JP6087518B2 - 熱伝導性シート供給体及び熱伝導性シートの供給方法 - Google Patents
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Description
チップから発生する熱をヒートシンクに効率良く伝えるために、ヒートシンクをチップに密着させる必要があるが、各チップの高さの違いや組み付け加工による公差があるため、柔軟性を有するシートや、グリースをチップとヒートシンクとの間に介装させ、このシートまたはグリースを介してチップからヒートシンクへの熱伝導を実現している。
一方、熱伝導性シートに関しては、実装時は貼り付けるだけで、特別な装置は必要なく、グリースに比べて取扱い性や管理が容易であるが、貼り付け作業は手作業がほとんどで非常に効率が悪く、製品の組み立て工程の律速となっている場合がある。そこで、熱伝導性シートの実装工程を半導体部品の実装において主流となっているバキュームノズルなどを用いた自動実装にすることで、飛躍的な生産性の向上が見込める。
この方法及び供給体によれば、平面状に広がることなく、多くの熱伝導性シートを準備でき、さらにカバーフィルムを剥がしながらテープを少しずつ送ることで、定位置で熱伝導性シートを取り上げることができるため、バキュームノズルは一定の動きをすればよく、ノズルの動きが単純化され実装工程上の失敗の危険性が少なくなり、自動実装工程の簡略化や効率化を実現することができる。
エンボスキャリアテープを用いた供給方法は、非常に小さく強度の弱い半導体部品の供給方法としては知られていた(特許文献1〜4)ものの、熱伝導性シートの供給方法としては例がなかった。
このように、本発明の熱伝導性シート供給体及び熱伝導性シートの供給方法であれば、熱伝導性シートの自動実装工程を簡略化及び効率化できることを見出し、本発明を完成させた。
図1〜図3に示したように、熱伝導性シート1を収納したポケット2を表面に複数備えたエンボスキャリアテープ3と、このエンボスキャリアテープ3の表面を保護するカバーフィルム4とが、リール5状に巻かれてなることを特徴とする本発明の熱伝導性シート供給体6及びこれを用いた熱伝導性シートの供給方法であれば、熱伝導性シート1をバキュームノズル7で正しく吸引し、例えば半導体チップ8などに実装することができるので、熱伝導性シート1の自動実装工程を簡略化及び効率化することができる。
以下、本発明について詳細に説明する。
エンボスキャリアテープは、半導体製造用部品の中でも特に非常に小さく、強度の弱いものを収納する際に広く用いられているものを代用することができる。半導体用部品搬送用のエンボスキャリアテープに関する発明は数多くあり、例えば、文献1〜4等が例示される。素材は耐熱性、耐候性の点から、ポリカーボネートが好ましい。
この場合、突起や凸部が、熱伝導性シートを傷つけない形状であることが好ましい。
半導体部品搬送用エンボスキャリアテープのカバーフィルムに関する発明は数多くある(特許文献5)が、本発明に用いるカバーフィルムは、半導体製造用部品の中でも特に非常に小さく、強度の弱いものを保護する際に広く用いられているものを代用することができる。素材はポリエステルフィルムなどが好ましい。
エンボスキャリアテープとカバーフィルムを接合させる必要があるが、その方法は、カバーフィルムの端部に接着剤を塗布し接着させる方法とキャリアテープとカバーフィルムを熱圧着させる方法とがある。
接合強度は、熱伝導性シート供給体を輸送する際の振動や熱、熱衝撃に耐え、経時でも安定していることが好ましい。接合強度が弱すぎると輸送中に剥がれてしまい、強すぎると実装時にテープを剥がす際に余分な負荷がかかることになる。
本発明では、前記熱伝導性シートの少なくとも片面の表面のタックエネルギーが、70μJ以下であることが好ましい。
また、熱伝導性シートをポケットに収納する際には、カバーフィルム側に熱伝導性シートのタックエネルギーの小さい面がくるように収納するのが好ましい。
タックエネルギーの測定方法としては、マルコム社製タッキネステスターTK−1を用いることができる。測定条件はIPC規格に準拠した。
補強層を有していれば、熱伝導性シートの厚みが600μm以下の場合でも、リール化した後、輸送の際にエンボスキャリアテープのポケットが上下逆さまになったとしても、ポケットの中で、熱伝導性シートが、端に寄ったり折れ曲がったり、裏返ってしまうおそれがない。そのため実装時にバキュームノズルで正しく熱伝導性シートを吸引することが可能となる。
補強層は、放熱性能や補強能力から、金属箔やガラスクロス、ポリイミドフィルムが好ましい。より好ましくは20μm以上の厚みを有する金属箔である。この厚みを有する金属箔の補強層であれば、十分な補強性能を有することに加え、熱伝導率が高く(例えばアルミ箔は237W/mK)、放熱性能への影響も少ない。さらに好ましいのは、20μ〜150μmの厚みを有する金属箔である。この厚みであれば、加工性が良好で、柔軟性も失われず、圧縮性能も富む。
金属箔の種類は、例えば、金箔、銀箔、銅箔、アルミ箔などが挙げられる。価格、加工性、延性、展性、製品安定性を考慮するとアルミ箔が好ましい。
また、補強層の上に熱伝導性樹脂層を積層させる場合は、補強層の片側だけに積層させてもよいが、両側に積層させるのが好ましい。補強層の両側に熱伝導性樹脂層を積層させた方が、実装させたときに発熱部と冷却部との密着性が向上しより高い放熱効果が期待できる。
熱伝導性樹脂のマトリックスとしては、有機ゴム、シリコーンゴム、ポリウレタンゲル、合成ゴム、天然ゴムなどのゴムや、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂などの熱硬化性樹脂、熱可塑性エラストマーが挙げられる。マトリックスは一種類を単独で又は二種以上組み合わせても使用してもよい。
マトリックスは、耐熱性、耐寒、耐候性、電気特性、及び熱伝導性シートの電子部品における重要性を考慮すると、シリコーンゴムが好ましい。
また、前記熱伝導性シートの厚みは、60μm以上600μm以下であることが好ましい。
熱抵抗は、ASTM D−5470試験法を用い、30psi/100℃/30分の条件で熱抵抗を測定できる。
また、前記熱伝導性樹脂層の熱伝導率は、1.0W/mK以上であることが好ましく、
さらに好ましくは3.0W/mK以上である。
測定用サンプルとして熱伝導性シリコーン硬化物を60×60×6mmのサイズに成型したものを2つ準備し、成型体でプローブを挟み、ホットディスク法を用いて熱伝導率を測定できる。
前記熱伝導性樹脂層が、シリコーン樹脂100質量部に対し、熱伝導性充填材を300質量部以上含有することが好ましい。
熱伝導性充填材としては、非磁性の銅やアルミニウム等の金属、アルミナ、シリカ、マグネシア、ベンガラ、ベリリア、チタニア、ジルコニア等の金属酸化物、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化硼素等の金属窒化物、水酸化マグネシウム等の金属水酸化物、人工ダイヤモンドあるいは炭化珪素等、一般に熱伝導充填材とされる物質を用いることができる。また中心粒径が、0.1〜200μmの熱伝導性充填材を用いることができ、1種単独で又は2種以上複合して用いてもよい。
実施例および比較例を行なうにあたり、熱伝導性シートの成分及び成型方法を以下に記載する。
(A−1)成分:
粘度:600mm2/s
(A−2)成分
ジメチルシロキサン単位99.85モル%及びメチルビニルシロキサン単位0.15モル%からなる、平均重合度が8,000のメチルビニルポリシロキサン
(A−3)成分
ポリ2-ブチルアクリレート
平均重合度が下記の通りである、両末端が炭化水素で封鎖されたハイドロジェンポリシロキサン
平均重合度:o=28、p=2
(B−2)成分
デナコールEX83D(ナガセケムテックス(株))
平均粒径が下記の通りである熱伝導性充填材としての水酸化アルミニウム
(C−1)平均粒径:1μm:アルミニウム粉
(C−2)平均粒径:10μm:アルミニウム粉
(C−3)平均粒径:1μm:アルミナ
(C−4)平均粒径:10μm:アルミナ
付加反応促進剤として、5%塩化白金酸2-エチルヘキサノール溶液
(E)成分:
付加反応制御剤として、エチニルメチリデンカルビノール。
アルミ箔 厚み50μm
ガラスクロス 厚み64μm、
密度たて60本、よこ47本/25mm
(A−1)、(A−3)成分をベースポリマーとして用いる際にはプラネタリーミキサーを用いて混練し、(A−2)成分をベースポリマーとして用いる際にはバンバリミキサーを用いて混練し、熱伝導性シートの組成物イ〜トを得た。
得られた組成物イ〜トの構成成分とその配分、及び伝導率を表1に示した。
組成物トに関しては、トルエンを添加せずに補強層上に塗工を行なった。硬化温度は190℃とした。
得られた熱伝導性シートの熱抵抗(K−cm2/W)、タックエネルギー(μJ)を測定した。さらに10×10mmサイズに切り出した。実施例1から5に関しては、図4に記載のポリカーボネート製エンボスキャリアテープのポケットに熱伝導性シートを1000個収納した。この時、カバーフィルム側に熱伝導性シートのタックエネルギーの小さい面がくるように収納した。エンボスキャリアテープの上からポリエステルフィルムで保護し、さらにテープをリール化して熱伝導性シート供給体を作製した(実施例1〜5)。
これらの結果を表2に示した。
また、本発明の熱伝導性シート供給体及び熱伝導性シートの供給方法によれば、熱伝導性シートの実装時において、バキュームノズルが、熱伝導性シートを正しく吸引してミスなく供給できるのに対し、本発明の熱伝導性シート供給体及び熱伝導性シートの供給方法によらない比較例では、バキュームノズルが熱伝導性シートを正しく吸引できず、供給ミスが生じる。
Claims (4)
- 各々一つの熱伝導性シートを収納したポケットを表面に複数備えたエンボスキャリアテープと、該エンボスキャリアテープの表面を保護するカバーフィルムとが、リール状に巻かれてなる熱伝導性シート供給体であり、
前記熱伝導性シートが、補強層と、該補強層の片面に積層させた熱伝導性樹脂層、又は前記補強層の両面に積層させた異なる熱伝導性樹脂層とからなるものであり、前記熱伝導性シートの少なくとも片面の表面のタックエネルギーが70μJ以下であり、前記熱伝導性シートの厚みが、60μm以上600μm以下であり、前記補強層が、アルミ箔であり、前記熱伝導性樹脂層が、シリコーンゴム100質量部に対し、熱伝導性充填材を300質量部以上含有するものであり、前記熱伝導性シートの両表面はそれぞれ異なるタックエネルギーを有しており、
前記熱伝導性シート供給体は、前記熱伝導性シートの前記カバーフィルム側の面のタックエネルギーが前記ポケットの底面側の面より小さくなるように、前記エンボスキャリアテープのポケットに前記熱伝導性シートを収納したものであることを特徴とする熱伝導性シート供給体。 - 前記熱伝導性樹脂層の熱伝導率が、1.0W/mK以上であることを特徴とする請求項1に記載の熱伝導性シート供給体。
- 前記熱伝導性樹脂層の熱伝導率が、3.0W/mK以上であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の熱伝導性シート供給体。
- 請求項1から3のいずれか1項に記載の熱伝導性シート供給体のエンボスキャリアテープのポケットに収納された熱伝導性シートを、バキュームノズルを用いて前記ポケットから1つずつ吸引して供給することで自動実装することを特徴とする熱伝導性シートの供給方法。
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