JP2008258473A - 電子部品圧着装置および電子部品圧着方法 - Google Patents
電子部品圧着装置および電子部品圧着方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】加圧ステージ2の貫通穴2bより高圧エアーを噴出し、エアーの流量を各貫通穴2bごと個別に流量センサー17にて測定して、4箇所の流量差を流量検出部14にて演算し、ツール1と加圧ステージ2との平行度のズレ量に変換する。そのズレ量に関するデータに基づきコントローラ部15より加圧ステージ2の下に設置された傾き調整部6に指令信号を出力する。傾き調整部6では、指令信号を受けて2個のモータ11,12が回転して、ボールネジ9,16を回転駆動させテーパブロック7,8を前後させることにより、加圧ステージ2を傾けることによってツール1との平行度を自動調整する。
【選択図】図1
Description
流量Q=120×S(P1+0.1)SQRT[293/(273+t)]‥‥(1)
式(1)において、Q:流量(dm3/min)、S:断面積(mm2)、P1:圧力(MPa)、t:温度(℃)である。
1a ツールの下面(電子部品保持面)
2 加圧ステージ
2a 加圧ステージの上面(電子部品保持面)
4 高圧エアー配管
5 荷重測定器
6 傾き調整部
7,8 テーパブロック
9,16 ボールネジ
10 電子部品圧着装置
11,12 モータ
13 傾き検出部
14 流量検出部
15 コントローラ部
17 流量センサー
18 電子部品
19 基板
Claims (4)
- 電子部品を基板に圧着する電子部品圧着装置であって、
前記基板を保持するステージと、
前記電子部品を前記基板に押し付け圧着するツールと、
前記ステージに設けられた3個以上の貫通穴と、
前記貫通穴に流体を供給する流体制御部と、
前記3個以上の貫通穴に流す流体の流量を個別に測定する流量センサーと、
前記ステージの傾きを調整する傾き調整部と、
を備えたことを特徴とする電子部品圧着装置。 - 前記ステージに取り付けられて、前記電子部品の加圧方向に垂直でかつ互いに直交する2方向の荷重と、加圧方向に平行な1方向の荷重との3方向の荷重を検出する荷重測定器と、
前記加重測定器で測定した前記3方向に発生する荷重値と、予め設定されている3方向荷重値の許容値とを比較して、電子部品の加圧傾き量を演算する傾き検出部と、
前記流量センサーの流量差を演算できる流量検出部と、
前記傾き検出部と前記流量検出部との値により前記ステージと前記ツールとの平行度を計算し、前記計算結果に基づいて前記傾き調整部を動作させるコントローラ部と、
を備えたことを特徴とする請求項1記載の電子部品圧着装置。 - 前記ステージに流体を送る供給口を、前記ステージの前記加圧方向に対し直角方向の面に設けることを特徴とする請求項1または2記載の電子部品圧着装置。
- 電子部品を基板に圧着する電子部品圧着方法であって、
基板と電子部品を保持するステージの電子部品保持面と、電子部品を基板に押し付けるツールの電子部品保持面とを密着させ、
前記ステージに設けた3個以上の貫通穴より流体を吐出させ、
3個以上の前記貫通穴より吐出した流体の流量を流量センサーにて測定し、
前記流量センサーにて測定した流量から前記ステージと前記ツール間の隙間を算出し、
前記算出した値に基づいて傾き調整部を動作して前記ステージの傾きを調整することを特徴とする電子部品圧着方法。
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