JP2008251746A - 熱伝導性シート積層体 - Google Patents

Abstract

【課題】発熱体から放熱体への熱伝導用途において、より好適に使用可能な熱伝導性シート積層体を提供する。
【解決手段】熱伝導性シート積層体１１は、熱伝導性シート１２、保護シート１３、補助シート１４、キャリアシート１５、及び被覆シート１６を備えている。熱伝導性シート１２は、シート本体２１と、粘着層２２とを備えている。シート本体２１の静摩擦係数は１．０以下である。粘着層２２は、シート本体２１に比べて高い粘着性を有するとともに、シート本体２１よりも小さい外形を有している。保護シート１３は、粘着層２２に比べて大きい外形を有するとともに、保護シート１３の周縁部から粘着層２２に向かって延びる切断線２３を備えており、該切断線２３に沿って切断可能に構成されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、発熱体と放熱体の間に介在して用いられ、発熱体から放熱体への熱伝導を促進する熱伝導性シートを含む熱伝導性シート積層体に関する。

近年、コンピュータのＣＰＵ（中央処理装置）を代表とする電子素子の高性能化に伴い、電子素子の消費電力および発熱量が増大している。電子素子の処理能力は熱により低下する。よって、電子素子の性能を維持するために電子素子の蓄熱を回避する必要があり、電子素子の冷却が重要な課題となっている。そのため、発熱体である電子素子と、ヒートシンク等の放熱体との間に介在して用いられる熱伝導性シートには、優れた熱伝導性が求められている。

特許文献１及び特許文献２には、熱伝導性充填材を含有するシリコーンゲルからなる熱伝導性シートが開示されている。この熱伝導性シートは、シリコーンゲルの柔軟性に起因して粘着性を有している。そのため、熱伝導性シートは、発熱体および放熱体と十分に密着することができ、優れた熱伝導性を発揮することができる。

特許文献３及び特許文献４には、繊維状の熱伝導性充填材と高分子マトリックスとを含有する組成物からなる熱伝導性シートが開示されている。この熱伝導性シートは、熱伝導性充填材が配向されることにより優れた熱伝導性を発揮することができる。更に、熱伝導性シートは、熱伝導性充填材の端部が熱伝導性シートから露出することにより、熱伝導性シートの粘着性を低下させることができる。

特許文献５には、トップカバーテープと、該トップカバーテープに封入されている熱伝導性シートとを備える熱伝導性シート包装体が開示されている。特許文献６には、支持テープと、該支持テープに粘着している熱伝導性シートとを備える熱伝導性シート積層体が開示されている。トップカバーテープ及び支持テープは、熱伝導性シートの例えば発熱体への取り付け作業の機械による自動化に寄与するとともに、熱伝導性シートの保管および搬送を容易にするという効果を奏する。

しかしながら、特許文献１及び特許文献２に記載の熱伝導性シートには、その粘着性が高いことから、例えば発熱体への取り付け時、及び運搬時の取扱い性（ハンドリング性）が低いという問題があった。特許文献３及び特許文献４に記載の熱伝導性シートには、その粘着性が低いとともに熱伝導性充填材が配向されており、更に接触熱抵抗値を低下させるために熱伝導性シートが薄く形成されていることから、熱伝導性シートが例えば発熱体に取り付けられる際に該シートの位置ずれが生じ易く、且つ該シートがちぎれ易い。そのため、熱伝導性シートの取り付けが困難であるという問題があった。また、特許文献３及び特許文献４に記載の熱伝導性シートを用いて特許文献５に記載の熱伝導性シート包装体、又は特許文献６に記載の熱伝導性シート積層体が構成されたときにも、熱伝導性シートの粘着性が低いとともに該シートがちぎれ易いことから、熱伝導性シートの取り付けが困難であるという問題があった。
特開平１０−１８３１１０号公報 特開平１１−３３５４７２号公報 特開２００６−３３５９５７号公報 特開２００６−３３５９５８号公報 特開平７−１４９３６５号公報 特開２００２−２２２９０４号公報

本発明は、このような従来技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的とするところは、発熱体から放熱体への熱伝導用途において、より好適に使用可能な熱伝導性シート積層体を提供することにある。

上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、発熱体と放熱体との間に介在して用いられるシート本体、及び該シート本体上に設けられる粘着層を有する熱伝導性シートと、前記粘着層上に設けられて該粘着層を保護する保護シートとを備える熱伝導性シート積層体であって、前記シート本体の静摩擦係数が１．０以下であり、前記粘着層は、前記シート本体に比べて高い粘着性を有するとともに、シート本体よりも小さい外形を有し、前記保護シートは、前記粘着層に比べて大きい外形を有するとともに、保護シートの周縁部から粘着層に向かって延びる切断線を備え、該切断線に沿って切断可能に構成されている熱伝導性シート積層体を提供する。

請求項２に記載の発明は、前記粘着層がシート本体及び保護シートに粘着しており、シート本体と粘着層との粘着性が保護シートと粘着層との粘着性に比べて高く設定されている請求項１に記載の熱伝導性シート積層体を提供する。

請求項３に記載の発明は、前記保護シートの周縁部が前記粘着層上に位置しており、前記切断線は、保護シートの周縁部において粘着層に対応する個所に対向する個所から粘着層に向かって延びている請求項１又は請求項２に記載の熱伝導性シート積層体を提供する。

請求項４に記載の発明は、前記保護シートが前記シート本体の全体にわたって設けられている請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の熱伝導性シート積層体を提供する。
請求項５に記載の発明は、前記熱伝導性シート積層体が補助シートを更に備え、前記シート本体が補助シート上に設けられ、前記補助シートは、シート本体から外方へ露出している張出部を備えている請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の熱伝導性シート積層体を提供する。

請求項６に記載の発明は、前記補助シートがシート本体に粘着しており、シート本体と前記粘着層との粘着性が補助シートとシート本体との粘着性に比べて高く設定されている請求項５に記載の熱伝導性シート積層体を提供する。

請求項７に記載の発明は、前記粘着層が前記シート本体の周縁部に設けられており、前記張出部が、前記補助シートの周縁部において粘着層に対応する個所に設けられている請求項５又は請求項６に記載の熱伝導性シート積層体を提供する。

請求項８に記載の発明は、前記熱伝導性シート積層体が、前記熱伝導性シート、保護シート、及び補助シートよりも大きい外形を有しているキャリアシートを更に備え、前記補助シートがキャリアシート上に設けられている請求項５から請求項７のいずれか一項に記載の熱伝導性シート積層体を提供する。

請求項９に記載の発明は、前記熱伝導性シート積層体が、前記熱伝導性シート、保護シート、及び補助シートよりも大きい外形を有している被覆シートを更に備え、前記被覆シートが保護シート上に設けられ、前記キャリアシート及び被覆シートが、それらの周縁部の全体にわたって互いに粘着している請求項８に記載の熱伝導性シート積層体を提供する。

本発明によれば、発熱体から放熱体への熱伝導用途において、より好適に使用可能な熱伝導性シート積層体が提供される。

以下、本発明を熱伝導性シート積層体に具体化した実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１（ａ）〜（ｃ）に示すように、本実施形態に係る熱伝導性シート積層体１１は、熱伝導性シート１２、保護シート１３、補助シート１４、キャリアシート１５、及び被覆シート１６を備えている。これらのシートは、下方からキャリアシート１５、補助シート１４、熱伝導性シート１２、保護シート１３、及び被覆シート１６の順に積層されている。熱伝導性シート１２は、熱伝導性高分子組成物から成形されるシート本体２１と、該シート本体２１上に積層される粘着層２２とを備えている。熱伝導性シート１２、即ちシート本体２１は発熱体と放熱体との間に介在して設けられ、発熱体から放熱体への熱伝導を促進する。以下の説明において、熱伝導性シート積層体１１を単に積層体１１といい、熱伝導性高分子組成物を単に組成物という。

運搬時などでは積層体１１が取り扱われ、熱伝導性シート１２以外の各シートが剥離された後、熱伝導性シート１２が発熱体から放熱体への熱伝導に使用される。そのため、積層体１１にはハンドリング性が具備されており、熱伝導性シート１２には熱伝導性、及び取り付け性が具備されている。

ハンドリング性は積層体１１の運搬時などにおける取り扱いやすさを表す指標であり、例えば積層体１１を構成するシートの剛性に起因している。積層体１１は、該積層体１１を構成するシートが適当な剛性を有することにより容易に取り扱われ、優れたハンドリング性を発揮する。熱伝導性は発熱体から放熱体への熱伝導のし易さを表す指標であり、主にシート本体２１の熱伝導率と、熱抵抗値と、発熱体および放熱体との密着性とに起因している。熱伝導性シート１２は、シート本体２１の熱伝導率が高いほど、シート本体２１の熱抵抗値が小さいほど、且つシート本体２１と発熱体および放熱体との密着性が高いほど、発熱体から放熱体への熱伝導を促進し、優れた熱伝導性を発揮する。取り付け性は熱伝導性シート１２の発熱体または放熱体への取り付け易さを表す指標である。熱伝導性シート１２は、シート本体２１の粘着性が低いとともに粘着層２２が適当な粘着性を有することにより優れた取り付け性を発揮し、位置ずれが発生することなく発熱体または放熱体に取り付けられる。

組成物は、高分子マトリックスと、熱伝導性充填材とを含有している。高分子マトリックスは、熱伝導性充填材をシート本体２１内に保持する。高分子マトリックスは、シート本体２１に要求される性能、例えば硬度等の機械的強度、耐熱性等の耐久性、又は電気的特性に応じて選択され、高分子マトリックスとして、例えばシリコーン樹脂が挙げられる。

熱伝導性充填材は、シート本体２１の熱伝導率を高めて熱伝導性シート１２の熱伝導性を高める。熱伝導性充填材の形状としては、例えば繊維状、粒子状、及び板状が挙げられるが、好ましくは熱伝導性充填材の少なくとも一部が繊維状に形成されている。以下では、繊維状に形成された熱伝導性充填材、即ち繊維状充填材を含有する熱伝導性シート１２について説明する。繊維状充填材の具体例としては、例えば炭素繊維、及びポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール前駆体炭素繊維（ＰＢＯ炭素繊維）が挙げられる。繊維状以外の形状を有する熱伝導性充填材、即ち非繊維状充填材の材質としては、例えば酸化アルミニウム、及び水酸化アルミニウムが挙げられる。

組成物中の熱伝導性充填材の含有量は、９０質量％以下が好ましい。熱伝導性充填材の含有量が９０質量％を超えると、シート本体２１の柔軟性が低いことから、シート本体２１が脆くなるとともに、シート本体２１の発熱体および放熱体の表面形状への追従性が低下するおそれがある。組成物は、前記各成分以外にも、例えばシート本体２１の硬度を調整するための可塑剤、及び耐久性を高めるための安定剤を含有してもよい。

図２（ａ）〜（ｃ）に示すように、シート本体２１は四角板状を有しており、高分子マトリックス３１と、熱伝導性充填材３２とを備えている。本実施形態の熱伝導性充填材３２は、繊維状を有する熱伝導性充填材３２、即ち繊維状充填材３２ａと、粒子状を有する熱伝導性充填材３２、即ち粒子状充填材３２ｂとを有している。繊維状充填材３２ａは配向されている。例えば図２（ａ）〜（ｃ）に示すシート本体２１においては、繊維状充填材３２ａはシート本体２１の厚さ方向に沿って配向されている。そのため、シート本体２１において、厚さ方向の熱伝導率の値は、幅方向の熱伝導率の値に２〜数百を乗じた値と等しい。繊維状充填材３２ａの先端部は、シート本体２１の幅方向に沿って延びるとともに対向する一対の外面２１ａ上に露出している。

シート本体２１の粘着力は非常に小さいことから、シート本体２１の粘着性は、該シート本体２１の静摩擦係数によって示される。即ち、シート本体２１の静摩擦係数が小さい場合にはシート本体２１の粘着性が低く、シート本体２１の静摩擦係数が大きい場合にはシート本体２１の粘着性が高い。シート本体２１の静摩擦係数は１．０以下であり、好ましくは０．３以下である。シート本体２１の静摩擦係数が１．０を超えると、シート本体２１の粘着性が過剰に高いことから、熱伝導性シート１２の取り付け性が低下して熱伝導性シート１２の例えば発熱体への取り付けが困難になる。シート本体２１の静摩擦係数の下限は特に限定されず、シート本体２１の静摩擦係数が小さいほど、熱伝導性シート１２は優れた取り付け性を発揮する。シート本体２１の静摩擦係数が１．０以下の場合、シート本体２１の外面を指で触った際にシート本体２１が指に粘着せず、シート本体２１が例えば発熱体に取り付けられる際にシート本体２１が発熱体に貼付されない。

シート本体２１の厚さは、好ましくは０．０３〜０．５ｍｍである。シート本体２１の厚さが０．０３ｍｍ未満の場合、該シート本体２１の製造が困難になる。シート本体２１の厚さが０．５ｍｍを超えると、発熱体から放熱体への熱伝導に時間を要し、熱伝導性シート１２の熱伝導性が低下するおそれがある。０．５ｍｍ以下の厚さを有するシート本体２１は、その材質に起因する可撓性を容易に発揮する。

日本工業規格であるＪＩＳ Ｋ ６２５３のタイプＥによって測定されるシート本体２１の硬度は、例えば５〜８０である。シート本体２１の硬度が５未満の場合、シート本体２１が過剰な柔軟性を有することから熱伝導性シート１２の取り扱いが困難になる。シート本体２１の硬度が８０を超えると、シート本体２１と発熱体または放熱体との密着性が低下し、シート本体２１の熱伝導性が低下するおそれがある。

粘着層２２はシート本体２１よりも小さい外形を有しており、シート本体２１の外面２１ａの一端部の全体にわたって帯状に形成されている。粘着層２２はシート本体２１に比べて高い粘着性を有しており、熱伝導性シート１２が例えば発熱体に取り付けられる際に、発熱体に貼付されて熱伝導性シート１２の位置ずれを防止する。

図２（ｄ）に示すように、本実施形態に係る粘着層２２は、基材シート２２ａと、該基材シート２２ａの両面に塗布されている粘着剤２２ｂとを備える粘着シート２２ｃによって構成されている。基材シート２２ａの材質としては、例えばポリエチレンテレフタレート樹脂（ＰＥＴ）が挙げられる。粘着層２２はシート本体２１に粘着しており、熱伝導性シート１２が発熱体又は放熱体に取り付けられる際には発熱体又は放熱体に粘着する。粘着層２２がその粘着の対象物との良好な粘着性を有するために、粘着剤２２ｂの材質は、好ましくは粘着層２２の粘着の対象物の材質に基づいて選択される。例えばシート本体２１の高分子マトリックスがシリコーン系のゴムである場合、基材シート２２ａにおいてシート本体２１に対向する外面上に位置する粘着剤２２ｂの材質は、例えばシリコーン系の粘着剤である。例えば粘着層２２が粘着する発熱体が樹脂又はアルミニウムによって形成されている場合、基材シート２２ａにおいて発熱体に対向する外面上に位置する粘着剤２２ｂの材質は、例えばアクリル系の粘着剤である。基材シート２２ａの厚さは例えば１０μｍであり、該基材シート２２ａの両面に塗布される粘着剤２２ｂの厚さは例えばそれぞれ５μｍである。

シート本体２１の粘着層２２が取り付けられた外面２１ａにおいて、該外面２１ａ全体の面積に対して粘着層２２が占める割合は、好ましくは３０％以下である。粘着層２２が占める割合が３０％を超えると、粘着層２２の粘着性に起因して熱伝導性シート１２の取り扱いが困難になるおそれがある。更に、粘着層２２は熱伝導性充填材を含有しないことから、粘着層２２の熱伝導性はシート本体２１の熱伝導性に比べて低い。そのため、粘着層２２が占める割合が３０％を超えると、熱伝導性シート１２の熱伝導性が過剰に低下するおそれがある。

粘着層２２は、シート本体２１の一部であればシート本体２１の中央部に形成されてもよいが、シート本体２１の周縁部に形成されることが好ましい。発熱体の中央部の発熱量は通常、該発熱体の周縁部の発熱量に比べて高いことから、発熱体の中央部は周縁部に比べて高温である。シート本体２１の周縁部に粘着層２２が形成されている場合、発熱体に取り付けられたシート本体２１の周縁部の接触熱抵抗値は、シート本体２１の中央部の接触熱抵抗値に比べて高くなる。そのため、発熱体において周縁部に比べて高温である中央部に、シート本体２１において周縁部に比べて接触熱抵抗値が低い中央部が対応することから、シート本体２１の中央部に粘着層が形成されている場合に比べて熱伝導性シート１２の熱伝導性を高めることができる。

本実施形態の粘着層２２はシート本体２１の周縁部に位置している。シート本体２１の周縁部とは、シート本体２１の中心から周縁までの距離を５等分し、シート本体２１の周縁から前記距離の３／５までの領域のことをいう。例えば、縦および横が４０ｍｍである四角板状のシート本体２１においては、シート本体２１の周縁部は、幅が２４ｍｍである四角環状をなす。また、半径が２０ｍｍである円板状のシート本体２１においては、シート本体２１の周縁部は、幅が１２ｍｍである円環状をなす。

粘着層２２の厚さは、好ましくは３０μｍ以下である。粘着層２２の厚さが３０μｍを超える場合、基材シート２２ａが厚くなる。そのため、基材シート２２ａの材質に起因して該基材シート２２ａが高い剛性を有し、粘着層２２のシート本体２１への積層が困難になるおそれがある。上述したように、粘着層２２の熱伝導性はシート本体２１の熱伝導性に比べて低い。そのため、粘着層２２の厚さの下限は特に限定されず、粘着層２２が薄いほど、シート本体２１と発熱体または放熱体との密着性が高くなるとともに、熱伝導性シート１２での熱伝導の方向における粘着層２２の割合が低くなることから、熱伝導性シート１２の接触熱抵抗値は小さくなる。

図１（ｂ）及び図３に示すように、保護シート１３は四角板状を有しており、粘着層２２を介してシート本体２１に対向している。保護シート１３は、熱伝導性シート１２が発熱体から放熱体への熱伝導に使用されるまで粘着層２２に粘着しており、熱伝導性シート１２が例えば発熱体に取り付けられる際に粘着層２２から剥離される。

保護シート１３は、粘着層２２全体を保護するために粘着層２２に比べて大きい外形を有している。本実施形態に係る保護シート１３は、粘着層２２全体にわたって形成されているだけでなく、シート本体２１全体にわたっても形成されている。そのため、本実施形態の保護シート１３は、粘着層２２だけでなくシート本体２１の外面２１ａ全体も保護している。保護シート１３の材質としては、例えばポリエチレン（ＰＥ）が挙げられる。保護シート１３の厚さとしては、例えば２５μｍが挙げられる。

保護シート１３の周縁部、即ち保護シート１３の一端部が粘着層２２上に位置している。保護シート１３は、粘着層２２に対応する端部（図３における右端部）に対向する端部（図３における左端部）から粘着層２２に向かって直線状に延びている複数のミシン目の切断線２３を有しており、これらの切断線２３に沿って切断可能に構成されている。各切断線２３は粘着層２２に交差するように形成されており、本実施形態に係る各切断線２３は粘着層２２に直交するように形成されている。

各切断線２３の間隔は、好ましくは粘着層２２において各切断線２３に交差する方向（本実施形態では直交する方向）における長さの１／４以下に設定されている。複数の切断線２３の少なくとも一本は、好ましくは粘着層２２の中央部付近に対応する個所に形成されている。この場合、保護シート１３が熱伝導性シート１２から剥離される際に、粘着層２２が保護シート１３とともにシート本体２１から剥離されることなく保護シート１３のみが容易に剥離される。保護シート１３に１本の切断線２３のみが形成されている場合、切断線２３を粘着層２２の中央部付近に対応させることは困難である。これに対して、各切断線２３の間隔が前記のように設定されている複数の切断線２３が保護シート１３に形成されている場合、それらの切断線２３の内の１本を粘着層２２の中央部付近に容易に対応させることができる。

好ましくは、シート本体２１と粘着層２２との粘着性が保護シート１３と粘着層２２との粘着性に比べて高く設定されている。シート本体２１と粘着層２２との粘着性が保護シート１３と粘着層２２との粘着性に比べて低い場合、保護シート１３が剥離される際に、粘着層２２が保護シート１３とともにシート本体２１から剥離されるおそれがある。

図１（ａ）〜（ｃ）に示すように、補助シート１４は四角板状を有しており、シート本体２１において粘着層２２が形成されていない外面２１ａに対向している。補助シート１４は、熱伝導性シート１２が発熱体から放熱体への熱伝導に使用されるまでシート本体２１に粘着しており、熱伝導性シート１２が例えば発熱体に取り付けられた後にシート本体２１から剥離される。補助シート１４は、シート本体２１に粘着している際には薄くて柔軟なシート本体２１を補強して積層体１１のハンドリング性を高めるとともに、熱伝導性シート１２が例えば発熱体に取り付けられる際には熱伝導性シート１２の発熱体への取り付けを補助して該熱伝導性シート１２の取り付け性を高める。

補助シート１４は、例えば外面に粘着剤が塗布された樹脂フィルムにより構成されている。積層体１１のハンドリング性を高めるため、及び熱伝導性シート１２を例えば発熱体に取り付ける際に補助シート１４が撓むことによって熱伝導性シート１２の発熱体への取り付けが困難になることを防止するために、補助シート１４は適当な剛性を有している。好ましくは前記樹脂フィルムが硬質樹脂により形成されている。この硬質樹脂は米国材料試験協会の規格であるＡＳＴＭ−Ｄ８８３に定義されている。ＪＩＳ Ｋ ７２０３に規定されている硬質樹脂の曲げ弾性率は定常状態で７０００ｋｇ／ｃｍ^２以上である。硬質樹脂として、例えばポリエステル系樹脂、ポリアクリレート系樹脂、ポリアミド樹脂、及びポリイミド樹脂が挙げられる。ポリエステル系樹脂として、例えばポリプロピレン樹脂、ＰＥＴ、及びポリブチレンテレフタレート樹脂が挙げられる。ポリアクリレート系樹脂として、例えばポリカーボネート樹脂、及びポリメチルメタクリレート樹脂が挙げられる。熱伝導性シート１２の例えば発熱体への取り付けの際に、発熱体上における熱伝導性シート１２の位置を外方から補助シート１４を介して容易に視認することができることから、補助シート１４は、好ましくは透明である。これらの理由により、前記硬質樹脂の具体例の中でも、ポリエステル系樹脂が好ましく、ＰＥＴがより好ましい。

補助シート１４の厚さは、例えば５０〜３００μｍである。本実施形態に係る補助シート１４は、シート本体２１の外面２１ａ全体を保護するためにシート本体２１の全体にわたって形成されている。

補助シート１４は、その周縁部に、シート本体２１から外方へ露出している張出部１４ａを備えている。この張出部１４ａは、該張出部１４ａが熱伝導性シート１２の使用者によって把持されることにより、薄くて柔軟な熱伝導性シート１２自身が把持されることなく該熱伝導性シート１２の例えば発熱体への取り付けを可能にし、熱伝導性シート１２の取り付け性を高める。更に、張出部１４ａは補助シート１４の剥離を容易にする。張出部１４ａは、補助シート１４を構成する樹脂フィルムの一部が延出されることにより形成されている。張出部１４ａの把持および該把持の解除を容易に行うために、張出部１４ａを構成する樹脂フィルムの延出部分の外面には前記粘着剤が塗布されていない。張出部１４ａは、補助シート１４の周縁部において粘着層２２に対応する個所に形成されている。

好ましくは、シート本体２１と粘着層２２との粘着性が補助シート１４とシート本体２１との粘着性に比べて高く設定されている。シート本体２１と粘着層２２との粘着性が補助シート１４とシート本体２１との粘着性に比べて低い場合、熱伝導性シート１２が例えば発熱体に取り付けられた後に補助シート１４が剥離される際にシート本体２１が補助シート１４とともに剥離されてシート本体２１と粘着層２２とが分離するおそれがある。また、補助シート１４とシート本体２１との粘着性は、熱伝導性シート１２を例えば発熱体に取り付けるために張出部１４ａを把持して熱伝導性シート１２を取り扱う際に、熱伝導性シート１２が自重によって補助シート１４から剥離しない程度に高いことが好ましい。

キャリアシート１５は四角板状を有しており、補助シート１４に粘着している。キャリアシート１５は、熱伝導性シート１２、保護シート１３、及び補助シート１４よりも大きい外形を有している。キャリアシート１５は、例えば積層体１１の製造の際に補助シート１４及び熱伝導性シート１２の土台として作用する。キャリアシート１５は、積層体１１が取り扱われる際には、補助シート１４ととともに薄くて柔軟なシート本体２１を補強して積層体１１のハンドリング性を高める。外方からキャリアシート１５を介して熱伝導性シート１２及び補助シート１４の状態を容易に視認することができることから、キャリアシート１５は、好ましくは透明である。これらの理由により、前記硬質樹脂の具体例の中でも、ポリエステル系樹脂が好ましく、ＰＥＴがより好ましい。

キャリアシート１５は、補助シート１４と同様に、例えば表面に粘着剤が塗布された樹脂フィルムにより構成されている。積層体１１のハンドリング性を高めるためにキャリアシート１５は適当な剛性を有しており、好ましくは前記樹脂シートが前記硬質樹脂により形成されている。キャリアシート１５の厚さは、例えば５０〜３００μｍである。

被覆シート１６は四角板状を有しており、且つ熱伝導性シート１２、保護シート１３、及び補助シート１４よりも大きい外形を有しているとともにキャリアシート１５と略同じ大きさの外形を有している。被覆シート１６は、補助シート１４及びキャリアシート１５とともに薄くて柔軟なシート本体２１を補強して積層体１１のハンドリング性を高める。更に、被覆シート１６は、キャリアシート１５とともに熱伝導性シート１２、保護シート１３及び補助シート１４を保護してそれらに例えば異物が付着したり、それらが傷付けられたりすることを防止する。

被覆シート１６及びキャリアシート１５は、それらの周縁部の全体にわたって互いに接触している。このとき、キャリアシート１５は、該キャリアシート１５の粘着性に起因して被覆シート１６に粘着している。熱伝導性シート１２が使用される際には、被覆シート１６はキャリアシート１５から剥離される。被覆シート１６が粘着性を有している場合には、例えばキャリアシート１５も粘着性を有していることから被覆シート１６のキャリアシート１５からの剥離が困難になる。そのため、被覆シート１６は、例えば外面に離型剤が塗布された樹脂フィルムにより構成されている。

被覆シート１６を構成する樹脂フィルムは、被覆シート１６がキャリアシート１５から容易に剥離されることから、好ましくは柔軟な樹脂材料により形成されている。柔軟な樹脂材料としては例えばポリエチレン樹脂（ＰＥ）が挙げられ、ＰＥは半硬化樹脂と称されている。この半硬質樹脂はＡＳＴＭ−Ｄ８８３に定義されており、ＪＩＳ Ｋ ７２０３に規定されている半硬質樹脂の曲げ弾性率は定常状態で７０００ｋｇ／ｃｍ^２以下である。被覆シート１６は、キャリアシート１５から容易に剥離されることから、好ましくはキャリアシート１５よりも薄く形成されている。被覆シート１６は、外方から保護シート１３等の状態を容易に視認することができることから、好ましくは透明である。

積層体１１は、熱伝導性シート１２が形成された後、キャリアシート１５上に補助シート１４、熱伝導性シート１２、保護シート１３、及び被覆シート１６が順に積層されることにより製造される。具体的には、例えば１つのキャリアシート１５上に補助シート１４、熱伝導性シート１２、及び保護シート１３を構成する各部材が積層された後、各部材が所定の大きさに切断されて余剰部分が取り除かれることにより、１つのキャリアシート１５上に複数の補助シート１４、熱伝導性シート１２、及び保護シート１３が同時に形成される。次いで、キャリアシート１５が熱伝導性シート１２毎に切断された後、切断されたキャリアシート１５に被覆シート１６が積層される。

熱伝導性シート１２は、組成物を調製する調製工程、繊維状充填材３２ａを配向させる配向工程、シート本体２１を成形する成形工程、繊維状充填材３２ａを露出させる露出工程、及びシート本体２１上に粘着層２２を積層する積層工程を経て製造される。

調製工程では、前記各成分が適宜に混合されて組成物が調製される。配向工程では、例えば組成物が金型内に充填された後、繊維状充填材３２ａが配向される。繊維状充填材３２ａを配向させる方法としては、磁場発生装置を用いて組成物に磁場を印加する方法、及び振動装置を用いて組成物に振動を印加する方法が挙げられるが、繊維状充填材３２ａが容易に配向されることから、磁場及び振動の両方を組成物に印加する方法が好ましい。このとき、磁場及び振動は、組成物を介して繊維状充填材３２ａに印加される。

成形工程では、金型内において、繊維状充填材３２ａの配向を維持した状態で高分子マトリックス３１を硬化又は固化させることにより、所定の形状を有するシート本体２１が成形される。図４に示すように、成形工程後のシート本体２１中の繊維状充填材３２ａは、シート本体２１の外面２１ａから露出していない。露出工程では、例えばメッシュ状の刃をシート本体２１の外面２１ａに押し当てた後、それを外面２１ａに沿って摺動させることにより、外面２１ａから高分子マトリックス３１が除去されて外面２１ａ上に繊維状充填材３２ａが露出する。積層工程では、粘着層２２を構成する粘着シート２２ｃが公知の方法によってシート本体２１の外面２１ａに粘着することにより、粘着層２２がシート本体２１の外面２１ａ上に積層される。

熱伝導性シート１２を発熱体及び放熱体に取り付ける際には、図５に示すように、キャリアシート及び被覆シートを剥離して保護シート１３及び補助シート１４を露出させる。具体的には、被覆シートをキャリアシートから剥離した後、例えば補助シート１４の張出部１４ａを把持して補助シート１４をキャリアシートから剥離する。次いで、保護シート１３において、例えば粘着層２２の中央部付近に対応する切断線２３の両側を把持した後、図６に示すように、切断線２３に沿うとともに粘着層２２に向かって保護シート１３を切断する。そして、切断線２３に沿って保護シート１３を２つの切片に切断した後、各切片を粘着層２２の端縁に向かって剥離して粘着層２２を露出させる。

次に、図７（ａ）に示すように、例えば基板４１上に配設された発熱体４２（例えば電子素子）上に熱伝導性シート１２を載置する。発熱体４２の下部は電気絶縁層４３で覆われており、基板４１と電気絶縁層４３との間には、発熱体４２を基板４１上の図示しない電気回路に接続するための端子４４が配設されている。熱伝導性シート１２を発熱体４２上に載置するときには、熱伝導性シート１２の位置決めを行いながら、前記粘着層２２を発熱体４２に対向させる。次いで、補助シート１４において粘着層２２に対応する個所を、例えば指先で発熱体４２に向かって押圧する。このとき、粘着層２２は露出していることから、その粘着性に起因して発熱体４２に貼付され、熱伝導性シート１２の位置ずれの発生が防止される。更に、例えば厚さが０．５ｍｍ以下であるシート本体２１は、その可撓性に起因して発熱体４２に接触する。

続いて、図７（ｂ）に示すように、補助シート１４の張出部１４ａを把持した後、発熱体４２において粘着層２２の貼付個所の反対側に向かって補助シート１４をシート本体２１から剥離させる。このとき、シート本体２１の外面２１ａが露出する。そして、図８（ａ）に示すように、熱伝導性シート１２上に放熱体４５を載置した後、熱伝導性シート１２が発熱体４２及び放熱体４５に密着するように、放熱体４５から発熱体４２に向かって荷重を加え、発熱体４２及び放熱体４５によって熱伝導性シート１２を挟持する。このとき、図８（ｂ）に示すように、シート本体２１の外面２１ａから露出していた繊維状充填材３２ａの端部は、前記荷重によってシート本体２１内に圧入される。更に、高分子マトリックス３１は、前記荷重によって、露出した繊維状充填材３２ａの間に浸み出す。そのため、前記露出した繊維状充填材３２ａは、シート本体２１内において高分子マトリックス３１に対して相対的に没入する。その結果、シート本体２１の粘着性が高まるとともに、シート本体２１は、発熱体４２及び放熱体４５との間に間隙を形成することなく発熱体４２及び放熱体４５に密着する。放熱体４５に加えられる荷重の値は、例えば４．９Ｎである。

前記実施形態によって発揮される効果について、以下に記載する。
・ 本実施形態に係る積層体１１は、熱伝導性シート１２の他に、粘着層２２が粘着する保護シート１３を備えている。保護シート１３は、粘着層２２に比べて大きい外形を有している。そのため、保護シート１３は、粘着層２２に異物が付着したり粘着層２２が傷付いたりすることを防止して粘着層２２全体を容易に保護することができる。

・ 保護シート１３は切断線２３を有しており、保護シート１３が剥離される際には、該保護シート１３が切断線２３に沿って２つの切片に切断された後、各切片が粘着層２２の端縁に向かって剥離される。これにより、保護シート１３が剥離される際に、粘着層２２が保護シート１３とともに剥離されることなく保護シート１３のみを容易に剥離することできる。更に、保護シート１３が容易に剥離されることによって、保護シート１３の剥離の際に薄くて柔軟なシート本体２１がちぎれたり、該シート本体２１が傷付けられたりすることを防止することができる。

保護シート１３に切断線２３が形成されていない場合、保護シート１３が剥離される際には、該保護シート１３は通常、粘着層２２の一方の端縁から他方の端縁に向かって剥離される。粘着層２２は、その端縁が中央部に比べてシート本体２１から剥離され易い。そのため、切断線２３が省略された保護シート１３が剥離される際には、粘着層２２が保護シート１３とともに剥離され易い。これに対して、本実施形態では、保護シート１３を粘着層２２の中央部から端縁に向かって剥離させることができ、粘着層２２の剥離を容易に防止することができる。

・ シート本体２１の静摩擦係数および粘着層２２の粘着性が上述のように設定されているとともに、粘着層２２がシート本体２１の一部にのみ形成されている。そのため、本実施形態に係る熱伝導性シート１２は、熱伝導性がシート本体２１に比べて低い粘着層２２に影響されることなく優れた熱伝導性を発揮することができるとともに、シート本体２１の低い粘着性に起因して容易に取り扱われる。そのため、熱伝導性シート１２は、優れた熱伝導性、及び取り付け性を発揮することができる。

・ シート本体２１の静摩擦係数が０．３以下に設定されることにより、補助シート１４を容易に剥離することができる。
・ シート本体２１と粘着層２２との粘着性が保護シート１３と粘着層２２との粘着性に比べて高く設定されることにより、保護シート１３の剥離の際に粘着層２２がシート本体２１から剥離されることを容易に防止することができる。

・ 各切断線２３は、保護シート１３の周縁部において粘着層２２に対応する端部に対応する端部から粘着層２２に向かって延びている。そのため、保護シート１３を切断線２３に沿って容易に切断することができる。

・ 積層体１１は補助シート１４を備えており、補助シート１４は張出部１４ａを備えている。そして、補助シート１４が剥離される際には、張出部１４ａが把持される。そのため、補助シート１４のキャリアシート１５からの剥離の際に、張出部１４ａの把持によって補助シート１４を容易に剥離することができる。また、補助シート１４の粘着層２２からの剥離の際にシート本体２１上に対応する個所を把持する必要がなく、該把持によって、薄くて柔軟なシート本体２１が傷付けられることを防止することができる。更に、張出部１４ａの把持によって補助シート１４を容易に剥離することができる。また、補助シート１４は、該補助シート１４の剛性及び粘着性に起因して、熱伝導性シート１２が例えば発熱体４２に取り付けられる際に薄くて柔軟なシート本体２１が撓むことを容易に防止することができる。

・シート本体２１と粘着層２２との粘着性が補助シート１４とシート本体２１との粘着性に比べて高く設定されることにより、補助シート１４の剥離の際にシート本体２１と粘着層２２とが分離することを容易に防止することができる。

・ 前記張出部１４ａは粘着層２２に対応する個所に形成されている。そのため、熱伝導性シート１２が発熱体４２に貼付されている個所から補助シート１４を剥離することができ、補助シート１４の剥離の際に、薄くて柔軟なシート本体２１が撓んだり、ちぎれたりすることを防止して補助シート１４を容易に剥離することができる。

・ 積層体１１はキャリアシート１５及び被覆シート１６を備えており、キャリアシート１５は、その周縁部の全体にわたって被覆シート１６に粘着している。そのため、キャリアシート１５及び被覆シート１６は、それらの内方に位置する熱伝導性シート１２、保護シート１３、及び補助シート１４を封止してそれらに異物が付着することを防止することができる。更に、キャリアシート１５が被覆シート１６に粘着することにより、キャリアシート１５の周縁部において粘着性を有する外面が被覆シート１６に覆われている。そのため、キャリアシート１５の周縁部に異物が付着することを防止することができる。更に、積層体１１を巻回させることができ、積層体１１のハンドリング性を高めることができる。

本実施形態は、以下のように変更して具体化されてもよい。
・ 図９（ａ）に示すように、補助シート１４に、粘着層２２に沿って延びるミシン目又はハーフカットの切断線１４ｂが形成され、補助シート１４が切断線１４ｂに沿って切断可能に構成されてもよい。補助シート１４における切断線１４ｂの形成個所は特に限定されず、例えば補助シート１４の中央部である。この場合、熱伝導性シート１２を例えば発熱体４２に取り付ける際には、図９（ｂ）に示すように、まず張出部１４ａの把持及びキャリアシート１５からの剥離によって、切断線１４ｂに沿って補助シート１４が２つの切片に切断された後、張出部１４ａを有する切片のみがキャリアシート１５から剥離される。次いで、図９（ｃ）に示すように、熱伝導性シート１２が例えば発熱体４２に取り付けられた後、補助シート１４の切片が剥離される。

この構成によれば、発熱体４２に取り付けられた熱伝導性シート１２から補助シート１４を剥離する際に、剥離される補助シート１４が本実施形態に係る補助シート１４に比べて小さい外形を有することから、補助シート１４を容易に剥離することができる。この構成の場合、張出部１４ａは、好ましくは粘着層２２に対応する個所に形成されている。張出部１４ａが粘着層２２に対応しない個所に形成されている場合、キャリアシート１５から補助シート１４の切片を剥離する際に、補助シート１４の切片が粘着層２２に対応する個所に位置していない。そのため、熱伝導性シート１２が例えば発熱体４２に取り付けられる際にシート本体２１において粘着層２２を有する個所が撓み易く、熱伝導性シート１２の取り付け性が低下するおそれがある。

・ 図１０（ａ）に示すように、複数の粘着層２２がシート本体２１に形成されてもよいし、図１０（ｂ）に示すように、円形状を有する複数の粘着層２２がシート本体２１の四隅に形成されてもよいし、図１０（ｃ）に示すように、楕円形状を有する粘着層２２がシート本体２１に形成されてもよい。更に、シート本体２１の全体にわたって粘着層２２がドット状に形成されてもよい。粘着層２２がドット状に形成される場合、例えば直径が１．５ｍｍ以下である円径状を有する複数の粘着層２２が５〜１０ｍｍの間隔をおいて形成される。各粘着層２２の間隔が５ｍｍ以下の場合には、シート本体２１に粘着層２２が過剰に形成されることから、粘着層２２に起因して熱伝導性シート１２の熱伝導性が低下するおそれがある。各粘着層２２の間隔が１０ｍｍを超えると、粘着層２２が過剰に少ないことから、熱伝導性シート１２の取り付け性が低下するおそれがある。

・ シート本体２１が、熱伝導性部材、例えばグラファイトシートによって構成されてもよい。この場合、シート本体２１の静摩擦係数はグラファイトに起因して１．０以下である。更に、粘着層２２は、シート本体２１に比べて高い粘着性を有している。また、繊維状充填材３２ａの端部がシート本体２１の外面２１ａから露出していなくてもよいし、繊維状充填材３２ａが配向されていなくてもよい。

・ シート本体２１に、アクリル系、シリコーン系、ウレタン系、ビニル系、及び合成ゴム系の粘着剤、又は接着剤が塗布されることによって粘着層２２が形成されてもよい。接着剤は、シート本体２１に塗布された直後には粘着性を有するものの、時間の経過とともに粘着性を喪失する。そのため、粘着層２２が粘着性を維持することによって熱伝導性シート１２が繰り返し使用され得ることから、粘着層２２の材質は粘着剤が好ましい。

・ 切断線２３は、保護シート１３の周縁部から粘着層２２に向かって延びていればよく、曲線状に延びるように形成されもよいし、粘着層２２に対応する個所に対向しない個所から延びるように形成されてもよいし、粘着層２２に対して斜めに交差するように形成されてもよい。更に、１本の切断線２３のみが形成されてもよい。また、切断線２３は、ハーフカットなどのミシン目以外の形態を有してもよい。

・ 例えばエンボス処理が施されることによって表面に凹凸が形成されている樹脂フィルムにより被覆シート１６が構成されてもよい。この構成によっても、被覆シート１６の粘着性を低下させることができる。

・ 補助シート１４、キャリアシート１５、及び被覆シート１６の少なくとも一つが省略されてもよい。例えば、キャリアシート１５及び被覆シート１６が省略された場合、補助シート１４の張出部１４ａを把持することにより、積層体１１を容易に取り扱うことができる。

・ 張出部１４ａが、補助シート１４において粘着層２２に対応する個所以外の個所に形成されてもよい。
・ 本実施形態に係る保護シート１３及び補助シート１４はシート本体２１と同じ大きさの外形を有しているが、シート本体２１よりも小さい外形を有してもよいし、シート本体２１よりも大きい外形を有してもよい。

・ 熱伝導性シート１２が発熱体４２ではなく放熱体４５に取り付けられた後、発熱体４２及び放熱体４５に挟持されてもよい。

次に、実施例及び比較例を挙げて前記実施形態をさらに具体的に説明する。
（実施例１−ａ）
実施例１−ａにおいては、調製工程として、高分子マトリックス３１としての付加型の液状シリコーン（以下、液状シリコーンゲルという。）に、繊維状充填材３２ａとしての炭素繊維と、粒子状充填材３２ｂとしての球状アルミナ（酸化アルミニウム）とを混合して組成物を調製した。液状シリコーンゲルは、硬化後にゲル状となる。各成分の配合量を表１に示す。各成分の配合量の単位は重量部である。液状シリコーンゲルの２５℃における粘度は４００ｍＰａ・ｓであり、液状シリコーンゲルの比重は１．０であった。炭素繊維の平均繊維径は１０μｍであり、炭素繊維の平均繊維長は１６０μｍであった。球状アルミナの平均粒径は３．２μｍであった。次に、炭素繊維及び球状アルミナが均一に分散されるまで組成物を攪拌した後、組成物の脱泡を行った。

続いて、配向工程として、回転粘度計を用いて組成物の２５℃における粘度を測定した後、金型内に組成物を充填した。粘度の測定結果を表１に示す。次に、超伝導磁石を用いて、１００，０００ガウスの磁束密度を有する磁場を組成物に印加するとともに、圧縮空気を用いて、３．０Ｈｚの周波数及び１０ｍｍの振幅を有する振動を、金型を介して組成物に印加して、炭素繊維をシート本体２１の厚さ方向に沿って配向させた。

次いで、成形工程として、組成物を１２０℃で９０分加熱することにより、液状シリコーンゲルを硬化させてシート本体２１を得た。そして、露出工程として、回転式カッターを用いてシート本体２１の一対の外面２１ａから硬化したシリコーンを５μｍの厚さで除去することにより、炭素繊維を露出させた。露出工程後のシート本体２１の厚さは０．３ｍｍであった。露出工程後のシート本体２１の外面２１ａを電子顕微鏡で観察したところ、炭素繊維の露出を確認することができた。このようにして得られたシート本体２１を、四角板状（縦および横の長さ：４０ｍｍ）に切断した。

続いて、積層工程として、図１１（ａ）に示すように、シート本体２１の周縁部の外面２１ａにシリコーン系粘着剤を塗布することにより、正方形状の粘着層２２（厚さ：３０μｍ、縦および横の長さ：５ｍｍ）を形成して熱伝導性シート１２を得た。

次に、キャリアシート１５上に、補助シート１４、熱伝導性シート１２、保護シート１３、及び被覆シート１６を順に積層して積層体１１を得た。保護シート１３はＰＥＴフィルムにより構成されており、保護シート１３の厚さは２５μｍであるとともに縦および横の長さは４０ｍｍである。補助シート１４は表面にアクリル系粘着剤が塗布されたＰＥＴフィルムにより構成されており、補助シート１４の厚さは９０μｍであるとともに縦および横の長さは４０ｍｍおよび５０ｍｍである。キャリアシート１５は、表面にアクリル系粘着剤が塗布されたＰＥＴフィルムにより構成されており、キャリアシート１５の厚さは８５μｍであるとともに縦および横の長さは６０ｍｍである。被覆シート１６はＰＥＴフィルムにより構成されており、被覆シート１６の厚さは４０μｍであるとともに縦および横の長さは６０ｍｍである。

（実施例１−ｂ）
図１１（ｂ）及び表２に示すように、粘着層２２の横の長さを３０ｍｍに変更して粘着層２２を長方形状に形成した以外は、実施例１−ａと同様にして積層体１１を得た。

（実施例１−ｃ）
図１１（ｃ）に示すように、シート本体２１の四隅に粘着層２２（厚さ：５０μｍ、縦および横の長さ：１０ｍｍ）を形成した以外は、実施例１−ａと同様にして積層体１１を得た。

（実施例１−ｄ）
図１１（ｄ）に示すように、ＰＥＴフィルムにアクリルシリコーン系粘着剤が塗布されている粘着テープ（厚さ：２０ｍｍ、幅：２ｍｍ、長さ：２０ｍｍ）をシート本体２１の周縁部の外面２１ａに貼付することにより粘着層２２を形成した以外は、実施例１−ａと同様にして積層体１１を得た。

（実施例１−ｅ）
図１１（ｅ）及び表２に示すように、粘着層２２の縦および横の長さを１２ｍｍに変更した以外は、実施例１−ｃと同様にして積層体１１を得た。

（実施例１−ｆ）
図１１（ｆ）及び表２に示すように、直径１．０ｍｍの円形状を有する複数の粘着層２２を、５ｍｍ間隔でシート本体２１の全体にわたってドット状に形成した以外は、実施例１−ａと同様にして積層体１１を得た。表２中の“Φ”は粘着層２２の直径を示す。

（実施例１−ｇ）
表２に示すように、粘着層２２の厚さを７０μｍに変更した以外は、実施例１−ｄと同様にして積層体１１を得た。

（実施例２−ａ〜２−ｇ）
実施例２−ａ〜２−ｇにおいては、繊維状充填材３２ａとしてＰＢＯ炭素繊維を用いるとともに、各成分の配合量を表１に示すように変更し、更に、露出工程において金属製のメッシュを用いた研磨によってシリコーンを除去した。それ以外は、実施例１−ａ〜１−ｇと同様にしてシート本体２１を得た。露出工程後のシート本体２１の外面２１ａを電子顕微鏡で観察したところ、ＰＢＯ炭素繊維の露出を確認することができた。このようにして得られたシート本体２１を、四角板状（縦および横の長さ：４０ｍｍ）に切断した。そして、表３に示すように、実施例１−ａ〜１−ｇと同様にして粘着層２２を形成するとともに各シートを積層して積層体１１を得た。

（実施例３−ａ〜３−ｇ）
実施例３−ａ〜３−ｇにおいては、厚さが０．１ｍｍであるとともに厚さ方向の熱伝導率が１５Ｗ／ｍ・Ｋであるグラファイトシート（パナソニック エレクトロニックデバイス株式会社製のＰＧＳ（登録商標）を用いてシート本体２１を得た。そして、表４に示すように、実施例１−ａ〜１−ｇと同様にして粘着層２２を形成するとともに各シートを積層して積層体１１を得た。

実施例２−ａ〜２−ｇ及び実施例３−ａ〜３−ｇにおけるアルファベットは、実施例１−ａ〜１−ｇとの対応を示している。例えば、実施例２−ａでは、実施例１−ａと同様にして粘着層２２が形成され、実施例２−ｂでは、実施例１−ｂと同様にして粘着層２２が形成されている。同様に、実施例３−ａでは、実施例１−ａと同様にして粘着層２２が形成され、実施例３−ｂでは、実施例１−ｂと同様にして粘着層２２が形成されている。

（比較例１〜３）
比較例１においては、粘着層２２を省略した以外は実施例１−ａと同様にして積層体を得た。比較例２においては、粘着層２２を省略した以外は実施例２−ａと同様にして積層体を得た。比較例３においては、粘着層２２を省略した以外は実施例３−ａと同様にして積層体を得た。

そして、各例のシート本体および熱伝導性シートについて、下記の各項目に関して測定または評価を行った。その結果を表１〜表４に示す。表２〜４の“割合（％）（対外面）”欄の数値は、シート本体２１において、粘着層２２が取り付けられた片方の外面２１ａ全体の面積に対して粘着層２２が占める面積の割合を示す。

＜取り扱い性＞
各実施例のシート本体２１について、それらの粘着性に基づいて取り扱い性を評価した。表１の“取り扱い性”欄において、“○”は、シート本体２１の粘着性が適度に低く、シート本体２１の取り扱いが容易であること示す。

＜熱伝導率＞
各実施例のシート本体２１から円板状の試験片（直径：１０ｍｍ、厚さ：０．３ｍｍ）を得た後、レーザーフラッシュ法により試験片の熱伝導率を測定した。

＜熱抵抗値＞
積層体１１から熱伝導性シート１２を取り出した後、図１２に示すように、基板４１上に形成された発熱体４２上に各例の熱伝導性シート１２及び金属製の放熱体４５を順に載置し、放熱体４５上に１０ｋｇの重り４６を載置して熱伝導性シート１２に６．１×１０^４Ｐａの荷重を加えた。そして、発熱体４２が発熱した状態で１０分間放置した後、熱伝導性シート１２における発熱体４２側の外面の温度Ｔ_１と放熱体４５側の外面の温度Ｔ_２とを測定機４７により測定した。そして、下記式（１）により熱伝導性シート１２の熱抵抗値を算出した。発熱体４２は通常、ＣＰＵに代表される電子部品であるが、熱伝導性シート１２の性能評価の簡素化および迅速化のため、本試験では発熱体４２として発熱量が１００Ｗであるヒータを用いた。前記荷重の値は、熱伝導性シート１２が電子部品に取り付けられる際に、熱伝導性シート１２に通常加わる荷重の大きさを示す。

熱抵抗値（℃／Ｗ）＝（Ｔ_１（℃）−Ｔ_２（℃））／発熱量（Ｗ） …（１）
＜位置決め＞
前記＜熱抵抗値＞において、熱伝導性シート１２を発熱体４２に取り付ける際の熱伝導性シート１２の位置決めの容易性を評価した。表２〜４中の“位置決め”欄において、“○”は、熱伝導性シート１２が取り付けられた発熱体４２が斜めに傾けられても熱伝導性シート１２の位置ずれが起きなかったことを示す。“×”は、熱伝導性シート１２が取り付けられた発熱体４２が斜めに傾けられた際に熱伝導性シート１２がずれ落ちたりして熱伝導性シート１２の位置ずれが起きたことを示す。

＜転写性＞
積層体１１から熱伝導性シート１２を取り出して例えば発熱体４２に転写（貼付）する際の容易性を評価した。具体的には、熱伝導性シート１２が破れたり、撓んで折れ曲がった状態で転写されたりすることなく良好に発熱体４２に転写される確率を調査した。このとき、補助シート１４の大きさを変更して調査を行った。表２〜４の“転写性”欄における括弧内の数値は、シート本体２１において、外面２１ａ全体の面積に対する補助シート１４に対向する個所が占める面積の割合を示す。表２〜４中の“転写性”欄において、“◎”は、９５％以上の確率で熱伝導性シート１２を良好に転写することができたことを示す。“○”は、７０％以上９５％未満の確率で熱伝導性シート１２を良好に転写することができたことを示す。“△”は、５０％以上７０％未満の確率で熱伝導性シート１２を良好に転写することができたことを示す。“×”は、５０％未満の確率で熱伝導性シート１２を良好に転写することができたことを示す。補助シート１４がシート本体２１に比べて小さい外形を有している場合、張出部１４ａを粘着層２２に対応する個所に形成した。

表１に示すように、各実施例のシート本体２１においては、各項目について優れた評価および結果が得られた。そのため、各実施例のシート本体２１は、優れた熱伝導性および取り扱い性を有している。表２〜４に示すように、各実施例の熱伝導性シート１２においても、各項目について優れた評価および結果が得られた。そのため、各実施例の熱伝導性シート１２は、粘着層２２による熱伝導性の低下が見られず、且つ位置ずれが起こることなく容易に発熱体４２に取り付けられることができる。以上のことから、各実施例の熱伝導性シート１２は、優れた熱伝導性及び取り付け性を有している。また、各実施例の積層体１１はハンドリング性に優れており、積層体１１を容易に取り扱うことができた。加えて、補助シート１４がシート本体２１に比べて小さい外形を有する場合にも、張出部１４ａによって熱伝導性シート１２を良好に転写することができることが分かった。

一方、比較例１〜３においては、位置決め及び転写性に関する評価が各実施例に比べて劣っていた。そのため、各比較例の熱伝導性シートの取り付け性は、各実施例に比べて劣っている。

（実施例４）
実施例４においては、実施例１−ａと同様にしてシート本体２１（厚さ：０．３ｍｍ）を得た。

（実施例５）
実施例５においては、実施例２−ａと同様にしてシート本体２１（厚さ：０．３ｍｍ）を得た。

（実施例６）
実施例６においては、実施例３−ａと同様にしてシート本体２１（厚さ：０．１３ｍｍ）を得た。

（実施例７）
実施例７においては、繊維状充填材３２ａを省略するとともに粒子状充填材３２ｂとして水酸化アルミニウムおよび球状アルミナを用い、配向工程における磁場および振動の印加と、露出工程とを省略した以外は実施例１−ａと同様にしてシート本体２１（厚さ：０．３ｍｍ）を得た。各成分の配合量を表５に示す。

（実施例８）
実施例８においては、露出工程を省略した以外は実施例１−ａと同様にしてシート本体２１を得た。

（比較例４）
比較例４においては、繊維状充填材３２ａを省略するとともに粒子状充填材３２ｂとして水酸化アルミニウムおよび球状アルミナを用い、配向工程における磁場および振動の印加と、露出工程とを省略した以外は実施例１−ａと同様にしてシート本体（厚さ：０．３ｍｍ）を得た。各成分の種類および配合量を表５に示す。比較例４のシート本体は、その一方の外面が粘着性を有しており、他方の外面が粘着性を有していなかった。

そして、実施例４〜８及び比較例４の各シート本体について、下記の各項目に関して測定または評価を行った。その結果を表６に示す。表６の“比較例４”欄の“粘着面”は、比較例４のシート本体において粘着性を有している外面についての結果を示し、“非粘着面”は、比較例４のシート本体において粘着性を有していない外面についての結果を示す。

＜静摩擦係数＞
図１３に示すように、水平台４８上に各例のシート本体からなる試験片４９を載置した後、該試験片４９上に滑り片５０及び１２０ｇの重り５１（直径：２８ｍｍ、高さ：２５ｍｍの円柱形）を順に載置した。次いで、重り５１に牽引用のテープ５２の一端を貼付し、該テープ５２の他端をプッシュプルゲージ５３（アイコーエンジニアリング（株）製のＣＰＵゲージ Ｍ−９５００）に固定した。続いて、図１３に矢印で示すように、プッシュプルゲージ５３を、試験片４９の外面に平行な方向に１００ｍｍ／ｍｉｎの速度で牽引した。次に、プッシュプルゲージ５３の牽引時における試験片４９と滑り片５０との静摩擦力Ｆｓ（Ｎ）を測定した。

そして、下記式（２）により静摩擦係数を算出した。ここで、各例のシート本体について静摩擦力Ｆｓの測定および静摩擦係数の算出を５回行い、それらの静摩擦係数の値の平均値をシート本体の静摩擦係数とした。また、滑り片５０として、ＰＥＴフィルム（東レ株式会社製のルミラーＳ１０ ７５μｍ）及びアルミニウム箔テープ（３Ｍ社製のＳｃｏｔｃｈ Ｂｒａｎｄ Ｔａｐｅ ４３３ＨＤ）の２種類を用いた。アルミニウム箔テープについては、該テープのアルミニウム箔面が試験片４９に対向するように、アルミニウム箔テープを試験片４９上に載置した。また、比較例４のシート本体については、粘着性を有する外面と、粘着性を有していない外面との両方について測定および算出を行った。

静摩擦係数＝Ｆｓ（Ｎ）／Ｆｐ（Ｎ） …（２）
上記式（２）において、Ｆｐは、滑り片５０の質量（重量）によって生じる垂直抗力を示し、Ｆｐの値は０．１２ｋｇ（重り５１の重量）×９．８ｍ／ｓ^２（重力加速度）＝０．１１７６Ｎで表される。

＜粘着力＞
ＪＩＳ Ｚ ０２３７に従って各例のシート本体の粘着力を測定した。具体的には、図１４に示すように、水平台４８の表面にフィルム５４を固定した後、各例の試験片４９を載置した。そして、試験片４９の一端を引張り試験機のロードセル５５に取り付けた。そして、試験片４９を３００ｍｍ／ｍｉｎの速度で水平台４８に対する垂線に沿って引き剥がす際の荷重を測定した。ここで、各例の試験片４９について荷重の測定を５回行い、それらの測定値の平均値をシート本体の粘着力とした。フィルム５４として、ＰＥＴフィルム（東レ株式会社製のルミラーＳ１０ ７５μｍ）及びアルミニウム箔テープ（３Ｍ社製のＳｃｏｔｃｈ Ｂｒａｎｄ Ｔａｐｅ ４３３ＨＤ）の２種類を用いた。アルミニウム箔テープについては、該テープのアルミニウム箔面が試験片４９に対向するように、アルミニウム箔テープを水平台４８に固定した。また、比較例４の試験片４９については、粘着性を有する外面と、粘着性を有していない外面との両方について測定を行った。表６の“粘着力（対アルミ）（Ｎ／２５ｍｍ）”欄は、アルミニウム箔テープを用いた場合の粘着力の測定結果を示し、“粘着力（対ＰＥＴ）（Ｎ／２５ｍｍ）”欄は、ＰＥＴフィルムを用いた場合の粘着力の測定結果を示す。これらの欄において、“−”は、上述の方法で粘着力を測定することができないほど粘着力が小さかったことを示す。

表６に示すように、実施例４〜６のシート本体２１では、その静摩擦係数が１．０以下であり、上述の方法で粘着力を測定することができないほど粘着力が小さかった。そのため、実施例４〜６のシート本体２１の取り扱いは容易である。実施例７及び８のシート本体２１の静摩擦係数も１．０以下であった。更に、実施例７及び８のシート本体２１は、上述の方法で測定することができる程度の粘着力を有しており、実施例４〜６のシート本体２１に比べて取り扱いが若干困難になるものの、十分に実用に耐えるものである。

一方、比較例４のシート本体は、各外面の静摩擦係数が１．０を超えていることから、各実施例に比べて高い粘着力を有していた。そのため、比較例４のシート本体の取り扱いは、各実施例に比べて困難であった。

（実施例９）
実施例９においては、実施例１−ｄと同様にして積層体１１を得た。そして、実施例９の積層体１１について、下記の項目に関して測定を行った。

＜粘着性＞
ＪＩＳ Ｋ ６８５４の引張試験機を用いて、積層体１１を構成する各シートの粘着性、即ち各シートの剥離に要する荷重を測定した。測定結果を表７に示す。表７の “キャリアシートからの被覆シートの剥離”欄は、キャリアシート１５からの被覆シート１６の剥離に要する荷重を示す。“粘着層からの保護シートの剥離”欄は、粘着層２２からの保護シート１３の剥離に要する荷重を示す。“補助シートからのキャリアシートの剥離”欄は、補助シート１４からのキャリアシート１５の剥離に要する荷重を示す。“熱伝導性シートからの補助シートの剥離”欄は、熱伝導性シート１２からの補助シート１４の剥離に要する荷重を示す。“アルミ板からの粘着層の剥離”欄は、発熱体４２に見たてたアルミ板からの粘着層２２の剥離に要する荷重を示す。

表７に示すように、熱伝導性シート１２からの補助シート１４の剥離に要する荷重は、発熱体４２としてのアルミ板からの粘着層２２の剥離に要する荷重よりも低い値となった。そのため、実施例９の熱伝導性シート１２は、該熱伝導性シート１２を発熱体４２に取り付けた後に補助シート１４を剥離する際に、シート本体２１と粘着層２２とが分離することなく補助シート１４のみを容易に剥離することができることが分かった。また、熱伝導性シート１２からの補助シート１４の剥離に要する荷重は適度に大きい値であった。そのため、熱伝導性シート１２を発熱体４２に取り付けるために張出部１４ａを把持して熱伝導性シート１２を取り扱う際に、熱伝導性シート１２がその自重によって補助シート１４から剥離することなく、補助シート１４に粘着していることが分かった。また、前記引張試験機を用いて、シート本体２１と粘着層２２との粘着性を測定することができなかったが、シート本体２１からの粘着層２２の剥離に要する荷重は１Ｎ以上であると推定される。シート本体２１からの粘着層２２の剥離に要する荷重が１Ｎ以上である場合、熱伝導性シート１２を例えば発熱体４２に取り付け直すことにより、熱伝導性シート１２を再利用することができる。

（ａ）は実施形態に係る積層体を示す平面図、（ｂ）は図１（ａ）の１ｂ−１ｂ線における断面図、（ｃ）は図１（ａ）の１ｃ−１ｃ線における断面図。 （ａ）は熱伝導性シートを示す平面図、（ｂ）は図２（ａ）の２ｂ−２ｂ線における断面図、（ｃ）はシート本体を拡大して示す断面図、（ｄ）は粘着層を拡大して示す断面図。 熱伝導性シート及び保護シートを示す平面図。 熱伝導性シートの製造工程を示す断面図。 熱伝導性シート、保護シート、及びキャリアシートを示す断面図。 保護シートの剥離工程を示す平面図。 （ａ）及び（ｂ）は熱伝導性シートの発熱体への取り付けを示す断面図。 （ａ）は発熱体及び放熱体によって挟持された熱伝導性シートを示す断面図、（ｂ）はシート本体を拡大して示す断面図。 （ａ）から（ｃ）は補助シートの別例を示す断面図。 （ａ）から（ｃ）は粘着層の別例を示す断面図。 （ａ）から（ｆ）は実施例に係る熱伝導性シートを示す平面図。 シート本体の熱抵抗値の測定方法を示す概略図。 シート本体の静摩擦係数の測定方法を示す概略図。 シート本体の粘着力の測定方法を示す概略図。

符号の説明

１１…熱伝導性シート積層体、１２…熱伝導性シート、１３…保護シート、１４…補助シート、１４ａ…張出部、１５…キャリアシート、１６…被覆シート、２１…シート本体、２２…粘着層、２３…切断線、４２…発熱体、４５…放熱体。

Claims (9)

1. 発熱体と放熱体との間に介在して用いられるシート本体、及び該シート本体上に設けられる粘着層を有する熱伝導性シートと、前記粘着層上に設けられて該粘着層を保護する保護シートとを備える熱伝導性シート積層体であって、
   前記シート本体の静摩擦係数が１．０以下であり、
   前記粘着層は、前記シート本体に比べて高い粘着性を有するとともに、シート本体よりも小さい外形を有し、
   前記保護シートは、前記粘着層に比べて大きい外形を有するとともに、保護シートの周縁部から粘着層に向かって延びる切断線を備え、該切断線に沿って切断可能に構成されていることを特徴とする熱伝導性シート積層体。
2. 前記粘着層がシート本体及び保護シートに粘着しており、シート本体と粘着層との粘着性が保護シートと粘着層との粘着性に比べて高く設定されている請求項１に記載の熱伝導性シート積層体。
3. 前記保護シートの周縁部が前記粘着層上に位置しており、前記切断線は、保護シートの周縁部において粘着層に対応する個所に対向する個所から粘着層に向かって延びている請求項１又は請求項２に記載の熱伝導性シート積層体。
4. 前記保護シートが前記シート本体の全体にわたって設けられている請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の熱伝導性シート積層体。
5. 前記熱伝導性シート積層体が補助シートを更に備え、
   前記シート本体が補助シート上に設けられ、
   前記補助シートは、シート本体から外方へ露出している張出部を備えている請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の熱伝導性シート積層体。
6. 前記補助シートがシート本体に粘着しており、シート本体と前記粘着層との粘着性が補助シートとシート本体との粘着性に比べて高く設定されている請求項５に記載の熱伝導性シート積層体。
7. 前記粘着層が前記シート本体の周縁部に設けられており、前記張出部が、前記補助シートの周縁部において粘着層に対応する個所に設けられている請求項５又は請求項６に記載の熱伝導性シート積層体。
8. 前記熱伝導性シート積層体が、前記熱伝導性シート、保護シート、及び補助シートよりも大きい外形を有しているキャリアシートを更に備え、
   前記補助シートがキャリアシート上に設けられている請求項５から請求項７のいずれか一項に記載の熱伝導性シート積層体。
9. 前記熱伝導性シート積層体が、前記熱伝導性シート、保護シート、及び補助シートよりも大きい外形を有している被覆シートを更に備え、
   前記被覆シートが保護シート上に設けられ、前記キャリアシート及び被覆シートが、それらの周縁部の全体にわたって互いに粘着している請求項８に記載の熱伝導性シート積層体。

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