JP2008299926A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】同一周期にて2本のワードラインを活性化させてリフレッシュを行う際、不良ワードラインを置換する範囲を制限せずとも、同一ビットラインに対応するワードラインを2本同時に活性化させない半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】正規ワードラインと救済ワードラインとを備えた複数のマットにより構成された複数のバンクを有する半導体記憶装置であり、リフレッシュコマンドの入力により第1のリフレッシュ動作を行う第1のリフレッシュ起動信号を生成する第1のリフレッシュ生成回路と、第1のリフレッシュ動作が終了したことを示すリフレッシュ動作終了信号により、第2のリフレッシュ動作を行う第2のリフレッシュ起動信号を生成する第2のリフレッシュ生成回路とを有する。
【選択図】図1
【解決手段】正規ワードラインと救済ワードラインとを備えた複数のマットにより構成された複数のバンクを有する半導体記憶装置であり、リフレッシュコマンドの入力により第1のリフレッシュ動作を行う第1のリフレッシュ起動信号を生成する第1のリフレッシュ生成回路と、第1のリフレッシュ動作が終了したことを示すリフレッシュ動作終了信号により、第2のリフレッシュ動作を行う第2のリフレッシュ起動信号を生成する第2のリフレッシュ生成回路とを有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体記憶装置に関するものであり、特に不良メモリセルを救済するリダンダンシ機能を有する半導体記憶装置に関するものである。
従来から、半導体集積回路の記憶容量の増大に対応し、メモリセルが不良となった場合に歩留まりの低下を抑制するため、救済用のメモリセルを冗長セルとして配置しておき、不良メモリセルとこの冗長セルを置換して、製品の歩留まりを向上させることが行われている。
そして、上記メモリセルの救済をより少ない冗長セルにて行うため、フレキシブルなリダンダンシ機能を有する半導体記憶装置が開発されている(例えば、特許文献1参照)。
そして、上記メモリセルの救済をより少ない冗長セルにて行うため、フレキシブルなリダンダンシ機能を有する半導体記憶装置が開発されている(例えば、特許文献1参照)。
すなわち、図2に示すように、バンクが複数のマットに分割された個々のマットに配置されるリダンダンシを他のマットにおいても利用することで、少ないリダンダンシ数(冗長メモリセル)で歩留まり向上を図るメモリセル救済方式が採用されている。
図2おいては、ワードアドレスX8〜X13において、バンクをマットM0〜M31の32マットに分割し、それぞれのマットに所定数、例えば2本づつの救済ワードラインが設けられている。
図7に示すように、半導体記憶装置においては、メモリ容量が多くなると、複数のメモリセルのバンク(図においてはBankB0〜B3)に、メモリセルを分割する。図2はその1つのメモリセルのバンクの構成を示している。
図2おいては、ワードアドレスX8〜X13において、バンクをマットM0〜M31の32マットに分割し、それぞれのマットに所定数、例えば2本づつの救済ワードラインが設けられている。
図7に示すように、半導体記憶装置においては、メモリ容量が多くなると、複数のメモリセルのバンク(図においてはBankB0〜B3)に、メモリセルを分割する。図2はその1つのメモリセルのバンクの構成を示している。
また、リダンダンシ回路においては、不良メモリセルに対応したワードライン(以下、不良ワードライン)を、救済メモリに対応したワードライン(以下、救済ワードライン)への置換を、フレキシブルに行うため、マットM0からマット31まで順番に、それぞれのマットに準備された救済ワードラインが無くなる毎に、順次、隣接する次のマットの救済ワードラインを用いる構成となっている。
例えば、マット毎に2本ずつの救済ワードラインが配置されていると、マットM0に5本の不良ワードラインがあると、マットM0からマットM2における救済ワードラインを5本分用いることとなる。
これにより、不良ワードラインが多いマットと、不良ワードラインの少ないマットとが存在したとしても、フレキシブルな救済ワードラインの置換が行えることにより、使用数が平均化され、歩留まりを向上させることができる。
特開平11−224498号公報
これにより、不良ワードラインが多いマットと、不良ワードラインの少ないマットとが存在したとしても、フレキシブルな救済ワードラインの置換が行えることにより、使用数が平均化され、歩留まりを向上させることができる。
しかしながら、上述した従来例は、フレキシブルなワードラインの救済を行うため、図1に示すように、X12=0におけるマットM2における不良ワードラインと、X12=1におけるマットM18との不良ワードラインとが、同一のマットM7における救済ワードラインにより置換される場合がある。
ここで、2倍のワードラインを活性化してリフレッシュを行う構成であると、マットM2とマットM18とからマットM7に配置された救済ワードラインに置換される場合、マットM2及びM18の不良ワードラインのワードアドレスX0〜X11が同一であると、同一マットにて2本のアドレスが活性化されることとなる。
ここで、2倍のワードラインを活性化してリフレッシュを行う構成であると、マットM2とマットM18とからマットM7に配置された救済ワードラインに置換される場合、マットM2及びM18の不良ワードラインのワードアドレスX0〜X11が同一であると、同一マットにて2本のアドレスが活性化されることとなる。
すなわち、半導体記憶装置の記憶容量が2倍となっても、リフレッシュサイクルを元のままとする必要がある。このため、記憶容量を2倍とすると、単純に2倍のリフレッシュ時間となり、メモリセルにおける記憶保持時間の能力を向上させる必要がある。
一方、記憶保持時間の能力を同等とした場合、n回のリフレッシュコマンドにより、2nのワードラインを立ち上げて、1リフレッシュ周期に2ワード分のリフレッシュ処理を行う必要がある。
一方、記憶保持時間の能力を同等とした場合、n回のリフレッシュコマンドにより、2nのワードラインを立ち上げて、1リフレッシュ周期に2ワード分のリフレッシュ処理を行う必要がある。
したがって、アドレスカウンタから出力されるワードラインアドレスは、図6に示すように、2倍のアドレスを活性化するため、X12及びX13のアドレスをDon't Careとされて生成されている。
すなわち、ワードアドレスX8〜X11により、マットM0とマットM16とが、マットM1とマットM17とが、…、マットM15とマットM31と各々において、ワードアドレスX0からX11のワードアドレスが同一であると、ワードアドレスX12及び13が異なったとしても、上述したリフレッシュの場合、同一のアドレスと見なされることとなる。
すなわち、ワードアドレスX8〜X11により、マットM0とマットM16とが、マットM1とマットM17とが、…、マットM15とマットM31と各々において、ワードアドレスX0からX11のワードアドレスが同一であると、ワードアドレスX12及び13が異なったとしても、上述したリフレッシュの場合、同一のアドレスと見なされることとなる。
同様に、マットM23の不良ワードラインがマットM7に配置された救済ワードラインと置換される場合、必ず上記不良ワードラインのワードアドレスX0〜X11と同一のワードアドレスが存在するため、やはりリフレッシュの際に1つのマットにて、2本のワードラインが活性化されることとなる。
上記マット構成においては、マット単位のビット線にセンスアンプが設けられており、カラムアドレスにより選択されたセンスアンプからデータが読み出され、I/O線を介して読み出し用のアンプに出力される。
このため、1つのマットにて2本のワードラインが活性化された場合、1つのビット線に対して2つのメモリからデータが読み出されることとなり、互いに異なったデータが記憶されていると、データが破壊されてしまう。
このため、1つのマットにて2本のワードラインが活性化された場合、1つのビット線に対して2つのメモリからデータが読み出されることとなり、互いに異なったデータが記憶されていると、データが破壊されてしまう。
したがって、図5に示すように、Don't Careにおいて、X12が「0」のマット群と、「1」のマット群とに分け、不良ワードラインを救済するために利用可能なマットの範囲を、上記マット群内に限定し、救済エリアの制限を設ける構成がとられている。
しかしながら、X12が「0」のマット群に不良ワードラインが少なく、X12が「1」のマット群に不良が多い場合、図1に示す構成であれば、良品とできた製品も、置換範囲が制限されているために良品とすることができず、救済効率が低下してしまい、歩留まりを向上させることができない。
しかしながら、X12が「0」のマット群に不良ワードラインが少なく、X12が「1」のマット群に不良が多い場合、図1に示す構成であれば、良品とできた製品も、置換範囲が制限されているために良品とすることができず、救済効率が低下してしまい、歩留まりを向上させることができない。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、同一周期にて2本のワードラインを活性化させてリフレッシュを行う際、不良ワードラインを置換する範囲を制限せずとも、同一ビットラインに対応するワードラインを2本同時に活性化させない半導体記憶装置を提供することを目的とする。
本発明の半導体記憶装置は、正規ワードラインと救済ワードラインとを備えた複数のマットにより構成された複数のバンクを有する半導体記憶装置であり、リフレッシュコマンドの入力により第1のリフレッシュ動作を行う第1のリフレッシュ起動信号を生成する第1のリフレッシュ生成回路と、前記第1のリフレッシュ動作が終了したことを示すリフレッシュ動作終了信号により、第2のリフレッシュ動作を行う第2のリフレッシュ起動信号を生成する第2のリフレッシュ生成回路とを有することを特徴とする。
本発明の半導体記憶装置は、前記リフレッシュ動作終了信号が第1のリフレッシュ動作の後にビットラインに対するプリチャージが終了したことを示すプリチャージ終了信号であることを特徴とする。
本発明の半導体記憶装置は、リフレッシュコマンドの入力により、リフレッシュ対象のワードラインのアドレスを生成するリフレッシュカウンタを有しており、前記リフレッシュカウンタが、前記リフレッシュコマンドの入力により生成される前記第1のリフレッシュ起動信号及び第2のリフレッシュ起動信号の入力毎にカウント処理を行い、リフレッシュコマンド入力毎に2つのリフレッシュアドレスを生成することを特徴とする。
本発明の半導体記憶装置は、前記リフレッシュカウンタが前記第1のリフレッシュ起動信号の入力により、前記第1のリフレッシュの動作に用いる第1のリフレッシュアドレスを生成し、前記第2のリフレッシュ起動信号の入力により、前記第2のリフレッシュ動作に用いる第2のリフレッシュアドレスを生成することを特徴とする。
本発明の半導体記憶装置のリフレッシュ方法は、正規ワードラインと救済ワードラインとを備えた複数のマットにより構成された複数のバンクを有する半導体記憶装置におけるリフレッシュ方法であり、リフレッシュコマンドの入力により第1のリフレッシュ動作を行う第1のリフレッシュ起動信号を生成する第1のリフレッシュ生成過程と、前記第1のリフレッシュ動作が終了したことを示すリフレッシュ動作終了信号により、第2のリフレッシュ動作を行う第2のリフレッシュ起動信号を生成する第2のリフレッシュ生成過程とを有することを特徴とする。
以上説明したように、本発明によれば、それぞれワードラインとして正規ワードラインと救済ワードラインとを備えた複数のマットにより構成されたバンクを複数有する半導体記憶装置において、あるマットの正規ワードラインが不良となった際、他のマットの救済ワードラインを用いてワードライン救済を行うフレキシブルなリダンダンシ構成が用いられている場合、1リフレッシュコマンドに対応し、バンクにおける2本のワードラインを立ち上げ、2倍のメモリセルに対してリフレッシュを行う処理を行うリフレッシュ処理を行うと、同一マットにて2本のワードラインがリフレッシュ対象となる可能性があるが、上述したように、1本のワードラインのリフレッシュが終了した後、2本目のワードラインに対するリフレッシュが行われる。
このため、本発明によれば、上述したように、リフレッシュコマンドの入力によって、2本のワードラインが同時に立ち上がることがなく、同一のビットラインに2つのメモリセルのデータが出力されないため、従来例のようにメモリセルのデータが破壊されることがない。
このため、本発明によれば、上述したように、リフレッシュコマンドの入力によって、2本のワードラインが同時に立ち上がることがなく、同一のビットラインに2つのメモリセルのデータが出力されないため、従来例のようにメモリセルのデータが破壊されることがない。
本発明は、DRAM等のリフレッシュが必要な半導体メモリセルに対して、1リフレッシュコマンドの入力により、従来のリフレッシュ処理に対し、リフレッシュ周期において各バンク毎に従来の2倍のワードライン(2本)を立ち上げることで、従来例と同様の図7に示すバンク構成のメモリセルアレイのメモリセルにて、データの保持機能を向上させる半導体装置に対して適用されるものである。
また、本発明の半導体記憶装置は、前記正規ワードラインが不良となったことが検出されると、前記メモリセル内のマット間において、前記不良となった正規ワードラインを救済ワードラインと置換する処理を行うリダンダンシ回路を有している。
また、本発明の半導体記憶装置は、前記正規ワードラインが不良となったことが検出されると、前記メモリセル内のマット間において、前記不良となった正規ワードラインを救済ワードラインと置換する処理を行うリダンダンシ回路を有している。
このリフレッシュ方式により、従来のように複数のマットから構成されるバンク毎に、1リフレッシュコマンド(1リフレッシュ周期内)にて、2本のワードラインを同時に立ち上げるのではなく、1つのリフレッシュ周期Tnを2つのサブ周期Tn,Tn+1に分割し、それぞれの周期にてワードラインWn、Wn+1を順に立ち上げて、同一ビットラインにて異なる2本のワードラインが立ち上がるのを防止している。すなわち、本発明はリフレッシュコマンドが入力されると、半導体記憶装置内部にて第1及び第2のリフレッシュ起動信号を生成し、2つのサブ周期各々にて1本ずつのワードラインに対するリフレッシュ処理を行うのが特徴である。
以下、本発明の一実施形態による半導体記憶装置を図面を参照して説明する。図1は同実施形態の構成例を示すブロック図である。
この図において、本発明の半導体記憶装置は、図7のようにバンク構成となっており、コマンドデコーダ1、リフレッシュ起動信号生成回路2、リフレッシュカウンタ3、セレクタ4、リダンダンシ回路5、Xデコーダ6、Yデコーダ7及び複数のバンク8を有している。リダンダンシ回路5、Xデコーダ6、Yデコーダ7については、バンク毎に設けられている。
この図において、本発明の半導体記憶装置は、図7のようにバンク構成となっており、コマンドデコーダ1、リフレッシュ起動信号生成回路2、リフレッシュカウンタ3、セレクタ4、リダンダンシ回路5、Xデコーダ6、Yデコーダ7及び複数のバンク8を有している。リダンダンシ回路5、Xデコーダ6、Yデコーダ7については、バンク毎に設けられている。
バンク8は、複数のマットに分割されており、例えば、図2に示すように、ワードラインアドレスX8、X9、X10、X11、X12、X13から設定されるマットM0〜マットM31の32個に分割されている。
ここで、マットM0〜M31各々は、ワードラインアドレスX0〜X7により設定される256本の正規ワードライン及び2本の救済ワードラインと、ビットラインアドレスY(Y0〜M)により設定される複数のビットラインにて形成されている。
ここで、マットM0〜M31各々は、ワードラインアドレスX0〜X7により設定される256本の正規ワードライン及び2本の救済ワードラインと、ビットラインアドレスY(Y0〜M)により設定される複数のビットラインにて形成されている。
コマンドデコーダ1は、/CAS(Column Address Strobe)、/RAS(Row Address Strobe)、/WE(Write Enable)、/CS(Chip Select)などの制御信号により、半導体記憶装置内における各バンク8に対するリフレッシュ操作やデータの書き込み及び読み出し処理を行うための内部制御信号を生成している。以下の説明において、コマンドデコーダ1は、上記各制御信号によりリフレッシュコマンドを生成して出力するが、他のデータの書き込み及び読み出し処理に対する制御信号に関しては本発明と関係ない信号に関しては説明を省略する。
リフレッシュ起動信号生成回路2は、リフレッシュコマンドが入力されると、このリフレッシュコマンドから、第1のリフレッシュ起動信号と第2のリフレッシュ起動信号とを生成する。このリフレッシュ起動信号生成回路2の詳細な構成は後述する。
リフレッシュカウンタ3は、リフレッシュコマンドの入力により、リフレッシュ対象のワードラインを選択するためのアドレスを生成する回路であり、上記第1及び第2のリフレッシュ起動信号によりカウント動作を行い、ワードラインアドレスX0〜X12(リフレッシュアドレス)を出力する。
リフレッシュカウンタ3は、リフレッシュコマンドの入力により、リフレッシュ対象のワードラインを選択するためのアドレスを生成する回路であり、上記第1及び第2のリフレッシュ起動信号によりカウント動作を行い、ワードラインアドレスX0〜X12(リフレッシュアドレス)を出力する。
すなわち、上記リフレッシュカウンタ3は、リフレッシュコマンドの入力により生成される上記第1のリフレッシュ起動信号及び第2のリフレッシュ起動信号の入力毎にカウント処理を行い、リフレッシュコマンド入力毎に2つのリフレッシュアドレスを生成する。このとき、リフレッシュカウンタ3は、第1のリフレッシュ起動信号の入力により、前記第1のリフレッシュの動作(リフレッシュ周期の前半のサブ周期)に用いる第1のリフレッシュアドレスを生成し、上記第2のリフレッシュ起動信号の入力により、第2のリフレッシュ動作(リフレッシュ周期の後半のサブ周期)に用いる第2のリフレッシュアドレスを生成する。ここで、前半のサブ周期は図3(b)のTnの期間、また、後半のサブ周期は図3(b)のTn+1の期間に対応している。
ここで、リフレッシュ時には、ワードラインアドレスの最上位ビットであるX13をDon't Careとするため、ワードラインアドレスX13は使用されない。
このワードラインアドレスX13をDon't Careとしても、図2から判るようにバンクの構成上、Xデコーダ(図においてXDEC)6を挟んでビット線が分割されているため同一のマットであっても、Xデコーダ6によりビットラインが分割されて形成されており、同一のビットラインにて2本のワードラインが選択される構成とはなっていない。
このワードラインアドレスX13をDon't Careとしても、図2から判るようにバンクの構成上、Xデコーダ(図においてXDEC)6を挟んでビット線が分割されているため同一のマットであっても、Xデコーダ6によりビットラインが分割されて形成されており、同一のビットラインにて2本のワードラインが選択される構成とはなっていない。
セレクタ4は、外部から入力されるワードラインアドレスX0〜X13を用いるか、上記リフレッシュカウンタ3から出力されるワードラインアドレスX0〜X12を用いるかの選択を、リフレッシュコマンドにより行う。
リダンダンシ回路5は、正規ワードラインが不良である場合、この不良となった正規ワードラインをマットに設けられている救済ワードラインと置換するための回路であり、入力されるワードラインアドレスが救済(置換)されたワードラインを示すワードラインアドレスである場合、置換先の救済ワードラインを選択する置換ワードラインアドレスをXデコーダ6へ出力する。
リダンダンシ回路5は、正規ワードラインが不良である場合、この不良となった正規ワードラインをマットに設けられている救済ワードラインと置換するための回路であり、入力されるワードラインアドレスが救済(置換)されたワードラインを示すワードラインアドレスである場合、置換先の救済ワードラインを選択する置換ワードラインアドレスをXデコーダ6へ出力する。
Xデコーダ6は、入力されるワードラインアドレスX0〜X13あるいは置換ワードラインアドレスにより、バンクにおけるワードラインの選択を行う。上記置換ワードラインアドレスは、各マットに配置されている救済ワードラインを指し示すワードラインアドレスである。
Yデコーダ7は、外部から入力されるアドレスから、ワードラインアドレスX0〜X13を除いたビットラインアドレスYによりビットラインを選択する回路である。
Yデコーダ7は、外部から入力されるアドレスから、ワードラインアドレスX0〜X13を除いたビットラインアドレスYによりビットラインを選択する回路である。
次に、図3を用い、上記リフレッシュ起動信号生成回路2を説明する。図3(a)はリフレッシュ信号生成回路2の構成例を説明するブロック図であり、図3(b)はリフレッシュ信号生成回路2の動作を説明するタイミングチャートである。
図3(a)において、リフレッシュ信号生成回路2は、例えば、インバータ11,14,16と、セレクタ12と、遅延回路(Delay)回路13と、ノア回路15と、ラッチ回路17,18から構成されている。
ここで、遅延回路(Delay)回路13と、ノア回路15と、インバータ14及び16とは、ワンショットパルス回路を構成している。
図3(a)において、リフレッシュ信号生成回路2は、例えば、インバータ11,14,16と、セレクタ12と、遅延回路(Delay)回路13と、ノア回路15と、ラッチ回路17,18から構成されている。
ここで、遅延回路(Delay)回路13と、ノア回路15と、インバータ14及び16とは、ワンショットパルス回路を構成している。
図3(b)を用いて、リフレッシュ信号生成回路2の動作を説明する。
ここで、MDRFT信号はリフレッシュコマンドであり、コマンドデコーダ1から出力される。RSAOKT信号は、「L」レベルから「H」レベルに遷移するタイミングにおいて、リフレッシュ動作が終了し、データを読み出すためのセンスアンプを次の処理に利用できる状態となったことを示し、「H」レベルから「L」レベルに遷移するタイミングにてビットラインのプリチャージが終了したことを示す信号である。
すなわち、リフレッシュコマンドが入力されてから、RSAOKT信号の立ち上がりまでが時間tRAS(データの読み出し及び再書き込みが行われている時間)であり、RSAOKT信号のパルス幅がtRP(ビットラインのプリチャージに必要な時間)であり、双方とも制御回路において、それぞれの処理に必要な時間として、リフレッシュコマンドの信号を図示しない遅延回路を通して得られる時間である。
ここで、MDRFT信号はリフレッシュコマンドであり、コマンドデコーダ1から出力される。RSAOKT信号は、「L」レベルから「H」レベルに遷移するタイミングにおいて、リフレッシュ動作が終了し、データを読み出すためのセンスアンプを次の処理に利用できる状態となったことを示し、「H」レベルから「L」レベルに遷移するタイミングにてビットラインのプリチャージが終了したことを示す信号である。
すなわち、リフレッシュコマンドが入力されてから、RSAOKT信号の立ち上がりまでが時間tRAS(データの読み出し及び再書き込みが行われている時間)であり、RSAOKT信号のパルス幅がtRP(ビットラインのプリチャージに必要な時間)であり、双方とも制御回路において、それぞれの処理に必要な時間として、リフレッシュコマンドの信号を図示しない遅延回路を通して得られる時間である。
/CSが入力された時点において、ラッチ回路17及び18はリセットされ、出力O17(制御信号MDRFSELT)及び出力O18には「H」レベルの信号が出力された状態となっている。このとき、セレクタ12は、選択信号としての制御信号MDRFSELTが「H」レベルのため、入力される制御信号MDRFB及び制御信号MDRF2Bのうち、制御信号MDRFBを選択して出力する状態となっている。
時刻t1において、アドレスデコーダ1は、外部から入力される /CAS、/RAS、/WE、/CSなどの制御信号の組み合わせにより、リフレッシュ処理が指示されると、この組み合わせに対応してリフレッシュコマンドMDRFBを生成する。
時刻t1において、アドレスデコーダ1は、外部から入力される /CAS、/RAS、/WE、/CSなどの制御信号の組み合わせにより、リフレッシュ処理が指示されると、この組み合わせに対応してリフレッシュコマンドMDRFBを生成する。
時刻t2において、インバータ11は、リフレッシュコマンドMDRFTが「H」レベルのパルスにて入力されると、その反転信号として、リフレッシュパルスMCRFBを、「L」レベルにて出力する。
そして、セレクタ12は、制御信号MDRFBを反転して、「H」レベルの第1のリフレッシュ起動信号として、起動信号MCRFBATを出力する。
このとき、ラッチ回路17は、起動信号MCRFBATの立ち上がりエッジにより、「L」レベル(ラッチ回路18から入力される「H」レベルの反転信号)のデータを保持し、出力O17から出力する。
この時点において、ラッチ回路18は、立ち下がりエッジにてデータを読み込むため、出力の変化はなく、「H」レベルを出力したままである。
そして、セレクタ12は、制御信号MDRFBを反転して、「H」レベルの第1のリフレッシュ起動信号として、起動信号MCRFBATを出力する。
このとき、ラッチ回路17は、起動信号MCRFBATの立ち上がりエッジにより、「L」レベル(ラッチ回路18から入力される「H」レベルの反転信号)のデータを保持し、出力O17から出力する。
この時点において、ラッチ回路18は、立ち下がりエッジにてデータを読み込むため、出力の変化はなく、「H」レベルを出力したままである。
時刻t3において、コマンドデコーダ1は、リフレッシュコマンドMDRFを、「H」レベルから「L」レベルに変化させる。
そのため、セレクタ12から出力される起動信号MCRFBATも「H」レベルから「L」レベルに遷移する。
これにより、ラッチ回路18は、起動信号MCRFBATの立ち下がりエッジにより、ラッチ回路17から入力されている「L」レベルのデータを読み込み、出力O18の出力、すなわち制御信号MDRFSELTを「H」レベルから「L」レベルに変化させる。
そして、セレクタ12は、選択信号としての制御信号MDRFSELTが「L」レベルのため、入力される制御信号MDRFB及び制御信号MDRF2Bのうち、制御信号MDRF2Bを選択して出力する状態となる。
この時点において、ラッチ回路17は、立ち上がりエッジにてデータを読み込むため、出力の変化はなく、「L」レベルを出力したままである。
そのため、セレクタ12から出力される起動信号MCRFBATも「H」レベルから「L」レベルに遷移する。
これにより、ラッチ回路18は、起動信号MCRFBATの立ち下がりエッジにより、ラッチ回路17から入力されている「L」レベルのデータを読み込み、出力O18の出力、すなわち制御信号MDRFSELTを「H」レベルから「L」レベルに変化させる。
そして、セレクタ12は、選択信号としての制御信号MDRFSELTが「L」レベルのため、入力される制御信号MDRFB及び制御信号MDRF2Bのうち、制御信号MDRF2Bを選択して出力する状態となる。
この時点において、ラッチ回路17は、立ち上がりエッジにてデータを読み込むため、出力の変化はなく、「L」レベルを出力したままである。
時刻t4において、上記制御回路は、第1のリフレッシュ起動信号によるリフレッシュ処理が終了した(センスアンプが開放された)ことを示す制御信号RSAOKTを「H」レベルのパルスとして出力する。
そして、制御回路は、制御信号RSAOKTを「H」レベルの立ち上がりにより、ビットラインのプリチャージを開始する。
そして、制御回路は、制御信号RSAOKTを「H」レベルの立ち上がりにより、ビットラインのプリチャージを開始する。
時刻t5において、制御回路は、プリチャージが終了したことを示すため、制御信号RSAOKTを「L」レベルに遷移させる(プリチャージ終了信号となる)。時間tRPがビットラインのプリチャージに必要な時間である。上述した時刻t1から時刻t5までが、リフレッシュサイクルのサブ周期Tnとなる。
ここで、上記ワンショットパルス回路は、上記制御信号RSAOKTの立ち下がりに同期して、「L」レベルのワンショットパルスとして、制御信号MDRF2Bを出力する。
このワンショットパルスのパルス幅は、時刻t5に「L」レベルに遷移し、時刻t7に「H」レベルに遷移する、「L」レベル状態の時間である。
ここで、上記ワンショットパルス回路は、上記制御信号RSAOKTの立ち下がりに同期して、「L」レベルのワンショットパルスとして、制御信号MDRF2Bを出力する。
このワンショットパルスのパルス幅は、時刻t5に「L」レベルに遷移し、時刻t7に「H」レベルに遷移する、「L」レベル状態の時間である。
時刻t6において、セレクタ12は上記制御信号MDRF2Bを反転し、「H」レベルのパルスにて、第2のリフレッシュ起動信号として起動信号MCRFBATとして出力する。
このとき、ラッチ回路17は、起動信号MCRFBATの立ち上がりエッジにより、「H」レベル(ラッチ回路18から入力される「L」レベルの反転信号)のデータを保持し、出力O17から出力する。
この時点において、ラッチ回路18は、立ち下がりエッジにてデータを読み込むため、出力の変化はなく、「L」レベルを出力したままである。
このとき、ラッチ回路17は、起動信号MCRFBATの立ち上がりエッジにより、「H」レベル(ラッチ回路18から入力される「L」レベルの反転信号)のデータを保持し、出力O17から出力する。
この時点において、ラッチ回路18は、立ち下がりエッジにてデータを読み込むため、出力の変化はなく、「L」レベルを出力したままである。
時刻t8において、セレクタ12は、時刻t7に制御信号MDRF2Bが「L」レベルから「H」レベルに遷移することにより、起動信号MCRFBATを「H」レベルから「L」レベルに変化させる。
時刻t9において、ラッチ回路18は、起動信号MCRFBATの立ち下がりエッジにより、ラッチ回路17から入力されている「H」レベルのデータを読み込み、出力O18の出力、すなわち制御信号MDRFSELTを「L」レベルから「H」レベルに変化させる。
そして、セレクタ12は、選択信号としての制御信号MDRFSELTが「H」レベルのため、入力される制御信号MDRFB及び制御信号MDRF2Bのうち、制御信号MDRFBを選択して出力する状態となる。
この時点において、ラッチ回路17は、立ち上がりエッジにてデータを読み込むため、出力の変化はなく、「H」レベルを出力したままである。
そして、セレクタ12は、選択信号としての制御信号MDRFSELTが「H」レベルのため、入力される制御信号MDRFB及び制御信号MDRF2Bのうち、制御信号MDRFBを選択して出力する状態となる。
この時点において、ラッチ回路17は、立ち上がりエッジにてデータを読み込むため、出力の変化はなく、「H」レベルを出力したままである。
時刻t10において、制御信号は、第2のリフレッシュ起動信号によるリフレッシュ処理が終了したことを示す制御信号RSAOKTを「H」レベルのパルスとして出力する。
そして、制御回路は、制御信号RSAOKTを「H」レベルの立ち上がりにより、ビットラインのプリチャージを開始する。
そして、制御回路は、制御信号RSAOKTを「H」レベルの立ち上がりにより、ビットラインのプリチャージを開始する。
時刻t11において、制御回路は、プリチャージが終了したことを示すため、制御信号RSAOKTを「L」レベルに遷移させる。上述した時刻t5から時刻t11までが、リフレッシュサイクルのサブ周期Tn+1となる。
ここで、ワンショット回路が制御信号MDRF2Bのパルスを出力するが、セレクタ12は、選択信号としての制御信号MDRFSELTが「H」レベルのため、入力される制御信号MDRFB及び制御信号MDRF2Bのうち、制御信号MDRFBを選択して出力する状態であるため、この時点にて起動信号MCRFBATを出力しない。
上述したように、リフレッシュコマンドMDRFTが入力されるごとに、時刻t1から時刻t11までの処理が繰り返され、1つのリフレッシュ周期において、サブ周期Tn及びTn+1ごとにそれぞれリフレッシュ起動信号MCRFBATが出力される。
ここで、ワンショット回路が制御信号MDRF2Bのパルスを出力するが、セレクタ12は、選択信号としての制御信号MDRFSELTが「H」レベルのため、入力される制御信号MDRFB及び制御信号MDRF2Bのうち、制御信号MDRFBを選択して出力する状態であるため、この時点にて起動信号MCRFBATを出力しない。
上述したように、リフレッシュコマンドMDRFTが入力されるごとに、時刻t1から時刻t11までの処理が繰り返され、1つのリフレッシュ周期において、サブ周期Tn及びTn+1ごとにそれぞれリフレッシュ起動信号MCRFBATが出力される。
次に、図4を用いてリフレッシュカウンタ3の構成を説明する。図4は上述したリフレッシュカウンタ3の出力するワードラインアドレスの構成例を示す概念図である。
このリフレッシュカウンタ3は、制御信号MCRFBAT、すなわち第1のリフレッシュ起動信号と第2のリフレッシュ起動信号とが入力されることによりカウントを行い、ワードラインアドレスX0〜X12を出力する。
出力される計数値としては、最上位ビットはX11であり、順次X10、X9、X8、X7、X6、X5、X4、X3、X2、X1、X0となり、最下位ビットX12となっている。
このリフレッシュカウンタ3は、制御信号MCRFBAT、すなわち第1のリフレッシュ起動信号と第2のリフレッシュ起動信号とが入力されることによりカウントを行い、ワードラインアドレスX0〜X12を出力する。
出力される計数値としては、最上位ビットはX11であり、順次X10、X9、X8、X7、X6、X5、X4、X3、X2、X1、X0となり、最下位ビットX12となっている。
このように、外部のリフレッシュ周期に対して2倍のワードラインを立ち上げる構成においては一般的にDon't careとしていたワードラインアドレスX12を、本実施形態のリフレッシュカウンタ3は、例えば、最下位アドレスとして生成している。
これにより、図3(b)に示すように、第1のリフレッシュ起動信号により開始されるサブ周期Tnにおいて、ワードラインアドレスX0〜X11=n、X12=0のワードラインを立ち上げリフレッシュ処理を行い、第2のリフレッシュ起動信号により開始されるサブ周期Tn+1において、ワードラインアドレスX0〜X11=n、X12=1のワードラインが立ち上がりフレッシュ処理を行う。
これにより、図3(b)に示すように、第1のリフレッシュ起動信号により開始されるサブ周期Tnにおいて、ワードラインアドレスX0〜X11=n、X12=0のワードラインを立ち上げリフレッシュ処理を行い、第2のリフレッシュ起動信号により開始されるサブ周期Tn+1において、ワードラインアドレスX0〜X11=n、X12=1のワードラインが立ち上がりフレッシュ処理を行う。
ここで、1リフレッシュ周期に2倍のワードラインを立ち上げる構成において、通常Don't Careとなっているワードラインアドレスから、上記リフレッシュ周期を2つのサブ周期に分割するために用いるワードラインアドレスはマットを形成するワードラインアドレスの最上位アドレスを使用する。
本実施形態においては、ワードラインアドレスX12であるが、構成によっては上述した設定を行う必要がある。
本実施形態において、ワードラインアドレスX13は、ビットラインをXデコーダ(XDEC)6の両側にあるビットラインを分割しているため、すでに述べたように、Don't Careとして場合にも、同一のビットラインにて2つのワードラインが立ち上がる構成となっていない。
本実施形態においては、ワードラインアドレスX12であるが、構成によっては上述した設定を行う必要がある。
本実施形態において、ワードラインアドレスX13は、ビットラインをXデコーダ(XDEC)6の両側にあるビットラインを分割しているため、すでに述べたように、Don't Careとして場合にも、同一のビットラインにて2つのワードラインが立ち上がる構成となっていない。
上述してきたように、リフレッシュコマンドから開始されるリフレッシュ周期を、サブ周期Tn及びTn+1に2分割し、それぞれ1本ずつのワードラインに対するリフレッシュ処理を行うため、同一のビットラインにて異なるワードラインが立ち上がることは無くなる。
例えば、図2に示すように、マットM2及びマットM18のワードラインが不良となり、双方共にマットM7の救済ワードラインと置換された場合でも、マットM7の同一のビットラインにて、マットM2から置換されたワードラインがサブ周期Tnにて立ち上がり、マットM18から置換されたワードラインがサブ周期Tn+1に立ち上がる。
したがって、従来のように、同一のビットラインにおいて、異なる2本のワードラインが同時に立ち上がることが無いため、各メモリセルが記憶しているデータが破壊されることはない。
例えば、図2に示すように、マットM2及びマットM18のワードラインが不良となり、双方共にマットM7の救済ワードラインと置換された場合でも、マットM7の同一のビットラインにて、マットM2から置換されたワードラインがサブ周期Tnにて立ち上がり、マットM18から置換されたワードラインがサブ周期Tn+1に立ち上がる。
したがって、従来のように、同一のビットラインにおいて、異なる2本のワードラインが同時に立ち上がることが無いため、各メモリセルが記憶しているデータが破壊されることはない。
また、第2のリフレッシュ起動信号は、第1のリフレッシュ起動信号により開始されるサブ周期Tnが終了して、次のリフレッシュ動作が可能となる、ビットラインのプリチャージが終了したことを示す制御信号により生成される。
したがって、本実施形態によれば、同一のビットラインのワードラインが、同一リフレッシュ周期内にて連続してリフレッシュされる場合においても、サブ周期Tn+1が開始される前にビットラインのプリチャージが終了しているため、リフレッシュ周期内において2本のワードラインに対して、連続してリフレッシュ処理を順次行うことができる。
したがって、本実施形態によれば、同一のビットラインのワードラインが、同一リフレッシュ周期内にて連続してリフレッシュされる場合においても、サブ周期Tn+1が開始される前にビットラインのプリチャージが終了しているため、リフレッシュ周期内において2本のワードラインに対して、連続してリフレッシュ処理を順次行うことができる。
1…コマンドデコーダ
2…リフレッシュ起動信号生成回路
3…リフレッシュカウンタ
4…セレクタ
5…リダンダンシ回路
6…Xデコーダ
7…Yデコーダ
8…バンク
2…リフレッシュ起動信号生成回路
3…リフレッシュカウンタ
4…セレクタ
5…リダンダンシ回路
6…Xデコーダ
7…Yデコーダ
8…バンク
Claims (5)
- 正規ワードラインと救済ワードラインとを備えた複数のマットにより構成された複数のバンクを有する半導体記憶装置であり、
リフレッシュコマンドの入力により第1のリフレッシュ動作を行う第1のリフレッシュ起動信号を生成する第1のリフレッシュ生成回路と、
前記第1のリフレッシュ動作が終了したことを示すリフレッシュ動作終了信号により、第2のリフレッシュ動作を行う第2のリフレッシュ起動信号を生成する第2のリフレッシュ生成回路と
を有することを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記リフレッシュ動作終了信号が第1のリフレッシュ動作の後にビットラインに対するプリチャージが終了したことを示すプリチャージ終了信号であることを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。
- リフレッシュコマンドの入力により、リフレッシュ対象のワードラインのアドレスを生成するリフレッシュカウンタを有しており、
前記リフレッシュカウンタが、前記リフレッシュコマンドの入力により生成される前記第1のリフレッシュ起動信号及び第2のリフレッシュ起動信号の入力毎にカウント処理を行い、リフレッシュコマンド入力毎に2つのリフレッシュアドレスを生成することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体記憶装置。 - 前記リフレッシュカウンタが前記第1のリフレッシュ起動信号の入力により、前記第1のリフレッシュの動作に用いる第1のリフレッシュアドレスを生成し、前記第2のリフレッシュ起動信号の入力により、前記第2のリフレッシュ動作に用いる第2のリフレッシュアドレスを生成することを特徴とする請求項3に記載の半導体記憶装置。
- 正規ワードラインと救済ワードラインとを備えた複数のマットにより構成された複数のバンクを有する半導体記憶装置におけるリフレッシュ方法であり、
リフレッシュコマンドの入力により第1のリフレッシュ動作を行う第1のリフレッシュ起動信号を生成する第1のリフレッシュ生成過程と、
前記第1のリフレッシュ動作が終了したことを示すリフレッシュ動作終了信号により、第2のリフレッシュ動作を行う第2のリフレッシュ起動信号を生成する第2のリフレッシュ生成過程と
を有することを特徴とする半導体記憶装置のリフレッシュ方法。
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