および/または1つのプラグだけに限定されない。図13Aに示されるように、タングステンプラグ形成後に、結合されたバリア層/接触抵抗層12、たとえばTi/TiN/Tiの積層体、がスパッタリングによって堆積される。この層の上に、全体の厚さが約200nmの非晶質シリコン層20が、LPCVDタイプのプロセスによる単一の堆積ステップで堆積される。非晶質シリコン層の下部部分21は厚さが30nmであり、1020〜1021cm−3の範囲のドーピング濃度で砒素またはリンによって原位置で(in-situ)高度にドープされる。ドーピング濃度はドーパントの固溶度までとすることができる。非晶質シリコン層(i)の上部部分22は意図的にドープされない。
図13Bにその結果が示されている後続のステップで、非晶質シリコン層の上部部分22に、たとえば10〜20KeVの注入エネルギーと約1013cm−2のドーズ量を用いたBまたはBF2のボディドーピング(body doping)によって、p型注入がもたらされ、たとえば10KeV未満の注入エネルギーと約3×1015cm−2のドーズ量を有するAsのn型注入がもたらされる。このようにして非対称なp型ボディドーピングおよびエミッタドーピングが形成される。
続いて、後続のエッチングステップ時にハードマスクとして働き、またCMPストップ層として働く、薄いプラズマ窒化物層14をキャップ層として堆積することができる。次いで、このように形成された積層体は、図13Cに示されるようにエッチングされて2端子選択デバイスを形成する。このステップの後に、低温(約400℃)の金属間誘電体堆積および酸化物CMPステップが続き、そこでは窒化物層14がCMPストップ層として働く(図13D参照)。
その後、非晶質層20は低温(約500〜700℃)で再結晶される。この加熱はパルス式エキシマレーザを用いて行うことができる。RTPアニール、RTOステップ(活性化させ、薄い酸化物を成長させることによってその側壁を不動態化する)、さらには熱処理炉アニール(T<750°)がその他の選択肢である。その結果、非晶質層20は再結晶され、多結晶構造が得られる。再結晶時にドーパントは、非晶質から結晶相への転移により(固相エピタキシと同様に)高度に活性化される。窒化物除去後に、薄い金属/バリア層17(たとえばNi、Co、Ti、…/TiN)が堆積され、それにサリサイド形成ステップが後続し、その結果が図13Eに示される。さらに、n+シリコン−サリサイド境界面でのシリサイド形成により、低い接触抵抗が得られる。したがって、加熱実行計画を注意深く最適化することによって、電気的活性化を高めることができ、ドーパント拡散は無視できるものになる。活性化を向上させ、漏れ電流を低減するために、オプションの水素(熱処理炉またはプラズマ)アニールを利用することもできる。
図13Fに示されるように、金属電極31と、特定数の金属イオンを有する非晶質固体電解質32と、第2の金属電極33とを含む積層体30が、この順にスパッタリングによって堆積される。この後にプラズマ窒化物キャップ層18が堆積される。メモリ素子をパターニングした後、金属間誘電体16’が堆積される(HDP−CVD酸化物、または窒化物/酸化物からなる積層体とし得る)。トポグラフィを平坦化するためにCMPが使用され、窒化シリコン層18がCMPストップ層として働く(図13G参照)。その後、第2の金属間誘電体が堆積され、溝15がエッチングされ、バリア13で充填され、CVD堆積されたタングステンおよび後続するタングステンCMPステップによってW相互接続部19が形成される。これにより、メモリ素子の処理が終わる。その結果得られる、プログラマブル抵抗器30とパンチスルーダイオード20とを含むメモリ素子が、図13Hに示される。
銅ダマシーン技術(a Copper Damascene technology)に適合する低温プロセスについて、図14A〜14Cを参照しながら説明する。銅メタライゼーション層40および対応するプラグ41が仕上げられた後、第1の積層体50が、バリア層51(たとえばTa)、コンタクト層52(AuGeNiとし得る)、シリコンによって原位置でドープ(>5×1017cm−3)された半導体53(n型GaAsとし得る)、再びコンタクト層54、およびバリア層55の堆積によって形成される。バリア層51、55、およびコンタクト層52、54はスパッタリングされ、GaAs層53はMOCVDによって堆積される。GaAs層53は多結晶である。このようにしてパンチスルーダイオードが形成される。その後、バリア層61、電極層62、PMC材料63、コンタクト層64、およびバリア層65からなる、第2の積層体60がスパッタリングによって堆積される。バリア層55と61は組み合わせてもよい。第2の積層体60の上に、薄いプラズマ窒化物層42が堆積される。積層体50、60はパターニングされ(図14B参照)、その後、金属間誘電体層が堆積される。誘電体CMP(窒化物層42で止まる)の後、窒化物層42が選択的に除去される。
その後、第3のIMD層43が堆積され、溝44がエッチングされ、溝はバリア層45および銅によって充填され、それに銅CMPが後続する。このようにして、第2の銅相互接続層46が形成される。この手順は複数回繰り返すことができる。これにより、個々にアクセス可能なメモリ素子の複数の層を有する電気デバイスの製造が可能になり、すなわちメモリ素子の3次元アレイが可能になる。
この実施形態では、2つの金属コンタクト層52、54の間に挟まれた半導体53が、選択素子50を構成する。半導体層53と、金属層52、54のそれぞれとの間の境界面は、背中合わせに配置された2つのダイオードを形成し、これは実効的にパンチスルーダイオードに類似している。半導体層は、たとえば濃度>5×1017cm−3でSiによってnドープすることができる。半導体層53の厚さは、<100nmとすることができる。
別の実施形態ではパンチスルーダイオードは、たとえばシリコンウェハまたはGaAsウェハのような半導体基板中に集積される。実施例として、最先端のSOI CMOS技術での実施形態について、図15A、15Bを参照しながら以下に説明する。この実施形態では、選択デバイスはラテラルパンチスルーダイオードであり、これはたとえば90nmのCMOS技術のような標準のICプロセス技術を使用し、プロセスを大きく変更せずに容易に製作することができる。
たとえば標準のSOIによって厚さ60nmのシリコンアイランドを形成した後、埋め込み酸化物からなる基板70上のSTI分離71、修正pウェル基体81、アノード82、およびカソード83が、イオン注入および急速熱アニーリングによって形成される。pウェル81は、注入エネルギー10KeVおよびドーズ量1013cm−2でBを注入することができる。カソード83およびアノード82は、注入エネルギー10KeVおよびドーズ量3×1015cm−2でAsを注入することができる。注入の後に、1000℃で1秒間のアニーリングを後続させることができる。アノードとカソードの分離間隔は70nm未満である。図15Aに示されるシリサイド保護層84は、カソード83およびアノード82がサリサイド層によって短絡されないことを確実にするために、堆積されパターニングされる。代替方法として、シリサイド形成を阻止するために、トランジスタのゲートを用いてもよい。その後、標準のコンタクト技術により、第1のタングステンプラグ72が形成され、アノード82を露出させ、それに、カルコゲナイド相変化材料のようなメモリ材料層92の堆積が後続し、このメモリ材料層はGe2Sb2Te5とすることができ、かつ、たとえばTiWからなる2つの電極91、93の間に挟むことができる。層91、92、93によって形成されたプログラマブル抵抗器90をパターニングした後、プログラマブル抵抗器90の上部電極93に第2のコンタクト73が作られる。選択素子80のカソード83を露出させるために、第3のコンタクト74が作られる。コンタクト73および74の形成は、同じステップ中で行ってもよい。このようにしてマスクを1つ回避することができる。このプロセスは、コンタクト73および74をそれぞれワード線75およびビット線76に接続するために、標準の銅メタライゼーションプロセスによって仕上げられる。このようにして得られた、パンチスルーダイオード80に直列接続されたプログラマブル抵抗器90を含むデバイスを図15Bに断面図で示す。
本発明の保護の範囲は、本明細書に記載された実施形態に限定されないことに留意されたい。本発明による電気デバイス中のパンチスルーダイオードは、当分野における普通の一般的知識を基にして当業者なら思いつく任意の機能的実装形態を有することができる。同様に、プログラマブル抵抗器は、プログラマブル抵抗器メモリの分野の技術者なら思いつく任意の機能的実装形態を有することができる。本発明の保護の範囲は、特許請求の範囲中の参照番号によって限定されない。「含む(comprising)」という語は、特許請求の範囲に記載されたもの意外の部分を除外するものではない。1つの要素に先行する(‘a(n)')という語は、複数のそれらの素子を除外するものではない。本発明は、それぞれの新しい特徴あるいは特徴の組合せにある。
Claims (12)
- パンチスルーダイオード(S)と直列に接続されたプログラマブル抵抗器(PR)を有する電気デバイス(図6)。
- 前記パンチスルーダイオード(S)が、2つのnドープされた端子を有する、請求項1に記載の電気デバイス(図6)。
- 前記パンチスルーダイオード(S)が、順方向および逆方向で交互に動作するように構成される、請求項1に記載の電気デバイス(図6)。
- 前記プログラマブル抵抗器(PR)が第1の状態および第2の状態を有し、前記第1の状態から前記第2の状態への遷移と前記第2の状態から前記第1の状態への遷移とに、極性が反対の電気信号を必要とする、請求項3に記載の電気デバイス(図6)。
- 前記パンチスルーダイオード(20)が多結晶材料を含む、請求項1に記載の電気デバイス。
- 前記パンチスルーダイオード(S)と前記プログラマブル抵抗器(PR)がメモリセルを構成する、請求項1に記載の電気デバイス(図6)。
- メモリセル(M)のアレイと、導体の第1の組(C1)と、導体の第2の組(C2)とを含み、前記メモリ素子(M)はメモリマトリックスに構成され、各メモリ素子が前記第1の組(C1)の1つの導体と、前記第2の組(C2)の1つの導体の間に接続される、請求項6に記載の電気デバイス(IC)。
- ・第1の導電型と反対の第2の導電型の半導体材料の第2の層と第3の層の間に配置された、第1の導電型の半導体材料からなる第1の層を含む積層体を設けるステップと、
・プログラマブルな抵抗率を有する材料の層であって、前記半導体材料の前記第2および前記第3の層のうちの1つと電気的に接触している、前記プログラマブルな抵抗率を有する材料の層を設けるステップと
を含む、請求項1に記載の電気デバイスを製造する方法。 - 前記積層体がパターニングされ、それによって前記パンチスルーダイオードを形成する、請求項8に記載の方法。
- 前記プログラマブルな抵抗率を有する材料の層がパターニングされ、それによって前記プログラマブル抵抗器が形成される、請求項8に記載の方法。
- 前記プログラマブルな抵抗率を有する材料の層をパターニングするステップと、前記積層体をパターニングするステップとが1つのステップで行われる、請求項9または10に記載の方法。
- 前記積層体が、基板の主表面上に横方向に設けられる、請求項8に記載の方法。
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Cited By (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008135659A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Sony Corp | 記憶素子、記憶装置 |
JP2008311666A (ja) * | 2007-06-18 | 2008-12-25 | Samsung Electronics Co Ltd | 可変抵抗不揮発性メモリセル及びそれの製造方法 |
JP2011526400A (ja) * | 2008-06-27 | 2011-10-06 | サンディスク スリーディー,エルエルシー | 不揮発性記憶の電流制限を用いたリバースセット |
JP2012033763A (ja) * | 2010-07-30 | 2012-02-16 | Toshiba Corp | 不揮発性記憶装置 |
JP2012533191A (ja) * | 2009-07-13 | 2012-12-20 | シーゲイト テクノロジー エルエルシー | パンチスルーアクセスを有する縦型不揮発性スイッチおよびその製造方法 |
JP2013519229A (ja) * | 2010-02-09 | 2013-05-23 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | 相変化メモリ・セル、形成方法、及び形成装置 |
US8461563B2 (en) | 2010-09-14 | 2013-06-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Resistance change memory |
JP2013200923A (ja) * | 2012-03-26 | 2013-10-03 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
KR20140053037A (ko) * | 2011-05-31 | 2014-05-07 | 크로스바, 인크. | 비-선형 엘러먼트를 갖는 스위칭 디바이스 |
US9564587B1 (en) | 2011-06-30 | 2017-02-07 | Crossbar, Inc. | Three-dimensional two-terminal memory with enhanced electric field and segmented interconnects |
US9570678B1 (en) | 2010-06-08 | 2017-02-14 | Crossbar, Inc. | Resistive RAM with preferental filament formation region and methods |
US9576616B2 (en) | 2012-10-10 | 2017-02-21 | Crossbar, Inc. | Non-volatile memory with overwrite capability and low write amplification |
US9583701B1 (en) | 2012-08-14 | 2017-02-28 | Crossbar, Inc. | Methods for fabricating resistive memory device switching material using ion implantation |
USRE46335E1 (en) | 2010-11-04 | 2017-03-07 | Crossbar, Inc. | Switching device having a non-linear element |
US9590013B2 (en) | 2010-08-23 | 2017-03-07 | Crossbar, Inc. | Device switching using layered device structure |
US9601692B1 (en) | 2010-07-13 | 2017-03-21 | Crossbar, Inc. | Hetero-switching layer in a RRAM device and method |
US9601690B1 (en) | 2011-06-30 | 2017-03-21 | Crossbar, Inc. | Sub-oxide interface layer for two-terminal memory |
US9620206B2 (en) | 2011-05-31 | 2017-04-11 | Crossbar, Inc. | Memory array architecture with two-terminal memory cells |
US9627443B2 (en) | 2011-06-30 | 2017-04-18 | Crossbar, Inc. | Three-dimensional oblique two-terminal memory with enhanced electric field |
US9633723B2 (en) | 2011-06-23 | 2017-04-25 | Crossbar, Inc. | High operating speed resistive random access memory |
US9673255B2 (en) | 2012-04-05 | 2017-06-06 | Crossbar, Inc. | Resistive memory device and fabrication methods |
US9685608B2 (en) | 2012-04-13 | 2017-06-20 | Crossbar, Inc. | Reduced diffusion in metal electrode for two-terminal memory |
US9735358B2 (en) | 2012-08-14 | 2017-08-15 | Crossbar, Inc. | Noble metal / non-noble metal electrode for RRAM applications |
US9741765B1 (en) | 2012-08-14 | 2017-08-22 | Crossbar, Inc. | Monolithically integrated resistive memory using integrated-circuit foundry compatible processes |
US9793474B2 (en) | 2012-04-20 | 2017-10-17 | Crossbar, Inc. | Low temperature P+ polycrystalline silicon material for non-volatile memory device |
US10290801B2 (en) | 2014-02-07 | 2019-05-14 | Crossbar, Inc. | Scalable silicon based resistive memory device |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009199695A (ja) * | 2008-02-25 | 2009-09-03 | Toshiba Corp | 抵抗変化メモリ装置 |
US9030867B2 (en) | 2008-10-20 | 2015-05-12 | Seagate Technology Llc | Bipolar CMOS select device for resistive sense memory |
WO2010137339A1 (ja) | 2009-05-28 | 2010-12-02 | パナソニック株式会社 | メモリセルアレイ、不揮発性記憶装置、メモリセル、およびメモリセルアレイの製造方法 |
US8159856B2 (en) | 2009-07-07 | 2012-04-17 | Seagate Technology Llc | Bipolar select device for resistive sense memory |
US8274130B2 (en) * | 2009-10-20 | 2012-09-25 | Sandisk 3D Llc | Punch-through diode steering element |
US8462580B2 (en) * | 2010-11-17 | 2013-06-11 | Sandisk 3D Llc | Memory system with reversible resistivity-switching using pulses of alternatrie polarity |
US9214628B2 (en) | 2010-12-03 | 2015-12-15 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Nonvolatile memory element, nonvolatile memory device, and manufacturing method for the same |
CN102623045B (zh) * | 2011-01-27 | 2014-10-29 | 中国科学院微电子研究所 | 阻变型随机存储单元及存储器 |
CN102750979B (zh) * | 2011-04-21 | 2015-05-13 | 中国科学院微电子研究所 | 阻变存储器单元 |
WO2013046217A2 (en) * | 2011-06-13 | 2013-04-04 | Indian Institute Of Technology Bombay | Selector device for bipolar rram |
US8866121B2 (en) | 2011-07-29 | 2014-10-21 | Sandisk 3D Llc | Current-limiting layer and a current-reducing layer in a memory device |
US8659001B2 (en) | 2011-09-01 | 2014-02-25 | Sandisk 3D Llc | Defect gradient to boost nonvolatile memory performance |
US8698119B2 (en) | 2012-01-19 | 2014-04-15 | Sandisk 3D Llc | Nonvolatile memory device using a tunnel oxide as a current limiter element |
US8686386B2 (en) | 2012-02-17 | 2014-04-01 | Sandisk 3D Llc | Nonvolatile memory device using a varistor as a current limiter element |
US20140241031A1 (en) | 2013-02-28 | 2014-08-28 | Sandisk 3D Llc | Dielectric-based memory cells having multi-level one-time programmable and bi-level rewriteable operating modes and methods of forming the same |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL7801532A (nl) * | 1978-02-10 | 1979-08-14 | Philips Nv | Halfgeleiderinrichting. |
US4646266A (en) * | 1984-09-28 | 1987-02-24 | Energy Conversion Devices, Inc. | Programmable semiconductor structures and methods for using the same |
US6130835A (en) * | 1997-12-02 | 2000-10-10 | International Business Machines Corporation | Voltage biasing for magnetic RAM with magnetic tunnel memory cells |
JP2002541682A (ja) * | 1999-04-08 | 2002-12-03 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | パンチスルーダイオード及び同ダイオードを製造する方法 |
JP2004047791A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Pioneer Electronic Corp | 有機薄膜スイッチングメモリ素子及びメモリ装置 |
-
2005
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- 2005-06-09 KR KR1020077001141A patent/KR20070049139A/ko not_active Application Discontinuation
- 2005-06-13 TW TW094119530A patent/TW200614234A/zh unknown
Cited By (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008135659A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Sony Corp | 記憶素子、記憶装置 |
JP2008311666A (ja) * | 2007-06-18 | 2008-12-25 | Samsung Electronics Co Ltd | 可変抵抗不揮発性メモリセル及びそれの製造方法 |
JP2011526400A (ja) * | 2008-06-27 | 2011-10-06 | サンディスク スリーディー,エルエルシー | 不揮発性記憶の電流制限を用いたリバースセット |
JP2012533191A (ja) * | 2009-07-13 | 2012-12-20 | シーゲイト テクノロジー エルエルシー | パンチスルーアクセスを有する縦型不揮発性スイッチおよびその製造方法 |
JP2013519229A (ja) * | 2010-02-09 | 2013-05-23 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | 相変化メモリ・セル、形成方法、及び形成装置 |
US9570678B1 (en) | 2010-06-08 | 2017-02-14 | Crossbar, Inc. | Resistive RAM with preferental filament formation region and methods |
US9601692B1 (en) | 2010-07-13 | 2017-03-21 | Crossbar, Inc. | Hetero-switching layer in a RRAM device and method |
JP2012033763A (ja) * | 2010-07-30 | 2012-02-16 | Toshiba Corp | 不揮発性記憶装置 |
US9590013B2 (en) | 2010-08-23 | 2017-03-07 | Crossbar, Inc. | Device switching using layered device structure |
US10224370B2 (en) | 2010-08-23 | 2019-03-05 | Crossbar, Inc. | Device switching using layered device structure |
US8461563B2 (en) | 2010-09-14 | 2013-06-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Resistance change memory |
USRE46335E1 (en) | 2010-11-04 | 2017-03-07 | Crossbar, Inc. | Switching device having a non-linear element |
KR20140053037A (ko) * | 2011-05-31 | 2014-05-07 | 크로스바, 인크. | 비-선형 엘러먼트를 갖는 스위칭 디바이스 |
US9620206B2 (en) | 2011-05-31 | 2017-04-11 | Crossbar, Inc. | Memory array architecture with two-terminal memory cells |
US9543359B2 (en) | 2011-05-31 | 2017-01-10 | Crossbar, Inc. | Switching device having a non-linear element |
JP2014523637A (ja) * | 2011-05-31 | 2014-09-11 | クロスバー, インコーポレイテッド | 非線形素子を有するスイッチングデバイス |
KR101934015B1 (ko) * | 2011-05-31 | 2018-12-31 | 크로스바, 인크. | 비-선형 엘러먼트를 갖는 스위칭 디바이스 |
US9633723B2 (en) | 2011-06-23 | 2017-04-25 | Crossbar, Inc. | High operating speed resistive random access memory |
US9601690B1 (en) | 2011-06-30 | 2017-03-21 | Crossbar, Inc. | Sub-oxide interface layer for two-terminal memory |
US9570683B1 (en) | 2011-06-30 | 2017-02-14 | Crossbar, Inc. | Three-dimensional two-terminal memory with enhanced electric field and segmented interconnects |
US9627443B2 (en) | 2011-06-30 | 2017-04-18 | Crossbar, Inc. | Three-dimensional oblique two-terminal memory with enhanced electric field |
US9564587B1 (en) | 2011-06-30 | 2017-02-07 | Crossbar, Inc. | Three-dimensional two-terminal memory with enhanced electric field and segmented interconnects |
JP2013200923A (ja) * | 2012-03-26 | 2013-10-03 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
US9245623B2 (en) | 2012-03-26 | 2016-01-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Non-volatile semiconductor memory device |
US9673255B2 (en) | 2012-04-05 | 2017-06-06 | Crossbar, Inc. | Resistive memory device and fabrication methods |
US9685608B2 (en) | 2012-04-13 | 2017-06-20 | Crossbar, Inc. | Reduced diffusion in metal electrode for two-terminal memory |
US10910561B1 (en) | 2012-04-13 | 2021-02-02 | Crossbar, Inc. | Reduced diffusion in metal electrode for two-terminal memory |
US9793474B2 (en) | 2012-04-20 | 2017-10-17 | Crossbar, Inc. | Low temperature P+ polycrystalline silicon material for non-volatile memory device |
US9735358B2 (en) | 2012-08-14 | 2017-08-15 | Crossbar, Inc. | Noble metal / non-noble metal electrode for RRAM applications |
US9741765B1 (en) | 2012-08-14 | 2017-08-22 | Crossbar, Inc. | Monolithically integrated resistive memory using integrated-circuit foundry compatible processes |
US10096653B2 (en) | 2012-08-14 | 2018-10-09 | Crossbar, Inc. | Monolithically integrated resistive memory using integrated-circuit foundry compatible processes |
US9583701B1 (en) | 2012-08-14 | 2017-02-28 | Crossbar, Inc. | Methods for fabricating resistive memory device switching material using ion implantation |
US9576616B2 (en) | 2012-10-10 | 2017-02-21 | Crossbar, Inc. | Non-volatile memory with overwrite capability and low write amplification |
US10290801B2 (en) | 2014-02-07 | 2019-05-14 | Crossbar, Inc. | Scalable silicon based resistive memory device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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