JP2008282930A - 発光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る発光装置1は、発光部へ電流を供給する拡散電極50と、拡散電極50を覆い、拡散電極50の一部を露出させる露出部を有する絶縁部80と、この露出部において拡散電極50と接触し、拡散電極50へ電流を供給する中間電極60と、絶縁部80の拡散電極50と反対側と接触し、中間電極60より大きな絶縁部80に対する密着力を有し、中間電極60を介して拡散電極50へ電流を供給する接合電極70とを備える。
【選択図】図1
Description
図1(a)は、本発明の第1の実施の形態を示す発光装置の縦断面図である。また、図1(b)は、本発明の第1の実施の形態を示す発光装置の上面図である。
本発明の第1の実施の形態に係る発光装置1は、図1(a)に示すように、(0001)面を有するサファイア基板10と、サファイア基板10の上に設けられるバッファ層20と、バッファ層20の上に設けられるn側コンタクト層22と、n側コンタクト層22の上に設けられるn側クラッド層24と、n側クラッド層24の上に設けられる発光部としての発光層30と、発光層30の上に設けられるp側クラッド層40と、p側クラッド層40の上に設けられるp側コンタクト層42とを備える。
図2から図4は、第1の実施の形態に係る発光装置の製造工程の一例を示す。図2(a)は、n側コンタクト層の表面を露出させるためのエッチングが施される前の縦断面図である。図2(b)は、n側コンタクト層の表面を露出させるためのエッチングが施された後の縦断面図である。また、図2(c)は、拡散電極にマスクが形成された状態の縦断面図である。さらに、図2(d)は、拡散電極をエッチングした後の縦断面図である。
図5は、第1の実施の形態に係る中間電極及び接合電極を備える発光装置の縦断面の拡大図を示す。
本発明の第1の実施の形態によれば、以下の効果を奏する。
10 サファイア基板
20 バッファ層
22 n側コンタクト層
24 n側クラッド層
30 発光層
40 p側クラッド層
42 p側コンタクト層
50、50a、50b、50c、50d、50e 拡散電極
55 n側オーミック電極
60 中間電極
70、70a、70b、70c、70d、70e 接合電極
80 絶縁部
82、84 開口
90 反射部
100 第1接触部分
102 第2接触部分
104 第3接触部分
106 第4接触部分
200、202 マスク
600 第1中間電極
602 第2中間電極
604 第3中間電極
700 接触メタル
702 第1バリアメタル
704 第2バリアメタル
706 第3バリアメタル
708 AuSn電極
Claims (6)
- 発光部へ電流を供給する拡散電極と、
前記拡散電極を覆い、前記拡散電極の一部を露出させる露出部を有する絶縁部と、
前記露出部の内側において前記拡散電極と接触し、前記拡散電極へ電流を供給する中間電極と、
前記絶縁部における前記拡散電極と反対側に接触し、前記中間電極より大きな前記絶縁部に対する密着力を有し、前記中間電極を介して前記拡散電極へ電流を供給する接合電極と、を備える発光装置。 - 前記拡散電極に対する前記中間電極の接触抵抗が、前記拡散電極に対する前記接合電極の接触抵抗よりも低い請求項1に記載の発光装置。
- 前記拡散電極は、前記発光部が発する波長領域の光に対して透明である請求項1又は2に記載の発光装置。
- 前記絶縁部は、前記発光部が発する波長領域の光を前記拡散電極側へ反射する反射部を有する請求項3に記載の発光装置。
- 前記接合電極は、前記絶縁部と反対側に、はんだ電極を有する請求項1から4のいずれか1項に記載の発光装置。
- 前記接合電極は、前記絶縁部と前記はんだ電極との間に、前記絶縁部及び前記中間電極へ前記はんだ電極の金属材料が拡散することを防止する拡散防止部を有する請求項5に記載の発光装置。
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