JP3434186B2 - 熱伝導性シリコーンゲル成形シート及びその製造方法 - Google Patents
熱伝導性シリコーンゲル成形シート及びその製造方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、発熱性電子部品等
の放熱冷却構造の一部に用いられる熱伝導性シートに関
する。特に、発熱性電子部品等の放熱冷却手段に用いら
れる低硬度型熱伝導性シートに関する。
の放熱冷却構造の一部に用いられる熱伝導性シートに関
する。特に、発熱性電子部品等の放熱冷却手段に用いら
れる低硬度型熱伝導性シートに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、基板上に実装された発熱性電子部
品等の放熱冷却構造の一部に用いられる熱伝導性シート
には、下記に示す低硬度型の熱伝導性シートが提案され
ている。 （１）発熱性電子部品（以後、チップと仮称する）と放
熱体との間に圧接された際に、熱伝導性シートの圧縮荷
重を低く抑えることで、チップ及び放熱体の圧縮による
変形、損傷を無くする。 （２）圧接面に凹凸が有るチップ及び放熱体との間に圧
接された際に、熱伝導性シートを軟質にすることで、十
分に密着し伝熱面積を確保する。 （３）基板上に実装された高さの異なる複数個のチップ
と放熱体との間に圧接された際に、熱伝導性シートを軟
質にすることで、高さの異なる複数個のチップ全てに十
分に密着し、且つチップ及び放熱体の圧縮による変形、
損傷を無くする。
品等の放熱冷却構造の一部に用いられる熱伝導性シート
には、下記に示す低硬度型の熱伝導性シートが提案され
ている。 （１）発熱性電子部品（以後、チップと仮称する）と放
熱体との間に圧接された際に、熱伝導性シートの圧縮荷
重を低く抑えることで、チップ及び放熱体の圧縮による
変形、損傷を無くする。 （２）圧接面に凹凸が有るチップ及び放熱体との間に圧
接された際に、熱伝導性シートを軟質にすることで、十
分に密着し伝熱面積を確保する。 （３）基板上に実装された高さの異なる複数個のチップ
と放熱体との間に圧接された際に、熱伝導性シートを軟
質にすることで、高さの異なる複数個のチップ全てに十
分に密着し、且つチップ及び放熱体の圧縮による変形、
損傷を無くする。
【０００３】その代表例としては、熱伝導性充填剤を配
合したシリコーンゲルシートが知られており、また特開
平２−１６６７５５号公報、特開平２−１９６４５３号
公報及び特開平６−１５５５１７号公報が挙げられる。
合したシリコーンゲルシートが知られており、また特開
平２−１６６７５５号公報、特開平２−１９６４５３号
公報及び特開平６−１５５５１７号公報が挙げられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、熱伝導性充填
剤を配合したシリコーンゲルシートやその片面又は両面
に溝を有する熱伝導性シリコーンゲルシート（特開平２
−１６６７５５号公報）は、非常に柔らかく、強度も無
い為、実装作業時の取扱い性が悪いという問題がある。
又、シート両面の粘着性が同レベルである為、実装後の
メンテナンス時にチップと放熱体の圧接を開放した際、
熱伝導性シリコーンゲルシートが両方に密着した状態で
引き伸ばされ、極端な変形あるいは破損してしまい再使
用が出来ないという問題がある。
剤を配合したシリコーンゲルシートやその片面又は両面
に溝を有する熱伝導性シリコーンゲルシート（特開平２
−１６６７５５号公報）は、非常に柔らかく、強度も無
い為、実装作業時の取扱い性が悪いという問題がある。
又、シート両面の粘着性が同レベルである為、実装後の
メンテナンス時にチップと放熱体の圧接を開放した際、
熱伝導性シリコーンゲルシートが両方に密着した状態で
引き伸ばされ、極端な変形あるいは破損してしまい再使
用が出来ないという問題がある。
【０００５】次に、熱伝導性充填剤配合のシリコーンゴ
ムシートに熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲルを積層
硬化させ、複合シート化した熱伝導性シート（特開平２
−１９６４５３号公報）及び網目状補強材に熱伝導性充
填剤配合のシリコーンゴムを被覆硬化させたシートに熱
伝導性充填剤を配合した低硬度シリコーンゴムを一体化
し、硬化させた熱伝導性複合シート（特開平６−１５５
５１７号公報）は、シートの厚み方向に柔らかく、縦横
方向には強度が有り、粘着性も片面のみである為、実装
作業時の取扱い性が良く、圧接開放後の再使用も可能で
あるが、熱伝導性シリコーンゲルシート単体に比べ、圧
接時の圧縮荷重が２倍〜５倍と高い為、チップ、放熱
体、基板等を含む実装筐体の強度が低い場合や、基板上
に実装された複数個のチップの高さの差が大きい場合は
使用出来ないという問題がある。
ムシートに熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲルを積層
硬化させ、複合シート化した熱伝導性シート（特開平２
−１９６４５３号公報）及び網目状補強材に熱伝導性充
填剤配合のシリコーンゴムを被覆硬化させたシートに熱
伝導性充填剤を配合した低硬度シリコーンゴムを一体化
し、硬化させた熱伝導性複合シート（特開平６−１５５
５１７号公報）は、シートの厚み方向に柔らかく、縦横
方向には強度が有り、粘着性も片面のみである為、実装
作業時の取扱い性が良く、圧接開放後の再使用も可能で
あるが、熱伝導性シリコーンゲルシート単体に比べ、圧
接時の圧縮荷重が２倍〜５倍と高い為、チップ、放熱
体、基板等を含む実装筐体の強度が低い場合や、基板上
に実装された複数個のチップの高さの差が大きい場合は
使用出来ないという問題がある。
【０００６】本発明は前記従来技術の課題を解決する
為、圧縮荷重が低く且つ強度も有り、実装時の取扱い性
が良く、チップと放熱板との圧接開放後の再使用も可能
な熱伝導性シリコーンゲル成形シートを提供することを
目的とする。
為、圧縮荷重が低く且つ強度も有り、実装時の取扱い性
が良く、チップと放熱板との圧接開放後の再使用も可能
な熱伝導性シリコーンゲル成形シートを提供することを
目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の熱伝導性シリコーンゲル成形シートは、熱
伝導性充填剤を配合したシリコーンゲル成形シートの上
下両面の表層部にのみ、ゴム状に硬化させた薄膜補強層
を形成させた熱伝導性シリコーンゲル成形シートであっ
て、前記薄膜補強層は、熱伝導性充填剤配合したシリコ
ーンゲル成形シートの上下面の両面にケイ素原子に結合
した水素原子を１分子中に少なくとも２個含有するオル
ガノハイドロジェンポリシロキサンを表面に塗布した樹
脂フィルムを配置した後、２枚の樹脂フィルムで挟んだ
まま、少なくとも一対のロール間を通すことにより圧延
した後に、連続的に加熱炉を通して、シート状物を成形
し硬化させて、前記オルガノハイドロジェンポリシロキ
サンの塗布面に接した前記シリコーンゲル表層部のみを
ゴム状に硬化し、前記樹脂フィルムを除去することによ
り形成されたことを特徴とする。
め、本発明の熱伝導性シリコーンゲル成形シートは、熱
伝導性充填剤を配合したシリコーンゲル成形シートの上
下両面の表層部にのみ、ゴム状に硬化させた薄膜補強層
を形成させた熱伝導性シリコーンゲル成形シートであっ
て、前記薄膜補強層は、熱伝導性充填剤配合したシリコ
ーンゲル成形シートの上下面の両面にケイ素原子に結合
した水素原子を１分子中に少なくとも２個含有するオル
ガノハイドロジェンポリシロキサンを表面に塗布した樹
脂フィルムを配置した後、２枚の樹脂フィルムで挟んだ
まま、少なくとも一対のロール間を通すことにより圧延
した後に、連続的に加熱炉を通して、シート状物を成形
し硬化させて、前記オルガノハイドロジェンポリシロキ
サンの塗布面に接した前記シリコーンゲル表層部のみを
ゴム状に硬化し、前記樹脂フィルムを除去することによ
り形成されたことを特徴とする。
【０００８】
【０００９】また前記構成においては、前記熱伝導性シ
リコーンゲル成形シートの片面表層部であって、かつ薄
膜補強層の下に、さらにシート状の補強材を埋設したこ
とが好ましい。
リコーンゲル成形シートの片面表層部であって、かつ薄
膜補強層の下に、さらにシート状の補強材を埋設したこ
とが好ましい。
【００１０】
【００１１】
【００１２】
【００１３】前記構成においては、熱伝導性充填剤配合
のシリコーンゲルの硬化後の硬さが、ＡＳＫＥＲ Ｆ硬
度計で１０〜９５の範囲であることが好ましい。特に好
ましくは、ＡＳＫＥＲ Ｆ硬度計で２０〜７０の範囲で
あればよい。
のシリコーンゲルの硬化後の硬さが、ＡＳＫＥＲ Ｆ硬
度計で１０〜９５の範囲であることが好ましい。特に好
ましくは、ＡＳＫＥＲ Ｆ硬度計で２０〜７０の範囲で
あればよい。
【００１４】また前記構成においては、薄膜補強層の厚
みが０．０１ｍｍ〜０．５０ｍｍの範囲であることが好
ましい。特に好ましくは、０．０１ｍｍ〜０．１０ｍｍ
の範囲であればよい。
みが０．０１ｍｍ〜０．５０ｍｍの範囲であることが好
ましい。特に好ましくは、０．０１ｍｍ〜０．１０ｍｍ
の範囲であればよい。
【００１５】また前記構成においては、シート上下面の
片面表層部にシート状の補強材が表面より０ｍｍを越え
１ｍｍ以下の深さの範囲で埋設されたことが好ましい。
特に好ましくは、０ｍｍを越え０．５ｍｍ以下の深さの
範囲であればよい。
片面表層部にシート状の補強材が表面より０ｍｍを越え
１ｍｍ以下の深さの範囲で埋設されたことが好ましい。
特に好ましくは、０ｍｍを越え０．５ｍｍ以下の深さの
範囲であればよい。
【００１６】また前記構成においては、シート上下面の
片面表層部に埋設されたシート状の補強材が、合成繊維
及び天然繊維から選ばれる少なくとも一つの繊維を用い
た網目状構造体であることが好ましい。合成繊維として
は、ポリエステル繊維、耐熱ナイロン繊維、アラミド繊
維、ポリオレフィン繊維、ビニロン繊維等があり、天然
繊維としては、木綿、麻繊維などがある。
片面表層部に埋設されたシート状の補強材が、合成繊維
及び天然繊維から選ばれる少なくとも一つの繊維を用い
た網目状構造体であることが好ましい。合成繊維として
は、ポリエステル繊維、耐熱ナイロン繊維、アラミド繊
維、ポリオレフィン繊維、ビニロン繊維等があり、天然
繊維としては、木綿、麻繊維などがある。
【００１７】次に本発明の熱伝導性シリコーンゲル成形
シートの製造方法は、熱伝導性シリコーンゲル成形シー
トの製造方法であって、熱伝導性充填剤を配合したシリ
コーンゲルを、ケイ素原子に結合した水素原子を１分子
中に少なくとも２個含有するオルガノハイドロジェンポ
リシロキサンを表面に塗布した樹脂フィルムと同品無塗
布の樹脂フィルムとで挟むか、または、ケイ素原子に結
合した水素原子を１分子中に少なくとも２個含有するオ
ルガノハイドロジェンポリシロキサンを表面に塗布した
２枚の樹脂フィルムで上下より挟んで、少なくとも一対
のロール間を通すことにより圧延した後に、連続的に加
熱炉を通して硬化させ、しかる後に前記樹脂フィルムを
除去することにより、シリコーンゲルシートの少なくと
も片面表層部にのみゴム状に硬化させた薄膜補強層を形
成させたことを特徴とする。
シートの製造方法は、熱伝導性シリコーンゲル成形シー
トの製造方法であって、熱伝導性充填剤を配合したシリ
コーンゲルを、ケイ素原子に結合した水素原子を１分子
中に少なくとも２個含有するオルガノハイドロジェンポ
リシロキサンを表面に塗布した樹脂フィルムと同品無塗
布の樹脂フィルムとで挟むか、または、ケイ素原子に結
合した水素原子を１分子中に少なくとも２個含有するオ
ルガノハイドロジェンポリシロキサンを表面に塗布した
２枚の樹脂フィルムで上下より挟んで、少なくとも一対
のロール間を通すことにより圧延した後に、連続的に加
熱炉を通して硬化させ、しかる後に前記樹脂フィルムを
除去することにより、シリコーンゲルシートの少なくと
も片面表層部にのみゴム状に硬化させた薄膜補強層を形
成させたことを特徴とする。
【００１８】
【００１９】前記方法においては、前記上下のフィルム
で前記シリコーンゲルを挟む際、シート状の補強材を重
ね合わせた樹脂フィルムと、シート状の補強材を重ね合
わせない樹脂フィルムとで前記シリコーンゲルを上下よ
り挟むことが好ましい。
で前記シリコーンゲルを挟む際、シート状の補強材を重
ね合わせた樹脂フィルムと、シート状の補強材を重ね合
わせない樹脂フィルムとで前記シリコーンゲルを上下よ
り挟むことが好ましい。
【００２０】
【発明の実施の形態】本発明の熱伝導性シリコーンゲル
成形シートを得るには、熱伝導性充填剤配合のシリコー
ンゲルの成形時において、次の５手段を用いて成形する
ことで、圧縮荷重が低く且つ強度も有り、実装時の取扱
い性が良く、チップと放熱板との圧接開放後の再使用も
可能となる特性を熱伝導性シリコーンゲル成形シートに
付与することができる。
成形シートを得るには、熱伝導性充填剤配合のシリコー
ンゲルの成形時において、次の５手段を用いて成形する
ことで、圧縮荷重が低く且つ強度も有り、実装時の取扱
い性が良く、チップと放熱板との圧接開放後の再使用も
可能となる特性を熱伝導性シリコーンゲル成形シートに
付与することができる。
【００２１】（手段１）熱伝導性充填剤配合のシリコー
ンゲル成形時において、樹脂フィルム上に硬化前の熱伝
導性充填剤配合のシリコーンゲルを載せ、その上から、
ケイ素原子に結合した水素原子を１分子中に少なくとも
２個含有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンを
表面に塗布した。
ンゲル成形時において、樹脂フィルム上に硬化前の熱伝
導性充填剤配合のシリコーンゲルを載せ、その上から、
ケイ素原子に結合した水素原子を１分子中に少なくとも
２個含有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンを
表面に塗布した。
【００２２】樹脂フィルムを被せた後、シート状物に成
形し硬化させると、２枚の樹脂フィルム間で硬化した熱
伝導性充填剤配合のシリコーンゲルは、上記オルガノハ
イドロジェンポリシロキサンの塗布面に接した表層部の
みゴム状に硬化した薄膜補強層を有する熱伝導性シリコ
ーンゲル成形シートとなる。この時に用いられる成形方
法は、プレス成形、コーティング成形、カレンダー成形
が好ましい。
形し硬化させると、２枚の樹脂フィルム間で硬化した熱
伝導性充填剤配合のシリコーンゲルは、上記オルガノハ
イドロジェンポリシロキサンの塗布面に接した表層部の
みゴム状に硬化した薄膜補強層を有する熱伝導性シリコ
ーンゲル成形シートとなる。この時に用いられる成形方
法は、プレス成形、コーティング成形、カレンダー成形
が好ましい。
【００２３】また、上記表層部のみゴム状に硬化した薄
膜補強層を有する熱伝導性シリコーンゲル成形シート
は、圧延成形を用いた、以下のような方法によっても製
造することができた。即ち、熱伝導性充填剤配合のシリ
コーンゲル成形時において、熱伝導性充填剤を配合した
シリコーンゲルを、ケイ素原子に結合した水素原子を１
分子中に少なくとも２個含有するオルガノハイドロジェ
ンポリシロキサンを表面に塗布した樹脂フィルムと同品
無塗布の樹脂フィルムとで上下に挟んで、少なくとも一
対のロール間を連続的に通すことにより圧延した。
膜補強層を有する熱伝導性シリコーンゲル成形シート
は、圧延成形を用いた、以下のような方法によっても製
造することができた。即ち、熱伝導性充填剤配合のシリ
コーンゲル成形時において、熱伝導性充填剤を配合した
シリコーンゲルを、ケイ素原子に結合した水素原子を１
分子中に少なくとも２個含有するオルガノハイドロジェ
ンポリシロキサンを表面に塗布した樹脂フィルムと同品
無塗布の樹脂フィルムとで上下に挟んで、少なくとも一
対のロール間を連続的に通すことにより圧延した。
【００２４】この圧延シートを連続的に加熱炉に通して
硬化させると、２枚の樹脂フィルム間でシート状物に成
形し、硬化させた熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲル
は、上記オルガノハイドロジェンポリシロキサンの塗布
面に接した表層部のみゴム状に硬化した薄膜補強層を有
する熱伝導性シリコーンゲル成形シートとなる。
硬化させると、２枚の樹脂フィルム間でシート状物に成
形し、硬化させた熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲル
は、上記オルガノハイドロジェンポリシロキサンの塗布
面に接した表層部のみゴム状に硬化した薄膜補強層を有
する熱伝導性シリコーンゲル成形シートとなる。
【００２５】（手段２）熱伝導性充填剤配合のシリコー
ンゲル成形時において、ケイ素原子に結合した水素原子
を１分子中に少なくとも２個含有するオルガノハイドロ
ジェンポリシロキサンを表面に塗布した２枚の樹脂フィ
ルム間で、シート状物に成形し硬化させた熱伝導性充填
剤配合のシリコーンゲルは、シート上下面の表層部のみ
ゴム状に硬化した薄膜補強層を有する熱伝導性シリコー
ンゲル成形シートとなる。この時に用いられる成形方法
は、プレス成形、コーティング成形、カレンダー成形が
好ましい。
ンゲル成形時において、ケイ素原子に結合した水素原子
を１分子中に少なくとも２個含有するオルガノハイドロ
ジェンポリシロキサンを表面に塗布した２枚の樹脂フィ
ルム間で、シート状物に成形し硬化させた熱伝導性充填
剤配合のシリコーンゲルは、シート上下面の表層部のみ
ゴム状に硬化した薄膜補強層を有する熱伝導性シリコー
ンゲル成形シートとなる。この時に用いられる成形方法
は、プレス成形、コーティング成形、カレンダー成形が
好ましい。
【００２６】また、上記表層部のみゴム状に硬化した薄
膜補強層を有する熱伝導性シリコーンゲル成形シート
は、圧延成形を用いた、以下のような方法によっても製
造することができた。即ち、熱伝導性充填剤配合のシリ
コーンゲル成形時において、熱伝導性の充填剤を配合し
たシリコーンゲルを、ケイ素原子に結合した水素原子を
１分子中に少なくとも２個含有するオルガノハイドロジ
ェンポリシロキサンを表面に塗布した２枚の樹脂フィル
ムで上下に挟んで、少なくとも一対のロール間を通すこ
とにより圧延した。
膜補強層を有する熱伝導性シリコーンゲル成形シート
は、圧延成形を用いた、以下のような方法によっても製
造することができた。即ち、熱伝導性充填剤配合のシリ
コーンゲル成形時において、熱伝導性の充填剤を配合し
たシリコーンゲルを、ケイ素原子に結合した水素原子を
１分子中に少なくとも２個含有するオルガノハイドロジ
ェンポリシロキサンを表面に塗布した２枚の樹脂フィル
ムで上下に挟んで、少なくとも一対のロール間を通すこ
とにより圧延した。
【００２７】この圧延シートを、連続的に加熱炉に通し
て硬化させると、２枚の樹脂フィルム間でシート状物に
成形し、硬化させた熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲ
ルは、シート上下面の表層部のみゴム状に硬化した薄膜
補強層を有する熱伝導性シリコーンゲル成形シートとな
る。
て硬化させると、２枚の樹脂フィルム間でシート状物に
成形し、硬化させた熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲ
ルは、シート上下面の表層部のみゴム状に硬化した薄膜
補強層を有する熱伝導性シリコーンゲル成形シートとな
る。
【００２８】（手段３）熱伝導性充填剤配合のシリコー
ンゲル成形時において、樹脂フィルム上に硬化前の熱伝
導性充填剤配合のシリコーンゲルを載せ、その上からシ
ート状の補強材と樹脂フィルムを被せた後、シート状物
に成形し硬化させると、２枚の樹脂フィルム間で硬化し
た熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲルは、シート状の
補強材が硬化したシート状物の片面表層部に埋設された
熱伝導性シリコーンゲル成形シートとなる。この時に用
いられる成形方法は、プレス成形、コーティング成形、
カレンダー成形が好ましい。
ンゲル成形時において、樹脂フィルム上に硬化前の熱伝
導性充填剤配合のシリコーンゲルを載せ、その上からシ
ート状の補強材と樹脂フィルムを被せた後、シート状物
に成形し硬化させると、２枚の樹脂フィルム間で硬化し
た熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲルは、シート状の
補強材が硬化したシート状物の片面表層部に埋設された
熱伝導性シリコーンゲル成形シートとなる。この時に用
いられる成形方法は、プレス成形、コーティング成形、
カレンダー成形が好ましい。
【００２９】また、上記表層部のみゴム状に硬化した薄
膜補強層を有する熱伝導性シリコーンゲル成形シート
は、圧延成形を用いた、以下のような方法によっても製
造することができた。即ち、熱伝導性充填剤配合のシリ
コーンゲル成形時において、熱伝導性の充填剤を配合し
たシリコーンゲルを、シート状の補強材を重ね合わせた
樹脂フィルムとシート状の補強材を重ね合わせない樹脂
フィルムとで、上下より挟んで少なくとも一対のロール
間を通すことにより圧延した。
膜補強層を有する熱伝導性シリコーンゲル成形シート
は、圧延成形を用いた、以下のような方法によっても製
造することができた。即ち、熱伝導性充填剤配合のシリ
コーンゲル成形時において、熱伝導性の充填剤を配合し
たシリコーンゲルを、シート状の補強材を重ね合わせた
樹脂フィルムとシート状の補強材を重ね合わせない樹脂
フィルムとで、上下より挟んで少なくとも一対のロール
間を通すことにより圧延した。
【００３０】この圧延シートを、連続的に加熱炉に通し
て硬化させると、２枚の樹脂フィルム間でシート状物に
成形し、硬化させた熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲ
ルは、シート状の補強材が硬化したシート状物の片面表
層部に埋設された熱伝導性シリコーンゲル成形シートと
なる。
て硬化させると、２枚の樹脂フィルム間でシート状物に
成形し、硬化させた熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲ
ルは、シート状の補強材が硬化したシート状物の片面表
層部に埋設された熱伝導性シリコーンゲル成形シートと
なる。
【００３１】（手段４）熱伝導性充填剤配合のシリコー
ンゲル成形時において、前記、手段１と手段３を併用す
ることで、シート状の補強材が硬化したシート状物の片
面表層部に埋設され、且つ同面表層部のみゴム状に硬化
させた薄膜補強層を有する熱伝導性シリコーンゲル成形
シートとなる。この時に用いられる成形方法は、プレス
成形、コーティング成形、カレンダー成形を用いてもよ
いし、圧延成形による方法でもよい。
ンゲル成形時において、前記、手段１と手段３を併用す
ることで、シート状の補強材が硬化したシート状物の片
面表層部に埋設され、且つ同面表層部のみゴム状に硬化
させた薄膜補強層を有する熱伝導性シリコーンゲル成形
シートとなる。この時に用いられる成形方法は、プレス
成形、コーティング成形、カレンダー成形を用いてもよ
いし、圧延成形による方法でもよい。
【００３２】（手段５）熱伝導性充填剤配合のシリコー
ンゲル成形時において、前記、手段２と手段３を併用す
ることで、シート状の補強材が硬化したシート状物の片
面表層部に埋設され、且つシート状物の両面表層部のみ
ゴム状に硬化させた薄膜補強層を有する熱伝導性シリコ
ーンゲル成形シートとなる。この時に用いられる成形方
法は、プレス成形、コーティング成形、カレンダー成形
を用いてもよいし、圧延成形による方法でもよい。
ンゲル成形時において、前記、手段２と手段３を併用す
ることで、シート状の補強材が硬化したシート状物の片
面表層部に埋設され、且つシート状物の両面表層部のみ
ゴム状に硬化させた薄膜補強層を有する熱伝導性シリコ
ーンゲル成形シートとなる。この時に用いられる成形方
法は、プレス成形、コーティング成形、カレンダー成形
を用いてもよいし、圧延成形による方法でもよい。
【００３３】本発明によれば、前記手段の採用により、
熱伝導性シリコーンゲル成形シートは、次の利点を得る
ことができる。
熱伝導性シリコーンゲル成形シートは、次の利点を得る
ことができる。
【００３４】（利点１）シート上下面の片面もしくは両
面表層部のみゴム状に硬化した薄膜補強層を有すること
で実装作業時に極端な変形や破損が生じづらく、取扱い
性が向上し、且つゴム状に硬化した薄膜補強層表面の粘
着性が微少になることで、被着時の方向性を選択するこ
とが可能となるだけでなく、実装後のメンテナンス時に
チップと放熱体の圧接を開放した際、熱伝導性シリコー
ンゲルシートが両方に密着した状態で引き伸ばされ、極
端な変形や破損が生じづらくなり再使用が可能となる。
また、ゴム状に硬化した薄膜補強層以外の部分は、非常
に柔かい為、シートの厚み方向には薄膜補強層を有しな
い熱伝導性シリコーンゲルシートと同等の柔軟性と低圧
縮荷重性を得ることが出来る。
面表層部のみゴム状に硬化した薄膜補強層を有すること
で実装作業時に極端な変形や破損が生じづらく、取扱い
性が向上し、且つゴム状に硬化した薄膜補強層表面の粘
着性が微少になることで、被着時の方向性を選択するこ
とが可能となるだけでなく、実装後のメンテナンス時に
チップと放熱体の圧接を開放した際、熱伝導性シリコー
ンゲルシートが両方に密着した状態で引き伸ばされ、極
端な変形や破損が生じづらくなり再使用が可能となる。
また、ゴム状に硬化した薄膜補強層以外の部分は、非常
に柔かい為、シートの厚み方向には薄膜補強層を有しな
い熱伝導性シリコーンゲルシートと同等の柔軟性と低圧
縮荷重性を得ることが出来る。
【００３５】（利点２）シート上下面の片面表層部にシ
ート状の補強材が埋設されることで、強度が増し、実装
作業時の取扱い性が向上するだけでなく、チップや放熱
体等圧接面の極端な凹凸により熱伝導性シリコーンゲル
シートが圧接時に破損が生じなくなる。またシート状の
補強材が片面表層部に埋設されることで、シート状の補
強材が表層部以外に埋設された熱伝導性シリコーンゲル
シートに比べ圧縮荷重値を低く抑えることが出来る。
ート状の補強材が埋設されることで、強度が増し、実装
作業時の取扱い性が向上するだけでなく、チップや放熱
体等圧接面の極端な凹凸により熱伝導性シリコーンゲル
シートが圧接時に破損が生じなくなる。またシート状の
補強材が片面表層部に埋設されることで、シート状の補
強材が表層部以外に埋設された熱伝導性シリコーンゲル
シートに比べ圧縮荷重値を低く抑えることが出来る。
【００３６】（利点３）シート上下面の片面表層部にシ
ート状の補強材が埋設され、且つその片面もしくは両面
表層部のみゴム状に硬化した薄膜補強層を有すること
で、前記の作用２に加え、ゴム状に硬化した薄膜補強層
表面の粘着性が微少になることで、実装作業時の取扱い
性が向上する。
ート状の補強材が埋設され、且つその片面もしくは両面
表層部のみゴム状に硬化した薄膜補強層を有すること
で、前記の作用２に加え、ゴム状に硬化した薄膜補強層
表面の粘着性が微少になることで、実装作業時の取扱い
性が向上する。
【００３７】
【実施例】次に、実施例を用いて本発明をさらに具体的
に説明する。
に説明する。
【００３８】
【実施例１】図１Ａ〜Ｂは本発明に係る第１番目の熱伝
導性シリコーンゲル成形シートの一実施例を示す断面図
である。図１Ａ〜Ｂに示すように、本熱伝導性シリコー
ンゲル成形シートは、熱伝導性充填剤配合のシリコーン
ゲル層１と熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲルがゴム
状に硬化した薄膜補強層２とで構成されている。なお、
図１Ａは熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲル層１の片
面表層部に薄膜補強層２を形成した例、図１Ｂは熱伝導
性充填剤配合のシリコーンゲル層１の両面表層部に薄膜
補強層２を形成した例である。
導性シリコーンゲル成形シートの一実施例を示す断面図
である。図１Ａ〜Ｂに示すように、本熱伝導性シリコー
ンゲル成形シートは、熱伝導性充填剤配合のシリコーン
ゲル層１と熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲルがゴム
状に硬化した薄膜補強層２とで構成されている。なお、
図１Ａは熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲル層１の片
面表層部に薄膜補強層２を形成した例、図１Ｂは熱伝導
性充填剤配合のシリコーンゲル層１の両面表層部に薄膜
補強層２を形成した例である。
【００３９】ここで、シリコーンゲル層１と薄膜補強層
２は同一の熱伝導性充填剤を配合した液状付加反応硬化
型のシリコーンゲルを用いた。また、硬化成形時にケイ
素原子に結合した水素原子を１分子中に少なくとも２個
含有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンを約５
μｍの厚さでポリエステル（ＰＥＴ）フィルムに塗布
し、これと無塗布のＰＥＴフィルムとで上下より挟む
か、または同塗布のＰＥＴフィルム同志で上下より挟
み、一対のロール間を通すことにより圧延した後に、連
続的に加熱炉に通すことで、硬化後のシート片面または
両面表層部にゴム状に硬化させた薄膜補強層を形成する
ことが出来る。尚、ＰＥＴフィルムは薄膜補強層形成後
に除去されて、使用されることになる。
２は同一の熱伝導性充填剤を配合した液状付加反応硬化
型のシリコーンゲルを用いた。また、硬化成形時にケイ
素原子に結合した水素原子を１分子中に少なくとも２個
含有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンを約５
μｍの厚さでポリエステル（ＰＥＴ）フィルムに塗布
し、これと無塗布のＰＥＴフィルムとで上下より挟む
か、または同塗布のＰＥＴフィルム同志で上下より挟
み、一対のロール間を通すことにより圧延した後に、連
続的に加熱炉に通すことで、硬化後のシート片面または
両面表層部にゴム状に硬化させた薄膜補強層を形成する
ことが出来る。尚、ＰＥＴフィルムは薄膜補強層形成後
に除去されて、使用されることになる。
【００４０】熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲル層１
及びゴム状に硬化した薄膜補強層２は、下記の熱伝導性
充填剤を配合した付加反応硬化型シリコーンゲルから選
択される一種を使用することで作製することが出来る。 （１）熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲル組成 サーコンＧＲ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 57）：富士
高分子工業（株）製 サーコンＧＲ−ａ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 54）：富士
高分子工業（株）製 ＳＥ４４４５ＣＶ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 47）：東レ
ダウコーニングシリコーン（株）製 （２）ケイ素原子に結合した水素原子を１分子中に少な
くとも２個含有するオルガノハイドロジェンポリシロキ
サン ＳＨ−１１０７ ：東レダウコーニングシリコーン
（株）製 ＲＤ−１ ：東レダウコーニングシリコーン
（株）製 上記を用いて、樹脂フィルムで上下より挟み、一対のロ
ール間を通すことにより圧延した後、加熱炉内温度：２
８０℃、加熱炉内通過速度：３ｍ／min.の成形条件で得
られた熱伝導性シリコーンゲル成形シートの特性を表１
及び表２に示す。なお、同表は、シリコーンゲル層１の
厚さは１．０ｍｍ（表中、「1mmt時」で表す。以後の実
施例でも同じ）、薄膜補強層２の厚さは０．０３ｍｍの
もの、及びシリコーンゲル層１の厚さは２．０ｍｍ（表
中、「2mmt時」で表す。以後の実施例でも同じ）、薄膜
補強層２の厚さは０．０５ｍｍのものについて示してい
る。また、比較例品の仕様は、備考に記載した事項以外
は、実施例品と同一の材料及び製法を用いたものであ
り、この点については、以後の実施例においても同様で
ある。
及びゴム状に硬化した薄膜補強層２は、下記の熱伝導性
充填剤を配合した付加反応硬化型シリコーンゲルから選
択される一種を使用することで作製することが出来る。 （１）熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲル組成 サーコンＧＲ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 57）：富士
高分子工業（株）製 サーコンＧＲ−ａ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 54）：富士
高分子工業（株）製 ＳＥ４４４５ＣＶ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 47）：東レ
ダウコーニングシリコーン（株）製 （２）ケイ素原子に結合した水素原子を１分子中に少な
くとも２個含有するオルガノハイドロジェンポリシロキ
サン ＳＨ−１１０７ ：東レダウコーニングシリコーン
（株）製 ＲＤ−１ ：東レダウコーニングシリコーン
（株）製 上記を用いて、樹脂フィルムで上下より挟み、一対のロ
ール間を通すことにより圧延した後、加熱炉内温度：２
８０℃、加熱炉内通過速度：３ｍ／min.の成形条件で得
られた熱伝導性シリコーンゲル成形シートの特性を表１
及び表２に示す。なお、同表は、シリコーンゲル層１の
厚さは１．０ｍｍ（表中、「1mmt時」で表す。以後の実
施例でも同じ）、薄膜補強層２の厚さは０．０３ｍｍの
もの、及びシリコーンゲル層１の厚さは２．０ｍｍ（表
中、「2mmt時」で表す。以後の実施例でも同じ）、薄膜
補強層２の厚さは０．０５ｍｍのものについて示してい
る。また、比較例品の仕様は、備考に記載した事項以外
は、実施例品と同一の材料及び製法を用いたものであ
り、この点については、以後の実施例においても同様で
ある。
【００４１】
【表１】
【００４２】
【表２】
【００４３】表１及び表２から明らかな通り、本実施例
品（SAMPLE A）は熱抵抗が低く、圧縮荷重も比較的低く
抑えられ、引張り強さと引裂き強さが高く、伸びが低
く、実装時の取り扱い性が良く、チップと放熱板との圧
接開放後の再使用も可能な熱伝導性シリコーンゲル成形
シートであった。
品（SAMPLE A）は熱抵抗が低く、圧縮荷重も比較的低く
抑えられ、引張り強さと引裂き強さが高く、伸びが低
く、実装時の取り扱い性が良く、チップと放熱板との圧
接開放後の再使用も可能な熱伝導性シリコーンゲル成形
シートであった。
【００４４】
【実施例２】次に、本発明に係る第１番目の熱伝導性シ
リコーンゲル成形シートの第二の実施例について説明す
る。本実施例の熱伝導性シリコーンゲル成形シートも図
１Ａ〜Ｂに示したものである。
リコーンゲル成形シートの第二の実施例について説明す
る。本実施例の熱伝導性シリコーンゲル成形シートも図
１Ａ〜Ｂに示したものである。
【００４５】本実施例においても、シリコーンゲル層１
と薄膜補強層２は同一の熱伝導性充填剤配合のシリコー
ンゲルを用いた。また、硬化成形時にケイ素原子に結合
した水素原子を１分子中に少なくとも２個含有するオル
ガノハイドロジェンポリシロキサンを約５μｍの厚さで
ポリプロピレン（ＰＰ）フィルムに塗布し、これを前記
シリコーンゲルの片面に覆い、もう一方の面にはなにも
塗布していないＰＰフィルムとで覆うか、又は前記シリ
コーンゲルの両面に同塗布のＰＰフィルム同志で覆うこ
とで、硬化後のシート片面又は両面表層部にゴム状に硬
化させた薄膜補強層を形成することが出来る。
と薄膜補強層２は同一の熱伝導性充填剤配合のシリコー
ンゲルを用いた。また、硬化成形時にケイ素原子に結合
した水素原子を１分子中に少なくとも２個含有するオル
ガノハイドロジェンポリシロキサンを約５μｍの厚さで
ポリプロピレン（ＰＰ）フィルムに塗布し、これを前記
シリコーンゲルの片面に覆い、もう一方の面にはなにも
塗布していないＰＰフィルムとで覆うか、又は前記シリ
コーンゲルの両面に同塗布のＰＰフィルム同志で覆うこ
とで、硬化後のシート片面又は両面表層部にゴム状に硬
化させた薄膜補強層を形成することが出来る。
【００４６】熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲル層１
及びゴム状に硬化した薄膜補強層２は下記の付加反応型
熱伝導性シリコーン組成物から選択される一種を使用す
ることによって作製することが出来る。（１）熱伝導性
充填剤配合のシリコーンゲル組成 サーコンＧＲ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 57）：富士
高分子工業（株）製 サーコンＧＲ−ａ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 54）：富士
高分子工業（株）製 ＳＥ４４４５ＣＶ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 47）：東レ
ダウコーニングシリコーン（株）製 （２）ケイ素原子に結合した水素原子を１分子中に少な
くとも２個含有するオルガノハイドロジェンポリシロキ
サン ＳＨ−１１０７ ：東レダウコーニングシリコーン
（株）製 ＲＤ−１ ：東レダウコーニングシリコーン
（株）製 上記組成物を用いてプレス成形法により、成形温度：１
００℃、成形時間：３分、成形圧力：１００ｋｇｆ／ｃ
ｍ2 の成形条件で得られた熱伝導性シリコーンゲル成形
シートの特性を表３及び表４に示す。なお、同表は、シ
リコーンゲル層１の厚さは１．０ｍｍ、薄膜補強層２の
厚さは０．０３ｍｍのもの、及びシリコーンゲル層１の
厚さは２．０ｍｍ、薄膜補強層２の厚さは０．０５ｍｍ
のものについて示している。
及びゴム状に硬化した薄膜補強層２は下記の付加反応型
熱伝導性シリコーン組成物から選択される一種を使用す
ることによって作製することが出来る。（１）熱伝導性
充填剤配合のシリコーンゲル組成 サーコンＧＲ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 57）：富士
高分子工業（株）製 サーコンＧＲ−ａ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 54）：富士
高分子工業（株）製 ＳＥ４４４５ＣＶ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 47）：東レ
ダウコーニングシリコーン（株）製 （２）ケイ素原子に結合した水素原子を１分子中に少な
くとも２個含有するオルガノハイドロジェンポリシロキ
サン ＳＨ−１１０７ ：東レダウコーニングシリコーン
（株）製 ＲＤ−１ ：東レダウコーニングシリコーン
（株）製 上記組成物を用いてプレス成形法により、成形温度：１
００℃、成形時間：３分、成形圧力：１００ｋｇｆ／ｃ
ｍ2 の成形条件で得られた熱伝導性シリコーンゲル成形
シートの特性を表３及び表４に示す。なお、同表は、シ
リコーンゲル層１の厚さは１．０ｍｍ、薄膜補強層２の
厚さは０．０３ｍｍのもの、及びシリコーンゲル層１の
厚さは２．０ｍｍ、薄膜補強層２の厚さは０．０５ｍｍ
のものについて示している。
【００４７】
【表３】
【００４８】
【表４】
【００４９】表３及び表４から明らかな通り、本実施例
品（SAMPLE B）は熱抵抗が低く、圧縮荷重も低く、引っ
張り強さと引き裂き強さが高く、伸びが低く、実装時の
取扱い性が良く、チップと放熱板との圧接開放後の再使
用も可能な熱伝導性シリコーンゲル成形シートであっ
た。
品（SAMPLE B）は熱抵抗が低く、圧縮荷重も低く、引っ
張り強さと引き裂き強さが高く、伸びが低く、実装時の
取扱い性が良く、チップと放熱板との圧接開放後の再使
用も可能な熱伝導性シリコーンゲル成形シートであっ
た。
【００５０】
【実施例３】図２は本発明に係る第２番目の熱伝導性シ
リコーンゲル成形シートの一実施例を示す断面図であ
る。図２に示すように、本熱伝導性シリコーンゲル成形
シートは熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲル層１とシ
ート状の補強材３とで構成されている。なお図２は熱伝
導性充填剤配合のシリコーンゲル層１の片面表層部にシ
ート状の補強材３を完全に埋設して形成した例である。
リコーンゲル成形シートの一実施例を示す断面図であ
る。図２に示すように、本熱伝導性シリコーンゲル成形
シートは熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲル層１とシ
ート状の補強材３とで構成されている。なお図２は熱伝
導性充填剤配合のシリコーンゲル層１の片面表層部にシ
ート状の補強材３を完全に埋設して形成した例である。
【００５１】ここで、シート状の補強材３には、ポリエ
ステル繊維、耐熱ナイロン繊維、アラミド繊維、綿繊維
等からなる網目状構造体を用いるが、耐熱性面から考え
てポリエステル繊維もしくは耐熱ナイロン繊維が好まし
い。
ステル繊維、耐熱ナイロン繊維、アラミド繊維、綿繊維
等からなる網目状構造体を用いるが、耐熱性面から考え
てポリエステル繊維もしくは耐熱ナイロン繊維が好まし
い。
【００５２】熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲル層１
及びシート状の補強材３は下記から選択される一種を使
用することによって作製することが出来る。 （１）熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲル サーコンＧＲ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 57）：富士
高分子工業（株）製 サーコンＧＲ−ａ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 54）：富士
高分子工業（株）製 ＳＥ４４４５ＣＶ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 47）：東レ
ダウコーニングシリコーン（株）製 （２）シート状の補強材（ナイロン繊維製網目状構造
体） ナイロンチュール Ｎ−５０３５ 上記を用いて、樹脂フィルムで上下より挟み、一対のロ
ール間を通すことにより圧延した後、加熱炉内温度：２
８０℃、加熱炉内通過速度：３ｍ／min.の成形条件で得
られた熱伝導性シリコーンゲル成形シートの特性を表５
及び表６に示す。なお、同表は、シリコーンゲル層１の
厚さは１．０ｍｍ、補強材３のシリコーンゲル層１に
０．２ｍｍ程度埋設したもの、及びシリコーンゲル層１
の厚さは２．０ｍｍ、補強材３のシリコーンゲル層１に
０．３ｍｍ程度埋設していたものについて示している。
尚、埋設の深さには、補強材３の厚みは含まない。
及びシート状の補強材３は下記から選択される一種を使
用することによって作製することが出来る。 （１）熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲル サーコンＧＲ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 57）：富士
高分子工業（株）製 サーコンＧＲ−ａ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 54）：富士
高分子工業（株）製 ＳＥ４４４５ＣＶ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 47）：東レ
ダウコーニングシリコーン（株）製 （２）シート状の補強材（ナイロン繊維製網目状構造
体） ナイロンチュール Ｎ−５０３５ 上記を用いて、樹脂フィルムで上下より挟み、一対のロ
ール間を通すことにより圧延した後、加熱炉内温度：２
８０℃、加熱炉内通過速度：３ｍ／min.の成形条件で得
られた熱伝導性シリコーンゲル成形シートの特性を表５
及び表６に示す。なお、同表は、シリコーンゲル層１の
厚さは１．０ｍｍ、補強材３のシリコーンゲル層１に
０．２ｍｍ程度埋設したもの、及びシリコーンゲル層１
の厚さは２．０ｍｍ、補強材３のシリコーンゲル層１に
０．３ｍｍ程度埋設していたものについて示している。
尚、埋設の深さには、補強材３の厚みは含まない。
【００５３】
【表５】
【００５４】
【表６】
【００５５】表５〜表６から明らかな通り、本実施例品
（SAMPLE C）は熱抵抗が低く、圧縮荷重も低く、引張り
強さと引裂き強さが高く、伸びが低く、実装時の取り扱
い性が良く、チップと放熱板との圧接開放後の再使用も
可能な熱伝導性シリコーンゲル成形シートであった。
（SAMPLE C）は熱抵抗が低く、圧縮荷重も低く、引張り
強さと引裂き強さが高く、伸びが低く、実装時の取り扱
い性が良く、チップと放熱板との圧接開放後の再使用も
可能な熱伝導性シリコーンゲル成形シートであった。
【００５６】
【実施例４】次に、本発明に係る第２番目の熱伝導性シ
リコーンゲル成形シートの第二の実施例について説明す
る。第二の実施例の熱伝導性シリコーンゲル成形シート
も図２に示したものと同一である。
リコーンゲル成形シートの第二の実施例について説明す
る。第二の実施例の熱伝導性シリコーンゲル成形シート
も図２に示したものと同一である。
【００５７】ここでも、シート状の補強材３には、ポリ
エステル繊維、ナイロン繊維、アラミド繊維、綿繊維等
からなる網目状構造体を用いるが、耐熱性面から考えて
ポリエステル繊維もしくは耐熱ナイロン繊維が好まし
い。
エステル繊維、ナイロン繊維、アラミド繊維、綿繊維等
からなる網目状構造体を用いるが、耐熱性面から考えて
ポリエステル繊維もしくは耐熱ナイロン繊維が好まし
い。
【００５８】熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲル層１
及びシート状の補強材３は下記から選択される一種を使
用することによって作製することが出来る。 （１）熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲル サーコンＧＲ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 57）：富士
高分子工業（株）製 サーコンＧＲ−ａ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 54）：富士
高分子工業（株）製 ＳＥ４４４５ＣＶ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 47）：東レ
ダウコーニングシリコーン（株）製 （２）シート状の補強材 （ポリエステル繊維製網目状構造体） ラッセル・ネット Ｔ−２８０ ラッセル・ネット Ｔ−１８０−５０Ｄ 上記を用いてプレス成形法により、成形温度：１００
℃、成形時間：３分、成形圧力：１００ｋｇｆ／ｃｍ2
の成形条件で得られた熱伝導性シリコーンゲル成形シー
トの特性を表７及び表８に示す。なお、同表は、シリコ
ーンゲル層１の厚さは１．０ｍｍ、補強材３の目付は５
５ｇ／ｍ2 （ラッセル・ネットＴ−２８０）であり、ま
た補強材３はシリコーンゲル層１に０．２ｍｍ程度埋設
していたもの、及びシリコーンゲル層１の厚さは２．０
ｍｍ、薄膜補強層３の目付は５５ｇ／ｍ2 （ラッセル・
ネットＴ−２８０）であり、また補強材３はシリコーン
ゲル層１に０．３ｍｍ程度埋設していたものについて示
している。
及びシート状の補強材３は下記から選択される一種を使
用することによって作製することが出来る。 （１）熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲル サーコンＧＲ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 57）：富士
高分子工業（株）製 サーコンＧＲ−ａ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 54）：富士
高分子工業（株）製 ＳＥ４４４５ＣＶ Ａ／Ｂ（硬さ ASKER F 47）：東レ
ダウコーニングシリコーン（株）製 （２）シート状の補強材 （ポリエステル繊維製網目状構造体） ラッセル・ネット Ｔ−２８０ ラッセル・ネット Ｔ−１８０−５０Ｄ 上記を用いてプレス成形法により、成形温度：１００
℃、成形時間：３分、成形圧力：１００ｋｇｆ／ｃｍ2
の成形条件で得られた熱伝導性シリコーンゲル成形シー
トの特性を表７及び表８に示す。なお、同表は、シリコ
ーンゲル層１の厚さは１．０ｍｍ、補強材３の目付は５
５ｇ／ｍ2 （ラッセル・ネットＴ−２８０）であり、ま
た補強材３はシリコーンゲル層１に０．２ｍｍ程度埋設
していたもの、及びシリコーンゲル層１の厚さは２．０
ｍｍ、薄膜補強層３の目付は５５ｇ／ｍ2 （ラッセル・
ネットＴ−２８０）であり、また補強材３はシリコーン
ゲル層１に０．３ｍｍ程度埋設していたものについて示
している。
【００５９】
【表７】
【００６０】
【表８】
【００６１】表７〜表８から明らかな通り、本実施例品
（SAMPLE D）は熱抵抗が低く、圧縮荷重も低く、引っ張
り強さと引き裂き強さが高く、伸びが低く、実装時の取
扱い性が良く、チップと放熱板との圧接開放後の再使用
も可能な熱伝導性シリコーンゲル成形シートであった。
（SAMPLE D）は熱抵抗が低く、圧縮荷重も低く、引っ張
り強さと引き裂き強さが高く、伸びが低く、実装時の取
扱い性が良く、チップと放熱板との圧接開放後の再使用
も可能な熱伝導性シリコーンゲル成形シートであった。
【００６２】
【実施例５】図３Ａ〜Ｂは本発明に係る第３番目の熱伝
導性シリコーンゲル成形シートの一実施例を示す断面図
である。図３Ａ〜Ｂに示すように、本熱伝導性シリコー
ンゲル成形シートは熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲ
ル層１と熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲルがゴム状
に硬化した薄膜補強層２とシート状の補強材３とで構成
されている。なお図３Ａは熱伝導性充填剤配合のシリコ
ーンゲル層１の片面表層部にシート状の補強材３を形成
し、その表層に熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲルが
ゴム状に硬化した薄膜補強層２を形成した例、図３Ｂは
熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲル層１の片面表層部
にシート状の補強材３を形成し、その両面表層部に熱伝
導性充填剤配合のシリコーンゲルがゴム状に硬化した薄
膜補強層２を形成した例である。
導性シリコーンゲル成形シートの一実施例を示す断面図
である。図３Ａ〜Ｂに示すように、本熱伝導性シリコー
ンゲル成形シートは熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲ
ル層１と熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲルがゴム状
に硬化した薄膜補強層２とシート状の補強材３とで構成
されている。なお図３Ａは熱伝導性充填剤配合のシリコ
ーンゲル層１の片面表層部にシート状の補強材３を形成
し、その表層に熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲルが
ゴム状に硬化した薄膜補強層２を形成した例、図３Ｂは
熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲル層１の片面表層部
にシート状の補強材３を形成し、その両面表層部に熱伝
導性充填剤配合のシリコーンゲルがゴム状に硬化した薄
膜補強層２を形成した例である。
【００６３】ここで、熱伝導性充填剤配合のシリコーン
ゲル層１と薄膜補強層２は同一の熱伝導性充填剤を配合
した液状付加反応硬化型シリコーンゲルを用い、硬化成
形時にケイ素原子が結合した水素原子を１分子中に少な
くとも２個含有するオルガノハイドロジェンポリシロキ
サンを約５μｍの厚さで表面に塗布したＰＥＴフィルム
と同無塗布のＰＥＴフィルムとで上下に挟むか、また同
塗布のＰＥＴフィルム同志で上下より挟み、一対のロー
ル間を通すことにより圧延した後に、連続的に加熱炉に
通すことで、硬化後のシート片面または両面表層部にゴ
ム状に硬化させた薄膜補強層を形成することが出来る。
ゲル層１と薄膜補強層２は同一の熱伝導性充填剤を配合
した液状付加反応硬化型シリコーンゲルを用い、硬化成
形時にケイ素原子が結合した水素原子を１分子中に少な
くとも２個含有するオルガノハイドロジェンポリシロキ
サンを約５μｍの厚さで表面に塗布したＰＥＴフィルム
と同無塗布のＰＥＴフィルムとで上下に挟むか、また同
塗布のＰＥＴフィルム同志で上下より挟み、一対のロー
ル間を通すことにより圧延した後に、連続的に加熱炉に
通すことで、硬化後のシート片面または両面表層部にゴ
ム状に硬化させた薄膜補強層を形成することが出来る。
【００６４】ここで、シート状の補強材３には、ポリエ
ステル繊維、耐熱ナイロン繊維、アラミド繊維、綿繊維
からなる網目状構造体を用いるが、耐熱性面から考えて
ポリエステル繊維もしくは耐熱ナイロン繊維が好まし
い。
ステル繊維、耐熱ナイロン繊維、アラミド繊維、綿繊維
からなる網目状構造体を用いるが、耐熱性面から考えて
ポリエステル繊維もしくは耐熱ナイロン繊維が好まし
い。
【００６５】熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲル層１
とゴム状に硬化した薄膜補強層２及びシート状の補強材
３は実施例１及び実施例３に記載と同様を使用すること
によって作製することが出来る。
とゴム状に硬化した薄膜補強層２及びシート状の補強材
３は実施例１及び実施例３に記載と同様を使用すること
によって作製することが出来る。
【００６６】上記品を用いて樹脂フィルムで上下より挟
み、一対のロール間を通すことにより圧延した後、加熱
炉内温度：２８０℃、加熱炉内通過速度：３ｍ／min.の
成形条件で得られた熱伝導性シリコーンゲル成形シート
の特性を表９及び表１０に示す。なお、同表は、シリコ
ーンゲル層１の厚さは１．０ｍｍ、薄膜補強層２の厚さ
は０．０３ｍｍ、補強材３はシリコーンゲル層１に０．
２ｍｍ程度埋設していたもの、及びシリコーンゲル層１
の厚さは２．０ｍｍ、薄膜補強層の厚さは０．０５ｍ
ｍ、補強材３はシリコーンゲル層１に０．３ｍｍ程度埋
設していたものについて示している。
み、一対のロール間を通すことにより圧延した後、加熱
炉内温度：２８０℃、加熱炉内通過速度：３ｍ／min.の
成形条件で得られた熱伝導性シリコーンゲル成形シート
の特性を表９及び表１０に示す。なお、同表は、シリコ
ーンゲル層１の厚さは１．０ｍｍ、薄膜補強層２の厚さ
は０．０３ｍｍ、補強材３はシリコーンゲル層１に０．
２ｍｍ程度埋設していたもの、及びシリコーンゲル層１
の厚さは２．０ｍｍ、薄膜補強層の厚さは０．０５ｍ
ｍ、補強材３はシリコーンゲル層１に０．３ｍｍ程度埋
設していたものについて示している。
【００６７】
【表９】
【００６８】
【表１０】
【００６９】表９〜表１０から明らかな通り、本実施例
品（SAMPLE E）は熱抵抗が低く、圧縮荷重も低く、引張
り強さと引裂き強さが高く、伸びが低い、実装時の取り
扱いが良く、チップと放熱板との圧接開放後の再使用も
可能な熱伝導性シリコーンゲル成形シートであった。
品（SAMPLE E）は熱抵抗が低く、圧縮荷重も低く、引張
り強さと引裂き強さが高く、伸びが低い、実装時の取り
扱いが良く、チップと放熱板との圧接開放後の再使用も
可能な熱伝導性シリコーンゲル成形シートであった。
【００７０】
【実施例６】次に、本発明に係る第３番目の熱伝導性シ
リコーンゲル成形シートの第二の実施例について説明す
る。本実施例の熱伝導性シリコーンゲル成形シートも図
３Ａ〜Ｂに示したものである。
リコーンゲル成形シートの第二の実施例について説明す
る。本実施例の熱伝導性シリコーンゲル成形シートも図
３Ａ〜Ｂに示したものである。
【００７１】本実施例においても、熱伝導性充填剤配合
のシリコーンゲル層１と薄膜補強層２は同一の熱伝導性
充填剤配合のシリコーンゲルを用い、硬化成形時にケイ
素原子に結合した水素原子を１分子中に少なくとも２個
含有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンを表面
に塗布したＰＰフィルムと同無塗布のＰＰフィルムとで
覆うか、又は同塗布のＰＰフィルム同志で覆うことで、
硬化後のシート片面又は両面表層部にゴム状に硬化させ
た薄膜補強層を形成することが出来る。
のシリコーンゲル層１と薄膜補強層２は同一の熱伝導性
充填剤配合のシリコーンゲルを用い、硬化成形時にケイ
素原子に結合した水素原子を１分子中に少なくとも２個
含有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンを表面
に塗布したＰＰフィルムと同無塗布のＰＰフィルムとで
覆うか、又は同塗布のＰＰフィルム同志で覆うことで、
硬化後のシート片面又は両面表層部にゴム状に硬化させ
た薄膜補強層を形成することが出来る。
【００７２】次にシート状の補強材３には、ポリエステ
ル繊維、ナイロン繊維、アラミド繊維、綿繊維等からな
る網目状構造体を用いるが、耐熱性面から考えてポリエ
ステル繊維もしくは耐熱ナイロン繊維が好ましい。
ル繊維、ナイロン繊維、アラミド繊維、綿繊維等からな
る網目状構造体を用いるが、耐熱性面から考えてポリエ
ステル繊維もしくは耐熱ナイロン繊維が好ましい。
【００７３】熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲル層１
とゴム状に硬化した薄膜補強層２及びシート状の補強材
３は実施例２及び実施例４に記載と同様を使用すること
によって作製することが出来る。
とゴム状に硬化した薄膜補強層２及びシート状の補強材
３は実施例２及び実施例４に記載と同様を使用すること
によって作製することが出来る。
【００７４】上記品を用いてプレス成形法により、成形
温度：１００℃、成形時間：３分、成形圧力：１００ｋ
ｇｆ／ｃｍ2 の成形条件で得られた熱伝導性シリコーン
ゲル成形シートの特性を表１１及び表１２に示す。な
お、同表は、シリコーンゲル層１の厚さは１．０ｍｍ、
薄膜補強層２の厚さは０．０３ｍｍ、補強材３の目付は
５５ｇ／ｍ2 のもの、及びシリコーンゲル層１の厚さは
２．０ｍｍ、薄膜補強層２の厚さは０．０５ｍｍ、補強
材３の目付は５５ｇ／ｍ2 （ラッセル・ネットＴ−２８
０）であったものについて示している。
温度：１００℃、成形時間：３分、成形圧力：１００ｋ
ｇｆ／ｃｍ2 の成形条件で得られた熱伝導性シリコーン
ゲル成形シートの特性を表１１及び表１２に示す。な
お、同表は、シリコーンゲル層１の厚さは１．０ｍｍ、
薄膜補強層２の厚さは０．０３ｍｍ、補強材３の目付は
５５ｇ／ｍ2 のもの、及びシリコーンゲル層１の厚さは
２．０ｍｍ、薄膜補強層２の厚さは０．０５ｍｍ、補強
材３の目付は５５ｇ／ｍ2 （ラッセル・ネットＴ−２８
０）であったものについて示している。
【００７５】
【表１１】
【００７６】
【表１２】
【００７７】表１１〜表１２から明らかな通り、本実施
例品（SAMPLE F）は熱抵抗が低く、圧縮荷重も低く、引
っ張り強さと引き裂き強さが高く、伸びが低く、実装時
の取扱い性が良く、チップと放熱板との圧接開放後の再
使用も可能な熱伝導性シリコーンゲル成形シートであっ
た。
例品（SAMPLE F）は熱抵抗が低く、圧縮荷重も低く、引
っ張り強さと引き裂き強さが高く、伸びが低く、実装時
の取扱い性が良く、チップと放熱板との圧接開放後の再
使用も可能な熱伝導性シリコーンゲル成形シートであっ
た。
【００７８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る熱伝
導性シリコーンゲル成形シートによれば、シート上下面
の片面もしくは両面表層部のみゴム状に硬化した薄膜補
強層を有するか、またはシート上下面の片面表層部にシ
ート状の補強材が埋設されるか、またはシート上下面の
片面表層部にシート状の補強材が埋設され、且つその片
面もしくは両面表層部のみゴム状に硬化した薄膜補強層
を有することによって、実装作業時に極端な変形や破損
の発生を防止できる。その結果、取扱い性が向上し、且
つゴム状に硬化した薄膜補強層表面の粘着性が微少にな
る。また、被着時の方向性を選択することが可能とな
る。さらに、実装後のメンテナンス時にチップと放熱体
の圧接を開放した際、熱伝導性シリコーンゲルシートが
両方に密着した状態で引き伸ばされ、極端な変形や破損
が生じづらくなるか、もしくは生じなくなる。これによ
り、再使用が可能となることで、チップと放熱体との組
み付け作業性を向上させることができる。また、シート
状の補強材が片面表層部に埋設されることによって、チ
ップや放熱体等圧接面の極端な凹凸により熱伝導性シリ
コーンゲルシートが圧接時に破損が生じなくなり、安定
した広範囲の伝熱面積を確保することが可能となり、伝
熱信頼性を向上させることが出来る。そして、シート厚
み方向には十分な柔軟性を確保することで、圧縮荷重値
を低く抑えることが可能となり、チップ、放熱体、基板
等を含む実装挟体の圧接による変形、損傷を防止し、電
子部品及び同ユニットの信頼性を向上することが出来
る。
導性シリコーンゲル成形シートによれば、シート上下面
の片面もしくは両面表層部のみゴム状に硬化した薄膜補
強層を有するか、またはシート上下面の片面表層部にシ
ート状の補強材が埋設されるか、またはシート上下面の
片面表層部にシート状の補強材が埋設され、且つその片
面もしくは両面表層部のみゴム状に硬化した薄膜補強層
を有することによって、実装作業時に極端な変形や破損
の発生を防止できる。その結果、取扱い性が向上し、且
つゴム状に硬化した薄膜補強層表面の粘着性が微少にな
る。また、被着時の方向性を選択することが可能とな
る。さらに、実装後のメンテナンス時にチップと放熱体
の圧接を開放した際、熱伝導性シリコーンゲルシートが
両方に密着した状態で引き伸ばされ、極端な変形や破損
が生じづらくなるか、もしくは生じなくなる。これによ
り、再使用が可能となることで、チップと放熱体との組
み付け作業性を向上させることができる。また、シート
状の補強材が片面表層部に埋設されることによって、チ
ップや放熱体等圧接面の極端な凹凸により熱伝導性シリ
コーンゲルシートが圧接時に破損が生じなくなり、安定
した広範囲の伝熱面積を確保することが可能となり、伝
熱信頼性を向上させることが出来る。そして、シート厚
み方向には十分な柔軟性を確保することで、圧縮荷重値
を低く抑えることが可能となり、チップ、放熱体、基板
等を含む実装挟体の圧接による変形、損傷を防止し、電
子部品及び同ユニットの信頼性を向上することが出来
る。
【図１】 本発明の実施例１及び実施例２の熱伝導性シ
リコーンゲル成形シートの断面図である。
リコーンゲル成形シートの断面図である。
【図２】 本発明の実施例３及び実施例４の熱伝導性シ
リコーンゲル成形シートの断面図である。
リコーンゲル成形シートの断面図である。
【図３】 本発明の実施例５及び実施例６の熱伝導性シ
リコーンゲル成形シートの断面図である。
リコーンゲル成形シートの断面図である。
１ 熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲル
２ ゴム状に硬化した薄膜補強層
３ シート状の補強材
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 鈴木 建市
愛知県西加茂郡小原村鍛冶屋敷175 富
士高分子工業株式会社内
(56)参考文献 特開 平６−155517（ＪＰ，Ａ)
特開 昭57−163548（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−266356（ＪＰ，Ａ)
特開 昭58−219034（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−14950（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−33983（ＪＰ，Ａ)
特開 昭58−218710（ＪＰ，Ａ)
特開 昭64−45612（ＪＰ，Ａ)
特開 昭52−102678（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−207275（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−6440（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−1738（ＪＰ，Ａ)
米国特許4602678（ＵＳ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C09K 5/08 - 5/14
B32B 25/20
B32B 27/00 101
H01L 23/36
B29K 83:00
Claims (8)
- 【請求項１】 熱伝導性充填剤を配合したシリコーンゲ
ル成形シートの上下両面の表層部にのみ、ゴム状に硬化
させた薄膜補強層を形成させた熱伝導性シリコーンゲル
成形シートであって、 前記薄膜補強層は、熱伝導性充填剤配合したシリコーン
ゲル成形シートの上下面の両面にケイ素原子に結合した
水素原子を１分子中に少なくとも２個含有するオルガノ
ハイドロジェンポリシロキサンを表面に塗布した樹脂フ
ィルムを配置した後、 ２枚の樹脂フィルムで挟んだまま、少なくとも一対のロ
ール間を通すことにより圧延した後に、連続的に加熱炉
を通して、シート状物を成形し硬化させて、前記オルガ
ノハイドロジェンポリシロキサンの塗布面に接した前記
シリコーンゲル表層部のみをゴム状に硬化し、 前記樹脂フィルムを除去することにより形成されたこと
を特徴とする熱伝導性シリコーンゲル成形シート。 - 【請求項２】 前記熱伝導性シリコーンゲル成形シート
の片面表層部であって、かつ薄膜補強層の下に、さらに
シート状の補強材を埋設した請求項１に記載の熱伝導性
シリコーンゲル成形シート。 - 【請求項３】 熱伝導性充填剤配合のシリコーンゲルの
硬化後の硬さが、ＡＳＫＥＲ Ｆ硬度計で１０〜９５の
範囲である請求項１または２に記載の熱伝導性シリコー
ンゲル成形シート。 - 【請求項４】 薄膜補強層の厚みが０．０１ｍｍ〜０．
５０ｍｍの範囲である請求項１から３のいずれかに記載
の熱伝導性シリコーンゲル成形シート。 - 【請求項５】 シート上下面の片面表層部にシート状の
補強材が表面より０ｍｍを越え１ｍｍ以下の深さの範囲
で埋設された請求項２に記載の熱伝導性シリコーンゲル
成形シート。 - 【請求項６】 シート上下面の片面表層部に埋設された
シート状の補強材が、合成繊維及び天然繊維から選ばれ
る少なくとも一つの繊維を用いた網目状構造体である請
求項２または５に記載の熱伝導性シリコーンゲル成形シ
ート。 - 【請求項７】 熱伝導性シリコーンゲル成形シートの製
造方法であって、 熱伝導性充填剤を配合したシリコーンゲルを、ケイ素原
子に結合した水素原子を１分子中に少なくとも２個含有
するオルガノハイドロジェンポリシロキサンを表面に塗
布した樹脂フィルムと同品無塗布の樹脂フィルムとで挟
むか、または、ケイ素原子に結合した水素原子を１分子
中に少なくとも２個含有するオルガノハイドロジェンポ
リシロキサンを表面に塗布した２枚の樹脂フィルムで上
下より挟んで、少なくとも一対のロール間を通すことに
より圧延した後に、 連続的に加熱炉を通して硬化させ、 しかる後に前記樹脂フィルムを除去することにより、シ
リコーンゲルシートの少なくとも片面表層部にのみゴム
状に硬化させた薄膜補強層を形成させたことを特徴とす
る熱伝導性シリコーンゲル成形シートの製造方法。 - 【請求項８】 前記上下のフィルムで前記シリコーンゲ
ルを挟む際、 シート状の補強材を重ね合わせた樹脂フィルムと、シー
ト状の補強材を重ね合わせない樹脂フィルムとで前記シ
リコーンゲルを上下より挟む請求項７に記載の熱伝導性
シリコーンゲル成形シートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28863797A JP3434186B2 (ja) | 1996-11-06 | 1997-10-21 | 熱伝導性シリコーンゲル成形シート及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29413896 | 1996-11-06 | ||
| JP8-294138 | 1996-11-06 | ||
| JP28863797A JP3434186B2 (ja) | 1996-11-06 | 1997-10-21 | 熱伝導性シリコーンゲル成形シート及びその製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003116251A Division JP3616630B2 (ja) | 1996-11-06 | 2003-04-21 | 熱伝導性シリコーンゲル成形シート |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10183110A JPH10183110A (ja) | 1998-07-14 |
| JP3434186B2 true JP3434186B2 (ja) | 2003-08-04 |
Family
ID=26557255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28863797A Expired - Lifetime JP3434186B2 (ja) | 1996-11-06 | 1997-10-21 | 熱伝導性シリコーンゲル成形シート及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3434186B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3228450A1 (en) | 2016-04-06 | 2017-10-11 | Kitagawa Industries Co., Ltd. | Thermal conducting sheet and method for producing same |
Families Citing this family (8)
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|---|---|---|---|---|
| JP2001168246A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-22 | Three M Innovative Properties Co | 熱伝導性シート及びその製造方法 |
| JP3540266B2 (ja) * | 2000-12-07 | 2004-07-07 | 北川工業株式会社 | 熱伝導材及びその製造方法 |
| US6657297B1 (en) * | 2002-08-15 | 2003-12-02 | The Bergquist Company | Flexible surface layer film for delivery of highly filled or low cross-linked thermally conductive interface pads |
| JP5183947B2 (ja) | 2007-03-29 | 2013-04-17 | ポリマテック株式会社 | 熱伝導性シート積層体 |
| JP5156511B2 (ja) | 2008-07-11 | 2013-03-06 | ポリマテック株式会社 | 熱伝導性シート複合体及びその製造方法 |
| JP5941287B2 (ja) * | 2012-01-19 | 2016-06-29 | 富士高分子工業株式会社 | 放熱シート及びその製造方法 |
| JP6325186B2 (ja) * | 2012-08-23 | 2018-05-16 | 積水ポリマテック株式会社 | 熱伝導性シート |
| US10017000B2 (en) | 2014-05-09 | 2018-07-10 | Fuji Polymer Industries Co., Ltd. | Phosphor-containing identification substance and method for producing the same |
-
1997
- 1997-10-21 JP JP28863797A patent/JP3434186B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3228450A1 (en) | 2016-04-06 | 2017-10-11 | Kitagawa Industries Co., Ltd. | Thermal conducting sheet and method for producing same |
| US10118367B2 (en) | 2016-04-06 | 2018-11-06 | Kitagawa Industries Co., Ltd. | Thermal conducting sheet and method for producing same |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10183110A (ja) | 1998-07-14 |
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