JP2004221468A - インナーリードのボンディング方法及びその実施装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】インナーリードとボンディングパッドとの位置ずれ不良を防止する。ボンディングを開始する前にツールの傾きを測定して確認する。
【解決手段】配線基板上に半導体チップを搭載して接着するボンディングツール(以下単にツールと称す)とボンディングステージ(以下単にステージと称す)とを用いるインナーリードボンディング方法において、インナーリードのボンディングを行う前に、前記ツールの平行度を測定する過程と、前記平行度の測定値に基づいて前記ツールの平行度を調整する平行度調整過程と、前記ツールの平行度を調整した後、配線基板をツールとステージとの間に送り込む過程と、前記配線基板上のインナーリードと半導体チップのパッドとの位置合わせ行う過程と、該位置合わせした後に前記ツールを降下させて押圧する過程とを具備することを特徴とする。
【選択図】 図1
【解決手段】配線基板上に半導体チップを搭載して接着するボンディングツール(以下単にツールと称す)とボンディングステージ(以下単にステージと称す)とを用いるインナーリードボンディング方法において、インナーリードのボンディングを行う前に、前記ツールの平行度を測定する過程と、前記平行度の測定値に基づいて前記ツールの平行度を調整する平行度調整過程と、前記ツールの平行度を調整した後、配線基板をツールとステージとの間に送り込む過程と、前記配線基板上のインナーリードと半導体チップのパッドとの位置合わせ行う過程と、該位置合わせした後に前記ツールを降下させて押圧する過程とを具備することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本願発明は、インナーリードボンディング方法及び装置に関し、特に、インナーリードとボンディングパッドの位置ずれを防止する技術に適用して有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、インナーリードとボンディングパッドの位置ずれを防止する技術として、「インナーリードボンディング(ILBボンディング)において、一括接合前にフレキシブル回路基板へ冷却用気体を吹き付けることによって、インナーリードと半導体素子の位置ずれを防止すること」が開示されている(特許文献1参照)。
また、「ILBボンディングにおいて、フレキシブル回路基板を押さえるクランバの中に冷却媒体を供給する装置を設けることによって、インナーリードと半導体素子との位置ずれを防止すること」が開示されている(特許文献2参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開平10−32608号公報
【特許文献2】
特開平6−85006号公報
【0004】
また、従来のTCP(Tape Carrier Package)、COF(Chip On Film)、LOC(Lead On Chip)、COG(Chip On Glass)等のインナーリードボンディングにおいて、例えば、TCPの品種交換時には、ボンディングツール、ステージ及びクランパ等の治具交換を行っている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者は、前記従来技術を検討した結果、以下の問題点を見い出した。
前記従来技術では、前記ツールとステージ及びクランパ等の治具交換のうち最も時間がかかるのがツールである。
この原因は、ツール交換後のツール先端の傾き調整に多くの時間を要することとわかった。その理由としては、例えば、TCPの場合、傾き確認にチップのAuバンプにツールを押し付け、その圧痕で行っているためである。
【0006】
本発明の目的は、インナーリードとボンディングパッドとの位置ずれ不良防止を短時間で行うことが可能な技術を提供することにある。
本発明の他の目的は、ボンディングを開始する前にツールの傾きを測定して確認することが可能な技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明の概要を簡単に説明すれば下記の通りである。
第1の発明は、配線基板(配線テープ、リードフレーム、ガラス配線基板、フレキシブル配線基板等)上に半導体チップを搭載して接着するツール(以下単にツールと称す)とボンディングステージ(以下単にステージと称す)とを用いるインナーリードのボンディング方法において、インナーリードのボンディングを行う前に、前記ツールの平行度を測定する過程と、前記平行度の測定値に基づいて前記ツールの平行度を調整する平行度調整過程と、前記ツールの平行度を調整した後、配線基板をツールとステージとの間に送り込む過程と、前記配線基板上のインナーリードと半導体チップ(以下単にチップと称す)のパッドとの位置合わせを行う過程と、該位置合わせした後に前記ツールを降下させて押圧する過程とを具備することを特徴とする。
【0008】
第2の発明は、配線基板上に半導体チップを搭載して接着するツールとステージとを有するインナーリードのボンディング装置において、インナーリードボンディングを行う前に、前記ツールの平行度を測定するツール平行度測定手段と、前記ツール平行度の測定値に基づいてツール平行度を調整するツール平行度調整手段と、前記ツール平行度を調整した後、配線基板をツールとステージとの間に送り込む配線基板移動手段と、前記配線基板上のインナーリードと半導体チップのパッドとの位置合わせを行う位置合わせ手段と、前記位置合わせ後に、前記ツールを降下させて押圧するツール押圧手段とを具備することを特徴とする。
【0009】
第3の発明は、前記第2の発明のインナーリードボンディング装置において、前記ツール平行度測定手段は、前記ステージの所定位置にエアーマイクロ測定器又は静電容量計を設置し、ツール交換後の傾きを測定することを特徴とする。
【0010】
第4の発明は、前記第3の発明のインナーリードのボンディング装置において、前記エアーマイクロ測定器は、前記ツールを実際のボンディング時と同じ状態にセットし、前記ツールとステージの接触面部にエアーを吹き付ける手段と、前記吹き付けられたエアーの背圧を計測する手段とを有することを特徴とする。
【0011】
第5の発明は、前記第3の発明のインナーリードのボンディング装置において、前記静電容量計は、前記ツールを実際のボンディング時と同じ状態にセットし、前記ツールとステージの接触面部の静電容量を計測する手段を有することを特徴とする。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について、図面を参照して、本発明の実施形態とともに詳細に説明する。
なお、本発明の実施形態を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
【0013】
(実施形態1)
図1は本発明の実施形態1によるインナーリードボンディング装置(ILB)の概略構成を示す模式図、図2は図1に示す測定ヘッド部の断面図、図3は図1に示す測定ヘッド部の斜視図、図4(a)、(b)は測定ヘッド部のボンディングステージとの接触面を示す図である。
【0014】
前記図1乃至図4において、1はツール、1Aはツールの先端面、2はステージ、3はチップ、4は前記ツール1を実際のボンディング時と同じ状態にセットし、前記ツール1とステージ2の接触面部へエアーを吹きつけるための測定ヘッド部、4Aは測定ヘッド部の先端面、5は測定ヘッド部4に設けられた測定ホール(測定ノズル)、6はエアーを流す管(パイプ)、7は市販されているエアーマイクロ測定器である。
【0015】
本実施形態1のインナーリードボンディング装置は、図1に示すように、TCPテープ(配線基板)上にチップ3を搭載して接着するツール1とステージ2を有するインナーリードボンディング装置(以下、単にILBと称す)において(図示していない)、インナーリードボンディング(以下、単にボンディングと称す)を行う前に、前記ツール1の平行度を測定するための測定ヘッド部4と、この測定ヘッド部4に設けられた測定ノズル5と、測定ノズル5に接続されているエアーを流す管(パイプ)6と、この管(パイプ)6に接続されているエアーマイクロ測定器7と、このエアーマイクロ測定器によりツール1の平行度を測定した後、TCPテープ(テープの素材としては例えばポリイミドを用いる)をツール1とステージ2との間に送り込むTCPテープ移動手段(図示していない)と、前記TCPテープ上のインナーリードと半導体チップのパッド(パッド上のバンプ)との位置合わせを行う位置合わせ手段(図示していない)と、前記位置合わせ後に、ツールを降下させて押圧するツール押圧手段(図示していない)とを具備している。
【0016】
前記測定ヘッド部4は、図2及び図3に示すように、前記測定ヘッド部4の先端面(上面)4Aには、前記測定ヘッド部4の所定位置に設けられている前記測定ホール5と連結される排気溝8が設けられている。前記測定ヘッド部4は、前記ステージ2と一体構造に構成されている。
【0017】
前記測定ホール5は、図4(a)、(b)に示すように、複数設けられている。図4(a)は前記測定ホール5が2個の場合であり、この場合には2回に分けて測定される。図4(b)は前記測定ホール5が4個の場合であり、この場合には1回の測定で済む。また、必要に応じて測定ホール5が4個以上であってもよい。
【0018】
ボンディング時には、前記測定ヘッド部4の先端面4A(上面)とツール1の先端面1Aとの接触面に隙間(傾き量)9が生じる。この接触面の隙間(傾き量)9は、前記エアーを流す管(パイプ)6、測定ホール5、排気溝8を通してツール1の先端面1Aにエアーマイクロ測定器7からエアーが吹き付けられ、その背圧から計測される。前記接触面の隙間(傾き量)9の測定は、ボンディング時と同じ荷重を掛けた状態で行う。
【0019】
前記隙間(傾き量)9がゼロ(0)から測定が可能である。すなわち、前記排気溝8から隙間9がゼロ(0)の時でもエアーが出ており、前記隙間9とエアー流量(エアー背圧)が比例するからである。
【0020】
図5は測定ヘッド部の形状とエアーマイクロ測定器の特性を示す図であり、(a)は測定ヘッドのステージに排気溝を設けない場合(フラットな場合)、(b)は測定ヘッドのステージに排気溝を設けた場合(溝を切った場合)である。図5(a)の場合は、前記隙間(傾き量)9が小さいうちは感度が落ちる。図5(b)の場合は前記隙間(傾き量)9がゼロから測定が可能である。
【0021】
次に、本実施形態1によるILBの前記測定値に基づいてツール1の位置を、実際のボンディング時のツール1の平行度(傾き)が適正な範囲になるよう調整して設定される。前記ツール1の平行度の調整は、X・Y・θ傾き調整機構10(図6)等の調整機構等により行う。
【0022】
図6は、本実施形態1の前記ツール1の接触面の隙間(傾き量)9を測定した後の、TCPインナーリードボンディングの動作を説明するための図、図7は本実施形態1の前記ツール1の接触面の隙間(傾き量)9を測定した後の、LOCダイボンディングの動作を説明するための図でする。
【0023】
図6及び図7において、10は市販されているX・Y・θ傾き調整機構、11はツールヒータ、12はインナーリード、12AはTCPテープ、13はバンプ、14はステージヒータ、15はLOCリードフレームである。
【0024】
本実施形態1のTCPインナーリードボンディング時のツール1の交換は、ステージ2上で行う。交換後、ツール1は測定ヘッド部4まで移動する(ステージ上でもよい)。測定時には、ボンディング時と同一荷重・温度で測定ヘッド部4にツール1を押し付ける。
【0025】
本実施形態1のTCPインナーリードボンディングの動作は、図6に示すように、前記エアーマイクロ測定器の出力に基づいて実際のボンディング時のツール1の平行度(傾き)が適正な範囲になるようX・Y・θ傾き調整機構10で調整して設定する。その後、TCPテープ12Aをツール1とステージとの間に送り込み、前記TCPテープ12A上のインナーリード12とチップ3のパッド上のバンプ13との位置合わせを行った後に、ツール1を降下させて押圧してボンディングを行う。
【0026】
また、本実施形態1のLOCダイボンディングの動作は、図7に示すように、前記エアーマイクロ測定器の出力に基づいて実際のボンディング時のツール1の平行度(傾き)が適正な範囲になるようX・Y・θ傾き調整機構10で調整して設定する。その後、LOCリードフレーム15をツール1とステージ2との間にセットし、前記LOCリードフレーム15とチップ3のパッドとの位置合わせを行った後に、ツール1を降下させて押圧してダイボンディングを行う。
【0027】
以上説明したように、本実施形態1によれば、ボンディングを開始する前に、前記ツール1の平行度を測定し、それに基づいて前記ツール1の平行度を調整することにより、インナーリードとボンディングパッドとの位置ずれ不良を防止することができる。
【0028】
(実施形態2)
図8は本発明の実施形態2によるILBの概略構成を示す模式図である。
本発明の実施形態2によるILBは、前記実施形態1では、エアーマイクロ測定器によりツール1の平行度を測定したが、それに替えて、図8に示すように、静電容量計を用いた静電容量型測定ヘッド16と、この静電容量型測定ヘッド16の出力に配線コード17で接続されたコントローラ18とを用いて、前記ツール1の平行度を測定し、その測定値に基づいて前記ツール1の平行度を調整して実際のボンディング時のツール1の適正な範囲の平行度(傾き)に設定するようにしたものである。
【0029】
以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
例えば、前記実施形態では、TCPテープもしくはLOCリードフレームを用いた場合について説明したが、本発明は、COFテープ、TABテープ、ガラス基板(COG)を用いたものについても適用できることは称すまでもない。
【0030】
【発明の効果】
本願において開示される発明によって得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである。
本発明によれば、ボンディングを開始する前にツールの傾きを測定して確認し、その測定値に基づいてツールの平行度を調整して実際のボンディング時のツールの適正な範囲の平行度(傾き)に設定するので、インナーリードとボンディングパッドとの位置ずれ不良を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態1によるインナーリードボンディング装置(ILB)の概略構成を示す模式図である。
【図2】図1に示す測定ヘッド部の断面図である。
【図3】図1に示す測定ヘッド部の斜視図である。
【図4】本実施形態1の測定ヘッド部のボンディングステージとの接触面を示す図である。
【図5】本実施形態1の測定ヘッド部の形状とエアーマイクロ測定器の特性を示す図である。
【図6】本実施形態1のTCPインナーリードボンディングの動作を説明するための図である。
【図7】本実施形態1のLOCダイボンディングの動作を説明するための図でする。
【図8】本発明の実施形態2によるインナーリードボンディング装置(ILB)の概略構成を示す模式図である。
【符号の説明】
1…ツール 1A…ツールの先端面
2…ボンディングステージ 3…半導体チップ
4…測定ヘッド部 4A…測定ヘッド部の先端面
5…測定ホール(測定ノズル) 6…エアーを流す管(パイプ)
7…エアーマイクロ測定器 8…排気溝
9…隙間(傾き量) 10…X・Y・θ傾き調整機構
11…ツールヒータ 12…インナーリード
12A…TCPテープ 13…バンプ
14…ステージヒータ 15…LOCリードフレーム
16…静電容量型測定ヘッド 17…配線コード
18…コントローラ
【発明の属する技術分野】
本願発明は、インナーリードボンディング方法及び装置に関し、特に、インナーリードとボンディングパッドの位置ずれを防止する技術に適用して有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、インナーリードとボンディングパッドの位置ずれを防止する技術として、「インナーリードボンディング(ILBボンディング)において、一括接合前にフレキシブル回路基板へ冷却用気体を吹き付けることによって、インナーリードと半導体素子の位置ずれを防止すること」が開示されている(特許文献1参照)。
また、「ILBボンディングにおいて、フレキシブル回路基板を押さえるクランバの中に冷却媒体を供給する装置を設けることによって、インナーリードと半導体素子との位置ずれを防止すること」が開示されている(特許文献2参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開平10−32608号公報
【特許文献2】
特開平6−85006号公報
【0004】
また、従来のTCP(Tape Carrier Package)、COF(Chip On Film)、LOC(Lead On Chip)、COG(Chip On Glass)等のインナーリードボンディングにおいて、例えば、TCPの品種交換時には、ボンディングツール、ステージ及びクランパ等の治具交換を行っている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者は、前記従来技術を検討した結果、以下の問題点を見い出した。
前記従来技術では、前記ツールとステージ及びクランパ等の治具交換のうち最も時間がかかるのがツールである。
この原因は、ツール交換後のツール先端の傾き調整に多くの時間を要することとわかった。その理由としては、例えば、TCPの場合、傾き確認にチップのAuバンプにツールを押し付け、その圧痕で行っているためである。
【0006】
本発明の目的は、インナーリードとボンディングパッドとの位置ずれ不良防止を短時間で行うことが可能な技術を提供することにある。
本発明の他の目的は、ボンディングを開始する前にツールの傾きを測定して確認することが可能な技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明の概要を簡単に説明すれば下記の通りである。
第1の発明は、配線基板(配線テープ、リードフレーム、ガラス配線基板、フレキシブル配線基板等)上に半導体チップを搭載して接着するツール(以下単にツールと称す)とボンディングステージ(以下単にステージと称す)とを用いるインナーリードのボンディング方法において、インナーリードのボンディングを行う前に、前記ツールの平行度を測定する過程と、前記平行度の測定値に基づいて前記ツールの平行度を調整する平行度調整過程と、前記ツールの平行度を調整した後、配線基板をツールとステージとの間に送り込む過程と、前記配線基板上のインナーリードと半導体チップ(以下単にチップと称す)のパッドとの位置合わせを行う過程と、該位置合わせした後に前記ツールを降下させて押圧する過程とを具備することを特徴とする。
【0008】
第2の発明は、配線基板上に半導体チップを搭載して接着するツールとステージとを有するインナーリードのボンディング装置において、インナーリードボンディングを行う前に、前記ツールの平行度を測定するツール平行度測定手段と、前記ツール平行度の測定値に基づいてツール平行度を調整するツール平行度調整手段と、前記ツール平行度を調整した後、配線基板をツールとステージとの間に送り込む配線基板移動手段と、前記配線基板上のインナーリードと半導体チップのパッドとの位置合わせを行う位置合わせ手段と、前記位置合わせ後に、前記ツールを降下させて押圧するツール押圧手段とを具備することを特徴とする。
【0009】
第3の発明は、前記第2の発明のインナーリードボンディング装置において、前記ツール平行度測定手段は、前記ステージの所定位置にエアーマイクロ測定器又は静電容量計を設置し、ツール交換後の傾きを測定することを特徴とする。
【0010】
第4の発明は、前記第3の発明のインナーリードのボンディング装置において、前記エアーマイクロ測定器は、前記ツールを実際のボンディング時と同じ状態にセットし、前記ツールとステージの接触面部にエアーを吹き付ける手段と、前記吹き付けられたエアーの背圧を計測する手段とを有することを特徴とする。
【0011】
第5の発明は、前記第3の発明のインナーリードのボンディング装置において、前記静電容量計は、前記ツールを実際のボンディング時と同じ状態にセットし、前記ツールとステージの接触面部の静電容量を計測する手段を有することを特徴とする。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について、図面を参照して、本発明の実施形態とともに詳細に説明する。
なお、本発明の実施形態を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
【0013】
(実施形態1)
図1は本発明の実施形態1によるインナーリードボンディング装置(ILB)の概略構成を示す模式図、図2は図1に示す測定ヘッド部の断面図、図3は図1に示す測定ヘッド部の斜視図、図4(a)、(b)は測定ヘッド部のボンディングステージとの接触面を示す図である。
【0014】
前記図1乃至図4において、1はツール、1Aはツールの先端面、2はステージ、3はチップ、4は前記ツール1を実際のボンディング時と同じ状態にセットし、前記ツール1とステージ2の接触面部へエアーを吹きつけるための測定ヘッド部、4Aは測定ヘッド部の先端面、5は測定ヘッド部4に設けられた測定ホール(測定ノズル)、6はエアーを流す管(パイプ)、7は市販されているエアーマイクロ測定器である。
【0015】
本実施形態1のインナーリードボンディング装置は、図1に示すように、TCPテープ(配線基板)上にチップ3を搭載して接着するツール1とステージ2を有するインナーリードボンディング装置(以下、単にILBと称す)において(図示していない)、インナーリードボンディング(以下、単にボンディングと称す)を行う前に、前記ツール1の平行度を測定するための測定ヘッド部4と、この測定ヘッド部4に設けられた測定ノズル5と、測定ノズル5に接続されているエアーを流す管(パイプ)6と、この管(パイプ)6に接続されているエアーマイクロ測定器7と、このエアーマイクロ測定器によりツール1の平行度を測定した後、TCPテープ(テープの素材としては例えばポリイミドを用いる)をツール1とステージ2との間に送り込むTCPテープ移動手段(図示していない)と、前記TCPテープ上のインナーリードと半導体チップのパッド(パッド上のバンプ)との位置合わせを行う位置合わせ手段(図示していない)と、前記位置合わせ後に、ツールを降下させて押圧するツール押圧手段(図示していない)とを具備している。
【0016】
前記測定ヘッド部4は、図2及び図3に示すように、前記測定ヘッド部4の先端面(上面)4Aには、前記測定ヘッド部4の所定位置に設けられている前記測定ホール5と連結される排気溝8が設けられている。前記測定ヘッド部4は、前記ステージ2と一体構造に構成されている。
【0017】
前記測定ホール5は、図4(a)、(b)に示すように、複数設けられている。図4(a)は前記測定ホール5が2個の場合であり、この場合には2回に分けて測定される。図4(b)は前記測定ホール5が4個の場合であり、この場合には1回の測定で済む。また、必要に応じて測定ホール5が4個以上であってもよい。
【0018】
ボンディング時には、前記測定ヘッド部4の先端面4A(上面)とツール1の先端面1Aとの接触面に隙間(傾き量)9が生じる。この接触面の隙間(傾き量)9は、前記エアーを流す管(パイプ)6、測定ホール5、排気溝8を通してツール1の先端面1Aにエアーマイクロ測定器7からエアーが吹き付けられ、その背圧から計測される。前記接触面の隙間(傾き量)9の測定は、ボンディング時と同じ荷重を掛けた状態で行う。
【0019】
前記隙間(傾き量)9がゼロ(0)から測定が可能である。すなわち、前記排気溝8から隙間9がゼロ(0)の時でもエアーが出ており、前記隙間9とエアー流量(エアー背圧)が比例するからである。
【0020】
図5は測定ヘッド部の形状とエアーマイクロ測定器の特性を示す図であり、(a)は測定ヘッドのステージに排気溝を設けない場合(フラットな場合)、(b)は測定ヘッドのステージに排気溝を設けた場合(溝を切った場合)である。図5(a)の場合は、前記隙間(傾き量)9が小さいうちは感度が落ちる。図5(b)の場合は前記隙間(傾き量)9がゼロから測定が可能である。
【0021】
次に、本実施形態1によるILBの前記測定値に基づいてツール1の位置を、実際のボンディング時のツール1の平行度(傾き)が適正な範囲になるよう調整して設定される。前記ツール1の平行度の調整は、X・Y・θ傾き調整機構10(図6)等の調整機構等により行う。
【0022】
図6は、本実施形態1の前記ツール1の接触面の隙間(傾き量)9を測定した後の、TCPインナーリードボンディングの動作を説明するための図、図7は本実施形態1の前記ツール1の接触面の隙間(傾き量)9を測定した後の、LOCダイボンディングの動作を説明するための図でする。
【0023】
図6及び図7において、10は市販されているX・Y・θ傾き調整機構、11はツールヒータ、12はインナーリード、12AはTCPテープ、13はバンプ、14はステージヒータ、15はLOCリードフレームである。
【0024】
本実施形態1のTCPインナーリードボンディング時のツール1の交換は、ステージ2上で行う。交換後、ツール1は測定ヘッド部4まで移動する(ステージ上でもよい)。測定時には、ボンディング時と同一荷重・温度で測定ヘッド部4にツール1を押し付ける。
【0025】
本実施形態1のTCPインナーリードボンディングの動作は、図6に示すように、前記エアーマイクロ測定器の出力に基づいて実際のボンディング時のツール1の平行度(傾き)が適正な範囲になるようX・Y・θ傾き調整機構10で調整して設定する。その後、TCPテープ12Aをツール1とステージとの間に送り込み、前記TCPテープ12A上のインナーリード12とチップ3のパッド上のバンプ13との位置合わせを行った後に、ツール1を降下させて押圧してボンディングを行う。
【0026】
また、本実施形態1のLOCダイボンディングの動作は、図7に示すように、前記エアーマイクロ測定器の出力に基づいて実際のボンディング時のツール1の平行度(傾き)が適正な範囲になるようX・Y・θ傾き調整機構10で調整して設定する。その後、LOCリードフレーム15をツール1とステージ2との間にセットし、前記LOCリードフレーム15とチップ3のパッドとの位置合わせを行った後に、ツール1を降下させて押圧してダイボンディングを行う。
【0027】
以上説明したように、本実施形態1によれば、ボンディングを開始する前に、前記ツール1の平行度を測定し、それに基づいて前記ツール1の平行度を調整することにより、インナーリードとボンディングパッドとの位置ずれ不良を防止することができる。
【0028】
(実施形態2)
図8は本発明の実施形態2によるILBの概略構成を示す模式図である。
本発明の実施形態2によるILBは、前記実施形態1では、エアーマイクロ測定器によりツール1の平行度を測定したが、それに替えて、図8に示すように、静電容量計を用いた静電容量型測定ヘッド16と、この静電容量型測定ヘッド16の出力に配線コード17で接続されたコントローラ18とを用いて、前記ツール1の平行度を測定し、その測定値に基づいて前記ツール1の平行度を調整して実際のボンディング時のツール1の適正な範囲の平行度(傾き)に設定するようにしたものである。
【0029】
以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
例えば、前記実施形態では、TCPテープもしくはLOCリードフレームを用いた場合について説明したが、本発明は、COFテープ、TABテープ、ガラス基板(COG)を用いたものについても適用できることは称すまでもない。
【0030】
【発明の効果】
本願において開示される発明によって得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである。
本発明によれば、ボンディングを開始する前にツールの傾きを測定して確認し、その測定値に基づいてツールの平行度を調整して実際のボンディング時のツールの適正な範囲の平行度(傾き)に設定するので、インナーリードとボンディングパッドとの位置ずれ不良を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態1によるインナーリードボンディング装置(ILB)の概略構成を示す模式図である。
【図2】図1に示す測定ヘッド部の断面図である。
【図3】図1に示す測定ヘッド部の斜視図である。
【図4】本実施形態1の測定ヘッド部のボンディングステージとの接触面を示す図である。
【図5】本実施形態1の測定ヘッド部の形状とエアーマイクロ測定器の特性を示す図である。
【図6】本実施形態1のTCPインナーリードボンディングの動作を説明するための図である。
【図7】本実施形態1のLOCダイボンディングの動作を説明するための図でする。
【図8】本発明の実施形態2によるインナーリードボンディング装置(ILB)の概略構成を示す模式図である。
【符号の説明】
1…ツール 1A…ツールの先端面
2…ボンディングステージ 3…半導体チップ
4…測定ヘッド部 4A…測定ヘッド部の先端面
5…測定ホール(測定ノズル) 6…エアーを流す管(パイプ)
7…エアーマイクロ測定器 8…排気溝
9…隙間(傾き量) 10…X・Y・θ傾き調整機構
11…ツールヒータ 12…インナーリード
12A…TCPテープ 13…バンプ
14…ステージヒータ 15…LOCリードフレーム
16…静電容量型測定ヘッド 17…配線コード
18…コントローラ
Claims (5)
- 配線基板上に半導体チップを搭載して接着するボンディングツール(以下単にツールと称す)とボンディングステージ(以下単にステージと称す)とを用いるインナーリードボンディング方法において、インナーリードのボンディングを行う前に、前記ツールの平行度を測定する過程と、前記平行度の測定値に基づいて前記ツールの平行度を調整する平行度調整過程と、前記ツールの平行度を調整した後、配線基板をツールとステージとの間に送り込む過程と、前記配線基板上のインナーリードと半導体チップ(以下単にチップと称す)のパッドとの位置合わせを行う過程と、該位置合わせした後に前記ツールを降下させて押圧する過程とを具備することを特徴とするインナーリードのボンディング方法。
- 配線基板上に半導体チップを搭載して接着するツールとステージとを有するインナーリードボンディング装置において、インナーリードボンディングを行う前に、前記ツールの平行度を測定するツール平行度測定手段と、前記ツール平行度の測定値に基づいてツール平行度を調整するツール平行度調整手段と、前記ツール平行度を調整した後、配線基板をツールとステージとの間に送り込む配線基板移動手段と、前記配線基板上のインナーリードと半導体チップのパッドとの位置合わせを行う位置合わせ手段と、前記位置合わせ後に、前記ツールを降下させて押圧するツール押圧手段とを具備することを特徴とするインナーリードのボンディング装置。
- 前記ツール平行度測定手段は、前記ステージの所定位置にエアーマイクロ測定器又は静電容量計を設置し、ツール交換後の傾きを測定することを特徴とする請求項2に記載のインナーリードのボンディング装置。
- 前記エアーマイクロ測定器は、前記ツールを実際のボンディング時と同じ状態にセットし、前記ツールとステージの接触面部にエアーを吹き付ける手段と、前記吹き付けられたエアーの背圧を計測する手段とを有することを特徴とする請求項3に記載のインナーリードのボンディング装置。
- 前記静電容量計は、前記ツールを実際のボンディング時と同じ状態にセットし、前記ツールとステージの接触面部の静電容量を計測する手段を有することを特徴とする請求項3に記載のインナーリードのボンディング装置。
Priority Applications (1)
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JP2003009643A JP2004221468A (ja) | 2003-01-17 | 2003-01-17 | インナーリードのボンディング方法及びその実施装置 |
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
JP2008258473A (ja) * | 2007-04-06 | 2008-10-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品圧着装置および電子部品圧着方法 |
JP2013143388A (ja) * | 2012-01-06 | 2013-07-22 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | ダイボンダ及びボンディング方法 |
-
2003
- 2003-01-17 JP JP2003009643A patent/JP2004221468A/ja active Pending
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