JP2008270667A - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体発光素子1は、n型基板10の一方の主面上に、n型クラッド層12,光活性層13およびp型クラッド層14が順に形成された半導体層11を有し、この半導体層11の上にp型キャップ層21〜23が形成されている。これらの上に更に各々所定領域において第1絶縁層71,第2絶縁層72および金属層73が順に形成されている。第2絶縁層72の材料のエッチングレートは第1絶縁層71の材料のエッチングレートより大きくされている。
【選択図】図3
Description
Claims (4)
- 基板上に形成され光活性層を含む半導体層と、前記半導体層の上に設けられた電極パッド部と、前記半導体層の上に溝部を挟んで互いに並列して設けられ前記電極パッド部から近い順に第1リッジ部および第2リッジ部を含む複数のリッジ部と、を備え、
前記複数のリッジ部それぞれの両側において各リッジ部の側壁面から前記溝部の底面まで形成された第1絶縁層と、
前記第2リッジ部の前記電極パッド部側の前記溝部の底面から前記電極パッド部まで形成された第2絶縁層と、
前記第2リッジ部の前記電極パッド部側と反対側の前記溝部の底面から前記電極パッド部まで形成された金属層と、
が順に形成され、
前記第2絶縁層の材料のエッチングレートが前記第1絶縁層の材料のエッチングレートより大きく、
前記金属層が前記第2リッジ部の上面に電気的に接続されている、
ことを特徴とする半導体発光素子。 - 前記溝部の底面において前記基板まで達する素子分離溝が形成され、
前記素子分離溝の内壁面および底面に第1絶縁層および第2絶縁層が形成されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。 - 基板上に形成され光活性層を含む半導体層と、前記半導体層の上に設けられた電極パッド部と、前記半導体層の上に前記電極パッド部から近い順に第1リッジ部および第2リッジ部を含み溝部を挟んで互いに並列して設けられた複数のリッジ部と、を備える半導体発光素子を製造する方法であって、
前記複数のリッジ部それぞれの両側において各リッジ部の側壁面から前記溝部の底面まで第1絶縁層を形成する第1絶縁層形成工程と、
前記第2リッジ部の前記電極パッド部側の前記溝部の底面から前記電極パッド部まで、前記第1絶縁層の材料のエッチングレートより大きい材料からなる第2絶縁層を形成する第2絶縁層形成工程と、
前記第2リッジ部の前記電極パッド部側と反対側の前記溝部の底面から前記電極パッド部まで、前記第2リッジ部の上面に電気的に接続される金属層を形成する金属層形成工程と、
を順に行うことを特徴とする半導体発光素子製造方法。 - 前記溝部の底面において前記基板まで達する素子分離溝を形成した後、前記第1絶縁層形成工程,前記第2絶縁層形成工程および前記金属層形成工程を順に行い、
前記第1絶縁層形成工程では、前記素子分離溝の内壁面および底面にも前記第1絶縁層を形成し、
前記第2絶縁層形成工程では、前記素子分離溝の内壁面および底面にも前記第2絶縁層を形成する、
ことを特徴とする請求項3に記載の半導体発光素子製造方法。
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