JP2006318997A - パターン形成方法、その装置、現像液処理装置、および、現像廃液の処理方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 良好に現像残渣を分離除去するウェット処理装置を提供する。
【解決手段】 露光処理したワークに現像液を噴出して現像処理した後の処理現像液を、膜分離装置322で、現像残渣を除去した現像処理液と、現像残渣を含む現像濃縮液とに膜分離する。処理現像液は、現像処理で利用する現像液に未使用の現像液を補充する量と略同量で現像濃縮液を排出する条件で膜分離する。現像再生液は、現像液として再利用する。現像濃縮液は、遠心分離装置323Bにてスラリと現像廃液とに分離して別途処理する。
【選択図】 図2
Description
本発明は、フォトリソグラフィにおける現像処理にて基板上にパターンを形成するパターン形成方法、その装置、および、現像液処理装置に関する。
従来、例えばプラズマディスプレイパネル(Plasma Display Panel:PDP)や液晶表示パネルの製造あるいは各種半導体パターンの形成などにおいて、フォトリソグラフィ、すなわち露光して現像液にて現像処理して基板上に各種パターンを形成するパターン形成方法が知られている。そして、パターン形成方法にて利用した現像処理後の現像液を遠心分離により現像液中に含まれる現像残渣を除去し、繰り返し使用する構成が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1に記載のものは、PDP用部材の製造における現像工程で利用した残渣を含んだ現像液を、遠心分離機構のボウル部にフィードバックパイプから挿入し、モータにてボウル部が回転され、2000G以上の遠心効果により、残渣をボウル部外周に沈殿させる。残渣は、減速機によりボウル部と相対差速が与えられてモータにて回転されるスクリューコンベアにより送り出し、脱液した残渣のみを取り出し、清澄した現像液と分離し、連続的に排出している。
しかしながら、上記特許文献1に記載のような遠心力を利用して分離する従来の構成では、現像液と残渣との比重差が小さい場合、残渣を十分に分離できないおそれがある問題点が一例として挙げられる。
本発明は、このような実情などに鑑みて、良好に現像残渣を分離除去するパターン形成方法、その装置、および、現像液処理装置を提供することを1つの目的とする。
請求項1に記載の発明は、フォトリソグラフィにおける現像処理にて基板上にパターンを形成するパターン形成方法であって、前記現像処理後の現像液を、膜分離により、前記現像液中に含まれる現像残渣を除去した現像再生液と前記現像残渣を含む現像濃縮液とに分離することを特徴とするパターン形成方法である。
請求項10に記載の発明は、フォトリソグラフィにおける現像処理にて基板上にパターンを形成するパターン形成方法にて前記現像処理した後の現像液を処理する現像液処理装置であって、前記現像液が流入され、膜分離により、前記現像液中に含まれる現像残渣を除去した現像再生液と、前記現像残渣を含む現像濃縮液と分離して排出可能な膜分離装置を具備したことを特徴とした現像液処理装置である。
請求項11に記載の発明は、フォトリソグラフィにおける現像処理にて基板上にパターンを形成させる現像処理装置と、この現像処理装置の前記現像処理後の現像液を処理する請求項10に記載の現像液処理装置と、を具備したことを特徴としたパターン形成装置である。
請求項12に記載の発明は、フォトリソグラフィにおける現像処理にて基板上にパターンを形成するパターン形成装置であって、前記現像処理後の現像液が流入され、膜分離により、前記現像液中に含まれる現像残渣を除去した現像再生液と、前記現像残渣を含む現像濃縮液とに分離して排出可能な膜分離装置を具備したことを特徴としたパターン形成装置である。
以下に、本発明のパターン形成装置としてのウェット処理装置の一実施の形態の構成について図面を参照して説明する。なお、本実施の形態では、例えばプラズマディスプレイパネル(Plasma Display Panel:PDP)用の電極パターンをフォトリソグラフィ法の現像処理工程を実施するパターン形成装置について例示するが、この限りではない。例えば、PDP用に限らず、液晶表示パネル用など各種部材を対象とすることができる。また、電極パターンを形成する場合に限らず、スイッチング素子やセルを形成するための隔壁あるいは引き出し端子など、各種半導体パターンを形成する構成に適用できる。さらに、パターンを形成する基板として、ガラス基板を例示するが、ガラス基板に限らず、例えば樹脂フィルムなど、いずれの基板を対象とすることができる。また、現像処理として、現像液を噴出する処理を例示するが、例えば現像液中に浸漬して現像するなど、いずれの現像方法を利用できる。図1は、本発明における一実施の形態に係るウェット処理装置の概略構成を示す概念図である。図2は、ウェット処理装置の現像装置の概略構成を示す概念図である。なお、図1は、説明の都合上、現像装置の一部の構成を省略している。
〔ウェット処理装置の構成〕
図1において、100はウェット処理装置で、このウェット処理装置100は、例えばフォトリソグラフィ法により電極パターンをガラス基板上に形成する現像処理を実施する装置である。このウェット処理装置100は、露光装置200と、現像装置300と、水洗装置400と、を備えている。
図1において、100はウェット処理装置で、このウェット処理装置100は、例えばフォトリソグラフィ法により電極パターンをガラス基板上に形成する現像処理を実施する装置である。このウェット処理装置100は、露光装置200と、現像装置300と、水洗装置400と、を備えている。
(露光装置)
露光装置200は、前処理工程でガラス基板上に感光性の電極材料層が形成された被処理物であるワーク10を露光処理する。すなわち、ワーク10の例えば紫外線硬化型の電極材料層が形成された被処理面に、所定のパターンの例えば紫外光を照射して露光し、所定の部位の電極材料層を硬化させる。この露光装置200は、露光処理筐体210を備えている。また、露光処理筐体210の内部には、露光搬送機構220および露光機構230が設けられている。露光処理筐体210は、ワーク10が搬入される位置に露光搬入窓211が開口形成され、ワーク10が搬出される位置に露光搬出窓212が開口形成されている。これら露光搬入窓211および露光搬出窓212は、露光処理が施されている間は閉じる機構を有している。
露光装置200は、前処理工程でガラス基板上に感光性の電極材料層が形成された被処理物であるワーク10を露光処理する。すなわち、ワーク10の例えば紫外線硬化型の電極材料層が形成された被処理面に、所定のパターンの例えば紫外光を照射して露光し、所定の部位の電極材料層を硬化させる。この露光装置200は、露光処理筐体210を備えている。また、露光処理筐体210の内部には、露光搬送機構220および露光機構230が設けられている。露光処理筐体210は、ワーク10が搬入される位置に露光搬入窓211が開口形成され、ワーク10が搬出される位置に露光搬出窓212が開口形成されている。これら露光搬入窓211および露光搬出窓212は、露光処理が施されている間は閉じる機構を有している。
露光搬送機構220は、ワーク10を搬送する例えばローラコンベヤで、複数の搬送ローラ221、図示しないベルト、および、図示しないモータを備えている。これら複数の搬送ローラ221は、軸方向が水平面かつワーク10を搬送する搬送方向に対して直行する方向に沿って所定間隔で配設されている。これら搬送ローラ221の軸方向の一端部は、モータの出力軸に掛け渡されたベルトが掛け渡されている。そして、露光搬送機構220は、モータの駆動により回行するベルトを介して各搬送ローラ221が同方向に回転され、ワーク10を搬送する。なお、ワーク10の搬送経路は、直線状に限らず、適宜屈曲する形態としてもよい。露光機構230は、所定のパターンに対応した図示しない露光マスクを有し、この露光マスクを介して所定のパターンでワーク10を露光する。なお、露光の条件は、使用する感光性材料の種類によって適宜設定される。
(現像装置)
現像装置300は、露光装置200にて露光処理したワーク10を、このワーク10の被処理面に現像液を噴出し、感光せずに硬化しないままガラス基板上に残された未硬化電極材料を溶解し、ワーク10上から除去する装置である。この現像装置300は、ワーク10を現像処理する現像処理装置310と、現像処理した現像液を処理する現像液処理装置320と、を備えている。
現像装置300は、露光装置200にて露光処理したワーク10を、このワーク10の被処理面に現像液を噴出し、感光せずに硬化しないままガラス基板上に残された未硬化電極材料を溶解し、ワーク10上から除去する装置である。この現像装置300は、ワーク10を現像処理する現像処理装置310と、現像処理した現像液を処理する現像液処理装置320と、を備えている。
現像処理装置310は、現像処理筐体311と、現像搬送機構312と、現像液噴出機構313と、を備えている。現像処理筐体311は、現像液に対して耐性を有する材料にて形成されたり、内面が現像液に対して耐性を有する材料で被覆処理されたりして形成されている。この現像処理筐体311には、上述した露光処理筐体210と同様に、露光処理筐体210の露光搬出窓212に略連続して対向する状態に開口しワーク10が搬入される現像搬入窓311Aと、ワーク10が搬出される現像搬出窓311Bとが開口形成されている。これら現像搬入窓311Aおよび現像搬出窓311Bは、現像処理が実施されている間、閉じられる機構を有している。また、現像処理筐体311の底部には、上方に向けて拡開する略漏斗状に形成され、現像処理筐体311内に噴出された現像処理後の現像液である処理現像液を回収する回収部311Cが形成されている。さらに、回収部311Cの底部には、回収した処理現像液を現像液処理装置320へ流出する流出口311Dが開口形成されている。
現像搬送機構312は、上述した露光搬送機構220と同様に、複数の搬送ローラ312Aが図示しないモータの駆動にて回行するベルトにより同方向に回転し、ワーク10を搬送する。なお、現像搬送機構312は、現像処理筐体311と同様に、現像液に対して耐性を有する材料にて形成されたり、内面が現像液に対して耐性を有する材料で被覆処理されたりして形成されていることが好ましい。現像液噴出機構313は、現像液供給管313Aと、噴出装置313Bと、を備えている。現像液供給管313Aは、供給用ポンプ313A1を有し、例えば希炭酸ナトリウム水溶液などの現像液を噴出装置313Bへ供給する。噴出装置313Bは、現像液供給管313Aに接続され、供給される現像液を現像搬送機構312で搬送されるワーク10へ噴出する複数の噴出ノズル313B1を有している。
現像液処理装置320は、現像処理筐体311の回収部311Cの流出口311Dと、現像液噴出機構313の現像液供給管313Aとの間に位置して配設される。この現像液処理装置320は、貯留槽321と、膜分離装置322と、濃縮液処理装置323と、現像再生液貯留槽324と、現像液補充装置325と、などを備えている。貯留槽321は、現像処理筐体311の流出口311Dに、流出管321Aを介して接続されている。この貯留槽321は、回収部311Cで回収された処理現像液が流出管321Aを介して流入され、適宜貯留する。
膜分離装置322は、搬送ポンプ326Aを有した搬送管326を介して貯留槽321に接続され、搬送管326を介して貯留槽321から搬送される処理現像液を、膜分離により、処理現像液中に含まれる現像残渣である未硬化電極材料などを除去した現像再生液と、現像残渣を含む現像濃縮液と、に分離する。この膜分離装置322は、例えば回転型あるいは振動型など、膜の目詰まりを防止する機能を備えたものが好ましい。そして、この膜分離装置322には、搬送管326が接続されて処理現像液が流入する図示しない流入口と、膜分離した現像再生液を流出する図示しない再生液流出口と、膜分離した現像濃縮液を流出する図示しない濃縮液流出口と、が設けられている。この膜分離装置322における膜分離は、現像液補充装置325で補充する現像液の量と略同量で現像濃縮液が濃縮液流出口から排出される条件で処理される。なお、後述する水洗装置400などにて損出する現像液をも考慮した場合には、排出口から排出される現像濃縮液の量は、現像液補充装置325で補充する現像液の量よりも少ない量で排出される。
濃縮液処理装置323は、排出管327を介して膜分離装置322の濃縮液流出口に接続され、排出管327を介して膜分離装置322から流出される現像濃縮液を、遠心分離により、現像残渣分であるスラリと、現像廃液とに、分離する。この濃縮液処理装置323は、ライン外(いわゆるオフライン)に設けられ、例えば濃縮液貯留槽323Aと、遠心分離装置323Bと、を備えている。濃縮液貯留槽323Aは、排出管327を介して膜分離装置322から流出される現像濃縮液が流入されて貯留可能に構成されている。この濃縮液貯留槽323Aでは、流入された現像濃縮液が静置されて例えば溶解する電極材料などが析出可能に構成されている。また、遠心分離装置323Bは、流出ポンプ328Aを有した流出管328を介して濃縮液貯留槽323Aに接続され、流出管328を介して濃縮液貯留槽323Aに貯留する現像濃縮液が流入され、この流入する現像濃縮液をスラリと現像廃液とに遠心分離する。この遠心分離装置323Bは、各種構成が利用できる。そして、分離したスラリは、別途設けられたスラリ処理装置510へ搬出され、適宜処理される。また、分離した現像廃液は、別途設けられた廃液処理装置520へ流出され、廃液として適宜処理される。なお、濃縮液処理装置323としては、遠心分離装置323Bにより遠心分離する構成の他、例えば遠心分離装置323Bを用いず濃縮液貯留槽323Aにて現像残渣分と現像廃液とに沈殿分離する構成、あるいは遠心分離装置323Bに代えて膜分離装置を利用するなど、各種構成を利用したり、これらの構成を適宜組み合わせた構成としたりしてもよい。
現像再生液貯留槽324は、流通ポンプ329Aを有した流通管329を介して膜分離装置322の再生液流出口に接続され、流通管329を介して膜分離装置322から流出する現像再生液が流入されて貯留可能に構成されている。そして、この現像再生液貯留槽324には、現像再生液を現像液として供給させる現像液噴出機構313の現像液供給管313Aが接続されている。なお、現像再生液貯留槽324あるいは流通管329は、膜分離装置322で分離された現像再生液の一部を廃液処理装置520などへ流出させて廃液として適宜処理可能に構成してもよい。
現像液補充装置325は、未使用の現像液を現像液供給管313Aで供給される現像液に補充する装置である。この未使用の現像液の補充は現像液のリフレッシュ化を目的としている。この現像液補充装置325は、調製槽325Aと、補充管325Bと、を備えている。調製槽325Aは、適宜調製された未使用の現像液を貯留可能に構成されている。この調製槽325Aには、補充バルブ325B1を有した補充管325Bの一端が接続されている。また、補充管325Bは、現像液供給管313Aに接続され、調製槽325Aに貯留する現像液を、開度が適宜調整された補充バルブ325B1により所定量で現像液供給管313Aに供給する。この補充する量は、例えば別途設けられた図示しない流量計にて計測する流量に基づいて補充バルブ325B1の開度が適宜調整されて制御される。なお、現像液補充装置325は、現像液供給管313Aに現像液を補充する構成に限らず、例えば現像再生液貯留槽324に貯留する現像再生液に補充する構成としたり、現像再生液貯留槽324からの現像再生液を搬送する現像液供給管313Aと異なる独立した現像液供給管313Aに供給してこの現像液供給管313Aに接続する噴出装置313Bから噴出させて、現像処理筐体311の回収部311Cで別途噴出された現像再生液と合流して補充する構成としたりするなど、いずれの位置で補充する構成とすることができる。また、現像液補充装置325は、間欠的に現像液を補充したり、現像処理の際に連続的に補充したり、いずれの補充タイミングとすることができる。
(水洗装置)
水洗装置400は、現像装置300における現像処理により現像液や現像残渣である未硬化電極材料の塊状体などが付着したワーク10を水洗する装置である。この水洗装置400は、水洗処理筐体410と、水洗搬送機構420と、水洗機構430と、を備えている。水洗処理筐体410は、上述した露光処理筐体210および現像処理筐体311と同様に、現像処理筐体311の現像搬出窓311Bに略連続して対向する状態に開口しワーク10が搬入される水洗搬入窓411と、ワーク10が搬出される水洗搬出窓412とが開口形成されている。そして、これら水洗搬入窓411および水洗搬出窓412は、水洗処理の間、閉じられる機構を有している。
水洗装置400は、現像装置300における現像処理により現像液や現像残渣である未硬化電極材料の塊状体などが付着したワーク10を水洗する装置である。この水洗装置400は、水洗処理筐体410と、水洗搬送機構420と、水洗機構430と、を備えている。水洗処理筐体410は、上述した露光処理筐体210および現像処理筐体311と同様に、現像処理筐体311の現像搬出窓311Bに略連続して対向する状態に開口しワーク10が搬入される水洗搬入窓411と、ワーク10が搬出される水洗搬出窓412とが開口形成されている。そして、これら水洗搬入窓411および水洗搬出窓412は、水洗処理の間、閉じられる機構を有している。
水洗搬送機構420は、上述した露光搬送機構220および現像搬送機構312と同様に、複数の搬送ローラ421が図示しないモータの駆動にて回行するベルトにより同方向に回転し、ワーク10を搬送する。水洗機構430は、ワーク10に洗浄用水が噴出される。この洗浄用水は、図示しない浄化処理装置にて適宜浄化され、循環利用される。そして、水洗搬送機構420で水洗されたワーク10は、次工程を実施する図示しない装置に搬送される。
なお、露光装置200、現像装置300および水洗装置400は、図1にも示すように、露光処理筐体210、現像処理筐体311および水洗処理筐体410とを、一連に連続する構成、すなわち露光搬出窓212および現像搬入窓311Aが略連続する構成、現像搬出窓311Bおよび水洗搬入窓411が略連続する構成に限らず、分離した構成としてもよい。また、露光搬送機構220、現像搬送機構312、および水洗搬送機構420は、一連の構成、すなわち、ウェット処理装置100で1つの搬送機構の構成としてもよい。
〔ウェット処理装置の動作〕
次に、上記ウェット処理装置の動作として、現像処理動作について説明する。
次に、上記ウェット処理装置の動作として、現像処理動作について説明する。
(現像処理)
あらかじめ薄膜形成工程で、ガラス基板上にスクリーン印刷などにより形成した感光性の銀(Ag)電極材料層を設けてワーク10を作成しておく。この薄膜形成工程で作製されたワーク10に、現像処理工程における露光処理工程を実施する。すなわち、ワーク10をウェット処理装置100の露光装置200に搬送する。この露光装置200では、露光搬送機構220の搬送ローラ221上に平面が略水平となる状態に載置されて、適宜開口する露光搬入窓211から露光処理筐体210内に搬送されたワーク10を、所定の露光位置まで搬送する。そして、露光機構230にて図示しない露光マスクを介して、電極材料層が設けられた側となる被処理面に紫外光を照射し、電極材料層を所定のパターンで硬化させる。この露光処理が終了されたワーク10は、露光搬送機構220により適宜開口された露光搬出窓212を介して露光処理筐体210から現像装置300へ搬送される。
あらかじめ薄膜形成工程で、ガラス基板上にスクリーン印刷などにより形成した感光性の銀(Ag)電極材料層を設けてワーク10を作成しておく。この薄膜形成工程で作製されたワーク10に、現像処理工程における露光処理工程を実施する。すなわち、ワーク10をウェット処理装置100の露光装置200に搬送する。この露光装置200では、露光搬送機構220の搬送ローラ221上に平面が略水平となる状態に載置されて、適宜開口する露光搬入窓211から露光処理筐体210内に搬送されたワーク10を、所定の露光位置まで搬送する。そして、露光機構230にて図示しない露光マスクを介して、電極材料層が設けられた側となる被処理面に紫外光を照射し、電極材料層を所定のパターンで硬化させる。この露光処理が終了されたワーク10は、露光搬送機構220により適宜開口された露光搬出窓212を介して露光処理筐体210から現像装置300へ搬送される。
露光搬送機構220から現像搬送機構312へ移送され現像装置300へ搬送されたワーク10は、適宜開口する現像搬入窓311Aから現像処理筐体311内に搬送され、現像処理される。すなわち、現像搬入窓311Aおよび現像搬出窓311Bが閉じられて現像処理可能な状態を、例えば図示しないセンサなどにて検出すると、現像液噴出機構313の供給用ポンプ313A1が駆動し、現像液供給管313Aから噴出装置313Bへ現像液を供給させ、噴出ノズル313B1から現像液をワーク10の全面に噴出される状態、例えばワーク10の上下面へ噴出させる。この現像液の噴出により、露光処理で紫外光が照射されずに未硬化の電極材料が洗い流されるようにワーク10から除去される。そして、未硬化の電極材料は、一部が現像液に溶解され、また残部は塊状体となって現像液とともに現像処理筐体311の回収部311Cに現像残渣として回収される。さらに、回収部311Cに回収された現像処理後の現像残渣を含む現像液である処理現像液は、流出口311Dを介して現像液処理装置320へ流出される。
そして、現像処理が終了されたワーク10は、現像搬送機構312により適宜開口された現像搬出窓311Bを介して現像処理筐体311から水洗装置400へ搬送される。そして、現像搬送機構312から水洗搬送機構420へ移送されて水洗装置400へ搬送されたワーク10は、適宜開口する水洗搬入窓411から水洗処理筐体410内に搬送され、水洗処理される。すなわち、水洗搬入窓411および水洗搬出窓412が閉じられて水洗処理可能な状態を、例えば図示しないセンサなどにて検出すると、水洗機構430が適宜動作し、洗浄用水をワーク10の全面に噴出、例えばワーク10の上下面へ噴出する。この洗浄用水の噴出により、ワーク10に付着する現像液などが洗い流されるようにワーク10から除去される。この水洗処理後の回収した洗浄用水は、図示しない浄化処理装置にて適宜浄化され、水洗機構430で再び洗浄用水として再利用される。この水洗処理後、ワーク10は、水洗搬送機構420により水洗処理筐体410外へ搬出され、適宜次工程に搬送される。
(現像液処理)
現像装置300における現像処理により現像処理筐体311の回収部311Cで回収され、流出口311Dを介して流出された処理現像液は、現像液処理装置320に流入して処理される。すなわち、流出口311Dを介して現像処理筐体311から流出した処理現像液は、貯留槽321に一時貯留され、搬送ポンプ326Aの駆動により搬送管326を介して膜分離装置322へ適宜流入される。この膜分離装置322では、膜表面における処理現像液に適宜剪断力を作用させて膜の目詰まりを防止しつつ、処理現像液をこの処理現像液中に含まれる現像残渣である未硬化電極材料などを除去した現像再生液と、現像残渣を含む現像濃縮液と、に膜分離する。この膜分離の際、現像液補充装置325で補充する現像液の量と略同量で現像濃縮液が濃縮液流出口から排出される条件で処理される。そして、膜分離された現像再生液は、適宜駆動する流通ポンプ329Aにより流通管329を介して現像再生液貯留槽324へ流入され、一時的に貯留される。そして、この貯留する現像再生液は、現像液噴出機構313の供給用ポンプ313A1の駆動により、現像液供給管313Aを流通して噴出装置313Bから、現像液補充装置325により適宜補充される未使用の現像液とともに再び現像液として噴出される。
現像装置300における現像処理により現像処理筐体311の回収部311Cで回収され、流出口311Dを介して流出された処理現像液は、現像液処理装置320に流入して処理される。すなわち、流出口311Dを介して現像処理筐体311から流出した処理現像液は、貯留槽321に一時貯留され、搬送ポンプ326Aの駆動により搬送管326を介して膜分離装置322へ適宜流入される。この膜分離装置322では、膜表面における処理現像液に適宜剪断力を作用させて膜の目詰まりを防止しつつ、処理現像液をこの処理現像液中に含まれる現像残渣である未硬化電極材料などを除去した現像再生液と、現像残渣を含む現像濃縮液と、に膜分離する。この膜分離の際、現像液補充装置325で補充する現像液の量と略同量で現像濃縮液が濃縮液流出口から排出される条件で処理される。そして、膜分離された現像再生液は、適宜駆動する流通ポンプ329Aにより流通管329を介して現像再生液貯留槽324へ流入され、一時的に貯留される。そして、この貯留する現像再生液は、現像液噴出機構313の供給用ポンプ313A1の駆動により、現像液供給管313Aを流通して噴出装置313Bから、現像液補充装置325により適宜補充される未使用の現像液とともに再び現像液として噴出される。
また、膜分離装置322で膜分離された濃縮液流出口から排出される現像濃縮液は、適宜駆動する排出ポンプにより排出管327を介して遠心分離装置323Bへ入力される。そして、遠心分離装置323Bは、流入された現像濃縮液を、遠心分離によりスラリと現像廃液とに分離する。そして、遠心分離した分離液は、廃液処理装置520へ適宜流出されて廃液として処理される。また、遠心分離装置323Bで遠心分離したスラリは、スラリ処理装置510へ搬出され、適宜処理される。なお、このスラリ処理装置510では、スラリを構成する電極部材である銀などを回収する処理を実施する。
〔ウェット処理装置の作用効果〕
上述したように、上記実施の形態では、現像装置300で実施する現像処理後の処理現像液を、膜分離装置322により、処理現像液中に混入する現像残渣を除去した現像処理液と、現像残渣を含む現像濃縮液とに分離している。このため、例えば現像処理における比較的に微細で現像液との比重差が小さく、遠心力による分離では十分に除去しきれないおそれがある現像残渣を含む処理現像液でも、十分に現像残渣を分離除去できる。したがって、処理現像液の処理が容易となり、また現像再生液を再利用する場合でも良好に現像処理でき、良好な現像処理が得られる。さらに、ライン内において、遠心分離のような現像残渣を除去するための大きな遠心力を発生させる特別な構成が不要で、現像装置300における処理現像液を処理する現像液処理装置320の構成が簡略化し、現像液処理装置320の製造性の向上、装置コストの低減、運転コストの低減、設置スペースの縮小化などが容易に得られ、現像残渣の良好な分離除去が簡単な構成で容易にできる。そして、PDP用部材のパターンを基板上に形成する現像処理における比較的に微細で現像液との比重差が小さい現像残渣を除去するために、遠心分離では特に大きな遠心力が必要となる処理でも、容易に良好に分離除去でき、構成の簡略化などが容易に得られ、特に有益である。
上述したように、上記実施の形態では、現像装置300で実施する現像処理後の処理現像液を、膜分離装置322により、処理現像液中に混入する現像残渣を除去した現像処理液と、現像残渣を含む現像濃縮液とに分離している。このため、例えば現像処理における比較的に微細で現像液との比重差が小さく、遠心力による分離では十分に除去しきれないおそれがある現像残渣を含む処理現像液でも、十分に現像残渣を分離除去できる。したがって、処理現像液の処理が容易となり、また現像再生液を再利用する場合でも良好に現像処理でき、良好な現像処理が得られる。さらに、ライン内において、遠心分離のような現像残渣を除去するための大きな遠心力を発生させる特別な構成が不要で、現像装置300における処理現像液を処理する現像液処理装置320の構成が簡略化し、現像液処理装置320の製造性の向上、装置コストの低減、運転コストの低減、設置スペースの縮小化などが容易に得られ、現像残渣の良好な分離除去が簡単な構成で容易にできる。そして、PDP用部材のパターンを基板上に形成する現像処理における比較的に微細で現像液との比重差が小さい現像残渣を除去するために、遠心分離では特に大きな遠心力が必要となる処理でも、容易に良好に分離除去でき、構成の簡略化などが容易に得られ、特に有益である。
そして、膜分離にて分離する現像濃縮液を、現像処理で利用する現像液に未使用の現像液を補充する量と略同量で抽出、すなわち膜分離装置322から排出させる。このため、現像処理に利用される現像液の少なくとも一部が未使用の現像液に順次置換・補充される状態となり、良好な現像処理が実施できる。
また、膜分離にて分離した現像再生液の少なくとも一部は、現像液供給管313Aを介して噴出装置313Bから噴出させて現像処理に再利用している。このため、現像液を有効利用でき、現像処理コストを低減できる。さらに、このように現像処理後の処理現像液を順次分離回収した現像再生液を再利用するインライン構造の構成において、特に大きな遠心力を発生させるための装置の大型化を防止でき、特に構成の簡略化が有効である。
さらに、膜分離にて分離した現像濃縮液を、遠心分離によりスラリと現像廃液とに分離している。このため、処理現像液から膜分離により分離した現像残渣分(現像濃縮液)をさらに固形分濃度が高い状態で分集することができ、処理効率が簡単な構成で向上できるとともに、廃液処理装置520での廃液処理の負荷も低減して、より構成の簡略化が得られる。さらに、遠心分離にて分離したスラリおよび現像廃液は、それぞれスラリ処理装置510および廃液処理装置520で処理してオフラインとしている。このため、例えば、現像廃液中に現像残渣分が混入しないように分離させたり、現像残渣分から現像廃液を十分に脱水させるように分離させたりするなど、分離処理に大きな負荷が要求されず、スラリ処理装置510および廃液処理装置520における後処理の効率化が得られる程度でよく、装置の大型化や処理エネルギの増大などの不都合を生じることを防止できる。そしてさらに、現像濃縮液は、オフラインで排出されて処理されるので、処理現像液中に溶解して分離されない電極材料分が順次排出され、現像再生液中の溶解する電極材料分の濃縮を防止でき、適宜順次補充される未使用の現像液により、現像処理で利用する現像液の現像処理能力が低減することなく、安定した現像処理が得られる。
また、従来の構成においては、処理現像液に対して直接遠心分離処理を行っていたのに対して、本実施の形態では処理現像液よりもスラリ濃度が高い現像濃縮液を遠心分離処理する構成であるので、従来の構成における遠心分離装置に対して本実施の形態で用いる遠心分離装置はより小型な装置を利用することができ、さらには、現像濃縮液を遠心分離することによって、スラリの分離能力が従来の構成に比べ、飛躍的に高くなる。特にPDPの場合、Agなどの高価な金属が電極材料として用いられることが一般的であり、スラリの分離能力、すなわち高価な電極材料の分離能力の向上によって、例えば分離回収した電極材料を再利用することなどにより製造コストを大幅に削減することができるのである。さらに、遠心分離にて分離した分離液を、廃液として処理している。このため、処理現像液中に溶解して分離されないスラリ分が順次排出され、現像再生液中の溶解するスラリ分の濃縮を防止でき、適宜順次補充される未使用の現像液により、現像処理で利用する現像液の現像処理能力が低減することなく、安定した現像処理が得られる。
そして、濃縮液処理装置323として、膜分離した現像濃縮液を遠心分離装置323Bにて直接遠心分離することなく、濃縮液貯留槽323Aに一旦貯留している。このため、上述したように、例えば現像濃縮液の液相中に溶解する電極材料などが析出し、遠心分離された現像廃液中に残留する溶解する電極材料分が固形分側でスラリとしてスラリ処理装置510で処理される割合が増大する。さらに、例えば遠心分離装置323Bにおける分離処理の負荷が軽減されるなど、オフラインにおける現像濃縮液の処理効率の向上が容易に図れる。さらに、一旦貯留し、ある程度のまとまった量で遠心分離するバッチ処理も可能となり、遠心分離処理効率の向上も容易に図れる。
〔実施の形態の変形〕
なお、本発明は、上述した各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲で以下に示される変形をも含むものである。
なお、本発明は、上述した各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲で以下に示される変形をも含むものである。
すなわち、感光性の電極材料層が形成されたワーク10を露光処理した後の現像処理の際に利用する現像液を処理する構成について例示したが、電極材料層を非感光性の材料とし、電極材料層の上に感光性のレジスト層を形成したワークに対しても適応可能である。またその場合、現像処理の際に利用する現像液を処理する場合のみならず、例えば現像処理の次工程であるエッチング処理工程におけるエッチング処理後の処理液を処理する構成に適用が可能である。また、画素を形成するリブ形成工程や形成されたセル内に蛍光体を設ける工程に適用したりするなど、フォトリソグラフィ法により各種パターンを形成する際のいずれの現像処理に適用することができる。また、プラズマディスプレイパネル用の電極パターンを形成するための現像処理を例示したが、パターン形成としては、プラズマディスプレイ用に限らず、液晶表示パネルや有機EL(Electro Luminescence)表示パネル、CRT(Cathode-Ray Tube)、FED(Field Emission Display)、電気泳動ディスプレイパネルなど、いずれの表示装置用のパターン、さらには回路基板やフレキシブルプリント基板など、各種パターンを形成する現像処理に適用できる。
そして、現像処理として、現像液を噴出ノズル313B1から噴出して説明したが、例えばシャワー状に噴出させるノズルや、ノズルが可動式で噴出位置が移動する構成など、いずれの噴出形態を利用できる。また、ワーク10の上下面から噴出して説明したが、この限りではなく、未硬化の電極材料やレジストなどの除去する物質をワーク10から良好に除去できるいずれの噴出形態とすることができる。
また、現像液処理装置320として、貯留槽321と、膜分離装置322と、濃縮液処理装置323と、現像再生液貯留槽324と、現像液補充装置325と、を備えた構成を例示して説明したが、例えば図3に示すように現像再生液貯留槽324を設けず、膜分離後の現像再生液を現像液供給管313Aに直接供給する構成としたり、貯留槽321を設けず、現像処理筐体311の回収部311Cから膜分離装置322へ直接流出させる構成としたりするなど、処理現像液を膜分離にて現像再生液と現像濃縮液とに分離するいずれの構成が適用できる。なお、図3は、本発明の他の実施の形態に係る現像液処理装置の概略構成を示す模式図で、図1および図2に示す実施の形態と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。さらに、回収した現像再生液を再利用せず、例えば廃液処理装置520にて現像廃液として処理し、現像処理では未使用の現像液を利用するなどしてもよい。
さらに、例えば図4に示すように、膜分離した現像再生液をさらに膜分離してもよい。なお、図4は、本発明のさらに他の実施の形態に係る現像液処理装置の概略構成を示す模式図で、図1および図2に示す実施の形態と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。図4において、現像液処理装置600は、貯留槽321と、膜分離装置322と、膜分離装置である再生液膜分離装置610と、濃縮液処理装置323と、図示しない現像再生液貯留槽と、図示しない現像液補充装置と、などを備えている。そして、膜分離装置322で分離した現像濃縮液は、濃縮液処理装置323へ流出、すなわち濃縮液貯留槽323Aへ流入させて適宜貯留した後に遠心分離装置323Bにてスラリと現像廃液とに遠心分離する。一方、膜分離装置322で分離した現像再生液は、前段流通ポンプ621を有した前段流通管620を介して再生液膜分離装置610に順次流入され、現像再生液としての二次現像再生液と、現像濃縮液としての二次現像濃縮液とに膜分離される。そして、分離された二次現像再生液は、流通ポンプ329Aを有した流通管329を介して図示しない現像再生液貯留槽へ流入され、現像処理の現像液として再利用される。また、再生液膜分離装置610で分離した二次現像濃縮液は、濃縮液処理装置323へ流出されて処理される。すなわち、二次現像濃縮液は、後段排出管630を介して濃縮液処理装置323の濃縮液貯留槽323Aへ流入され、膜分離装置322で別途分離された現像濃縮液とともに適宜貯留された後、遠心分離装置323Bにより、スラリと現像廃液とに遠心分離され、それぞれスラリ処理装置510および廃液処理装置520で適宜処理される。この図4に示す実施の形態でも、上述した図1に示す実施の形態と同様の作用効果、すなわち十分に現像残渣を分離除去できる。さらに、この図3に示す実施の形態によれば、現像再生液を多段の膜処理にて処理されるので、現像処理に現像液として再利用する現像再生液の現像残渣除去率が向上し、より良好な現像処理が得られる。また、最終的に排出される二次現像濃縮液の濃度が高くなり、遠心分離装置323Bでの分離処理の負荷が軽減される。また、それに伴いAgなどの電極材料の分離回収能力をあげることができる。また、再生液膜分離装置610から回収される現像再生液、すなわち二次現像再生液の純度が高くなり、高い現像処理能力を確保することができる。
なお、膜分離装置322で膜分離した現像再生液をさらに分離処理する構成としては、図4に示すような再生液膜分離装置610を設けた2段の膜分離に限らず、さらに多段に膜分離してもよい。そして、多段にて膜分離する際には、例えば順次膜の目の細かさが小さくなるようにして膜処理時の膜の負荷が低減するようにするなどしてもよい。さらには、膜分離した現像再生液をさらに膜分離する処理に限らず、遠心分離や沈殿分離など、他の分離方法を組み合わせてもよい。
また、例えば図5に示すように、膜分離した現像濃縮液を、濃縮液処理装置323で処理する前にさらに膜分離してもよい。なお、図5は、本発明のさらに他の実施の形態に係る現像液処理装置の概略構成を示す模式図で、図1および図2に示す実施の形態と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。図5において、現像液処理装置700は、貯留槽321と、膜分離装置322と、膜分離装置である濃縮液膜分離装置710と、濃縮液処理装置323と、図示しない現像再生液貯留槽と、図示しない現像液補充装置と、などを備えている。そして、膜分離装置322で分離した現像再生液は、流通ポンプ329Aを有した流通管329を介して図示しない現像再生液貯留槽へ流入させ、現像処理の現像液として再利用される。一方、膜分離装置322で分離した現像濃縮液は、前段貯留槽720へ流入されて適宜貯留される。そして、現像濃縮液は、前段流出ポンプ731が適宜駆動して前段流出管730を介して濃縮液膜分離装置710に順次流入され、現像再生液としての二次現像再生液と、現像濃縮液としての二次現像濃縮液とに膜分離される。そして、分離された二次現像再生液は、後段流通ポンプ741が適宜駆動されて後段流通管740を介して図示しない現像再生液貯留槽へ流入され、膜分離装置で分離された現像再生液とともに貯留され、現像処理の現像液として再利用される。また、分離された二次現像濃縮液は、濃縮液処理装置323へ流出されて処理、すなわち後段流出管751を介して濃縮液処理装置323の濃縮液貯留槽323Aへ流入されて適宜貯留された後、遠心分離装置323Bにより、スラリと現像廃液とに遠心分離され、それぞれスラリ処理装置510および廃液処理装置520で適宜処理される。この図5に示す実施の形態でも、上述した図1に示す実施の形態と同様の作用効果、すなわち十分に現像残渣を分離除去できる。さらに、この図5に示す実施の形態によれば、現像濃縮液を多段の膜処理にて処理するので、オフラインで廃液として処理される現像濃縮液から、現像処理で再利用できる現像再生液をさらに抽出でき、現像処理における運転コストの低減が容易に得られるとともに、後工程の遠心分離装置323B、スラリ処理装置510および廃液処理装置520における処理負荷を低減でき、処理コストの低減も容易に得られる。また、最終的に排出される二次現像濃縮液の濃度が高くなり、遠心分離装置323Bでの分離処理の負荷が軽減される。また、それに伴いAgなどの電極材料の分離回収能力をあげることができる。
そして、膜分離装置322で膜分離した現像濃縮液をさらに分離処理する構成としては、図5に示すような濃縮液膜分離装置710を設けた2段の膜分離に限らず、さらに多段に膜分離してもよい。そして、多段にて膜分離する際には、例えば順次膜の目の細かさが小さくなるようにして膜処理時の膜の負荷が低減するようにするなどしてもよい。さらには、膜分離した現像再生液をさらに膜分離する処理に限らず、遠心分離や沈殿分離など、他の分離方法を組み合わせてもよい。
また、現像濃縮液を処理する濃縮液処理装置323として、現像濃縮液を一旦貯留する濃縮液貯留槽323Aを設けて説明したが、この濃縮液貯留槽323Aを設けず、膜分離装置322から流出する現像濃縮液を遠心分離装置323Bで直接してもよい。このような構成によれば、より現像液処理装置320の構成の簡略化・小型化が容易に得られる。
さらに、現像濃縮液を濃縮液処理装置323で処理して説明したが、この濃縮液処理装置323を設けず、例えば廃液処理装置520で直接的に廃液処理してもよい。また、現像濃縮液を遠心分離にてスラリと分離液とに分離して説明したが、遠心分離に限らず、例えば膜分離あるいは沈殿分離を実施してもよく、これらをさらに組み合わせてもよい。
そして、ワーク10を搬送する構成として、搬送ローラ221,312A,421を備えたいわゆるローラコンベヤの構成を例示したが、例えばワーク10の周縁を保持する回行するベルトにて搬送するいわゆるベルトコンベヤや、ワーク10を吊り下げ支持しつつ搬送するコンベヤなど、いずれの搬送機構を適用できる。なお、ウェット処理装置100として、露光処理が良好に実施でき、現像液や洗浄用水を噴出させて現像残渣などを除去できる搬送機構で、搬送形態が露光処理、現像処理、水洗処理で変更しない構成とすることが好ましい。
その他、本発明の実施の際の具体的な構造および手順は、本発明の目的を達成できる範囲で他の構造などに適宜変更できる。
〔実施の形態の作用効果〕
上述したように、現像装置300で実施する現像処理後の処理現像液を、膜分離装置322により、処理現像液中に混入する現像残渣を除去した現像処理液と、現像残渣を含む現像濃縮液とに分離している。このため、例えばPDP用部材のパターンを基板上に形成する現像処理における比較的に微細で現像液との比重差が小さく、遠心力による分離では十分に除去しきれないおそれがある現像残渣を含む処理現像液でも、十分に現像残渣を分離除去できる。
上述したように、現像装置300で実施する現像処理後の処理現像液を、膜分離装置322により、処理現像液中に混入する現像残渣を除去した現像処理液と、現像残渣を含む現像濃縮液とに分離している。このため、例えばPDP用部材のパターンを基板上に形成する現像処理における比較的に微細で現像液との比重差が小さく、遠心力による分離では十分に除去しきれないおそれがある現像残渣を含む処理現像液でも、十分に現像残渣を分離除去できる。
100……パターン形成装置としてのウェット処理装置
300……現像装置
310……現像処理装置
320,600,700……現像液処理装置
322……膜分離装置
323B…遠心分離装置
610……膜分離装置である再生液膜分離装置
710……膜分離装置である濃縮液膜分離装置
300……現像装置
310……現像処理装置
320,600,700……現像液処理装置
322……膜分離装置
323B…遠心分離装置
610……膜分離装置である再生液膜分離装置
710……膜分離装置である濃縮液膜分離装置
Claims (12)
- フォトリソグラフィにおける現像処理にて基板上にパターンを形成するパターン形成方法であって、
前記現像処理後の現像液を、膜分離により、前記現像液中に含まれる現像残渣を除去した現像再生液と前記現像残渣を含む現像濃縮液とに分離する
ことを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項1に記載のパターン形成方法であって、
前記現像処理で利用する現像液に未使用の現像液を補充する量と略同量、または前記補充する量よりも少ない量の前記現像濃縮液を分離する条件で前記膜分離を実施する
ことを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項1または請求項2に記載のパターン形成方法であって、
前記現像再生液を、膜分離により、前記現像再生液中に含まれる前記現像残渣を除去した二次現像再生液と、前記現像残渣を含む二次現像濃縮液とに分離する
ことを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項1または請求項2に記載のパターン形成方法であって、
前記現像濃縮液を、膜分離により、前記現像濃縮液中に含まれる前記残渣を除去した二次現像再生液と、前記現像残渣を含む二次現像濃縮液とに分離する
ことを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項1または請求項2に記載のパターン形成方法であって、
前記現像再生液の少なくとも一部を前記現像処理に再利用する
ことを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項3または請求項4に記載のパターン形成方法であって、
前記二次現像再生液の少なくとも一部を前記現像処理に再利用する
ことを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項1または請求項2に記載のパターン形成方法であって、
前記現像濃縮液を遠心分離により前記現像残渣と現像廃液とに分離する
ことを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項3または請求項4に記載のパターン形成方法であって、
前記二次現像濃縮液を遠心分離により前記現像残渣と現像廃液とに分離する
ことを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項1ないし請求項8のいずれかに記載のパターン形成方法であって、
プラズマディスプレイパネル用のパターンを前記基板上に形成する前記フォトリソグラフィにおける現像処理後の現像液を膜分離する
ことを特徴とするパターン形成方法。 - フォトリソグラフィにおける現像処理にて基板上にパターンを形成するパターン形成方法にて前記現像処理した後の現像液を処理する現像液処理装置であって、
前記現像液が流入され、膜分離により、前記現像液中に含まれる現像残渣を除去した現像再生液と、前記現像残渣を含む現像濃縮液と分離して排出可能な膜分離装置を具備した
ことを特徴とした現像液処理装置。 - フォトリソグラフィにおける現像処理にて基板上にパターンを形成させる現像処理装置と、
この現像処理装置の前記現像処理後の現像液を処理する請求項10に記載の現像液処理装置と、
を具備したことを特徴としたパターン形成装置。 - フォトリソグラフィにおける現像処理にて基板上にパターンを形成するパターン形成装置であって、
前記現像処理後の現像液が流入され、膜分離により、前記現像液中に含まれる現像残渣を除去した現像再生液と、前記現像残渣を含む現像濃縮液とに分離して排出可能な膜分離装置を具備した
ことを特徴としたパターン形成装置。
Priority Applications (1)
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ID=37539420
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A621 | Written request for application examination |
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A762 | Written abandonment of application |
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