TWI418657B - 玻璃蝕刻液回收分配裝置 - Google Patents
玻璃蝕刻液回收分配裝置 Download PDFInfo
- Publication number
- TWI418657B TWI418657B TW100133413A TW100133413A TWI418657B TW I418657 B TWI418657 B TW I418657B TW 100133413 A TW100133413 A TW 100133413A TW 100133413 A TW100133413 A TW 100133413A TW I418657 B TWI418657 B TW I418657B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- etching liquid
- distribution
- main pipe
- etchant
- motor
- Prior art date
Links
Landscapes
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Weting (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
本發明係有關於一種玻璃蝕刻液回收分配裝置,特別是將使用過之大量玻璃蝕刻液分別流入不同的分配槽,以進行過濾與回收。
一般顯示器之玻離基板蝕刻薄化所使用的氫氟酸蝕刻液之體積非常龐大,蝕刻液重量高達到3.6噸,而且經過蝕刻後之蝕刻液含有大量的玻離砂,無法使用單一槽體進行回收過濾,必須將蝕刻液排放至不同之槽體進行回收過濾,如果使用一般閥門進行流體分配排放至不同之槽體,玻離砂蝕刻液常常會損壞到閥門(Valve)之密封材質(Seal),而必須時常進行維修保養,所以無法達到有效分配排放之目的。
故有一種需求,能將使用過之大量玻璃蝕刻液分別流入不同的分配槽,以進行過濾與回收。
本發明即針對此一需求,提出一種能解決以上缺點之裝置。
本發明之目的在提供一種玻璃蝕刻液回收分配裝置,使蝕刻液經由分配裝置分別流入不同的分配槽,便於分量進行蝕刻液之過濾與回收。
本發明之次一目的在提供一種玻璃蝕刻液回收分配裝置,使蝕刻液經由分配裝置分別流入不同的分配槽,避免蝕刻液損壞閥門。
為達成上述目的及其他目的,本發明之第一觀點教導一種玻璃蝕刻液回收分配裝置,使用過之大量璃蝕刻液要排放時,經由分配裝置分別流入不同的分配槽,便於分量進行蝕刻液之過濾與回收,包括:一個蝕刻液進入口,與蝕刻機台之蝕刻液排出口相對以收集蝕刻液;一個主管路,為抗酸鹼材質,可在軸承座內轉至一定角度;一個蝕刻液出口,於主管路轉至一定角度時對正分配槽之一,以排出蝕刻液;一個馬達,如氣動馬達,提供主管路轉動之動力,使用外罩與化學品作區隔,以免被腐蝕;一個主動齒輪,傳送馬達之動力至傳動齒輪;一個傳動齒輪,傳送主動齒輪之動力至主管路,使之旋轉;一個定位感測器,調整主管路之旋轉角度,使得主管路之蝕刻液出口能夠對應到所要流入之分配槽的開口;1至5個分配槽,一般為2至3個,收集使用過之璃蝕蝕刻液以進行過濾與回收。
本發明之以上及其他目的及優點參考以下之參照圖示及最佳實施例之說明而更易完全瞭解。
請參考第1圖,第1圖係依據本發明實施例之玻璃蝕刻液回收分配裝置之透視圖。玻璃蝕刻液回收分配裝置100之蝕刻液進入口102與蝕刻機台之蝕刻液排出口相對以收集蝕刻液,主管路112為抗酸鹼材質,可在軸承座204(見第2圖)內轉至不同角度,蝕刻液出口202於主管路112轉至一定角度時對正分配槽114、116、118之一,以排出蝕刻液,馬達104為氣動馬達,提供主管路112轉動之動力,使用外罩106與化學品作區隔,以免被腐蝕,主動齒輪108傳送馬達104之動力至傳動齒輪110,傳動齒輪110傳送主動齒輪108之動力至主管路112使之旋轉,定位感測器210調整主管路112之旋轉角度,使得主管路112之蝕刻液出口202能夠對應到所要流入之分配槽114、116、118(可為1至5個,一般為2至3個,本例為三個)的開口。
第2圖顯示玻璃蝕刻液回收分配裝置之側面剖面圖。蝕刻液進入口102與蝕刻機台之蝕刻液排出口202相對以收集蝕刻液,馬達104使用外罩106與化學品作區隔,以免被腐蝕,主動齒輪108傳送馬達104之動力至傳動齒輪110,傳動齒輪110傳送主動齒輪108之動力至主管路112使之旋轉,主管路112可在軸承座204內轉至不同角度,定位感測器210調整主管路112之旋轉角度。
第3圖顯示玻璃蝕刻液回收分配裝置之正面剖面圖。顯示分配槽114、116與主管路112及蝕刻液排出口202之關係。其他與第2圖相同。
藉由以上較佳之具體實施例之詳述,係希望能更加清楚描述本創作之特徵與精神,而並非以上述所揭露的較佳具體實例來對本發明之範疇加以限制。相反的,其目的是希望能涵蓋各種改變及具相等性的安排於本發明所欲申請之專利範疇內。
100...玻璃蝕刻液回收分配裝置
102...蝕刻液進入口
104...馬達
106...外罩
108...主動齒輪
110...傳動齒輪
112...主管路
114...分配槽1
116...分配槽2
118...分配槽3
202...蝕刻液出口
204...軸承座
206...軸環
210...定位感測器
第1圖為
第2圖係依據本發明實施例第3圖顯示偵測網之側面透視圖;
100...玻璃蝕刻液回收分配裝置
102...蝕刻液進入口
104...馬達
106...外罩
108...主動齒輪
110...傳動齒輪
112...主管路
114...分配槽1
116...分配槽2
118...分配槽3
Claims (4)
- 一種玻璃蝕刻液回收分配裝置,使用過之大量璃蝕刻液要排放時,經由分配裝置分別流入不同的分配槽,便於分量進行蝕刻液之過濾與回收,至少包含:一個蝕刻液進入口,與蝕刻機台之蝕刻液排出口相對以收集蝕刻液;一個主管路,可在軸承座內轉至不同角度;一個蝕刻液出口,於該主管路轉至一定角度時對正分配槽之一,以排出蝕刻液;一個馬達,提供該主管路轉動之動力,使用外罩與化學品作區隔,以免被腐蝕;一個主動齒輪,傳送馬達之動力至傳動齒輪;一個傳動齒輪,傳送主動齒輪之動力至主管路,使之旋轉;一個定位感測器,調整主管路之旋轉角度,使得主管路之蝕刻液出口能夠對應到所要流入之分配槽的開口;多個分配槽,收集使用過之璃蝕蝕刻液以進行過濾與回收。
- 如申請專利範圍第1裝置,其中該馬達為氣動馬達。
- 如申請專利範圍第1裝置,其中該分配槽為1至5個。
- 如申請專利範圍第1裝置,其中該主管路為抗酸鹼材質。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW100133413A TWI418657B (zh) | 2011-09-16 | 2011-09-16 | 玻璃蝕刻液回收分配裝置 |
CN2012103235118A CN102992636A (zh) | 2011-09-16 | 2012-09-04 | 玻璃蚀刻液回收分配装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW100133413A TWI418657B (zh) | 2011-09-16 | 2011-09-16 | 玻璃蝕刻液回收分配裝置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201313957A TW201313957A (zh) | 2013-04-01 |
TWI418657B true TWI418657B (zh) | 2013-12-11 |
Family
ID=47921826
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW100133413A TWI418657B (zh) | 2011-09-16 | 2011-09-16 | 玻璃蝕刻液回收分配裝置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102992636A (zh) |
TW (1) | TWI418657B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115784624B (zh) * | 2022-11-23 | 2023-11-17 | 湖南邵虹特种玻璃股份有限公司 | 一种玻璃蚀刻加工台的夹持座及其操作方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030051813A1 (en) * | 2001-09-19 | 2003-03-20 | Yuan-Yuan Chiang | Recycling apparatus |
TW200619426A (en) * | 2004-12-14 | 2006-06-16 | Au Optronics Corp | Etching liquid reclaim system and method |
CN101028919A (zh) * | 2006-02-27 | 2007-09-05 | 三菱化学工程株式会社 | 氟酸的回收方法 |
JP2008280580A (ja) * | 2007-05-10 | 2008-11-20 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 処理液再生方法及び処理液に含まれる金属の回収方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001207276A (ja) * | 1999-10-25 | 2001-07-31 | Kyodo Kumiai Nagano Recycle Techno | エッチング廃液の再生及び金属の回収装置 |
CN101760744B (zh) * | 2008-12-24 | 2011-07-20 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 多种化学品药液分离、重复使用装置 |
CN201565291U (zh) * | 2009-11-20 | 2010-09-01 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 多种化学品分类排放回收系统 |
-
2011
- 2011-09-16 TW TW100133413A patent/TWI418657B/zh active
-
2012
- 2012-09-04 CN CN2012103235118A patent/CN102992636A/zh active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030051813A1 (en) * | 2001-09-19 | 2003-03-20 | Yuan-Yuan Chiang | Recycling apparatus |
TW200619426A (en) * | 2004-12-14 | 2006-06-16 | Au Optronics Corp | Etching liquid reclaim system and method |
CN101028919A (zh) * | 2006-02-27 | 2007-09-05 | 三菱化学工程株式会社 | 氟酸的回收方法 |
JP2008280580A (ja) * | 2007-05-10 | 2008-11-20 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 処理液再生方法及び処理液に含まれる金属の回収方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102992636A (zh) | 2013-03-27 |
TW201313957A (zh) | 2013-04-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10741427B2 (en) | Coating apparatus for reducing waste of coating liquid, method for recycling coating liquid by utilization of the same, and method for cleaning the same | |
WO2015137410A1 (ja) | 処理装置 | |
TWI418657B (zh) | 玻璃蝕刻液回收分配裝置 | |
CN202962034U (zh) | 管路杂质分离器 | |
CN105487353A (zh) | 一种液体涂布装置 | |
CN206837626U (zh) | 一种提篮式过滤器 | |
CN204219961U (zh) | 高效包衣机除尘装置 | |
CN207294891U (zh) | 避免二次蚀刻的蚀刻机 | |
CN206608388U (zh) | 油箱和回油系统 | |
TWM562188U (zh) | 切削液過濾機動力結構 | |
RU141740U1 (ru) | Система удаления донных отложений из нефтяного резервуара | |
CN204591629U (zh) | 抽真空装置 | |
CN206035736U (zh) | 泵体保护装置 | |
CN205055603U (zh) | 一种cip双联过滤器 | |
KR20200016465A (ko) | 냉각 습식 스크러버 | |
WO2020057048A1 (zh) | 清洁装置及清洁系统 | |
JP4443447B2 (ja) | ストレーナ及び発電所の海水冷却系統構成 | |
CN209318370U (zh) | 一种自动磷化生产线酸洗池清洗装置 | |
CN215110798U (zh) | 一种带有除垢阻垢功能的球阀 | |
KR101157168B1 (ko) | 물에 함유된 기포의 제거장치 | |
CN207033779U (zh) | 一种从有色金属中提炼黄金的液下泵 | |
CN205715752U (zh) | 汽车用放水阀及使用该放水阀的汽车 | |
CN206240223U (zh) | 一种废气预处理装置 | |
CN102335663B (zh) | 轴承箱冷却管道清洗装置及其使用方法 | |
CN204493185U (zh) | 双螺杆泵多套集装式机封串联冲洗结构 |