JP2008280580A - 処理液再生方法及び処理液に含まれる金属の回収方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板処理用の処理液に含まれる金属成分を低コストで効率的に除去してこの処理液を再生することができる処理液再生方法などを提供する。
【解決手段】基板処理を行う処理エリアにおいて、金属イオンを吸着する吸着材が内部に充填された可搬容器１内に処理液を通液させ、この処理液中の金属成分を吸着材に吸着させて分離，除去する処理液再生工程と、処理液を通液させた可搬容器１を、処理エリアから離隔したエリアであって吸着材を再生する吸着材再生エリアに搬送する第１搬送工程と、吸着材再生エリアにおいて、処理エリアから搬送した可搬容器１内に溶離液を通液させ、吸着材に吸着された金属を溶離させてこの吸着材を再生する吸着材再生工程と、吸着材を再生した可搬容器１を吸着材再生エリアから処理エリアに回送する第２搬送工程とからなり、処理液再生工程では、吸着材再生後の可搬容器１を使用する。
【選択図】図１

Description

本発明は、金属イオンを吸着する吸着材が内部に充填された可搬容器を用いて、基板処理により金属成分が含まれるようになった処理液を再生する方法、及び基板処理により処理液中に含まれるようになった金属成分を回収する方法に関する。

例えば、半導体（シリコン）ウエハ，液晶ガラス基板，フォトマスク用ガラス基板，光ディスク用基板などの各種基板を製造する工程では、これらの基板にエッチング液や現像液、洗浄液といった各種の処理液を供給してこの基板を処理する工程がある。

エッチング液を用いた処理（エッチング処理）を一例に挙げると、このエッチング処理は、エッチング液を貯留する貯留槽と、基板をエッチングする基板処理機構と、貯留槽内のエッチング液を基板処理機構に供給し、供給したエッチング液をこの基板処理機構から回収して、貯留槽と基板処理機構との間でエッチング液を循環させるエッチング液循環機構とを備えたエッチング装置によって実施される（特開２０００−９６２６４号公報参照）。

前記基板処理機構は、閉塞空間を備えた処理チャンバと、処理チャンバ内に配設され、基板を水平に搬送する複数の搬送ローラと、処理チャンバ内に配設され、基板の上面に向けてエッチング液を吐出する複数のノズル体とからなり、前記エッチング液循環機構は、貯留槽と各ノズル体とを接続する供給管と、供給管を介して各ノズル体にエッチング液を供給する供給ポンプと、処理チャンバの底部と貯留槽とを接続する回収管とからなる。

このエッチング装置によれば、搬送ローラによって基板が所定方向に搬送されるとともに、供給ポンプによって供給管を介し各ノズル体に供給された貯留槽内のエッチング液がこれらの各ノズル体から基板の上面に向けて吐出され、かかるエッチング液によって基板がエッチングされる。そして、基板の上面に吐出されたエッチング液は、回収管を通って処理チャンバ内から貯留槽内に回収される。

ところで、例えば、基板の上面に形成された酸化インジウムスズ膜などの金属膜に対してエッチングを行うと、この金属膜を構成するインジウムやスズといった金属がエッチング液に溶解するため、エッチング液を貯留槽と基板処理機構との間で循環させるように構成された上記エッチング装置では、貯留槽内のエッチング液に含まれる金属成分が徐々に増えて、エッチング処理を効率的に実施することができないという問題や、精度の良いエッチング形状が得られないという問題を生じる。

したがって、上記エッチング装置では、貯留槽内のエッチング液を定期的に取り替えなければならず、エッチング液の取り替えにかかる費用（取り替えたエッチング液の廃棄処理費用や、取り替えるエッチング液の購入費用）によって処理コストが上昇する。

そこで、特開２００５−３２５０８２号公報に開示されているように、イオン交換樹脂を用いて貯留槽内のエッチング液から金属成分を分離，除去してこのエッチング液を再利用可能にする方法が提案されている。

特開２０００−９６２６４号公報 特開２００５−３２５０８２号公報

しかしながら、上記方法では、イオン交換樹脂によりエッチング液中の金属成分を分離，除去するのみで、分離した金属成分を回収していないという問題がある。前記金属膜には、例えば、インジウムなどの非常に高価な金属が使用されている場合があり、このようなときには、エッチング液に溶解した金属を回収することが好ましい。

また、エッチング液から金属成分を分離，除去する処理を行うには、相応の設備が必要であることから、基板製造業者が容易に実施することができない。一方、廃液処理業者などが実施する場合においても、使用後のエッチング液を基板製造業者側から廃液処理業者側にタンクローリで輸送し、処理後の廃液（再利用可能とされたエッチング液）を廃液処理業者側から基板製造業者側にタンクローリで輸送しなければならず、輸送コストが高いという問題や効率的でないという問題がある。

また、更に、廃液処理業者がエッチング液に溶解している金属を回収する場合、上記問題の他、エッチング液に含まれる金属の濃度が低いためにこのエッチング液中の金属成分を回収するのは容易でなく非常に手間がかかるという問題がある。

本発明は、以上の実情に鑑みなされたものであって、基板処理用の処理液に含まれる金属成分を低コストで効率的に除去してこの処理液を再生し、環境保護に貢献することができる処理液再生方法、及び、基板処理用の処理液に含まれる金属成分を低コストで効率的に回収することができる、処理液に含まれる金属の回収方法の提供をその目的とする。

上記目的を達成するための本発明は、
金属イオンを吸着する吸着材が内部に充填された可搬容器を用い、
基板処理を行う処理エリアと、この処理エリアから離隔したエリアであって、処理液中の金属成分を吸着した吸着材を再生する吸着材再生エリア又は吸着材に吸着された金属を回収する回収エリアとの間で前記可搬容器を搬送して行う処理液再生方法又は処理液に含まれる金属の回収方法に係る。

そして、前記処理液再生方法は、前記処理エリアにおいて、基板処理により金属成分が含まれるようになった処理液を前記可搬容器内に通液させ、この処理液中の金属成分を前記吸着材に吸着させて分離，除去する処理液再生工程と、前記処理液を通液させた可搬容器（使用後の可搬容器、即ち、吸着材に金属が吸着された可搬容器）を、前記処理エリアから前記吸着材再生エリアに搬送する第１搬送工程と、前記吸着材再生エリアにおいて、前記処理エリアから搬送した可搬容器内に溶離液を通液させ、前記吸着材に吸着された金属を溶離させてこの吸着材を再生する吸着材再生工程と、前記吸着材を再生した可搬容器（再生後の可搬容器、即ち、吸着材に金属が吸着されていない可搬容器）を前記吸着材再生エリアから前記処理エリアに回送する第２搬送工程とからなり、前記処理液再生工程では、吸着材再生後の可搬容器を使用する。尚、必要に応じて、可搬容器内に通液させた溶離液から、溶離された金属を回収するようにしても良い。

したがって、本発明に係る処理液再生方法によれば、処理エリアで処理液中の金属成分を可搬容器内の吸着材に吸着させて除去し、使用後の可搬容器を吸着材再生エリアに搬送して吸着材を再生し、再生後の可搬容器を処理エリアに回送して再使用するようにしたので、処理エリア側では、可搬容器内に処理液を通液させてこの処理液中の金属成分を吸着材に吸着させる設備のみを設置すれば良く、簡単且つ安価な設備で処理液を再生する（再利用可能な状態にする）ことができる。

また、搬送対象を処理液自体ではなく可搬容器としているので、重量が軽く取り扱いが容易であり、しかも、搬送コストがタンクローリに比べて非常に低い一般的なトラックで搬送することができる。また、更に、再生後の可搬容器を処理エリアに回送して再使用しているので、可搬容器（吸着材）を繰り返し使用することができる。これらのことから、基板処理によって金属成分が含まれるようになった処理液を低コストで効率的に再生することができる。

また、このようにして処理液を再生することで、処理液の延命化を図ってその取り替えサイクルを長くすることができるので、新しい処理液の購入費用や使用済の処理液の廃棄費用などを省いて処理液にかかる費用を抑えることや、処理液の交換のために停止させることなく連続的に基板処理を行うことができ、基板処理にかかるコストを低く抑えることができる。また、廃棄処分する処理液を減らすことや、基板処理によって減少した分だけしか新しい処理液を必要としないようにすることができるので、環境保護に貢献することもできる。

一方、前記処理液に含まれる金属の回収方法では、前記処理エリアにおいて、基板処理により金属成分が含まれるようになった処理液を前記可搬容器内に通液させてこの処理液中の金属成分を前記吸着材に吸着させ、ついで、前記可搬容器（吸着後の可搬容器、即ち、吸着材に金属が吸着された可搬容器）を前記回収エリアに搬送し、次に、前記回収エリアにおいて、前記可搬容器（処理エリアから搬送された可搬容器）内に溶離液を通液させて、前記吸着材に吸着された金属を溶離させる処理と、溶離させた金属を通液させた溶離液から回収する処理とを行い、この後、前記可搬容器（回収後の可搬容器、即ち、吸着材に金属が吸着されていない可搬容器）を前記処理エリアに回送して再使用する。

したがって、本発明に係る処理液に含まれる金属の回収方法によれば、処理エリアで処理液中の金属成分を可搬容器内の吸着材に吸着させ、吸着後の可搬容器を回収エリアに搬送して吸着材に吸着させた金属を回収し、回収後の可搬容器を処理エリアに回送して再使用するようにしたので、基板処理によって処理液に溶解した金属を効果的に回収することができる。

また、処理エリア側では、可搬容器内に処理液を通液させてこの処理液中の金属成分を吸着材に吸着させるだけで良いので、簡単且つ安価な設備で対応することができる。また、可搬容器内の吸着材に処理液中の金属成分を吸着させることで、この金属成分を可搬容器内に濃縮した状態に集めることができ、処理液に溶解した金属を回収し易くすることができる。また、搬送対象を処理液自体ではなく可搬容器としているので、重量が軽く取り扱いが容易であり、しかも、搬送コストがタンクローリに比べて非常に低い一般的なトラックで搬送することができる。また、更に、回収後の可搬容器を処理エリアに回送して再使用しているので、可搬容器（吸着材）を繰り返し使用することができる。これらのことから、基板処理によって処理液に溶解した金属を低コストで効率的に回収することができる。

尚、前記処理液再生方法又は処理液に含まれる金属の回収方法において、前記吸着材再生工程又は回収エリアでは、前記溶離液を通液させた後、前記可搬容器内に洗浄液を通液させてその内部を洗浄するようにしても良い。

可搬容器の内部に溶離液が残存していると、処理エリアで処理液が通液された際に処理液と溶離液とが混ざってこの処理液を用いた基板処理に悪影響を及ぼす恐れがあるが、溶離液を通液させた後、洗浄液を通液させることで、可搬容器内に残存している溶離液を洗い流して上記のような不都合が生じるのを防止することができる。

また、前記処理液再生方法又は処理液に含まれる金属の回収方法において、前記吸着材再生工程又は回収エリアで洗浄液を可搬容器内に通液させない場合には、この可搬容器に、前記処理液及び溶離液を内部に供給するための供給部と、この供給部から内部に供給された処理液及び溶離液を外部に排出するための排出部とを形成し、前記処理液再生工程又は処理エリアでは、前記可搬容器の供給部に着脱可能に接続して前記処理液を供給する処理液供給管と、前記可搬容器の排出部に着脱可能に接続して前記処理液を回収する処理液回収管とを備えた第１通液装置を用い、前記処理液供給管を前記供給部に、前記処理液回収管を前記排出部にそれぞれ接続した後、前記処理液を前記供給部から前記可搬容器の内部に流入して前記排出部から排出されるように通液させ、この後、前記処理液供給管を前記供給部から、前記処理液回収管を前記排出部からそれぞれ取り外し、前記吸着材再生工程又は回収エリアでは、前記可搬容器の供給部に着脱可能に接続して前記溶離液を供給する溶離液供給管と、前記可搬容器の排出部に着脱可能に接続して前記溶離液を回収する溶離液回収管とを備えた第２通液装置を用い、前記溶離液供給管を前記供給部に、前記溶離液回収管を前記排出部にそれぞれ接続した後、前記溶離液を前記供給部から前記可搬容器の内部に流入して前記排出部から排出されるように通液させ、この後、前記溶離液供給管を前記供給部から、前記溶離液回収管を前記排出部からそれぞれ取り外すようにしても良い。

このようにすれば、金属成分が含まれた処理液を可搬容器内に通液させる処理を第１通液装置によって、吸着材に金属が吸着された可搬容器内に溶離液を通液させる処理を第２通液装置によって実施することができ、効率的である。

一方、前記処理液再生方法又は処理液に含まれる金属の回収方法において、前記吸着材再生工程又は回収エリアで洗浄液を可搬容器内に通液させる場合には、この可搬容器に、前記処理液，溶離液及び洗浄液を内部に供給するための供給部と、この供給部から内部に供給された処理液，溶離液及び洗浄液を外部に排出するための排出部とを形成し、前記吸着材再生工程又は回収エリアでは、前記可搬容器の供給部に着脱可能に接続して前記溶離液及び洗浄液を供給する供給管と、前記可搬容器の排出部に着脱可能に接続して前記溶離液及び洗浄液を回収する回収管とを備えた第２通液装置を用い、前記供給管を前記供給部に、前記回収管を前記排出部にそれぞれ接続した後、前記溶離液を前記供給部から前記可搬容器の内部に流入して前記排出部から排出されるように通液させ、次に、前記洗浄液を前記供給部から内部に流入して前記排出部から排出されるように通液させ、この後、前記供給管を前記供給部から、前記回収管を前記排出部からそれぞれ取り外すようにしたり、前記可搬容器の供給部に着脱可能に接続して前記溶離液を供給する溶離液供給管と、前記可搬容器の排出部に着脱可能に接続して前記溶離液を回収する溶離液回収管とを備えた第２通液装置、及び、前記可搬容器の供給部に着脱可能に接続して前記洗浄液を供給する洗浄液供給管と、前記可搬容器の排出部に着脱可能に接続して前記洗浄液を回収する洗浄液回収管とを備えた第３通液装置を用い、まず、前記溶離液供給管を前記供給部に、前記溶離液回収管を前記排出部にそれぞれ接続して、前記溶離液を前記供給部から前記可搬容器の内部に流入して前記排出部から排出されるように通液させた後、前記溶離液供給管を前記供給部から、前記溶離液回収管を前記排出部からそれぞれ取り外し、次に、前記洗浄液供給管を前記供給部に、前記洗浄液回収管を前記排出部にそれぞれ接続して、前記洗浄液を前記供給部から内部に流入して前記排出部から排出されるように通液させた後、前記洗浄液供給管を前記供給部から、前記洗浄液回収管を前記排出部からそれぞれ取り外すようにしても良い。このようにすれば、溶離液通液後の可搬容器の内部を洗浄する処理を第３通液装置によって実施することができ、効率的である。

尚、前記処理液としては、例えば、エッチング液，現像液及び洗浄液などを挙げることができるが、これらに限定されるものではない。また、可搬容器内の吸着材に吸着させる金属としては、例えば、インジウムなどを挙げることができるが、これに限定されるものではない。また、前記吸着材としては、例えば、キレート材やイオン交換樹脂などを挙げることができるが、これらに限定されるものではない。また、吸着材としてキレート材を用いたときには、前記溶離液には塩酸や硫酸あるいは苛性ソーダなどを、前記洗浄液には純水などを採用することができ、吸着材としてイオン交換樹脂を用いたときには、前記溶離液には塩酸や水酸化ナトリウムなどを、前記洗浄液には純水などを採用することができる。

以上のように、本発明に係る処理液再生方法によれば、内部に吸着材が充填された可搬容器を用い、この可搬容器を回収エリアと吸着材再生エリアとの間で搬送するようにしたので、基板処理用の処理液に含まれる金属成分を低コストで効率的に除去してこの処理液を再生し、環境保護に貢献することができる。また、本発明に係る処理液に含まれる金属の回収方法によれば、内部に吸着材が充填された可搬容器を用い、この可搬容器を回収エリアと吸着材再生エリアとの間で搬送するようにしたので、基板処理用の処理液に含まれる金属成分を低コストで効率的に回収することができる。

（第１実施形態）
まず、本発明の第１実施形態に係るエッチング液再生方法について、添付図面に基づき説明する。この第１実施形態では、基板をエッチングすることによって金属成分が含まれるようになったエッチング液を再生するものとして説明する。また、図１は、本発明の第１実施形態に係るエッチング液再生方法を説明するための説明図であり、図２は、第１実施形態に係るエッチング液再生方法を説明するためのフローチャートである。また、図３は、第１実施形態における基板処理装置などの概略構成を示した説明図であり、図４は、第１実施形態における吸着材再生装置などの概略構成を示した説明図である。

まず、図１、図３及び図４に基づいて、エッチング液Ｌ中の金属成分を吸着させるための可搬容器１について説明する。この可搬容器１は、金属イオン（後述するように、インジウムイオンやスズイオン）を吸着する、吸着材としてのキレート材（図示せず）が内部に充填され、可搬性を有するように構成される。また、可搬容器１は、エッチング液Ｌによって基板Ｋを処理する基板処装置１０、及びキレート材（図示せず）を再生する吸着材再生装置４０に対して着脱可能に構成される。更に、可搬容器１には、エッチング液Ｌや後述の溶離液及び洗浄液を内部に供給するための供給部（図示せず）と、この供給部（図示せず）から内部に供給されたエッチング液Ｌや溶離液、洗浄液を外部に排出するための排出部（図示せず）とが上端部に形成されている。

前記キレート材（図示せず）とは、一般的には、有機系のアミノカルボン酸塩を総称したものであり、金属イオンを吸着し、吸着された金属は特定の溶液によって溶離するという性質を備えたものである。具体的には、ＥＤＴＡ（エチレンジアミン四酢酸），ＮＴＡ（ニトリロ三酢酸），ＤＴＰＡ（ジエチレントリアミン五酢酸），ＧＬＤＡ（Ｌ−グルタミン酸二酢酸），ＨＥＤＴＡ（ヒドロキシエチルエチレンジアミン三酢酸），ＧＥＤＴＡ（グリコールエーテルジアミン四酢酸），ＴＴＨＡ（トリエチレンテトラミン六酢酸），ＨＩＤＡ（ヒドロキシエチルイミノ二酢酸）及びＤＨＥＧ（ヒドロキシエチルグリシン）などが一例として挙げられるが、これらに限定されるものではない。

次に、図３に基づいて前記基板処理装置１０について説明する。この基板処理装置１０は、同図３に示すように、例えば、蓚酸濃度（重量％）が約３％のエッチング液Ｌを貯留する貯留槽１１と、エッチング液Ｌによって基板Ｋをエッチングする基板処理機構１２と、貯留槽１１と基板処理機構１２との間でエッチング液Ｌを循環させるエッチング液循環機構２０と、貯留槽１１に貯留されたエッチング液Ｌを可搬容器１内に通液させるエッチング液通液機構３０と、基板処理機構１２，エッチング液循環機構２０及びエッチング液通液機構３０の作動を制御する制御装置２５などから構成されており、処理エリアに配置されている（図１参照）。

前記基板処理機構１２は、閉塞空間を備えた処理チャンバ１３と、処理チャンバ１３内の下部に配設され、例えば、上面に酸化インジウムスズ膜（金属膜）が形成された基板Ｋを水平に支持して所定方向（矢示方向）に搬送する複数の搬送ローラ１４と、処理チャンバ１３内の上部に配設され、エッチング液循環機構２０によって供給されたエッチング液Ｌが流通する流通管１５と、流通管１５に固設され、搬送ローラ１４によって搬送される基板Ｋの上面に向けてエッチング液Ｌを吐出する複数のノズル体１６などからなり、処理チャンバ１３内のエッチング液Ｌは、この処理チャンバ１３の底面に形成された排出口１３ａから外部に排出されるようになっている。

前記エッチング液循環機構２０は、一端側が貯留槽１１に接続し、他端側が流通管１５に接続した供給管２１と、供給管２１を介して流通管１５内にエッチング液Ｌを供給する供給ポンプ２２と、一端側が処理チャンバ１３の排出口１３ａに接続し、他端側が貯留槽１１に接続した回収管２３などからなる。

前記エッチング液通液機構３０は、可搬容器１が着脱可能に取り付けられる第１取付部３１及び第２取付部３２と、一端側が貯留槽１１に接続し、他端側が分岐して各可搬容器１の供給部（図示せず）に接続可能となったエッチング液供給管３３と、一端側が貯留槽１１に接続し、他端側が分岐して各可搬容器１の排出部（図示せず）に接続可能となったエッチング液回収管３４と、エッチング液供給管３３を介して可搬容器１の内部にエッチング液Ｌを供給する供給ポンプ３５と、エッチング液供給管３３の他端側にそれぞれ設けられた第１供給側切換弁３６及び第２供給側切換弁３７と、エッチング液回収管３４の他端側にそれぞれ設けられた第１排出側切換弁３８及び第２排出側切換弁３９などからなり、各取付部３１，３２に可搬容器１が取り付けられたときに、エッチング液供給管３３の他端側が各可搬容器１の供給部（図示せず）に、エッチング液回収管３４の他端側が各可搬容器１の排出部（図示せず）にそれぞれ接続するようになっている。

前記各切換弁３６，３７，３８，３９は、第１供給側切換弁３６及び第１排出側切換弁３８が開いているときには、第２供給側切換弁３７及び第２排出側切換弁３９が閉じるように、第２供給側切換弁３７及び第２排出側切換弁３９が開いているときには、第１供給側切換弁３６及び第１排出側切換弁３８が閉じるように、制御装置２５によって制御される。

このエッチング液通液機構３０では、供給ポンプ３５により貯留槽１１内のエッチング液Ｌがエッチング液供給管３３を介して可搬容器１のいずれか一方に供給される。即ち、第１供給側切換弁３６が開き、第２供給側切換弁３７が閉じているときには、第１取付部３１側の可搬容器１に、第１供給側切換弁３６が閉じ、第２供給側切換弁３７が開いているときには、第２取付部３２側の可搬容器１にエッチング液Ｌが供給される。

そして、可搬容器１のいずれか一方に供給され、この可搬容器１内を流通したエッチング液Ｌは、エッチング液回収管３４により貯留槽１１内に回収される。このようにして、エッチング液Ｌが貯留槽１１と可搬容器１のいずれか一方との間で循環する。

前記制御装置２５は、供給ポンプ２２を制御して、貯留槽１１と基板処理機構１２との間でエッチング液Ｌを循環させる処理と、供給ポンプ２２を作動させると、供給ポンプ３５及び各切換弁３６，３７，３８，３９を制御して、エッチング液Ｌの供給される可搬容器１を予め設定された時間間隔、即ち、可搬容器１内のキレート材（図示せず）が略飽和状態に達すると推定される時間間隔で交互に切り換えながら可搬容器１のいずれか一方に貯留槽１１内のエッチング液Ｌを通液させる処理とを行う。

このように構成された基板処理装置１０によれば、供給ポンプ２２により、貯留槽１１に貯留されたエッチング液Ｌが供給管２１及び流通管１５を介して各ノズル体１６に供給され、これらの各ノズル体１６から基板Ｋの上面に向けて吐出される。基板Ｋの上面に吐出されたエッチング液Ｌは、処理チャンバ１３の排出口１３ａから回収管２３内を流通して貯留槽１１内に回収される。

前記基板Ｋは、搬送ローラ１４によって所定方向に搬送されており、各ノズル体１６から吐出されたエッチング液Ｌによってエッチングされる。尚、このエッチング処理により基板Ｋの酸化インジウムスズ膜がエッチング液Ｌに溶解し、このエッチング液Ｌにインジウムイオンやスズイオンが含まれるようになる。

また、貯留槽１１に貯留されたエッチング液Ｌは、供給ポンプ３５、各切換弁３６，３７，３８，３９、エッチング液供給管３３及びエッチング液回収管３４によって、通液対象となる可搬容器１が予め設定された時間間隔で交互に切り換えられながら可搬容器１のいずれか一方に選択的に通液され、これにより、エッチング液Ｌ中の金属成分たるインジウムイオンやスズイオンが可搬容器１内のキレート材（図示せず）によって吸着される。

ついで、図４に基づいて前記吸着材再生装置４０について説明する。この吸着材再生装置４０は、同図４に示すように、可搬容器１が着脱可能に取り付けられる取付部４１と、可搬容器１内に溶離液を通液させる溶離液通液機構４２と、可搬容器１内に洗浄液を通液させる洗浄液通液機構５２と、可搬容器１内を流通した溶離液からインジウムやスズを取り出して回収する金属回収部（図示せず）と、溶離液通液機構４２，洗浄液通液機構５２及び金属回収部（図示せず）の作動を制御する制御装置６５などから構成されており、前記処理エリアから離隔した吸着材再生エリアに配置されている（図１参照）。尚、取付部４１，溶離液通液機構４２，洗浄液通液機構５２及び制御装置６５が特許請求の範囲に言う第２通液装置としての役割を果たす。

前記溶離液通液機構４２は、可搬容器１内のキレート材（図示せず）に吸着されたインジウムやスズを溶離させるための溶離液を供給する溶離液供給機構４３と、可搬容器１内から溶離液を回収する溶離液回収機構４８とを備える。尚、溶離液は、例えば、塩酸や硫酸あるいは苛性ソーダから構成される。

前記溶離液供給機構４３は、前記溶離液を貯留する溶離液貯留タンク４４と、一端側が溶離液貯留タンク４４に接続し、他端側が可搬容器１の供給部（図示せず）に接続可能となった溶離液供給管４５と、溶離液供給管４５を介して可搬容器１の内部に溶離液を供給する供給ポンプ４６と、溶離液供給管４５の一端側であって供給ポンプ４６よりも下流側に設けられた溶離液供給弁４７などからなり、取付部４１に可搬容器１が取り付けられたときに、溶離液供給管４５の他端側が可搬容器１の供給部（図示せず）に接続するようになっている。

前記溶離液回収機構４８は、回収された溶離液を貯留する溶離液回収タンク４９と、一端側が溶離液回収タンク４９に接続し、他端側が可搬容器１の排出部（図示せず）に接続可能となった溶離液回収管５０と、溶離液回収管５０の一端側に設けられた溶離液回収弁５１などからなり、取付部４１に可搬容器１が取り付けられたときに、溶離液回収管５０の他端側が可搬容器１の排出部（図示せず）に接続するようになっている。

この溶離液供給機構４３及び溶離液回収機構４８では、供給ポンプ４６により、溶離液貯留タンク４４に貯留された溶離液が溶離液供給管４５を介して可搬容器１内に供給される。そして、可搬容器１に供給され、この可搬容器１内を流通した溶離液は、溶離液回収管５０により溶離液回収タンク４９内に回収される。尚、このとき、溶離液供給弁４７及び溶離液回収弁５１は開いた状態に制御され、後述の洗浄液供給弁５７及び洗浄液回収弁６１は閉じた状態に制御される。

前記洗浄液通液機構５２は、可搬容器１の内部を洗浄するための洗浄液を供給する洗浄液供給機構５３と、可搬容器１内から洗浄液を回収する洗浄液回収機構５８とを備える。尚、洗浄液は、例えば、純水から構成される。

前記洗浄液供給機構５３は、前記洗浄液を貯留する洗浄液貯留タンク５４と、一端側が洗浄液貯留タンク５４に接続し、他端側が溶離液供給管４５に溶離液供給弁４７よりも下流側で接続して、この溶離液供給管４５を介し可搬容器１の供給部（図示せず）に接続可能となった洗浄液供給管５５と、洗浄液供給管５５を介して可搬容器１の内部に洗浄液を供給する供給ポンプ５６と、洗浄液供給管５５の供給ポンプ５６よりも下流側に設けられた洗浄液供給弁５７などからなり、取付部４１に可搬容器１が取り付けられたときに、洗浄液供給管５５の他端側が溶離液供給管４５を介して可搬容器１の供給部（図示せず）に接続するようになっている。

前記洗浄液回収機構５８は、回収された洗浄液を貯留する洗浄液回収タンク５９と、一端側が洗浄液回収タンク５９に接続し、他端側が溶離液回収管５０に溶離液回収弁５１よりも上流側で接続して、この溶離液回収管５０を介し可搬容器１の排出部（図示せず）に接続可能となった洗浄液回収管６０と、洗浄液回収管６０に設けられた洗浄液回収弁６１などからなり、取付部４１に可搬容器１が取り付けられたときに、洗浄液回収管６０の他端側が溶離液回収管５０を介して可搬容器１の排出部（図示せず）に接続するようになっている。

この洗浄液供給機構５３及び洗浄液回収機構５８では、供給ポンプ５６により、洗浄液貯留タンク５４に貯留された洗浄液が洗浄液供給管５５及び溶離液供給管４５を介して可搬容器１内に供給される。そして、可搬容器１に供給され、この可搬容器１内を流通した洗浄液は、溶離液回収管５０及び洗浄液回収管６０により洗浄液回収タンク５９内に回収される。尚、このとき、洗浄液供給弁５７及び洗浄液回収弁６１は開いた状態に制御され、溶離液供給弁４７及び溶離液回収弁５１は閉じた状態に制御される。

前記金属回収部（図示せず）は、溶離液回収タンク４９内に貯留された溶離液からインジウムやスズを取り出して回収するように構成される。

前記制御装置６５は、供給ポンプ４６，溶離液供給弁４７及び溶離液回収弁５１を制御して溶離液貯留タンク４４内の溶離液を可搬容器１内に所定時間通液させる処理と、溶離液の通液処理後、供給ポンプ５６，洗浄液供給弁５７及び洗浄液回収弁６１を制御して洗浄液貯留タンク５４内の洗浄液を可搬容器１内に所定時間通液させる処理と、金属回収部（図示せず）により、溶離液回収タンク４９内の溶離液からインジウムやスズを取り出して回収する処理とを行う。

このように構成された吸着材再生装置４０によれば、まず、供給ポンプ４６，溶離液供給弁４７，溶離液回収弁５１，溶離液供給管４５及び溶離液回収管５０により、溶離液貯留タンク４４に貯留された溶離液が可搬容器１内に通液される。これにより、キレート材（図示せず）に吸着されたインジウムやスズがこの溶離液によって溶離し、溶離したインジウムイオンやスズイオンを含む溶離液が溶離液回収タンク４９内に回収される。

この後、供給ポンプ５６，洗浄液供給弁５７，洗浄液回収弁６１，洗浄液供給管５５，溶離液供給管４５，洗浄液回収管６０及び溶離液回収管５０により、洗浄液貯留タンク５４に貯留された洗浄液が可搬容器１内に通液される。これにより、可搬容器１の内部に残存した溶離液がこの洗浄液によって洗い流され、残存した溶離液を含む洗浄液が洗浄液回収タンク５９内に回収される。

また、金属回収部（図示せず）により、溶離液回収タンク４９内に貯留された、インジウムイオンやスズイオンを含む溶離液からインジウムやスズが取り出されて回収される。これにより、可搬容器１のキレート材（図示せず）に吸着されたインジウムやスズ、即ち、基板処理機構１２におけるエッチング処理でエッチング液Ｌに溶解したインジウムやスズが回収される。

そして、最後に、図１乃至図４に基づいて、エッチング処理によりインジウムやスズといった金属が溶解して含まれるようになったエッチング液Ｌを再生する方法について説明する。

基板処理機構１２で貯留槽１１内のエッチング液Ｌによって基板Ｋにエッチング処理が行われている間、通液対象となる可搬容器１を予め設定された時間間隔で交互に切り換えながら、貯留槽１１内のエッチング液Ｌを、第１取付部３１に取り付けた可搬容器１又は第２取付部３２に取り付けた可搬容器１のいずれか一方に選択的に通液させる（ステップＳ１）。これにより、エッチング液Ｌ中の金属成分（インジウムイオンやスズイオン）が可搬容器１内のキレート材（図示せず）に吸着されて除去され、このエッチング液Ｌが再生される。尚、第１取付部３１及び第２取付部３２には、未使用の充填容器１（キレート材（図示せず）にインジウムやスズが吸着されていない可搬容器１）を予め取り付けている。

通液対象となる可搬容器１を切り換えると、使用後の可搬容器１（キレート材（図示せず）にインジウムやスズが吸着された可搬容器１）を未使用の可搬容器１と交換する（ステップＳ２）。即ち、第１取付部３１の可搬容器１から第２取付部３２の可搬容器１に切り換わったときには、第１取付部３１から使用後の可搬容器１を取り外して未使用の可搬容器１を取り付け、第２取付部３２の可搬容器１から第１取付部３１の可搬容器１に切り換わったときには、第２取付部３２から使用後の可搬容器１を取り外して未使用の可搬容器１を取り付ける。尚、上記ステップＳ１及びＳ２の処理が特許請求の範囲に言う処理液再生工程に相当する。

この後、第１取付部３１又は第２取付部３２から取り外した使用後の可搬容器１を、例えば、トラック２などの搬送手段によって処理エリア側から吸着材再生エリア側に搬送する（ステップＳ３）。

そして、吸着材再生エリア側に搬送した使用後の可搬容器１を取付部４１に取り付けた後、溶離液を可搬容器１内に通液させる（ステップＳ４）。これにより、キレート材（図示せず）に吸着されたインジウムやスズが溶離してこのキレート材（図示せず）が再生されるとともに、溶離したインジウムイオンやスズイオンを含む溶離液が溶離液回収タンク４９内に回収される。

この後、溶離液回収タンク４９内の溶離液からインジウムやスズを取り出して回収する（ステップＳ５）。これにより、可搬容器１のキレート材（図示せず）に吸着された（基板処理機構１２におけるエッチング処理でエッチング液Ｌに溶解した）インジウムやスズが回収される。

また、溶離液の通液後、洗浄液を可搬容器１内に通液させ、取付部４１から取り外す（ステップＳ６）。これにより、可搬容器１の内部に残存した溶離液がこの洗浄液によって洗い流され、残存した溶離液を含む洗浄液が洗浄液回収タンク５９内に回収される。尚、上記ステップＳ４及びＳ６の処理が特許請求の範囲に言う吸着材再生工程に相当する。

そして、ステップＳ４及びＳ６の処理を経た再生後の可搬容器１（キレート材（図示せず）にインジウムやスズが吸着されていない可搬容器１）を、例えば、トラック２などの搬送手段によって吸着材再生エリア側から処理エリア側に回送し（ステップＳ７）、処理エリア側で保管する（ステップＳ８）。尚、ステップＳ８で保管した再生後（未使用）の可搬容器１は、ステップＳ２で使用後の可搬容器１と交換する。

以上詳述したように、本例のエッチング液再生方法によれば、処理エリアでエッチング液Ｌ中のインジウムやスズを可搬容器１内のキレート材（図示せず）に吸着させて除去し、使用後の可搬容器１を吸着材再生エリアに搬送してキレート材（図示せず）を再生し、再生後の可搬容器１を処理エリアに回送して再使用するようにしたので、処理エリア側では、可搬容器１内にエッチング液Ｌを通液させてこのエッチング液Ｌ中のインジウムやスズをキレート材（図示せず）に吸着させる設備のみを設置すれば良く、簡単且つ安価な設備でエッチング液Ｌを再生する（再利用可能な状態にする）ことができる。

また、搬送対象をエッチング液Ｌ自体ではなく可搬容器１としているので、重量が軽く取り扱いが容易であり、しかも、搬送コストがタンクローリに比べて非常に低い一般的なトラックで搬送することができる。また、更に、再生後の可搬容器１を処理エリアに回送して再使用しているので、可搬容器１（キレート材（図示せず））を繰り返し使用することができる。これらのことから、エッチング処理によってインジウムやスズが含まれるようになったエッチング液Ｌを低コストで効率的に再生することができる。

また、このようにしてエッチング液Ｌを再生することで、エッチング液Ｌの延命化を図ってその取り替えサイクルを長くすることができるので、新しいエッチング液Ｌの購入費用や使用済のエッチング液Ｌの廃棄費用などを省いてエッチング液Ｌにかかる費用を抑えることや、エッチング液Ｌの交換のために停止させることなく連続的にエッチング処理を行うことができ、基板処理にかかるコストを低く抑えることができる。また、廃棄処分するエッチング液Ｌを減らすことや、エッチング処理によって減少した分だけしか新しいエッチング液Ｌを必要としないようにすることができるので、環境保護に貢献することもできる。更に、エッチング処理を行っている間、常時、可搬容器１内にエッチング液Ｌを通液させるようにしたので、貯留槽１１内のエッチング液Ｌに含まれるインジウムイオンの濃度やスズイオンの濃度を常に一定レベル以下の低い状態に維持することができ、エッチング液Ｌを常に新品と同様の状態に保つことができる。

また、溶離液の通液後に洗浄液を通液し、可搬容器１の内部に残存した溶離液を洗い流すようにしたので、基板処理装置１０でエッチング液Ｌが通液された際にエッチング液Ｌと溶離液とが混ざってエッチング液Ｌの成分が変わり、エッチング処理に悪影響を及ぼすのを有効に防止することができる。

また、可搬容器１内のキレート材（図示せず）にエッチング液Ｌ中のインジウムやスズを吸着させることで、このインジウムやスズを可搬容器１内に濃縮した状態に集めることができ、エッチング液Ｌに溶解したインジウムやスズを回収し易くすることができる。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係る金属回収方法ついて、添付図面に基づき説明する。この第２実施形態では、基板をエッチング液によってエッチングすることによりこのエッチング液に含まれるようになった金属成分を回収するものとして説明する。また、図６は、本発明の第２実施形態に係る金属回収方法を説明するための説明図であり、図７は、第２実施形態に係る金属回収方法を説明するためのフローチャートである。

尚、図３及び図４並びに図６及び図７に示すように、前記可搬容器１は、前記基板処理装置１０、及びエッチング液Ｌに溶解した金属を回収する金属回収装置７０に対して着脱可能に構成される他は、上記と同様の構成を備える。また、前記金属回収装置７０は、図４に示した前記吸着材再生装置４０と同様の構成を備えるが、処理エリアから離隔した回収エリアに配置される点で異なっている（図６参照）。

基板処理機構１２で貯留槽１１内のエッチング液Ｌによって基板Ｋにエッチング処理が行われている間、通液対象となる可搬容器１を予め設定された時間間隔で交互に切り換えながら、貯留槽１１内のエッチング液Ｌを、第１取付部３１に取り付けた可搬容器１又は第２取付部３２に取り付けた可搬容器１のいずれか一方に選択的に通液させる（ステップＳ１１）。これにより、エッチング液Ｌ中の金属成分（インジウムイオンやスズイオン）が可搬容器１内のキレート材（図示せず）によって吸着される。尚、第１取付部３１及び第２取付部３２には、未吸着の充填容器１（キレート材（図示せず）にインジウムやスズが吸着されていない可搬容器１）を予め取り付けている。

通液対象となる可搬容器１を切り換えると、吸着後の可搬容器１（キレート材（図示せず）にインジウムやスズが吸着された可搬容器１）を未吸着の可搬容器１と交換する（ステップＳ１２）。即ち、第１取付部３１の可搬容器１から第２取付部３２の可搬容器１に切り換わったときには、第１取付部３１から吸着後の可搬容器１を取り外して未吸着の可搬容器１を取り付け、第２取付部３２の可搬容器１から第１取付部３１の可搬容器１に切り換わったときには、第２取付部３２から吸着後の可搬容器１を取り外して未吸着の可搬容器１を取り付ける。

この後、第１取付部３１又は第２取付部３２から取り外した吸着後の可搬容器１を、例えば、トラック２などの搬送手段によって処理エリア側から回収エリア側に搬送する（ステップＳ１３）。

そして、回収エリア側に搬送した吸着後の可搬容器１を取付部４１に取り付けた後、溶離液を可搬容器１内に通液させる（ステップＳ１４）。これにより、キレート材（図示せず）に吸着されたインジウムやスズが溶離し、溶離したインジウムイオンやスズイオンを含む溶離液が溶離液回収タンク４９内に回収される。

この後、溶離液回収タンク４９内の溶離液からインジウムやスズを取り出して回収する（ステップＳ１５）。これにより、可搬容器１のキレート材（図示せず）に吸着された（基板処理機構１２におけるエッチング処理でエッチング液Ｌに溶解した）インジウムやスズが回収される。

また、溶離液の通液後、洗浄液を可搬容器１内に通液させ、取付部４１から取り外す（ステップＳ１６）。これにより、可搬容器１の内部に残存した溶離液がこの洗浄液によって洗い流され、残存した溶離液を含む洗浄液が洗浄液回収タンク５９内に回収される。

そして、ステップＳ１４及びＳ１６の処理を経た回収後の可搬容器１（キレート材（図示せず）にインジウムやスズが吸着されていない可搬容器１）を、例えば、トラック２などの搬送手段によって回収エリア側から処理エリア側に回送し（ステップＳ１７）、処理エリア側で保管する（ステップＳ１８）。尚、ステップＳ１８で保管した回収後（未吸着）の可搬容器１は、ステップＳ１２で吸着後の可搬容器１と交換する。

以上詳述したように、本例の金属回収方法によれば、処理エリアでエッチング液Ｌ中のインジウムやスズを可搬容器１内のキレート材（図示せず）に吸着させ、吸着後の可搬容器１を回収エリアに搬送してキレート材（図示せず）に吸着させたインジウムやスズを回収し、回収後の可搬容器１を処理エリアに回送して再使用するようにしたので、エッチング処理によってエッチング液Ｌに溶解したインジウムやスズを効果的に回収することができる。

また、処理エリア側では、可搬容器１内にエッチング液Ｌを通液させてこのエッチング液Ｌ中のインジウムやスズをキレート材（図示せず）に吸着させるだけで良いので、簡単且つ安価な設備で対応することができる。また、可搬容器１内のキレート材（図示せず）にエッチング液Ｌ中のインジウムやスズを吸着させることで、このインジウムやスズを可搬容器１内に濃縮した状態に集めることができ、エッチング液Ｌに溶解したインジウムやスズを回収し易くすることができる。また、搬送対象をエッチング液Ｌ自体ではなく可搬容器１としているので、重量が軽く取り扱いが容易であり、しかも、搬送コストがタンクローリに比べて非常に低い一般的なトラックで搬送することができる。また、更に、回収後の可搬容器１を処理エリアに回送して再使用しているので、可搬容器１（キレート材（図示せず））を繰り返し使用することができる。これらのことから、エッチング処理によってエッチング液Ｌに溶解したインジウムやスズを低コストで効率的に回収することができる。

また、可搬容器１内のキレート材（図示せず）にエッチング液Ｌ中のインジウムやスズを吸着させることで、このインジウムやスズを可搬容器１内に濃縮した状態に集めることができ、エッチング液Ｌに溶解したインジウムやスズを回収し易くすることができる。

また、溶離液の通液後に洗浄液を通液し、可搬容器１の内部に残存した溶離液を洗い流すようにしたので、基板処理装置１０でエッチング液Ｌが通液された際にエッチング液Ｌと溶離液とが混ざってエッチング液Ｌの成分が変わり、エッチング処理に悪影響を及ぼすのを有効に防止することができる。

また、エッチング処理を行っている間、常時、可搬容器１内にエッチング液Ｌを通液させるようにしたので、貯留槽１１内のエッチング液Ｌに含まれるインジウムイオンの濃度やスズイオンの濃度を常に一定レベル以下の低い状態に維持することができ、エッチング液Ｌを常に新品と同様の状態に保つことができる。

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の採り得る具体的な態様は、何らこれに限定されるものではない。

上例では、溶離液の通液後、洗浄液を可搬容器１内に通液させるようにしたが、この処理を省略するようにしても良い。但し、この場合、可搬容器１の内部に残存した溶離液によって貯留槽１１内のエッチング液Ｌの成分が変わる恐れがある。

また、上記ステップＳ３やステップＳ１３で可搬容器１を搬送する際、可搬容器１内のエッチング液Ｌを適宜抜くようにすれば、可搬容器１の重量を軽くして搬送の容易化を図ることができる。

また、前記吸着材再生装置４０及び金属回収装置７０は、図５に示すような吸着材再生装置６６及び金属回収装置７１として構成することもでき、この吸着材再生装置６６及び金属回収装置７１は、溶離液の通液時に可搬容器１が着脱可能に取り付けられる取付部６７と、洗浄液の通液時に可搬容器１が着脱可能に取り付けられる取付部６８とを備える。

この場合、溶離液供給機構４３及び溶離液回収機構４８は、取付部６７に可搬容器１が取り付けられたときに、溶離液供給管４５の他端側及び溶離液回収管５０の他端側が可搬容器１の供給部（図示せず）及び排出部（図示せず）にそれぞれ接続するように構成される。また、洗浄液供給機構５３及び洗浄液回収機構５８は、取付部６８に可搬容器１が取り付けられたときに、洗浄液供給管５５の他端側及び洗浄液回収管６０の他端側が可搬容器１の供給部（図示せず）及び排出部（図示せず）にそれぞれ接続するように構成される。また、溶離液供給弁４７，溶離液回収弁５１，洗浄液供給弁５７及び洗浄液回収弁６１が省略され得る。また、取付部６７，溶離液通液機構４２及び制御装置６５が特許請求の範囲に言う第２通液装置としての役割を果たし、取付部６８，洗浄液通液機構５２及び制御装置６５が特許請求の範囲に言う第３通液装置としての役割を果たす。

そして、上記ステップＳ４やステップＳ１４では、処理エリアから搬送した可搬容器１を取付部６７に取り付けた後、溶離液を可搬容器１内に通液させ、取付部６７から取り外す。また、上記ステップＳ６やステップＳ１６では、溶離液を通液させた可搬容器１を取付部６８に取り付けた後、洗浄液を可搬容器１内に通液させ、取付部６８から取り外す。

また、上例では、制御装置２５を、これが、可搬容器１を予め設定された時間間隔で交互に切り換えながら可搬容器１のいずれか一方に貯留槽１１内のエッチング液Ｌを通液させるように構成したが、これに限られるものではなく、例えば、基板処理機構１２でエッチングされた基板Ｋの枚数や、貯留槽１１内のエッチング液Ｌに含まれるインジウムイオンやスズイオンの濃度を基にエッチング液Ｌを通液させる可搬容器１を切り換えるように構成しても良い。

基板Ｋのエッチング枚数を基に切換制御を行う場合、前記基板処理機構１２は、例えば、処理チャンバ１３の外部又は内部などの適宜位置に配設され、処理チャンバ１３内に搬入される基板Ｋ又は処理チャンバ１３から搬出される基板Ｋを検出するセンサ（図示せず）を更に備え、前記制御装置２５は、前記センサ（図示せず）から得られる出力信号を基に、処理チャンバ１３内に搬入された基板Ｋの枚数又は処理チャンバ１３から搬出された基板Ｋの枚数、即ち、基板処理機構１２でエッチングされた基板Ｋの枚数を計数するとともに、計数した枚数が予め設定された枚数となったときに通液対象となる可搬容器１を交互に切り換えながら貯留槽１１内のエッチング液Ｌを可搬容器１のいずれか一方に通液させる。尚、制御装置２５は、計数した枚数が予め設定された枚数になると、計数値をリセットして再び予め設定された枚数まで計数する。

このようにすれば、計数した枚数が予め設定された枚数となったときに、即ち、エッチング枚数が所定枚数になってキレート材（図示せず）が略飽和状態に達すると推定される枚数となったときに、各切換弁３６，３７，３８，３９が切り換えられてエッチング液Ｌの通液される可搬容器１が切り換えられる。

したがって、このようにしても、可搬容器１の吸着能力が一定に維持され、エッチング液Ｌに含まれるインジウムイオンやスズイオンの濃度が一定レベル以下に抑えられる。

一方、インジウムイオン濃度やスズイオン濃度を基に切換制御を行う場合、前記基板処理装置１０は、貯留槽１１内のエッチング液Ｌに含まれるインジウムイオンの濃度及び／又はスズイオンの濃度を検出する金属イオン濃度検出センサ（図示せず）を更に備え、前記制御装置２５は、金属イオン濃度検出センサ（図示せず）によって検出されるインジウムイオン濃度及び／又はスズイオン濃度が予め設定された基準値よりも高くなったときに通液対象となる可搬容器１を交互に切り換えながら貯留槽１１内のエッチング液Ｌを可搬容器１のいずれか一方に通液させる。

このようにすれば、キレート材（図示せず）が略飽和状態に達してインジウムイオンやスズイオンの吸着能力が低下し、貯留槽１１内のエッチング液Ｌに含まれるインジウムイオンやスズイオンの濃度が上昇して、金属イオン濃度検出センサ（図示せず）により検出されるインジウムイオン濃度及び／又はスズイオン濃度が所定の基準値よりも高くなったときに、各切換弁３６，３７，３８，３９が切り換えられてエッチング液Ｌの通液される可搬容器１が切り換えられる。

したがって、このようにしても、可搬容器１の吸着能力が一定に維持され、エッチング液Ｌに含まれるインジウムイオンやスズイオンの濃度が一定レベル以下に抑えられる。また、可搬容器１の切換制御を経過時間やエッチング枚数で行った場合には、基板処理機構１２におけるエッチング条件やエッチング対象となる基板Ｋの種類などによってエッチング液Ｌに溶解するインジウムやスズの溶解量が異なることから、可搬容器１のキレート材（図示せず）が略飽和状態に達するまでの時間やエッチング枚数を設定し難いが、可搬容器１の切換制御を貯留槽１１内のエッチング液Ｌに含まれるインジウムイオンの濃度及び／又はスズイオンの濃度を基に行うことで、この切換制御をより高精度に実施することができる。

また、エッチング液Ｌを通液させる可搬容器１は、いずれか一方にのみ通液させるのではなく、第１取付部３１に取り付けられた可搬容器１と、第２取付部３２に取り付けられた可搬容器１の両方に同時に通液させるようにしても良い。

また、上例では、基板処理機構１２で基板Ｋをエッチングしている間、可搬容器１に絶えずエッチング液Ｌを通液させるようにしたが、これに限られるものではなく、例えば、エッチング処理を開始してからの経過時間が所定時間になったときや、基板Ｋのエッチング枚数が所定枚数になったとき、貯留槽１１内のエッチング液Ｌに含まれるインジウムイオンやスズイオンの濃度が所定濃度を超えたときに、インジウムイオンやスズイオンを吸着すべく可搬容器１にエッチング液Ｌを通液させるようにしても良い。また、基板処理装置１０は、可搬容器１を３つ以上取付可能に構成しても良い。

また、上例では、可搬容器１を基板処理装置１０に着脱可能に取り付けるようにしたが、これに限られるものではなく、前記貯留槽１１，エッチング液通液機構３０及び制御装置２５などからなるエッチング液処理装置に可搬容器１を着脱可能に取り付けるようにしても良い。このエッチング液処理装置では、エッチング処理に用いられたエッチング液Ｌが複数の適宜タンク内から貯留槽１１内に集められた後、この貯留槽１１内のエッチング液Ｌ中の金属成分が吸着される。尚、金属成分吸着後のエッチング液Ｌは前記各タンク内に戻される。

本発明の第１実施形態に係るエッチング液再生方法を説明するための説明図である。 第１実施形態に係るエッチング液再生方法を説明するためのフローチャートである。 第１実施形態における基板処理装置などの概略構成を示した説明図である。 第１実施形態における吸着材再生装置などの概略構成を示した説明図である。 本発明の他の実施形態における吸着材再生装置（金属回収装置）などの概略構成を示した説明図である。 本発明の第２実施形態に係る金属回収方法を説明するための説明図である。 第２実施形態に係る金属回収方法を説明するためのフローチャートである。

符号の説明

１ 可搬容器
１０ 基板処装置
１１ 貯留槽
１２ 基板処理機構
１３ 処理チャンバ
１４ 搬送ローラ
１５ 流通管
１６ ノズル体
２０ エッチング液循環機構
２１ 供給管
２２ 供給ポンプ
２３ 回収管
２５ 制御装置
３０ エッチング液通液機構
３１ 第１取付部
３２ 第２取付部
３３ エッチング液供給管
３４ エッチング液回収管
４０ 吸着材再生装置
４１ 取付部
４２ 溶離液通液機構
４３ 溶離液供給機構
４４ 溶離液貯留タンク
４５ 溶離液供給管
４６ 供給ポンプ
４８ 溶離液回収機構
４９ 溶離液回収タンク
５０ 溶離液回収管
５２ 洗浄液通液機構
５３ 洗浄液供給機構
５４ 洗浄液貯留タンク
５５ 洗浄液供給管
５６ 供給ポンプ
５８ 洗浄液回収機構
５９ 洗浄液回収タンク
６０ 洗浄液回収管
６５ 制御装置
Ｋ 基板
Ｌ エッチング液

Claims (6)

1. 基板処理により金属成分が含まれるようになった処理液を再生する方法であって、
   前記基板処理を行う処理エリアにおいて、金属イオンを吸着する吸着材が内部に充填された可搬容器内に前記処理液を通液させ、この処理液中の金属成分を前記吸着材に吸着させて分離，除去する処理液再生工程と、
   前記処理液を通液させた可搬容器を、前記処理エリアから離隔したエリアであって前記吸着材を再生する吸着材再生エリアに搬送する第１搬送工程と、
   前記吸着材再生エリアにおいて、前記処理エリアから搬送した可搬容器内に溶離液を通液させ、前記吸着材に吸着された金属を溶離させてこの吸着材を再生する吸着材再生工程と、
   前記吸着材を再生した可搬容器を前記吸着材再生エリアから前記処理エリアに回送する第２搬送工程とからなり、
   前記処理液再生工程では、吸着材再生後の可搬容器を使用するようにしたことを特徴とする処理液再生方法。
2. 前記吸着材再生工程では、前記溶離液を通液させた後、前記可搬容器内に洗浄液を通液させてその内部を洗浄するようにしたことを特徴とする請求項１記載の処理液再生方法。
3. 前記可搬容器に、前記処理液及び溶離液を内部に供給するための供給部と、この供給部から内部に供給された処理液及び溶離液を外部に排出するための排出部とを形成し、
   前記処理液再生工程では、前記可搬容器の供給部に着脱可能に接続して前記処理液を供給する処理液供給管と、前記可搬容器の排出部に着脱可能に接続して前記処理液を回収する処理液回収管とを備えた第１通液装置を用い、前記処理液供給管を前記供給部に、前記処理液回収管を前記排出部にそれぞれ接続した後、前記処理液を前記供給部から前記可搬容器の内部に流入して前記排出部から排出されるように通液させ、この後、前記処理液供給管を前記供給部から、前記処理液回収管を前記排出部からそれぞれ取り外し、
   前記吸着材再生工程では、前記可搬容器の供給部に着脱可能に接続して前記溶離液を供給する溶離液供給管と、前記可搬容器の排出部に着脱可能に接続して前記溶離液を回収する溶離液回収管とを備えた第２通液装置を用い、前記溶離液供給管を前記供給部に、前記溶離液回収管を前記排出部にそれぞれ接続した後、前記溶離液を前記供給部から前記可搬容器の内部に流入して前記排出部から排出されるように通液させ、この後、前記溶離液供給管を前記供給部から、前記溶離液回収管を前記排出部からそれぞれ取り外すようにしたことを特徴とする請求項１記載の処理液再生方法。
4. 前記可搬容器に、前記処理液，溶離液及び洗浄液を内部に供給するための供給部と、この供給部から内部に供給された処理液，溶離液及び洗浄液を外部に排出するための排出部とを形成し、
   前記処理液再生工程は、前記可搬容器の供給部に着脱可能に接続して前記処理液を供給する処理液供給管と、前記可搬容器の排出部に着脱可能に接続して前記処理液を回収する処理液回収管とを備えた第１通液装置を用い、前記処理液供給管を前記供給部に、前記処理液回収管を前記排出部にそれぞれ接続した後、前記処理液を前記供給部から前記可搬容器の内部に流入して前記排出部から排出されるように通液させ、この後、前記処理液供給管を前記供給部から、前記処理液回収管を前記排出部からそれぞれ取り外し、
   前記吸着材再生工程では、前記可搬容器の供給部に着脱可能に接続して前記溶離液及び洗浄液を供給する供給管と、前記可搬容器の排出部に着脱可能に接続して前記溶離液及び洗浄液を回収する回収管とを備えた第２通液装置を用い、前記供給管を前記供給部に、前記回収管を前記排出部にそれぞれ接続した後、前記溶離液を前記供給部から前記可搬容器の内部に流入して前記排出部から排出されるように通液させ、次に、前記洗浄液を前記供給部から内部に流入して前記排出部から排出されるように通液させ、この後、前記供給管を前記供給部から、前記回収管を前記排出部からそれぞれ取り外すようにしたことを特徴とする請求項２記載の処理液再生方法。
5. 前記可搬容器に、前記処理液，溶離液及び洗浄液を内部に供給するための供給部と、この供給部から内部に供給された処理液，溶離液及び洗浄液を外部に排出するための排出部とを形成し、
   前記処理液再生工程では、前記可搬容器の供給部に着脱可能に接続して前記処理液を供給する処理液供給管と、前記可搬容器の排出部に着脱可能に接続して前記処理液を回収する処理液回収管とを備えた第１通液装置を用い、前記処理液供給管を前記供給部に、前記処理液回収管を前記排出部にそれぞれ接続した後、前記処理液を前記供給部から前記可搬容器の内部に流入して前記排出部から排出されるように通液させ、この後、前記処理液供給管を前記供給部から、前記処理液回収管を前記排出部からそれぞれ取り外し、
   前記吸着材再生工程では、前記可搬容器の供給部に着脱可能に接続して前記溶離液を供給する溶離液供給管と、前記可搬容器の排出部に着脱可能に接続して前記溶離液を回収する溶離液回収管とを備えた第２通液装置、及び、前記可搬容器の供給部に着脱可能に接続して前記洗浄液を供給する洗浄液供給管と、前記可搬容器の排出部に着脱可能に接続して前記洗浄液を回収する洗浄液回収管とを備えた第３通液装置を用い、まず、前記溶離液供給管を前記供給部に、前記溶離液回収管を前記排出部にそれぞれ接続して、前記溶離液を前記供給部から前記可搬容器の内部に流入して前記排出部から排出されるように通液させた後、前記溶離液供給管を前記供給部から、前記溶離液回収管を前記排出部からそれぞれ取り外し、次に、前記洗浄液供給管を前記供給部に、前記洗浄液回収管を前記排出部にそれぞれ接続して、前記洗浄液を前記供給部から内部に流入して前記排出部から排出されるように通液させた後、前記洗浄液供給管を前記供給部から、前記洗浄液回収管を前記排出部からそれぞれ取り外すようにしたことを特徴とする請求項２記載の処理液再生方法。
6. 基板処理により処理液中に含まれるようになった金属成分を回収する方法であって、
   金属イオンを吸着する吸着材が内部に充填された可搬容器を用い、
   前記基板処理を行う処理エリアにおいて、前記可搬容器内に前記処理液を通液させてこの処理液中の金属成分を前記吸着材に吸着させ、
   ついで、前記処理エリアから離隔した、前記金属成分を回収する回収エリアに前記可搬容器を搬送し、
   次に、前記回収エリアにおいて、前記可搬容器内に溶離液を通液させて、前記吸着材に吸着された金属を溶離させる処理と、溶離させた金属を通液させた溶離液から回収する処理とを行い、
   この後、前記可搬容器を前記回収エリアから前記処理エリアに回送して再使用するようにしたことを特徴とする処理液に含まれる金属の回収方法。

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