JP2008235910A - 配線基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一方面が粗面であり、他方面が微粗面である電解金属箔を複数準備する工程と、一部の金属箔の微粗面に転写フィルムを貼着して第1の配線導体3a用転写フィルムを形成する工程と、他の金属箔の粗面に転写フィルムを貼着して第2の配線導体3b用転写フィルムを形成する工程と、第1および第2の配線導体3a、3b用転写フィルムの金属箔をそれぞれパターン加工した後、露出した金属箔の表面を粗化する工程と、パターン加工された第1および第2の配線導体用転写フィルムの金属箔を絶縁層1に転写する工程と、第1の配線導体3a用転写フィルムの金属箔が最外層となり、第2の配線導体3b用転写フィルムの金属箔が内層となるように、金属箔が転写された絶縁層1を積層する工程とを具備する。
【選択図】図2
Description
これらの試料においては、銅箔から成る配線導体と銅めっきから成る配線導体とは強固に密着しており、両者の電気的な接続は良好であった。
2,12:絶縁基板
3a,13a:第1の配線導体
3b,13b:第2の配線導体
16:第3の配線導体
5,15:樹脂層
Claims (3)
- 絶縁層が積層されて成る絶縁基板と、該絶縁基板の表面に配設された第1の配線導体と、前記絶縁層の層間に配設された第2の配線導体とを具備する配線基板の製造方法であって、
一方面が粗面であり、他方面が前記粗面よりも算術平均粗さの小さい微粗面である電解金属箔を複数準備する工程と、
前記複数の金属箔のうちの一部の金属箔の前記微粗面に転写フィルムを貼着して前記第1の配線導体用転写フィルムを形成する工程と、
前記複数の金属箔のうちの他の金属箔の前記粗面に転写フィルムを貼着して前記第2の配線導体用転写フィルムを形成する工程と、
前記第1の配線導体用転写フィルムおよび前記第2の配線導体用転写フィルムの前記金属箔をそれぞれパターン加工した後、露出した前記金属箔の表面を粗化する工程と、
前記パターン加工された第1の配線導体用転写フィルムおよび第2の配線導体用転写フィルムの前記金属箔を前記絶縁層に転写する工程と、
前記第1の配線導体用転写フィルムの前記金属箔が最外層となり、前記第2の配線導体用転写フィルムの前記金属箔が内層となるように、前記金属箔が転写された絶縁層を積層する工程とを具備することを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記絶縁基板の表面に、前記第1の配線導体の一部を露出させる開口部を有する樹脂層を積層する工程をさらに具備することを特徴とする請求項1記載の配線基板の製造方法。
- 前記第1の配線導体の前記開口部から露出する面をエッチングして平滑化する工程をさらに具備することを特徴とする請求項2記載の配線基板の製造方法。
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